JP4367078B2 - カラー固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2 受光素子
3 第一の平坦化層
4 レジストパターン
5 グリーンの色素画素
6 レッドの色素画素
7 ブルーの色素画素
8 第二の平坦化層
9 マイクロレンズ
Claims (2)
- 複数の受光素子を有する、前記受光素子の部分がすり鉢状に落ち込んだ半導体基板の表面に、受光素子の前記すり鉢状に落ち込んだ部分を埋める透明樹脂層と、前記透明樹脂層上に受光素子と一対に複数色の色素画素からなるカラーフィルター層及び受光素子に集光するマイクロレンズを形成したカラー固体撮像素子において、前記透明樹脂層は、前記受光素子の落ち込んだ部分に一対に対応する厚みが一定の凹状部分と、各前記受光素子を囲む格子状の側壁パターン部分とで形成され、当該透明樹脂層上に、前記凹状部分を埋め込む一定の厚みの中央部と、前記中央部より厚みの薄い画素エッジ部とを有する断面形状が逆凸状の色素画素からなる前記中央部の膜厚を厚くしたカラーフィルター層を有し、前記画素エッジ部を前記マイクロレンズの集光経路を外した位置に設定しており、かつ、前記カラーフィルター層は、凝集した顔料粒子が混入しないようサブミクロンオーダーのろ過精度を有するフィルターにてろ過を行った顔料カラーレジストにて形成し、ノイズやザラツキの少ない撮像特性を有し、かつ、ビリツキのないシャープな形状のカラーフィルターとしていることを特徴とするカラー固体撮像素子。
- カラー固体撮像素子の製造方法であって、複数の受光素子を有する半導体基板上に前記受光素子が並ぶ有効画素エリアにおける段差を平坦化する透明樹脂の塗膜を形成し硬化させる工程と、前記透明樹脂の塗膜上にレジストの塗膜を形成し硬化させる工程と、前記レジストを露光・現像して前記受光素子部分を囲む額縁状のパターンを形成する工程と、前記額縁状のパターンをマスクとして前記透明樹脂の塗膜を凹状にドライエッチングすることで、各前記受光素子の上に厚みが一定の凹状部分と、各前記受光素子を囲む部分に前記額縁状のパターンを転写して形成された格子状の側壁パターンと、を有する透明樹脂パターンを形成する工程と、当該透明樹脂パターン上に、前記凹状部分を埋め込む一定の厚みの中央部と、前記中央部より薄い厚みの画素エッジ部とを有する断面形状が逆凸状の色素画素からなるカラーフィルター層を形成する工程と、前記カラーフィルター層上に第2の平坦化層を形成する工程と、前記第2の平坦化層上に前記受光素子部分に対応するマイクロレンズを形成する工程を有することを特徴とするカラー固体撮像素子の製造方法。
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