JP2005197364A - 磁界検出素子、磁界検出器、磁界検出方法および磁界検出素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 大きな信号出力と高精度の外部磁界応答性とを両立させた磁界検出素子、磁界検出器および磁界検出方法を提供する。
【解決手段】 連続した1つの層から構成され、外部磁界によって磁化方向が変化する自由層7と、その自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向3aに固定された第1の固着層5aと、第1の固着層と同形で、上記の自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向と反平行な第2の方向3bに固定された第2の固着層5bとを含む。
【選択図】 図1
【解決手段】 連続した1つの層から構成され、外部磁界によって磁化方向が変化する自由層7と、その自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向3aに固定された第1の固着層5aと、第1の固着層と同形で、上記の自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向と反平行な第2の方向3bに固定された第2の固着層5bとを含む。
【選択図】 図1
Description
本発明は、磁界検出素子、磁界検出器および磁界検出方法に関し、より具体的には、巨大磁気抵抗効果若しくはトンネル磁気抵抗効果により磁界検出を行う磁界検出素子、磁界検出器、磁界検出方法および磁界検出素子の製造方法に関するものである。
磁気抵抗(MR:magnetoresistive)効果は、磁性体に磁界を加えることにより電気抵抗が変化する現象であり、磁界検出器や磁気ヘッドなどに利用されている。近年、非常に大きな磁気抵抗効果を示す巨大磁気抵抗(GMR:giant magnetoresistance)効果材料として、Fe/Cr、Co/Cuなどの人工格子膜などが、たとえば後掲する非特許文献1,2で紹介されている。
また、強磁性層間の交換結合作用がなくなる程度の厚さの非磁性金属層が間に挟まれるように配置された、強磁性層/非磁性層/強磁性層/反強磁性層からなる多層構造において、強磁性層/反強磁性層を交換結合させて、その強磁性層の磁気モーメントを固定し、他方の強磁性層のスピンのみを外部磁界で容易に反転できるようにした、いわゆるスピンバルブ膜が知られている。反強磁性体としては、FeMn、IrMn、PtMnなどが用いられている。この場合、2つの強磁性層間の交換結合が弱く小さな磁界でスピンが反転できるので、上記交換結合膜に比べて高感度の磁気抵抗素子を提供できる。このため、上記スピンバルブ膜は、膜面内方向に電流を流すことにより高密度磁気記録用再生ヘッドとして用いられている。
一方、膜面に対して垂直方向に電流を流す垂直磁気抵抗効果を利用すると、さらに大きな磁気抵抗効果が得られることが、たとえば後掲する非特許文献3に示されている。
さらには、強磁性層/絶縁層/強磁性層からなる3層膜において、外部磁界によって2つの強磁性層のスピンを互いに平行または反平行にすることにより、膜面垂直方向のトンネル電流の大きさが異なることを利用した、強磁性トンネル接合によるトンネル磁気抵抗(TMR:tunneling magneto-resistive)効果が、たとえば後掲する非特許文献4に示されている。
近年、GMRおよびTMR素子を、磁気ヘッドや磁界検出器ではなく、不揮発性磁気記憶半導体装置(MRAM:magnetic random access memory)に利用する研究が、たとえば非特許文献5〜7に示されている。
上記不揮発性磁気記憶半導体装置にGMR素子またはTMR素子を用いることを目的にして、保磁力の異なる2つの強磁性層で非磁性金属層を挟んだ擬スピンバルブ型や、前述のスピンバルブ型の磁気抵抗効果素子が検討されている。磁界検出器にGMR素子またはTMR素子が用いられた場合、これらの素子の磁性層が外部磁界に応答して、各素子を構成する2つの磁性層の相対角を互いに変えることにより、信号読出しを行う。この際の読出しはGMRやTMR効果を利用して行なわれる。
以下にスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を用いた磁界検出器の具体的な検出動作について説明する。ここでは、1個の磁気抵抗効果素子からなる場合であり、無磁界において自由層の磁化方向と固着層の磁化方向とが90°の角をなす場合を考える。固着層の磁化方向に沿って外部磁界が印加されると、自由層の磁化はその外部磁界によりその方向を変化させる。この際、自由層の磁化方向と固着層の磁化方向とがなす角に応じて、素子の抵抗値は線形に変化する。
具体的には固着層の磁化方向を0度方向とし、それに対して外部磁界Hが印加された際に自由層の磁化方向が上記固着層の磁化方向となす角をθとしたとき、素子抵抗の変化はcosθに反比例する。自由層が一軸異方性を持った軟磁性膜である場合、cosθ=|Hk|/Hとなる。ここでHkは自由層の異方性磁界である。この結果、素子抵抗R=Rm+(ΔR/2)・(H/|Hk|)となる。ここでRmは素子抵抗がとり得る最大の抵抗値と最小の抵抗値との中間の抵抗値であり、無磁界中での素子抵抗である。ΔRは素子の磁気抵抗変化率である。上記素子抵抗Rは外部磁界に比例するため、素子抵抗を得ることにより外部磁界の大きさを検出することが可能である。また、固着層の磁化方向において検出可能な磁界領域、すなわち動作領域はH≦|Hk|である。
上記の外部磁界に依存した素子抵抗により素子を流れる電流または素子にかかる電圧が変化するので、この電流または電圧を測定することにより磁界を検出することができる。
上記の説明は単体のスピンバルブ型磁気抵抗効果素子を用いた磁界検出器の例であったが、4つのスピンバルブ型素子を用いてブリッジ回路を形成する例が、後掲する特許文献1において提案されている。
上記提案では、4つのスピンバルブ型磁気抵抗効果素子をブリッジ回路の抵抗素子として、隣り合う固着層の磁化方向が互いに反平行となるように配置している。このブリッジ回路で電位差の差動検出を行うことにより、高出力の磁界検出器を形成することができる。外部磁界H、電流Iのとき、上記磁界検出器で得られる電位差はΔV=(I/2)・(ΔR・H/|Hk|)である。
特許第3017061号公報
D.H. Mosca et al.,"Oscillatory interlayer coupling and giant magnetoresistance in Co/Cu multilayers", Journal of Magnetism and Magnetic Materials 94 (1991) pp.L1-L5
S.S.P.Parkin et al.,"Oscillatory Magnetic Exchange Coupling through Thin Copper Layers", Physical Review Letters, vol.66, No.16, 22 April 1991, pp.2152-2155
W.P.Pratt et al.,"Perpendicular Giant Magnetoresistances of Ag/Co Multilayers", Physical Review Letters, vol.66, No.23, 10 June 1991, pp.3060-3063
T. Miyazaki et al.,"Giant magnetic tunneling effect in Fe/Al2O3/Fe junction", Journal of Magnetism and Magnetic Materials 139 (1995), pp.L231-L241
S.Tehrani et al.,"High density submicron magnetoresistive random access memory (invited)", Journal of Applied Physics, vol.85, No.8, 15 April 1999, pp.5822-5827
S.S.P.Parkin et al.,"Exchange-biased magnetic tunnel junctions and application to nonvolatile magnetic random access memory (invited)", Journal of Applied Physics, vol.85, No.8, 15 April 1999, pp.5828-5833
ISSCC 2001 Dig of Tech. Papers, p.122
上記ブリッジ回路によれば、大きな出力信号を得ることは可能であるが、独立した4個のスピンバルブ型素子において等しいHkを得る必要がある。Hkは自由層の形状に依存するので、これは製造工程における形状のバラツキの影響を大きく受けることを意味する。また、固着層と自由層の形状が同じ場合、それぞれに最適な形状を用いることができず、形状磁気異方性を十分に活用することができない。さらには、磁界検出器を小型化した場合、素子間の静磁結合により検出される磁界に誤差が生じる可能性がある。すなわち、上記磁界検出器は大きな出力信号を得ることはできるが高精度の外部磁界応答性を得ることが難しい。このため、大きな信号出力と高精度の外部磁界応答性とを両立させた磁界検出素子、磁界検出器および磁界検出方法の開発が要望されていた。
本発明の目的は、大きな信号出力と高精度の外部磁界応答性とを両立させた磁界検出素子、磁界検出器、磁界検出方法および磁界検出素子の製造方法を提供することにある。
本発明の磁界検出素子は、連続した1つの層から構成され、外部磁界によって磁化方向が変化する自由層と、その自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向に固定された第1の固着層と、第1の固着層と同形で、上記の自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向と反平行な第2の方向に固定された第2の固着層とを含む。
上記構成により、1つの自由層の上に同じ形状の2つの固着層を、フォトリソグラフィ技術を用いて、精度よく揃えて形成することができる。このため大きな信号出力と、高精度な外部磁界応答性とを兼ね備えることができる。
なお、上記各固着層は、平面的に見てもまた厚み方向に沿っても、自由層に対して同形である。したがって、上記自由層と、各固着層との間にトンネル絶縁層を挟む場合、各固着層に共通した同じ厚さの同じ材料で構成されるトンネル絶縁層が介在する。また、「自由層の上に位置する」とは、とくに限定しなければ、自由層に接触して上に位置する場合と、自由層と接触しないで自由層との間に他の層を介在させて位置する場合の両方をさす。以後においても同様とする。
本発明の磁界検出方法は、連続した1つの層からなり、磁界によって磁化方向が変化する自由層に対して、第1の方向に磁化した固着層と、第1の方向に反平行に磁化した固着層とを配置して、磁界に対して前記2つの固着層に生じる電気抵抗の差を測定することにより、磁界を検出する。
また、本発明の別の磁界検出方法は、連続した1つの層からなり、磁界によって磁化方向が変化する自由層に対して、第1の方向に磁化した固着層と、第1の方向に対し反平行に磁化した固着層とを配置した磁界検出素子を2つ並列に固着層の磁化の向きを揃えて結合し、その4つの固着層によりブリッジ回路を形成し、そのブリッジ回路により平行および反平行の関係にある固着層に生じる電気抵抗の差を測定して磁界を検出する。
本発明の磁界検出素子の製造方法は、強磁性層からなる自由層を準備する工程と、自由層の上に強磁性層からなる固着層を成膜する工程と、自由層の上における固着層を2つの固着層に分離し、その2つの固着層が同じ形状となるように、フォトリソグラフィによりパターニングする工程とを含む。
この構成により、1つの自由層の上に2つの固着層の形状を精度よく揃えて形成することができる。このため大きな信号出力と、高精度な外部磁界応答性とを兼ね備えることができる。しかも上記フォトリソグラフィの技術は長年にわたって膨大な累積のある半導体製造技術と共通するものであり、したがって半導体製造技術を適用して高精度の磁界検出素子を高能率で製造することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について、その具体例を図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における磁界検出器を示す斜視図である。ここに示す磁界検出素子は1つの自由層7と2つの固着層5a,5bとからなり、その間にトンネル絶縁層6a,6bが存在する。自由層7は、その形状磁気異方性によりその磁化容易軸は、形状の長手方向となる。これに対し2つの固着層の磁化3a,3bは、自由層の磁化容易軸2に対し垂直方向となるように形成され、かつ互いに逆の方向(反平行方向)を向いている。自由層7には電流を供給するための配線8が接続されている。各固着層5a,5bに、1つの配線9a,9bがこのあと説明する反強磁性層を介在させて接続され、検出回路10へと接続されている。
図1は、本発明の実施の形態1における磁界検出器を示す斜視図である。ここに示す磁界検出素子は1つの自由層7と2つの固着層5a,5bとからなり、その間にトンネル絶縁層6a,6bが存在する。自由層7は、その形状磁気異方性によりその磁化容易軸は、形状の長手方向となる。これに対し2つの固着層の磁化3a,3bは、自由層の磁化容易軸2に対し垂直方向となるように形成され、かつ互いに逆の方向(反平行方向)を向いている。自由層7には電流を供給するための配線8が接続されている。各固着層5a,5bに、1つの配線9a,9bがこのあと説明する反強磁性層を介在させて接続され、検出回路10へと接続されている。
自由層7は強磁性層よりなっており、たとえばNiFe層よりなっている。トンネル絶縁層6a,6bはたとえばAlOx層よりなっている。図1ではトンネル絶縁層6a,6bは互いに分離しているが、トンネル絶縁層6a,6bは1つの連続した層であってもよい(〒:よろしいですか)。
固着層5a,5bは、たとえば反強磁性層4a,4bと強磁性層との積層構造とすることにより磁化方向を固定されている。つまり、反強磁性層が強磁性層のスピンの向きを固定することで、強磁性層の磁化方向が一定に保たれている。この反強磁性層が強磁性層の上に形成されている。強磁性層5a,5bはたとえばCoFe層よりなっており、反強磁性層4a,4bはたとえばIrMn層よりなっている。
自由層7および固着層5a,5bは、たとえばフォトリソグラフィーにより形成する。この場合、自由層、トンネル絶縁膜および固着層の膜を形成した後、この上にフォトレジストによるパターンを形成する。その後、第一にたとえばイオンミリングまたは反応性イオンエッチングにより自由層7の形状を形成し、第二に同様にして固着層5a,5bおよび反強磁性層4a,4bの形状を形成する。この第二の固着層形状の形成時には、固着層5a,5bまたはトンネル絶縁層6a,6bまでのエッチングでプロセスを停止する。これにより自由層7と固着層5a,5bとでそれぞれ異なる形状を得ることが可能である。固着層とトンネル絶縁層とは、平面的に見て互いに同形となる。
固着層5a,5bの磁化方向3a,3bの固定は、たとえば熱処理により可能である。ここでは図示しないがたとえば自由層7の両端に配線を接続し、配線8からこれらに電流11を流す。配線8が2つの固着層5a,5bの間に位置する場合、電流は自由層7のそれぞれ両端に向かって流れる。これにより固着層5a,5bにはそれぞれ逆向きの磁界が印加される。反強磁性層4a,4bと固着層5a,5bの磁気的相互作用が無くなるブロッキング温度以上において、固着層の飽和磁化を発生するための電流を流す。この状態でブロッキング温度以下に温度を下げることにより、固着層5a,5bにおいてそれぞれ逆向きでかつ自由層7の長手方向2に垂直な磁化3a,3bが得られる。
上記の固着層の磁化方向は、例えば外部磁界を印加した状態で反強磁性層4aに局所的に熱処理を実施し、その後に逆向きの磁界を印加した状態で反強磁性層4bに局所的に熱処理を実施することによっても形成可能である。
なお、配線8,9a,9bは、たとえばAl層よりなっている。
次に、本実施の形態の磁界検出器における検出動作について説明する。
図1に示すとおり、磁界検出時に、配線8に矢印11で示す方向に電流を流す。これにより、自由層を介して2つのTMR素子にそれぞれ垂直に電流Iが流れる。この際、外部磁界が印加されたときの自由層の磁化22と、TMR素子1aにおける固着層の磁化3aとのなす角(〒:よろしいでしょうか)がθであるとした場合(図2参照)、もう1方の素子1bでは、その固着層の磁化3bと自由層の磁化22とのなす角は180°−θである。この結果、TMR素子1aにおける素子抵抗はRa=Rm+ΔR/2・H/|Hk|となり、またTMR素子1bにおける素子抵抗はRb=Rm−ΔR/2・H/|Hk|となる。すなわち、2つのTMR素子はRmに対しそれぞれ逆の抵抗変化を示す。
これによりTMR素子1aおよび1bを流れる電流Ia、Ibは、それぞれIa=I・Rb/(Ra+Rb)、Ib=I・Ra/(Ra+Rb)となり、両者の差ΔI=I/2・ΔR/Rm・H/|Hk|が出力信号として検出される。
本実施の形態によれば、自由層7が2つのTMR素子1a,1bに共有されているために、その2つの磁気抵抗効果素子1a,1bにおいて同じ磁気応答性が得られ、かつ差動検出を用いているために大きな出力信号が得られる。これにより検出性能の信頼性が向上する。また、自由層7が共有されているために自由層同士の磁気的な相互作用もない。さらに、自由層7と固着層5a,5bの形状が異なるために、自由層7の形状の自由度が増し、所望の形状磁気異方性が得られ、これにより所望の磁気応答特性が得られる。
なお、2つのTMR素子1a,1bは、平面的に見て同形であるだけでなく、その厚み方向の構成においても、固着層の磁化の方向が互いに反平行であること以外は、同形である。すなわち、各層の厚みや材料構成など同じである。以後の実施の形態においても同じである。
(実施の形態2)
図3は、本発明の実施の形態2における磁界検出器を示す斜視図である。ここに示す磁界検出器は、実施の形態1で示した磁界検出器と実質的に同様な形態であるが、自由層7が磁気的に結合した積層膜により構成される。ここでは、たとえば自由層7は、磁性層17a、17b、非磁性層27、磁性層37により形成される。
図3は、本発明の実施の形態2における磁界検出器を示す斜視図である。ここに示す磁界検出器は、実施の形態1で示した磁界検出器と実質的に同様な形態であるが、自由層7が磁気的に結合した積層膜により構成される。ここでは、たとえば自由層7は、磁性層17a、17b、非磁性層27、磁性層37により形成される。
上記積層構造の自由層を形成するとき、実施の形態1において説明したように、固着層5a,5bおよびトンネル絶縁層を形成するときと同様に、自由層7を異なる材料の積層膜で構成することにより、自由層7内での各層のエッチングプロセスの停止が容易となる。たとえば、反応性イオンエッチングにより固着層5a,5bおよびトンネル絶縁層を形成する場合、自由層のなかの最上層の磁性層17a,17bがエッチングされ易く、かつその下の非磁性層27がエッチングされ難いエッチングガスを用いることにより非磁性層27におけるエッチングの停止が可能となる。このとき、固着層5a,5bと、トンネル絶縁層6a,6bと、自由層のなかの最上層17a,17bとは、平面的に見て同形となる。
磁性層17a,17b,37は強磁性層よりなっており、たとえばNiFe層よりなっている。非磁性層27は、磁性層17a,17bまたは37とエッチング選択比が得られる材料であり、かつ磁性層17a,17bと磁性層37との磁気的結合が得られればよくたとえばRu層よりなっている。エッチングに用いるガスは例えば塩素を含む混合ガスであればよい。
磁性層17a,17bと磁性層37とは磁気的に結合しているため、本実施の形態の磁界検出器における検出動作は実施の形態1と実質的に同一である。
また、本実施の形態によれば、固着層5a,5bの形成の際、自由層7のエッチングによる磁気特性の劣化を防ぐことが可能である。
(実施の形態3)
図4は、本発明の実施の形態3における磁界検出器を示す図である。ここに示す磁界検出器は、実施の形態1で示した磁界検出素子を2つ並列に配線で接続した形態となっており、ブリッジ回路を形成している。4つの固着層の磁化3a,3b,3c,3dは、それぞれ隣接する素子同士では逆向きとなっており、対角線に位置する素子同士では同一の方向を向いている。すなわち、四辺形の各コーナーに位置する各固着層が隣の固着層と互いに反平行の磁化を有し、任意の対向する2辺に外部端子を設け、残りの対向する2辺の間に検出計器を配置したブリッジ回路を構成し、磁界に対して検出計器に生じる電気抵抗の差を測定する。
図4は、本発明の実施の形態3における磁界検出器を示す図である。ここに示す磁界検出器は、実施の形態1で示した磁界検出素子を2つ並列に配線で接続した形態となっており、ブリッジ回路を形成している。4つの固着層の磁化3a,3b,3c,3dは、それぞれ隣接する素子同士では逆向きとなっており、対角線に位置する素子同士では同一の方向を向いている。すなわち、四辺形の各コーナーに位置する各固着層が隣の固着層と互いに反平行の磁化を有し、任意の対向する2辺に外部端子を設け、残りの対向する2辺の間に検出計器を配置したブリッジ回路を構成し、磁界に対して検出計器に生じる電気抵抗の差を測定する。
前記実施の形態1で示した磁界検出素子を2つ並列に接続するための配線9a,9bは固着層同士を接続しており、それぞれ電位差検出用の配線12a,12bが接続されている。なお、上記の自由層7a,7bは、互いに分離した自由層であるが、それらを連続した1つの自由層として、1つの自由層の上に4つの固着層を形成してもよい。(〒:よろしいですか)
次に、本実施の形態の磁界検出器における検出動作について説明する。
次に、本実施の形態の磁界検出器における検出動作について説明する。
図4に示されたとおり、磁界検出時に、配線8aに矢印11で示す方向に電流が流される。これにより、自由層を介して2個の素子1a,1bにそれぞれ垂直に電流Iが流れる。この電流は素子1c、1dを介して配線8bへと流れる。ここでは、配線9aと9bとの間における電位差を検出する。この際のそれぞれの素子を流れる電流は、外部磁場の有無にかかわらずI/2であり(〒:よろしいですか。)、電位は、配線9aにおいてはVa=I/2・Ra=I/2・(R0+ΔR/2・H/|Hk|)、また配線9bにおいてはVb=I/2・Rb=I/2・(R0−ΔR/2・H/|Hk|)である。
これにより検出される電位差、ΔV=I/2・ΔR・H/|Hk|が出力信号として検出される。
本実施の形態によれば、実施の形態1で述べた効果に加え、さらに大きな出力信号を得ることが可能となる。
(実施の形態4)
図5は、本発明の実施の形態4における磁界検出器を示す断面図である。ここに示す磁界検出器は、実施の形態3で示した磁界検出器を積層構造により形成した形態となっており、ブリッジ回路を形成している。4つの固着層の磁化3a,3b,3c,3dは、それぞれ隣接する素子同士では逆向きとなっており、対角線に位置する素子同士で同一の方向を向いている。前記実施の形態1で示した磁界検出素子を2つ並列に接続するための接続には、それぞれ金属層13a,13bが用いられる。その他は実施の形態2と同様である。
図5は、本発明の実施の形態4における磁界検出器を示す断面図である。ここに示す磁界検出器は、実施の形態3で示した磁界検出器を積層構造により形成した形態となっており、ブリッジ回路を形成している。4つの固着層の磁化3a,3b,3c,3dは、それぞれ隣接する素子同士では逆向きとなっており、対角線に位置する素子同士で同一の方向を向いている。前記実施の形態1で示した磁界検出素子を2つ並列に接続するための接続には、それぞれ金属層13a,13bが用いられる。その他は実施の形態2と同様である。
本実施の形態の磁界検出器における検出動作は実施の形態3と同一である。
本実施の形態によれば、実施の形態3で述べた磁界検出器を小型化することが可能である。
次に、上記の実施の形態を含めて、本発明の実施の形態について、羅列的に説明する。
まず、上記の自由層が、磁性層および/または非磁性層からなる層をさらに含み、少なくともそのうちの1つの層は第1および第2の固着層と同形にすることができる。
上記の構成によれば、磁界検出素子の形成のエッチング工程における自由層の損傷を防止可能であり、これによる素子の磁気応答特性の劣化を防止可能となる。
本発明の磁界検出器は、上記のいずれかの磁界検出素子を備え、自由層に磁界が印加された場合に、第1の固着層および第2の固着層を流れる電流の差、または第1の固着層を含む部分および第2の固着層を含む部分にかかる電圧の差、を差動方式で検出することができる。
上記の磁界検出器によれば、上記のいずれかの磁界検出素子において、大きな出力信号を得ることが可能となる。
上記本発明の磁界検出器において、上記いずれかの磁界検出素子が2つ並列に磁化の向きを揃えて位置し、その4つの固着層によりブリッジ回路を形成するようにできる。
上記の構成により 上記磁界検出器の効果と同様な効果に加え、さらに大きな出力信号を得ることが可能となる。
上記本発明の磁界検出器において、上記いずれかの磁界検出素子が2つ並列に磁化の向きを揃えて積層して位置し、その4つの固着層によりブリッジ回路を形成することができる。
この構成によれば、上記磁界検出器と同様なブリッジ回路による大きな出力信号を得る効果に加え、磁界検出器の小型化が可能である。
本発明の磁界検出素子の製造方法におけるパターニング工程では、固着層を選択的にエッチングし、自由層をエッチングしにくい異方性エッチングを用いることができる。
この構成により、下層の連続した自由層を共通にして精度よく固着層を形成することができる。上記本発明の製造方法は、長年にわたって培った高精度で高能率の半導体製造方法の技術を適用することができる。
また、上記においては磁界検出器について説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、磁気記憶装置、磁気記録ヘッド、磁気記録媒体などのパターン化された磁気素子、および電流検出器、電力検出器、位置検出器、回転検出器などの被測定物が磁界を発する検出器など、類似する他の装置に広く適用することが可能である。
また、上記においては、2つまたは4つのトンネル磁気抵抗効果素子から構成される磁界検出器について説明したが、検出器にはそれ以外の数のトンネル磁気抵抗効果素子が含まれていてもよい。またトンネル磁気抵抗効果素子に限定されるものではない。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
磁化方向が固定された固着層と、外部磁界によって磁化方向が変化する自由層とを有する磁気抵抗効果素子を2つ以上備えた磁界検出素子であって、磁化方向が互いに異なる2つ以上の固着層が1つの自由層を共有するため、上記複数の磁界検出素子において同じ磁気応答性が得られるように容易に加工することができる。これにより検出性能の信頼性が向上する。また、自由層が共有されているために自由層同士の磁気的な相互作用もない。さらに、自由層と固着層の形状が異なるために、自由層の形状の自由度が増し、所望の形状磁気異方性が得られ、所望の磁界応答特性を得ることが可能である。このため、今後、高精度で高出力の磁界検出装置として広範に利用されることが期待される。
1a,1b,1c,1d 磁気抵抗効果素子、2 無磁界における自由層の磁化方向、3a,3b,3c,3d 固着層の磁化方向、4a,4b,4c,4d 反強磁性層、5a,5b,5c,5d 固着層、6a,6b,6c,6d トンネル絶縁層、7 自由層、8a,8b,9a,9b,12a,12b 金属配線、10 センスアンプ、11 磁界検出時の電流方向、13a,13b 接続用金属層、17a,17b,37 積層膜からなる自由層における磁性層、22 磁界が印加された場合の自由層の磁化方向、27 積層膜からなる自由層における非磁性層。
Claims (9)
- 連続した1つの層から構成され、外部磁界によって磁化方向が変化する自由層と、
前記自由層の上に位置し、磁化方向が第1の方向に固定された第1の固着層と、
前記第1の固着層と同形で、前記自由層の上に位置し、磁化方向が前記第1の方向と反平行な第2の方向に固定された第2の固着層とを含む、磁界検出素子。 - 前記自由層が、磁性層および/または非磁性層からなる層をさらに含み、少なくともそのうちの1つの層は前記第1および第2の固着層と同形である、請求項1に記載の磁界検出素子。
- 請求項1または2に記載の磁界検出素子を備え、前記自由層に磁界が印加された場合に、前記第1の固着層および第2の固着層を流れる電流の差、または前記第1の固着層を含む部分および前記第2の固着層を含む部分にかかる電圧の差、を差動方式で検出する、磁界検出器。
- 請求項1または2に記載の磁界検出素子が2つ並列に磁化の向きを揃えて位置し、その4つの固着層によりブリッジ回路を形成する、磁界検出器。
- 請求項1または2に記載の磁界検出素子が2つ並列に磁化の向きを揃えて積層して位置し、その4つの固着層によりブリッジ回路を形成する、磁界検出器。
- 連続した1つの層からなり、磁界によって磁化方向が変化する自由層に対して、第1の方向に磁化した固着層と、第1の方向に反平行に磁化した固着層とを配置して、磁界に対して前記2つの固着層に生じる電気抵抗の差を測定することにより、磁界を検出する磁界検出方法。
- 連続した1つの層からなり、磁界によって磁化方向が変化する自由層に対して、第1の方向に磁化した固着層と、第1の方向に対し反平行に磁化した固着層とを配置した磁界検出素子を2つ並列に前記固着層の磁化の向きを揃えて結合し、その4つの固着層によりブリッジ回路を形成し、そのブリッジ回路により平行および反平行の関係にある固着層に生じる電気抵抗の差を測定して磁界を検出する、磁界検出方法。
- 強磁性層からなる自由層を準備する工程と、
前記自由層の上に強磁性層からなる固着層を成膜する工程と、
前記自由層の上における前記固着層を2つの固着層に分離し、その2つの固着層が同じ形状となるように、フォトリソグラフィによりパターニングする工程とを含む、磁界検出素子の製造方法。 - 前記パターニング工程において、前記固着層を選択的にエッチングし、前記自由層をエッチングしにくい異方性エッチングを用いる、請求項8に記載の磁界検出素子の製造方法。
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