JP2005195798A - 光偏向装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ミラー106に切り込み107を形成し、軸受部材108と切り込み107が当たることにより、水平方向のずれを防止する。また、軸受け上部の庇109により、ミラー106の上方への外れを防止する。リッジ105の支点により、下方へのずれは生じず、軸方向へのずれは軸受け部材108により制限される。これにより、ミラー106は電極103側に当たるまでは回転の自由度を持ち、ミラー106が外れないような軸受けが形成される。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、ミラーの回転運動をスムーズに行うことができる光偏向装置を提供することにある。
C−D断面図(f)にも示すように、ミラー膜106に切り込みを形成し、軸受部材108と切り込み107が当たることにより水平方向のずれを防止する。A−B断面図(c)とY−Z断面(e)にも示すように、軸受け上部の庇109により上方へのミラー106の外れを防止する。リッジ105が支点であるので下方へのずれは生じない。また、軸方向へのずれはY−Z断面図に示すように、軸受け部材108により制限される。これらによりミラー106は電極側に当たるまでは回転の自由度を持ちかつミラー106が外れないような軸受けを形成できる。
図3は、本発明の光偏向装置の第3の構成を示す。図3において、(a)は平面図、(b)はミラーなし電極構成図(ミラーをはずし電極を表した図)、(c)はA−B断面図、(d)はミラー平面図、(e)はC−D断面図、(f)はY−Z断面図である。
図4は、本発明の光偏向装置の第4の構成を示す。図4において、(a)は平面図、(b)はミラーなし電極構成図(ミラーをはずし電極を表した図)、(c)はA−B断面図、(d)はミラー平面図、(e)はC−D断面図、(f)はY−Z断面図である。
(a)Siウエハを基板101とする場合を例とし説明する。有機レジストを用い階調をもつフォトマスクでフォトリソグラフィによりマスクを形成し、SF6とO2の混合ガスによるRIE(Reactive Ion Etching)によりSiを2.6μmエッチングして、リッジ105を形成する。熱酸化を500nm行い、絶縁膜102を形成する。
(b)電極103となるTiN膜をスパッタ法で150nm成膜し、有機レジストを用いフォトリソグラフィでパターンニングする。Cl2ガスによるRIEでエッチングし、電極を形成する。SiH4とN2Oの混合ガスによるプラズマCDV法により、保護絶縁膜104を250nm成膜する。
(c)SiH4の熱CVD法で犠牲層となるpoly−Siを4.0μm成膜する。CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、平坦化する。
(d)ミラー106となる金属膜、例えばAlやAl−Ti合金やCrなどを100nm成膜する。フォトリソグラフィとCl2のRIEでエッチングしパターンニングする。これによりミラーの切り込みを形成することができる
(e)アモルファスSiをSiH4とH2の混合ガスのプラズマCVD法で200nm成膜する。
(f)poly−SiとアモルファスSiをフォトリソグラフィとSF6とO2の混合ガスのRIEでパターンニングする。
(g)軸受け108,109となる部材例えば酸化膜SiO2をSiH4とN2Oの混合ガスの熱CVD法やプラズマCVD法で500nm成膜する。このとき、酸化膜はミラー部材とアモルファスSiが積層された段差をステップして覆う状態になる。フォトリソグラフィとCF4とH2の混合ガスのRIEでエッチングする。これにより軸受けのパターンが形成される。配線をボンディングするパッド用のAlを成膜する。
(h)犠牲層であるpolySiとアモルファスSiをTMAH(トリメチル・アンモニューム・ハイドレイド)でエッチングする。
(i)ミラーが自由になりリッジにシーソ状に横たわるようになる。
(a)Siウエハを基板101とする場合を例とし説明する。階調性のフォトマスクで有機レジストによるフォトリソグラフィによりマスクを形成し、SF6とO2の混合ガスによるRIE(Reactive Ion Etching)によりSiを2.6μmエッチングして、リッジ105を形成する。熱酸化500nmを行い、絶縁膜102を形成する。
(b)電極103となるTiN膜をスパッタ法で150nm成膜し、有機レジストを用いフォトリソグラフィでパターンニングする。Cl2ガスによるRIEにてエッチングし、電極を形成する。SiH4とN2Oの混合ガスによるプラズマCVD法により、保護絶縁膜104を250nm成膜する。
(c)SiH4の熱CVD法で犠牲層となるpoly−Siを4.0μm成膜する。CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、平坦化する。
(d)ミラー106となる金属膜例えばAlやAl−Ti合金やCrなどを100nm成膜する。フォトリソグラフィとCl2のRIEでエッチングしパターンニングする。これによりミラーの穴を形成することができる
(e)アモルファスSiをSiH4とH2の混合ガスのプラズマCVD法で成膜する。
(f)poly−SiとアモルファスSiをフォトリソグラフィとSF6とO2の混合ガスのRIEでパターンニングする。ミラー穴122に対応したミラー膜の下のpoly−SiとアモルファスSiもエッチングで除く。
(g)軸受けとなる部材例えば酸化膜SiO2をSiH4とN2Oの混合ガスの熱CVD法やプラズマCVD法で500nm成膜する。このとき、酸化膜はミラー部材とアモルファスSiが積層された段差をステップして覆う状態になる。フォトリソグラフィとCF4とH2の混合ガスのRIEでエッチングする。軸受け121,123のパターンが形成される。配線をボンディングするパッド用のAlを成膜する。
(h)犠牲層であるpolySiとアモルファスSiをTMAH(トリメチル・アンモニューム・ハイドレイド)でエッチングする。
(i)ミラーが自由になりリッジにシーソ状に横たわるようになる。
(a)Siウエハを基板101とする場合を例とし説明する。階調性のフォトマスクで有機レジストによるフォトリソグラフィによりマスクを形成し、SF6とO2の混合ガスによるRIE(Reactive Ion Etching)によりSiを2.6μmエッチングして、リッジ105を形成する。熱酸化を500nm行い、絶縁膜102を形成する。
(b)電極103となるTiN膜をスパッタ法で150nm成膜し、有機レジストを用いフォトリソグラフィでパターンニングする。Cl2ガスによるRIEでエッチングし、電極を形成する。SiH4とN2Oの混合ガスによるプラズマCDV法により、保護絶縁膜104を250nm成膜する。
(c)SiH4の熱CVD法で犠牲層となるpoly−Siを4.0μm成膜する。CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、平坦化する。
(d)ミラー106となる金属膜例えばAlやAl−Ti合金やCrなどを100nm成膜する。フォトリソグラフィとCl2のRIEでエッチングしパターンニングする。これによりミラーの突起を形成することができる
(e)アモルファスSiをSiH4とH2の混合ガスのプラズマCVD法で成膜する。
(f)poly−SiとアモルファスSiをフォトリソグラフィとSF6とO2の混合ガスのRIEでパターンニングする。
(g)軸受けとなる部材例えば酸化膜SiO2をSiH4とN2Oの混合ガスの熱CVD法やプラズマCVD法で1.0μm成膜する。このとき、酸化膜はミラー部材とアモルファスSiが積層された段差をステップして覆う状態になる。フォトリソグラフィとCF4とH2の混合ガスのRIEでエッチングする。軸受け131のパターンが形成される。配線をボンディングするパッド用のAlを成膜する。
(h)犠牲層であるpolySiとアモルファスSiをTMAH(トリメチル・アンモニューム・ハイドレイド)でエッチングする。
(i)ミラーが自由になりリッジにシーソ状に横たわるようになる。
102、104 酸化膜
103 電極
105 リッジ
106 ミラー
107 切り込み
108 軸受け部材
109 庇
Claims (10)
- 光反射領域を有する部材が静電引力で変位することにより、該光反射領域に入射する光束が反射方向を変えて偏向される光偏向装置であって、基板と、複数の規制部材と、支点部材と、板状部材と、複数の電極を有し、前記複数の規制部材はそれぞれ上部にストッパを有し、前記基板の複数の端部にそれぞれ設けられ、前記支点部材は頂部を有して前記基板の上面に設けられ、前記板状部材は固定端を持たず、上面に前記光反射領域を有し、少なくとも一部に導電性を有する部材からなる導電体層を有し、前記基板と前記支点部材と前記ストッパの間の空間内で可動的に配置され、前記複数の電極は前記基板上にそれぞれ設けられ、前記板状部材の導電体層とほぼ対向している構成を有する光偏向装置において、前記板状部材の基板方向への回転自由度を確保できる回転軸受けを設けたことを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1記載の光偏向装置において、前記板状部材の重心の位置に支持部材を配置することを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1または2記載の光偏向装置において、前記板状部材の重心の位置に回転軸受けを配置したことを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1記載の光偏向装置において、前記板状部材の回転対称軸受け近傍に支持部材を配置したことを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1または4記載の光偏向装置において、前記板状部材の回転対称軸受け近傍に回転軸受けを配置したことを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1〜5のいずれか一つに記載の光偏向装置において、前記板状部材に切り込みを設けることを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1〜5のいずれか一つに記載の光偏向装置において、前記板状部材に穴を形成することを特徴とする光偏向装置。
- 請求項7記載の光偏向装置において、リングを形成する部材が透明であることを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1〜5のいずれか一つに記載の光偏向装置において、前記板状部材の側面に突起を形成し、回転軸受け内に配置することすることを特徴とする光偏向装置。
- 請求項1〜10のいずれか一つに記載の光偏向装置を千鳥状に配置したことを特徴とする光偏向装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7349145B2 (en) | 2004-10-21 | 2008-03-25 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflection device and image projection display apparatus using the same |
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