JP2005195357A - 光学式圧子接触面のその場定量に基づく力学特性計測法及びその試験装置 - Google Patents
光学式圧子接触面のその場定量に基づく力学特性計測法及びその試験装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 圧子を被検試料の表面に所定の荷重で押し当てることにより試料表面に生じる窪みを光学的にその場観察し、圧子と試料表面との接触面の直径、半径、又は面積を計測し、その計測値と圧子を試料表面に押し当てる荷重との関係から試料の物性値を計測することを特徴とする試料の力学特性計測方法、及びその試験装置。
【効果】 光学的なその場観察により、工業材料や食品材料の硬さ、ヤング率、降伏応力、加工硬化等の物性値を計測し、定量することが出来る新しい力学特性計測法及びその装置を提供することが出来る。
【選択図】なし
Description
本発明は、工業材料等の、硬さ、ヤング率、降状応力、及び加工硬化等の物性値を試験し、それを数値化し、評価する圧子圧入法による材料試験の技術分野において、従来法では、いずれの方法も、実験的な検証が不十分な仮定を含んでおり、そのため、例えば、圧子圧入過程での実接触面積を測定する評価手法が確立されていなかったことを踏まえ、従来法よりも高い普遍性及び測定精度で、上記物性値を計測し、定量することを可能とする光学的なその場観察による新しい力学特性計測方法及びその試験装置、より詳しくは、圧子接触面をその場でリアルタイムに検出する新規計測方法及びこれに用いる新しいタイプの計測装置を提供するものとして有用である。
本発明は、高精度な工業製品の製造技術の基盤技術として不可欠となる次世代の全く新しい概念に基づく工業材料等の物性値計測技術を提供するものであり、それによって、新しい高精度加工技術とそれに基づく新規製造業の創出を実現化することを可能にするものである。
本発明は、光学式圧子接触面のその場定量により圧子圧入過程での実接触面積を測定することを可能とする試料の物性値の新しい評価方法及びその試験装置を提供することを目的とするものである。
(1)圧子を被検試料の表面に所定の荷重で押し当てることにより試料表面に生じる窪みを光学的にその場観察し、圧子と試料表面との接触面の直径、半径、及び/又は面積を計測し、その計測値と圧子を試料表面に押し当てる荷重との関係から試料の物性値を計測することを特徴とする試料の力学特性計測方法。
(2)圧子を通して圧子表面を観察することが可能な光学的手段を使用し、圧子を被検試料の表面に所定の荷重で押し当てることにより試料表面に生じる窪みを圧子後方に配置した上記光学的手段により光学的にその場観察することを特徴とする前記(1)に記載の計測方法。
(3)試料表面に生じる窪みを圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場観察し、試料の硬さを計測することを特徴とする前記(1)に記載の計測方法。
(4)圧子圧入過程で試料表面に生じる窪みの光学的なその場観察を連続的に行うことを特徴とする前記(2)又は(3)に記載の計測方法。
(5)圧子を試料表面に押し当てる過程において、試料表面に生じる窪みの表面上での圧痕径を圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場観察し、計測される圧痕径と圧子圧入荷重との関係から試料の機械的特性を計測することを特徴とする前記(1)に記載の計測方法。
(6)圧子を試料表面に押し当てる荷重を連続的に増加させる過程において、試料表面に生じる窪みの表面上での圧痕径を圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場計測を連続的に行うことにより計測される圧痕径と圧子圧入荷重との関係から試料のヤング率、降伏応力、又は加工硬化則の機械的特性を計測することを特徴とする前記(5)に記載の方法。
(7)前記(1)から(6)のいずれかに記載の方法に使用するための装置であって、
被検試料の表面に押し当てるための圧子、該圧子の中心を通る機械的作用軸上で光を透化させることにより圧子を通して圧子表面を観察する光学的手段、圧子を試料表面と接触させるための駆動手段、試料表面における圧子の接触面の画像を撮影する画像撮影手段、画像を記録・解析する記録・解析手段を構成要素として含み、圧子が試料表面に圧入されていく過程で材料表面に形成される接触面を光学的にその場観察し、その画像を記録・解析する機能を有することを特徴とする力学特性計測試験装置。
(8)機械的接触圧子を通して圧子表面を連続的に観察する光学的機構を具備し、試料表面上の圧入すべき位置決めを画像観察によって可能とすると同時に、圧子が試料表面に圧入されていく過程で材料表面に生じる圧痕をその場観察するようにしたことを特徴とする前記(7)に記載の試験装置。
(9)圧子の接触前後で反射率を大きく変化させ、接触面を高精度に検知・計測することを可能にするための照明装置を有することを特徴とする前記(8)に記載の装置。
(10)圧子圧入の負荷荷重の変化と圧痕が形成される過程の動画像を同時に1つの画面で表示するための表示装置を有することを特徴とする前記(9)に記載の試験装置。
圧子を試料表面に押し込む際の負荷荷重と接触面の関係、すなわち、接触応力と圧入歪みの関係は、対象材料及び負荷条件、そして、圧子先端の幾何学的形状によって、一義的に定められる。したがって、圧子圧入の負荷荷重と共に、接触面の寸法を正確に計測することが可能であれば、硬さ、ヤング率、及び降伏応力等の対象材料の物性を定量することが可能となる。本発明は、これを実現することを可能としたものであり、圧子を試料表面に押し当てる荷重を連続的に増加させる過程において、試料表面に生じる窪みの表面上での寸法(接触径)を、圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場計測することをその特徴とするものである。本発明で、内視鏡として使用する装置としては、例えば、小型ビデオカメラやファイバースコープなどが好適なものとして例示されるが、これらと同効の機能を有するものであれば同様に使用することができる。本発明において、圧子としては、例えば、球状、ピラミッド型(四角錐、三角錐)のものが例示される。また、圧子に適当な材質としては、硬度が高く、かつ光透過性を有することが必要があり、例えば、ダイヤモンド、単結晶アルミニウム酸化物(サファイア、ルビー)や、透光性アルミナ多結晶体が、これらの条件に適合する好適な物質として例示される。しかし、本発明は、上記装置、圧子に制限されるものではなく、それらと同等もしくは類似のものであれば同様に使用することができる。
本発明では、圧子の押し込み荷重Pを、圧子と試料表面との接触面積Apro で除した値を、次式に示されるように、硬さH(Meyer硬度と同義)と定義する。
図1に、試験装置の概要を示す。装置は、圧子1、内視鏡(マイクロレンズ付きCCDカメラ)2、荷重伝達型鏡筒3、荷重検出器(ロードセル)4、試料台15、照明装置17、架台(フレーム)6、圧子部を保持し、駆動させる駆動装置5を含む機械部、駆動装置用アンプ7、荷重検出器用アンプ、CCDカメラ制御器9、そして、D/A変換器10、A/D変換器11、画像変換器12、データ信号を増幅・変換して記録及び解析するデータ記録・解析装置13、表示装置14を含むデータ処理部から構成される。本発明で使用される圧子の詳細は、以下の通りである。圧子は、従来の硬さ試験で用いられてきた先端形状のもの、例えば、球状、ピラミッド型(四角錐、三角錐)、円錐型等から選択し、使用することが出来る。ただし、市販されている通常の圧子は、金属製保持治具(シャンク)の先端に固定されており、圧子の機械的作用軸上で光を透化させることは出来ないため、そのままでは、本発明の装置に使用することは出来ない。本発明の装置では、圧子の中心を通る機械的作用軸上で光を透化させることにより光学的な観察が可能となる鏡筒型の保持治具により圧子を支える。また、圧子に適当な材質としては、硬度が高く、かつ光透過性を有することが必要があり、例えば、ダイヤモンド、単結晶アルミナ酸化物(サファイア、ルビー)や、透光性アルミナ多結晶体は、これらの条件に適合する物質として好適に用いられる。
2 内視鏡装置(CCDカメラ)
3 荷重伝達型鏡筒(内部に内視鏡装置(CCDカメラ)を内蔵)
4 荷重検出器(ロードセル)
5 駆動装置(モーションデバイス(ピエゾアクチュエーター))
6 架台(フレーム)
7 駆動装置(ピエゾアクチュエーター)用アンプ
8 荷重検出器(ロードセル)用アンプ
9 CCDカメラ制御器
10 D/A変換器(デジタル・アナログ信号コンバーター)
11 A/D変換器(アナログ・デジタル信号コンバーター)
12 画像変換器(アナログ・デジタルビデオ信号コンバーター)
13 データ記録・解析装置(コンピューター)
14 表示装置(ディスプレイ)
15 XYZ−試料台
16 試料
17 照明装置
Claims (10)
- 圧子を被検試料の表面に所定の荷重で押し当てることにより試料表面に生じる窪みを光学的にその場観察し、圧子と試料表面との接触面の直径、半径、及び/又は面積を計測し、その計測値と圧子を試料表面に押し当てる荷重との関係から試料の物性値を計測することを特徴とする試料の力学特性計測方法。
- 圧子を通して圧子表面を観察することが可能な光学的手段を使用し、圧子を被検試料の表面に所定の荷重で押し当てることにより試料表面に生じる窪みを圧子後方に配置した上記光学的手段により光学的にその場観察することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。
- 試料表面に生じる窪みを圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場観察し、試料の硬さを計測することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。
- 圧子圧入過程で試料表面に生じる窪みの光学的なその場観察を連続的に行うことを特徴とする請求項2又は3に記載の計測方法。
- 圧子を試料表面に押し当てる過程において、試料表面に生じる窪みの表面上での圧痕径を圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場観察し、計測される圧痕径と圧子圧入荷重との関係から試料の機械的特性を計測することを特徴とする請求項1に記載の計測方法。
- 圧子を試料表面に押し当てる荷重を連続的に増加させる過程において、試料表面に生じる窪みの表面上での圧痕径を圧子後方に配置した内視鏡により光学的にその場計測を連続的に行うことにより計測される圧痕径と圧子圧入荷重との関係から試料のヤング率、降伏応力、又は加工硬化則の機械的特性を計測することを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 請求項1から6のいずれかに記載の方法に使用するための装置であって、
被検試料の表面に押し当てるための圧子、該圧子の中心を通る機械的作用軸上で光を透化させることにより圧子を通して圧子表面を観察する光学的手段、圧子を試料表面と接触させるための駆動手段、試料表面における圧子の接触面の画像を撮影する画像撮影手段、画像を記録・解析する記録・解析手段を構成要素として含み、圧子が試料表面に圧入されていく過程で材料表面に形成される接触面を光学的にその場観察し、その画像を記録・解析する機能を有することを特徴とする力学特性計測試験装置。 - 機械的接触圧子を通して圧子表面を連続的に観察する光学的機構を具備し、試料表面上の圧入すべき位置決めを画像観察によって可能とすると同時に、圧子が試料表面に圧入されていく過程で材料表面に生じる圧痕をその場観察するようにしたことを特徴とする請求項7に記載の試験装置。
- 圧子の接触前後で反射率を大きく変化させ、接触面を高精度に検知・計測することを可能にするための照明装置を有することを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 圧子圧入の負荷荷重の変化と圧痕が形成される過程の動画像を同時に1つの画面で表示するための表示装置を有することを特徴とする請求項9に記載の試験装置。
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