JP2017146294A - 圧子透過式試験体表面観察装置、観察方法及び動画像解析・装置制御・特性値演算用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】特定波長の光を透過する透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の前記表面を観察する観察装置であって、前記試験体に荷重を加える加圧手段と、前記荷重を計測する荷重計測手段と、前記加圧手段で荷重を加えている前記試験体の表面を撮像する撮像手段と、を有し、前記撮像手段は、前記透明圧子を透して試験体を撮像し、前記観察は、表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察などであり、前記透明圧子と、前記試験体の表面の隙間には液体が存在しており、前記透明圧子及び前記液体の屈折率は、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに略等しいことを特徴としている。
【選択図】図1
Description
前記試験体に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する荷重計測手段と、
前記加圧手段で荷重を加えている前記試験体の表面を撮像する撮像手段と、を有し、
前記撮像手段は、前記透明圧子を透して試験体を撮像し、
前記観察は、
(1)表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察、
(2)形状記憶合金の機構解明のための観察、
(3)合金開発でのスクリーニングのための観察、
(4)応力誘起変態機構解明のための観察、
(5)表面脆性相の破壊と剥離の観察、
(6)ボールオンディスクスクラッチを模した摩耗特性を把握するための観察、及び
(7)ボールオンディスクスクラッチを模した薄膜密着性評価のための観察
からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
前記透明圧子と、前記試験体の表面の隙間には液体が存在しており、
前記透明圧子及び前記液体の屈折率は、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに略等しいことを特徴とする観察装置。
[3]更に、光学的特性観察手段を備えることを特徴とする[1]又は[2]に記載の観察装置。
[4]更に、前記観察結果に基づいて前記試験体の状態を計測する計測手段を備えることを特徴とする[1]〜[3]のいずれかに記載の観察装置。
[5]前記計測手段は、前記表面の形状が、前記試験体表面が沈み込む形状又は盛り上がる形状である前記試験体の状態を計測することを特徴とする[4]に記載の観察装置。
[6]前記計測手段は、前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の、
位置及び方位を計測することを特徴とする[4]に記載の観察装置。
[7]前記計測手段は、前記透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の、透明圧子の圧入深さ及び/又は透明圧子と試料表面との接触面積を計測することを特徴とする[4]に記載の観察装置。
前記試験体に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する荷重計測手段と、
前記加圧手段で荷重を加えている前記試験体の表面を撮像する撮像手段と、を用いて、
前記透明圧子と、前記試験体の表面の隙間に液体を存在させ、
前記透明圧子及び前記液体の屈折率は、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに略等しいものであり、
前記撮像手段により、前記透明圧子を透して試験体を撮像し、
(1)表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察、
(2)形状記憶合金の機構解明のための観察、
(3)合金開発でのスクリーニングのための観察、
(4)応力誘起変態機構解明のための観察、
(5)表面脆性相の破壊と剥離の観察、
(6)ボールオンディスクスクラッチを模した摩耗特性を把握するための観察、及び
(7)ボールオンディスクスクラッチを模した薄膜密着性評価のための観察
からなる群より選ばれる少なくとも一種を観察することを特徴とする観察方法。
[10]更に、光学的特性観察手段を用いて、前記試験体の光学的特性を観察することを特徴とする[8]又は[9]に記載の観察方法。
[11]更に、前記観察結果に基づいて前記試験体の状態を計測する計測手段を用いて、前記試験体の状態を計測することを特徴とする[8]〜[10]のいずれかに記載の観察方法。
[12]前記計測手段により、前記表面の形状が、前記試験体表面が沈み込む形状又は盛り上がる形状である前記試験体の状態を計測することを特徴とする[11]に記載の観察方法。
[13]前記計測手段により、前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の、
位置及び方位を計測することを特徴とする[11]に記載の観察方法。
[14]前記計測手段により、前記透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の、透明圧子の圧入深さ及び/又は透明圧子と試料表面との接触面積を計測することを特徴とする[11]に記載の観察方法。
[15][1]に記載の観察装置で用いられるプログラムであって、
コンピュータに、
前記撮像手段による前記試験体の表面を撮像するステップと、
撮像した前記試験体の表面の画像に基づき、前記画像解析部による、[5]に記載の前記試験体表面が沈み込む形状又は盛り上がる形状である前記試験体の状態、又は/及び、[6]に記載の前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の位置及び方位、又は/及び、[7]に記載の前記透明圧子と試料表面との接触面積を動画像解析するステップを実行させる動画像解析プログラム。
[16][1]の観察装置で用いられるプログラムであって、
コンピュータに、
ユーザーが入力した各種試験条件を受付けさせるステップと、
受付けた各種試験条件に基づいて精密位置決め装置を駆動させるステップと、
前記精密位置決め手段の駆動を介して、前記加圧手段による、前記透明圧子を用いて前記試験体の表面に加える荷重を制御させるステップを実行させる装置制御プログラム。
[17][1]の観察装置で用いられるプログラムであって、
コンピュータに、
前記撮像手段による前記試験体の表面を撮像するステップと、
撮像した前記試験体の表面の画像に基づき、前記観察装置による、[5]に記載の前記試験体の状態を計測した値と、[6]に記載の前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の位置及び方位と、[7]に記載の前記透明圧子の圧入深さ及び/又は透明圧子と試料表面との接触面積とから前記試験体の特性値を演算するステップを実行させる特性値演算プログラム。
(1)表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察、
(2)形状記憶合金の機構解明のための観察、
(3)合金開発でのスクリーニングのための観察、
(4)応力誘起変態機構解明のための観察、
(5)表面脆性相の破壊と剥離の観察、
(6)ボールオンディスクスクラッチを模した摩耗特性を把握するための観察、
(7)ボールオンディスクスクラッチを模した薄膜密着性評価のための観察、及び
(8)光学的特性観察手法と組み合わせての観察
圧痕径が小さくなることは硬さの増加、すなわちY固溶による強化を意味する。塑性変形が開始する1.0N程度の低い荷重下においても長径(dL)及び短径(ds)はY濃度の増加に伴い減少するにも関わらず、Δdは各組成間で大きな差を示さなかった。
その一方で押し込み荷重の増加に伴うΔdの増加量はY濃度の増加に伴い減少した。結果として押し込み荷重9.8NにおけるΔdはY濃度の増加に伴い減少した。これは、上述のY添加による圧痕形状異方性の減少を意味する。既に述べたように、顕微インデンテーション中に活動した塑性変形機構として、底面すべり及び{10−12}双晶が確認され、{10−12}双晶の活動量はY濃度の増加に伴い減少する。この結果は先行研究とよく一致する。
2 計測制御装置
3 顕微鏡
4 透明圧子
5 試験体
6 情報処理装置
7 ビデオカメラ
8 位置決め装置
9 荷重計測装置
10 入出力I/F
11 画像解析部
12 CPU
13 条件設定部
14 特性値演算部
15 記憶装置
16 装置制御部
17 対物レンズ
18 試験機フレーム
19 透明圧子保持板
20 屈折率調整液
30 鋭角圧子
31 球面圧子
32 集光角
33 半径
Claims (17)
- 特定波長の光を透過する透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の前記表面を観察する観察装置であって、
前記試験体に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する荷重計測手段と、
前記加圧手段で荷重を加えている前記試験体の表面を撮像する撮像手段と、を有し、
前記撮像手段は、前記透明圧子を透して試験体を撮像し、
前記観察は、
(1)表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察、
(2)形状記憶合金の機構解明のための観察、
(3)合金開発でのスクリーニングのための観察、
(4)応力誘起変態機構解明のための観察、
(5)表面脆性相の破壊と剥離の観察、
(6)ボールオンディスクスクラッチを模した摩耗特性を把握するための観察、及び
(7)ボールオンディスクスクラッチを模した薄膜密着性評価のための観察
からなる群より選ばれる少なくとも一種であり、
前記透明圧子と、前記試験体の表面の隙間には液体が存在しており、
前記透明圧子及び前記液体の屈折率は、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに略等しいことを特徴とする観察装置。 - 前記透明圧子の屈折率と、前記液体の屈折率との比の値が、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに、1.0:1.0±0.2であることを特徴とする請求項1に記載の観察装置。
- 更に、光学的特性観察手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の観察装置。
- 更に、前記観察結果に基づいて前記試験体の状態を計測する計測手段を備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の観察装置。
- 前記計測手段は、前記表面の形状が、前記試験体表面が沈み込む形状又は盛り上がる形状である前記試験体の状態を計測することを特徴とする請求項4に記載の観察装置。
- 前記計測手段は、前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の、
位置及び方位を計測することを特徴とする請求項4に記載の観察装置。 - 前記計測手段は、前記透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の、透明圧子の圧入深さ及び/又は透明圧子と試料表面との接触面積を計測することを特徴とする請求項4に記載の観察装置。
- 特定波長の光を透過する透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の前記表面を観察する観察方法であって、
前記試験体に荷重を加える加圧手段と、
前記荷重を計測する荷重計測手段と、
前記加圧手段で荷重を加えている前記試験体の表面を撮像する撮像手段と、を用いて、
前記透明圧子と、前記試験体の表面の隙間に液体を存在させ、
前記透明圧子及び前記液体の屈折率は、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに略等しいものであり、
前記撮像手段により、前記透明圧子を透して試験体を撮像し、
(1)表面の形状、双晶若しくは転位又は/及び亀裂の観察、
(2)形状記憶合金の機構解明のための観察、
(3)合金開発でのスクリーニングのための観察、
(4)応力誘起変態機構解明のための観察、
(5)表面脆性相の破壊と剥離の観察、
(6)ボールオンディスクスクラッチを模した摩耗特性を把握するための観察、及び
(7)ボールオンディスクスクラッチを模した薄膜密着性評価のための観察
からなる群より選ばれる少なくとも一種を観察することを特徴とする観察方法。 - 前記透明圧子の屈折率と、前記液体の屈折率との比の値が、所定の波長の光を用いて25±5℃で測定したときに、1.0:1.0±0.2であることを特徴とする請求項8に記載の観察方法。
- 更に、光学的特性観察手段を用いて、前記試験体の光学的特性を観察することを特徴とする請求項8又は9に記載の観察方法。
- 更に、前記観察結果に基づいて前記試験体の状態を計測する計測手段を用いて、前記試験体の状態を計測することを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載の観察方法。
- 前記計測手段により、前記表面の形状が、前記試験体表面が沈み込む形状又は盛り上がる形状である前記試験体の状態を計測することを特徴とする請求項11に記載の観察方法。
- 前記計測手段により、前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の、
位置及び方位を計測することを特徴とする請求項11に記載の観察方法。 - 前記計測手段により、前記透明圧子を用いて試験体の表面に荷重を加えた際の、透明圧子の圧入深さ及び/又は透明圧子と試料表面との接触面積を計測することを特徴とする請求項11に記載の観察方法。
- 請求項1の観察装置で用いられるプログラムであって、
コンピュータに、
前記撮像手段による前記試験体の表面を撮像するステップと、
撮像した前記試験体の表面の画像に基づき、前記画像解析部による、請求項5に記載の前記試験体表面が沈み込む形状又は盛り上がる形状である前記試験体の状態、又は/及び、請求項6に記載の前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の位置及び方位、又は/及び、請求項7に記載の前記透明圧子と試料表面との接触面積を動画像解析するステップを実行させる動画像解析プログラム。 - 請求項1の観察装置で用いられるプログラムであって、
コンピュータに、
ユーザーが入力した各種試験条件を受付けさせるステップと、
受付けた各種試験条件に基づいて精密位置決め装置を駆動させるステップと、
前記精密位置決め手段の駆動を介して、前記加圧手段による、前記透明圧子を用いて前記試験体の表面に加える荷重を制御させるステップを実行させる装置制御プログラム。 - 請求項1の観察装置で用いられるプログラムであって、
コンピュータに、
前記撮像手段による前記試験体の表面を撮像するステップと、
撮像した前記試験体の表面の画像に基づき、前記観察装置による、請求項5に記載の前記試験体の状態を計測した値と、請求項6に記載の前記双晶若しくは転位又は/及び亀裂の位置及び方位と、請求項7に記載の前記透明圧子の圧入深さ及び/又は透明圧子と試料表面との接触面積とから前記試験体の特性値を演算するステップを実行させる特性値演算プログラム。
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