JP2005194431A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フリップチップ実装を使用した半導体装置のトランスファー成形用の樹脂組成物で、下記(A)〜(D)成分を含有し、(D)成分が、(a)〜(d)の要件を満たす半導体封止用エポキシ樹脂組成物。(A)エポキシ樹脂(B)フェノール樹脂(C)硬化促進剤(D)平均粒径の異なる複数の球状無機フィラーの混合物(a)配線回路基板と半導体素子との隙間高さhμmに対し、(h−10)μm以上hμm以下の範囲の粒径を有する球状無機フィラーの割合をα重量%、全体の平均粒径をRμmとしたとき、α×R/hが0.3重量%以下(b)成型用金型のエアベント用スリットの溝深さより5μm以上大きい粒径を有する球状無機フィラーの割合が、0.5〜70重量%の範囲。(c)平均粒径が2μm以下である球状無機フィラーの割合が、5〜50重量%。(d)最小径から最大径までの粒度が、連続分布している。
【選択図】なし
Description
(A)エポキシ樹脂。
(B)フェノール樹脂。
(C)硬化促進剤。
(D)平均粒径の異なる複数の球状無機フィラーの混合物。
(a)配線回路基板と半導体素子との隙間高さhμmに対し、(h−10)μm以上hμm以下の範囲の粒径を有する球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合をα重量%、球状無機フィラー混合物全体の平均粒径をRμmとしたとき、α×R/hが0.3重量%以下である。
(b)成型用金型のエアベント用スリットの溝深さより5μm以上大きい粒径を有する球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合が、0.5〜70重量%の範囲である。
(c)平均粒径が2μm以下である種類の球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合が、5〜50重量%の範囲である。
(d)最小径から最大径までの粒度が、連続分布している。
(a)配線回路基板と半導体素子との隙間高さhμmに対し、(h−10)μm以上hμm以下の範囲の粒径を有する球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合をα重量%、球状無機フィラー混合物全体の平均粒径をRμmとしたとき、α×R/hが0.3重量%以下である。
(b)成型用金型のエアベント用スリットの溝深さより5μm以上大きい粒径を有する球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合が、0.5〜70重量%の範囲である。
(c)平均粒径が2μm以下である種類の球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合が、5〜50重量%の範囲である。
(d)最小径から最大径までの粒度が、連続分布している。
下記の式(1)で表される繰り返し単位を有するエポキシ樹脂(エポキシ当量170、融点60℃)
フェノールノボラック樹脂(水酸基当量107、融点60℃)
テトラフェニルフォスフィン
各々、下記の表1に示す平均粒径を有する、(i)〜(viii)の球状溶融シリカ粉末
カルナバワックス
カーボンブラック
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
下記の表2〜表4に示す各成分を同表に示す割合で配合し、ミキシングロール機(温度100〜110℃)で5分間溶融混練を行い、その後、この溶融物を冷却固化し、さらに粉砕して、タブレット状に打錠することにより、目的とする粉末状エポキシ樹脂組成物を得た。なお、同表に、無機フィラー混合物全体の平均粒径R(μm)も併記した。
得られたパッケージの、エアベント部にあたる個所のバリの有無を目視により評価した。すなわち、基板からバリのはみ出しがみられたパッケージのショット数が2ショット未満であったものを「OK」と評価した。
半導体素子(チップ)と基板との隙間へのエポキシ樹脂組成物の充填性を、パッケージを分解し、目視により評価した。すなわち、パッケージに未充填部分がみられたもののショット数が2ショット未満であったものを「○」と評価し、パッケージに未充填部分がみられたものが2ショット以上であったものを「×」と評価した。
Claims (2)
- フリップチップ実装を使用した半導体装置のトランスファー成形用の樹脂組成物であって、下記の(A)〜(D)成分を含有し、(D)成分が、下記の(a)〜(d)の要件を満たすことを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
(A)エポキシ樹脂。
(B)フェノール樹脂。
(C)硬化促進剤。
(D)平均粒径の異なる複数の球状無機フィラーの混合物。
(a)配線回路基板と半導体素子との隙間高さhμmに対し、(h−10)μm以上hμm以下の範囲の粒径を有する球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合をα重量%、球状無機フィラー混合物全体の平均粒径をRμmとしたとき、α×R/hが0.3重量%以下である。
(b)成型用金型のエアベント用スリットの溝深さより5μm以上大きい粒径を有する球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合が、0.5〜70重量%の範囲である。
(c)平均粒径が2μm以下である種類の球状無機フィラーの、球状無機フィラー混合物全体に占める割合が、5〜50重量%の範囲である。
(d)最小径から最大径までの粒度が、連続分布している。 - 請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなる半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004003349A JP2005194431A (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
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JP (1) | JP2005194431A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007141843A1 (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-13 | Nitto Denko Corporation | 球状焼結フェライト粒子およびそれを用いた半導体封止用樹脂組成物ならびにそれを用いて得られる半導体装置 |
JP2008274041A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた樹脂封止型半導体装置 |
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2004
- 2004-01-08 JP JP2004003349A patent/JP2005194431A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008274041A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた樹脂封止型半導体装置 |
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