JP2005189116A - 力学量センサ構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第一保持部材2,20と第二保持部材4,10とが、力学量検出部3を挟んで、力学量印加方向に積層されるとともに、第二保持部材4,10が、第一保持部材2,20よりも熱抵抗が低く形成され、かつ温度検出部12が密着して配されたセンサ構造を有することで、力学量検出部3の温度と温度検出部12の温度とを略一致させ、温度検出部12が、自身の温度を力学量検出部3の温度として検出することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
R=d/(k×A)・・・(1)
このとき、kは保持部材固有の熱伝導率であり、Aは第一保持部材をX方向に対して垂直に切断した断面積である。これらは形状によっても変化し、また、複数の部材からなる場合であっても、熱抵抗は、個々の部材の抵抗を合成した合成抵抗として得ることができる。
2 受圧面側絶縁体
3 力学量検出部
4 支持側絶縁体
5 金属端子
6 ワイヤボンディング
10 セラミックスケース
11 ターミナル
12 回路チップ
20 締結部品
30 封止体
100 センサ装置(センサ構造)
Claims (12)
- 第一力学量伝達部材と、
前記第一力学量伝達部材よりも熱抵抗の低い第二力学量伝達部材と、
前記第一力学量伝達部材と前記第二力学量伝達部材とに挟まれて保持され、前記第一力学量伝達部材または前記第二力学量伝達部材を介して印加された力学量に基づいて、電気信号を変化させて出力する力学量検出部と、
前記第二力学量伝達部材に備えられ、前記力学量センサ素子の温度を検出するための温度検出部とを有し、
前記温度検出部が検出した温度に基づいて、前記力学量検出部の出力を補正する補正手段を有することを特徴とする力学量センサ構造。 - 前記第二力学量伝達部材は、前記第一力学量伝達部材よりも熱伝導率の高い材料で形成されてなることを特徴とする請求項1に記載の力学量センサ構造。
- 前記第二力学量伝達部材は、前記第一力学量伝達部材よりも前記力学量印加方向に薄く形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の力学量センサ構造。
- 前記温度検出部を封止し、かつ前記力学量検出部の露出面を覆ってなる封止体を有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の力学量センサ構造。
- 前記封止体はゲル状の封止体であることを特徴とする請求項4に記載の力学量センサ構造。
- 前記補正手段は、前記力学量検出部の出力を補正する補正回路を構成してなるものであり、該補正回路に、温度検出素子を前記温度検出部として有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の力学量センサ構造。
- 前記力学量検出部は、セラミックスと圧力抵抗効果を有する材料とを主材料としてなるものであり、前記第一力学量伝達部材および前記第二力学量伝達部材は、セラミックスを主材料としてなるものであることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の力学量センサ構造。
- 前記力学量検出部および前記第一力学量伝達部材の主材料である前記セラミックスは、ジルコ二アであり、前記第二力学量伝達部材の主材料である前記セラミックスは、アルミナまたは窒化アルミであることを特徴とする請求項7に記載の力学量センサ構造。
- 前記第二力学量伝達部材の前記力学量検出部との密着領域は、ジルコニアを主材料としてなり、かつ前記第一力学量伝達部材よりも薄く形成されてなる密着層を有することを特徴とする請求項7または8に記載の力学量センサ構造。
- 前記圧力抵抗効果を有する材料は、La1−xSrxMnO3(0≦x≦1)であることを特徴とする請求項8ないし9のいずれか1項に記載の力学量センサ構造。
- 前記第二力学量伝達部材は、前記第一力学量伝達部材よりも温度変化が小さい位置に取付けられることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか1項に記載の力学量センサ構造。
- 前記力学量検出部は、印加された圧力に基づいてオーム抵抗が変化し、該オーム抵抗の変化によって荷重検出を可能とするものであり、前記補正手段は、前記温度検出部で検出した温度と前記力学量検出部で検出した検出値とに基づいて荷重を演算し、出力することを特徴とする請求項1ないし11のいずれか1項に記載の力学量センサ構造。
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