JP2005186039A - スリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 製造工程を簡略化すると共に、製造コストを低減することができるスリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】 厚さ方向に貫通する貫通孔2の設けられた基板1を保持する保持テーブル20と、前記基板2の前記保持テーブル20に保持された保持面1bとは反対側の塗布面1aに相対向して液体3が流出されるスリット状のノズル開口41が設けられた塗布ヘッド40とを具備し、前記基板2と前記塗布ヘッド40とを面方向に相対的に移動させることで、前記基板2の前記塗布面1aに液体3を塗布するスリットコート式塗布装置10であって、前記基板1の前記貫通孔2内に前記保持面1b側から前記塗布面1a側に向かって気体を送風する送風手段80を設ける。
【選択図】 図1
【解決手段】 厚さ方向に貫通する貫通孔2の設けられた基板1を保持する保持テーブル20と、前記基板2の前記保持テーブル20に保持された保持面1bとは反対側の塗布面1aに相対向して液体3が流出されるスリット状のノズル開口41が設けられた塗布ヘッド40とを具備し、前記基板2と前記塗布ヘッド40とを面方向に相対的に移動させることで、前記基板2の前記塗布面1aに液体3を塗布するスリットコート式塗布装置10であって、前記基板1の前記貫通孔2内に前記保持面1b側から前記塗布面1a側に向かって気体を送風する送風手段80を設ける。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ノズルの先端から液体を供給し、基板の表面に液体を均一に塗布するスリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法に関する。
半導体ウェハやガラス基板等の基板にレジスト材料や絶縁材料などの液体を塗布する塗布装置として、ノズルの先端から毛細管現象により液体を流出させて、基板の表面に液体を塗布するスリットコート式塗布装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、厚さ方向に貫通する貫通孔が形成された基板の表面に、スリットコート式塗布装置を用いて液体を塗布すると、塗布した液体が貫通孔内に入り込んでしまい、貫通孔の内面や、貫通孔を介して基板の塗布面とは反対側の面などの余分な領域に液体が周り込んでしまうという問題がある。また、このように基板の余分な領域に塗布された液体は、容易に除去することができず、塗布された余分な液体を除去するには作業工程が増えてしまい高コストになってしまうという問題がある。さらに、基板の塗布面とは反対側の面に液体が周り込むと、液体が基板を保持する保持テーブルにも付着してしまい、保持テーブルに新しい基板を保持させた際に、新しい基板の塗布面とは反対側の面にも液体が付着してしまうという問題がある。このため、基板を交換する度に保持テーブルを洗浄するといった作業も必要となるという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑み、製造工程を簡略化すると共に、製造コストを低減することができるスリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法を提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられた基板を保持する保持テーブルと、前記基板の前記保持テーブルに保持された保持面とは反対側の塗布面に相対向して液体が流出されるスリット状のノズル開口が設けられた塗布ヘッドとを具備し、前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、前記基板の前記塗布面に液体を塗布するスリットコート式塗布装置であって、前記基板の前記貫通孔内に前記保持面側から前記塗布面側に向かって気体を送風する送風手段を具備することを特徴とするスリットコート式塗布装置にある。
かかる第1の態様では、基板に設けられた貫通孔に保持面側から塗布面側に向かって気体を送風することで、基板上の貫通孔に対向する領域に液体を塗布させずに基板上に液体を均一な膜厚で塗布することができる。これにより、貫通孔内や基板の保持面側などの余分な領域に液体が周り込むのを防止することができる。また、余分な領域の液体を除去する工程が不要となり、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。
かかる第1の態様では、基板に設けられた貫通孔に保持面側から塗布面側に向かって気体を送風することで、基板上の貫通孔に対向する領域に液体を塗布させずに基板上に液体を均一な膜厚で塗布することができる。これにより、貫通孔内や基板の保持面側などの余分な領域に液体が周り込むのを防止することができる。また、余分な領域の液体を除去する工程が不要となり、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。
本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記保持テーブルの前記貫通孔に対向する領域には、前記送風手段が接続された送風孔が設けられていることを特徴とするスリットコート式塗布装置にある。
かかる第2の態様では、送風手段が送風孔を介して貫通孔内に保持面側から塗布面側に気体を容易に送風することができる。
かかる第2の態様では、送風手段が送風孔を介して貫通孔内に保持面側から塗布面側に気体を容易に送風することができる。
本発明の第3の態様は、第1又は2の態様において、前記保持テーブルには、前記基板の前記保持面を吸引する吸引手段が設けられていることを特徴とするスリットコート式塗布装置にある。
かかる第3の態様では、吸引手段により保持テーブルに基板を容易に保持させることができると共に、基板の塗布面側に基板を保持するための部材等が突出することがなく、基板への液体の塗布を容易に行うことができる。
かかる第3の態様では、吸引手段により保持テーブルに基板を容易に保持させることができると共に、基板の塗布面側に基板を保持するための部材等が突出することがなく、基板への液体の塗布を容易に行うことができる。
本発明の第4の態様は、厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられた基板を保持する保持テーブルと、前記基板の前記保持テーブルに保持された保持面とは反対側の塗布面に相対向して液体が流出されるスリット状のノズル開口が設けられた塗布ヘッドとを具備し、前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、前記基板に液体を塗布するスリットコート式塗布方法であって、前記基板の前記貫通孔内に前記保持面側から前記塗布面側に向かって気体を送風しながら前記塗布面に液体を塗布することを特徴とするスリットコート式塗布方法にある。
かかる第4の態様では、基板に設けられた貫通孔に保持面側から塗布面側に向かって気体を送風することで、基板上の貫通孔に対向する領域に液体を塗布させずに基板上に液体を均一な膜厚で塗布することができる。これにより、貫通孔内や基板の保持面側などの余分な領域に液体が周り込むのを防止することができる。また、余分な領域の液体を除去する工程が不要となり、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。
かかる第4の態様では、基板に設けられた貫通孔に保持面側から塗布面側に向かって気体を送風することで、基板上の貫通孔に対向する領域に液体を塗布させずに基板上に液体を均一な膜厚で塗布することができる。これにより、貫通孔内や基板の保持面側などの余分な領域に液体が周り込むのを防止することができる。また、余分な領域の液体を除去する工程が不要となり、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係るスリットコート式塗布装置の概略構成を示す斜視図であり、図2は、スリットコート式塗布装置の要部断面図である。図1に示すように、スリットコート式塗布装置10は、厚さ方向に貫通した貫通孔2が形成されたシリコンウェハ、半導体基板等の基板1が保持される保持テーブル20と、保持テーブル20の基板1側に設けられた塗布ヘッド40と、塗布ヘッド40に液体3を供給する貯留手段50とを具備する。
図1は、本発明の一実施形態に係るスリットコート式塗布装置の概略構成を示す斜視図であり、図2は、スリットコート式塗布装置の要部断面図である。図1に示すように、スリットコート式塗布装置10は、厚さ方向に貫通した貫通孔2が形成されたシリコンウェハ、半導体基板等の基板1が保持される保持テーブル20と、保持テーブル20の基板1側に設けられた塗布ヘッド40と、塗布ヘッド40に液体3を供給する貯留手段50とを具備する。
保持テーブル20は、鉛直方向下側の面に、基板1の表面の液体3が塗布される塗布面1aが鉛直方向下向きとなるように保持する。この保持テーブル20による基板1の保持方法は、特に限定されないが、例えば、本実施形態では、図2に示すように、真空ポンプ等の吸引ポンプ71と、一端が吸引ポンプ71に接続されて他端が保持テーブル20を厚さ方向に貫通した吸引孔21に連通するように接続された吸引パイプ72とからなる吸引手段70を設け、吸引手段70によって基板1の塗布面1aとは反対側の保持面1bを真空吸引することにより保持するようにした。このように吸引手段70の吸引により基板1を保持テーブル20が保持することで、保持テーブル20に基板1を容易に保持させることができると共に、基板1の塗布面1a側に基板1を保持するための部材等が突出することがなく、基板1への液体3の塗布を容易に行うことができる。
また、保持テーブル20には、基板1の貫通孔2に対向する領域に厚さ方向に貫通する送風孔22が設けられている。また、保持テーブル20の基板1を保持する面とは反対側の面には、送風孔22に連通するように送風手段80が接続されている。この送風手段80は、空気ポンプ等の送風ポンプ81と、一端が送風ポンプ81に接続されて他端が保持テーブル20の送風孔22に連通するように接続された送風パイプ82とで構成されている。この送風手段80は、送風孔22を介して基板1の貫通孔2に保持面1b側から塗布面1a側に向かって気体を送風するようになっている。さらに、保持テーブル20は、例えば、図示しない駆動モータ等のテーブル駆動手段によって基板1の塗布面1aの面方向に位置決め移動自在に設けられている。
一方、保持テーブル20が保持した基板1の塗布面1a側には、塗布面1aに液体3を塗布する塗布ヘッド40と、塗布ヘッド40に供給する液体3を保持する貯留手段50とが設けられている。塗布ヘッド40には、基板1の塗布面1aに相対向する位置に貯留手段50から供給された液体3が流出されるスリット状のノズル開口41が鉛直方向上向きとなるように設けられている。また、塗布ヘッド40内には、液体溜まり部42が設けられており、この液体溜まり部42によって液体3をノズル開口41に亘って均一に充填させている。このような塗布ヘッド40では、液体溜まり部42内に液体3が充填されると、液体溜まり部42内に充填された液体3が毛細管現象によってノズル開口41の先端まで上昇するようになっている。また、ノズル開口41の先端まで上昇した液体3は、その表面張力によってノズル開口41の先端から突出した状態で保持される。なお、塗布ヘッド40は、図示しない装置本体に鉛直方向に移動自在に保持されており、塗布ヘッド40の先端と基板1の塗布面1aとの間隔は、装置本体によって液体3の動粘度や基板1への濡れ性などによって適宜調整されるようになっている。
貯留手段50は、液体3を保持する貯留タンク51と、一端が塗布ヘッド40に接続され、他端が貯留タンク51に接続された供給管52とで構成されており、貯留タンク51の内部に貯留した液体3を供給管52を介して塗布ヘッド40に供給している。このような貯留手段50から供給された液体3は、上述のように塗布ヘッド40のノズル開口41の先端まで毛細管現象によって上昇し、ノズル開口41の先端でその表面張力によって突出した状態で保持される。そして、この突出した液体3に基板1の塗布面1aを接触させて、保持テーブル20を基板1の塗布面1aの面方向に移動することで、ノズル開口41からは液体3が徐々に流出され、液体3を基板1の塗布面1aに均一な厚さで塗布することができる。
ここで、このようなスリットコート式塗布装置10を用いたスリットコート式塗布方法について詳しく説明する。なお、図3及び図4は、スリットコート式塗布方法を示すスリットコート式塗布装置の要部断面図である。図3(a)に示すように、塗布ヘッド40のノズル開口41の先端から液体3を突出させた状態で、塗布ヘッド40と基板1との間隔を所定の間隔まで接近させる。本実施形態では、塗布ヘッド40を保持テーブル20側に移動することで、塗布ヘッド40と基板1との間隔を調整するようにした。なお、塗布ヘッド40を固定し、保持テーブル20を塗布ヘッド40側に移動することで、塗布ヘッド40と基板1との間隔を調整するようにしてもよい。勿論、塗布ヘッド40のノズル開口41の向きを鉛直方向と交差する方向としてもよい。
また、塗布を行う前の待機状態では、ノズル開口41の先端から液体3を完全には突出させないようにして、液体3の乾燥や異物の混入による液体3の増粘を防止するようにしてもよい。このようにノズル開口41の先端から液体3を突出させないようにするには、液体溜まり部42に液体3が充填されないようにすればよい。また、例えば、供給管52に液体3の流量を調整する給水ポンプ等の流量調整手段を設け、この流量調整手段によって液体3を液体溜まり部42に充填する、しないによってノズル開口41の先端から液体3を完全には吐出させない程度突出させる、突出させないの微振動調整をできるようにしてもよい。また、貯留手段50の保持した液体3の液面をノズル開口41の先端に対して鉛直方向に移動させることで、液面が微振動することになり、ノズル開口41の周縁等に乾燥や異物が混入することで発生する液体3の増粘化を防止することができるので、所望の液量の液体3をノズル開口41から吐出することができる。よって、増粘化した液体3がノズル開口41の周縁に付着することがない。特に、待機状態が長い場合に上記液体3の増粘防止のための対策を取ることが好ましい。
次に、図3(b)に示すように、図示しないテーブル駆動手段によって保持テーブル20を基板1の塗布面1aの面方向に移動することで、塗布面1aへの液体3の塗布を開始する。また、同時に、送風手段80から貫通孔2に保持面1b側から塗布面1a側に向かって気体を送風させる。そして、保持テーブル20の移動を続けてノズル開口41が基板1の貫通孔2まで達すると、送風手段80によって貫通孔2に保持面1b側から塗布面1a側に向かって気体が送風されているため、図4(a)及び図2に示すように、ノズル開口41の先端から流出した液体3には、貫通孔2に対向する領域に気体によって押し広げられた空間4が形成される。この空間4によって、液体3が貫通孔2の内面に塗布されるのを防止することができる。そして、保持テーブル20をさらに移動させると、図4(b)に示すように、基板1の貫通孔2に対向する領域に開口するように液体3を塗布することができる。また、塗布された液体3は、その表面張力によって貫通孔2の開口縁部から貫通孔2の内側に流れ込むことがなく、基板1に塗布された液体3の貫通孔2に対向する領域は、開口した状態で保たれる。なお、塗布面1aの全面に液体3を塗布した後、液体3を硬化させるまで、送風手段80が気体を送風し続けるようにしてもよい。また、液体3を硬化させる硬化手段を設けてもよい。硬化手段としては、液体3の種類によって加熱する電熱ヒータや紫外線を照射する紫外線ランプなどが挙げられる。
なお、貫通孔2に保持面1b側から塗布面1a側に向かって送風される気体の風圧は、貫通孔2に対向する領域に、空間4が塗布される液体3の厚さ以上で形成されるようにして、空間4が貫通孔2に対向する領域の液体3に開口するようにするのが好ましい。これは、風圧が弱く空間4が塗布される液体3の厚さ以下で形成されると、空間4が液体3によって覆われてしまい、送風を止めたときに空間4が液体3に押し戻されて貫通孔2内に液体3が進入してしまう虞があるためである。また、逆に風圧が強すぎると、塗布された液体3が波打って基板1の塗布面1aに均一な液体3を塗布することができない。このため、貫通孔2から送風される気体の風圧は、液体3の粘度や液体3の基板1への濡れ性などに応じて適宜調整すればよい。
そして、保持テーブル20を移動して基板1の塗布面1aの全てに液体3を塗布した後、塗布ヘッド40を基板1から離すことで基板1の塗布面1aへの液体3の塗布が終了する。また、塗布が終了した待機状態では、上述した塗布前の待機状態と同様に、液体3がノズル開口41近傍の液体3の液面を微振動させることで、液体3の乾燥や異物の混入による増粘化を防止することができる。なお、塗布前及び塗布後の待機状態では、ノズル開口41をキャップ部材等で塞ぐようにしてもよい。キャップ部材によってノズル開口41を塞ぐことで、ノズル開口41からの液体3の乾燥及び異物の混入を確実に防止することができる。また、塗布が終了した際には、ノズル開口41の先端近傍を例えば、紫外線やプラズマ等の照射により洗浄し、液体3のノズル開口41への濡れ性が劣化するのを防止するようにしてもよい。
このように、貫通孔2を有する基板1であっても、貫通孔2に保持面1b側から塗布面1a側に向かって気体を送風することで、貫通孔2内に液体3が進入するのを防止することができると共に、貫通孔2を介して基板1の保持面1b側に液体3が周り込むのを防止することができる。これにより、貫通孔2内や保持面1bなどの余分な領域の液体3を除去する工程が不要となり、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。また、基板1の保持面1bに液体3が周り込むのを防止することができるため、保持テーブル20にも液体3が付着することがなく、保持テーブル20を洗浄する工程が不要となり、製造工程を簡略化することができると共に製造コストを低減することができる。
なお、本実施形態では、基板1の塗布面1aを鉛直方向下向きとして、塗布ヘッド40のノズル開口41を鉛直方向上向きとしたが、特にこれに限定されず、例えば、塗布ヘッド40のノズル開口41を鉛直方向下向きとして、基板1の塗布面1aを鉛直方向上向きとしてもよい。何れにしても、基板1の貫通孔2に保持面1b側から塗布面1a側に向かって気体を送風しながら、塗布面1aに液体3を塗布することで、貫通孔2内に液体が進入するのを防止することができる。
また、本実施形態では、保持テーブル20を面方向に移動させることで、塗布ヘッド40と保持テーブル20とを塗布面1aの面方向に相対的に移動させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、保持テーブルを固定して、塗布ヘッドを基板1の塗布面1aの面方向に移動させるようにしてもよい。
さらに、本実施形態では、送風手段80を送風パイプ82と送風ポンプ81とで構成し、保持テーブル20に送風パイプ82が接続される送風孔22を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、送風手段として、ファンとファンを回転させる駆動モータ等の駆動手段とを保持テーブルの基板1を保持する面側に設けるようにしてもよい。
また、本実施形態では、基板1に設けられた貫通孔2が厚さ方向に同一内径で形成されているが、特にこれに限定されず、例えば、貫通孔が塗布面側に向かって内径が漸小するように形成されていても、本発明のスリットコート式塗布装置10を用いることで、貫通孔内への液体の進入を防止して、基板の塗布面に液体を均一な厚さで塗布することができる。
さらに、本実施形態では、送風手段80を構成する送風ポンプ81と吸引手段70を構成する吸引ポンプ71とを設けるようにしたが、これに限定されず、送風及び吸引する1つのポンプを設けるようにしてもよい。また、基板1は、平面の塗布面1aを有するものに限定されず、例えば、レンズ等の曲面状の塗布面を有する非平面基板に対しても本発明を実施できることは言うまでもない。
1 基板、1a 塗布面、2 貫通孔 3 液体、10 スリットコート式塗布装置、20 保持テーブル、21 連通孔、22 送風孔、40 塗布ヘッド、41 ノズル開口、50 貯留手段、70 吸引手段、80 送風手段、81 送風ポンプ、82 送風パイプ
Claims (4)
- 厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられた基板を保持する保持テーブルと、前記基板の前記保持テーブルに保持された保持面とは反対側の塗布面に相対向して液体が流出されるスリット状のノズル開口が設けられた塗布ヘッドとを具備し、前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、前記基板の前記塗布面に液体を塗布するスリットコート式塗布装置であって、
前記基板の前記貫通孔内に前記保持面側から前記塗布面側に向かって気体を送風する送風手段を具備することを特徴とするスリットコート式塗布装置。 - 請求項1において、前記保持テーブルの前記貫通孔に対向する領域には、前記送風手段が接続された送風孔が設けられていることを特徴とするスリットコート式塗布装置。
- 請求項1又は2において、前記保持テーブルには、前記基板の前記保持面を吸引する吸引手段が設けられていることを特徴とするスリットコート式塗布装置。
- 厚さ方向に貫通する貫通孔が設けられた基板を保持する保持テーブルと、前記基板の前記保持テーブルに保持された保持面とは反対側の塗布面に相対向して液体が流出されるスリット状のノズル開口が設けられた塗布ヘッドとを具備し、前記基板と前記塗布ヘッドとを面方向に相対的に移動させることで、前記基板に液体を塗布するスリットコート式塗布方法であって、
前記基板の前記貫通孔内に前記保持面側から前記塗布面側に向かって気体を送風しながら前記塗布面に液体を塗布することを特徴とするスリットコート式塗布方法。
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