JP2005175451A - レーザ照射装置並びに半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は前記光学再調整を容易に、かつ短時間で行うことを可能にすることを特徴とする。単数の光学系を用いてレーザビームを平行移動させることによって、レーザビームの位置ずれを修正し、光学系への入射位置を一定に保つことで、全ての光学系を再調整する手間と時間を省略することができる。
【選択図】
図1
Description
本発明の第1の実施の形態について図1を用いて説明する。図1は、平板ガラスを用いて、レーザ発振器から出力されたレーザビームの所定の位置からのずれを修正する例を示している。図1(a)及び(b)に示したレーザ発振器は気体レーザであるエキシマレーザの内部構造を略式に示したものである。エキシマレーザをはじめとする気体レーザはウィンドウやミラー等の部品を内部に有しているが、これらの部品は定期的にクリーニング等のメンテナンス作業を行う必要がある。本実施の形態では、これらメンテナンス作業のために前記部品を取り外し、再度取付けた後に起こるレーザビームの所定の位置からのずれを、平板ガラスを用いて修正する例を示す。
実施の形態2においては、実施の形態1で説明した平板ガラスに加え、レーザビームが所定の位置からのずれてしまう前に前記レーザビームの前記所定の位置を記録し、ずれた後にそのずれを検出するためにCCDカメラを使用する例について図2を用いて説明する。
そして、例えばレーザ発振器のメンテナンス作業後、レーザビームの位置がずれた場合には平板ガラス202を利用して、そのずれを修正する。この時、メンテナンスの前にCCDカメラ203によって得た画像をもとに、レーザビームがどの方向にどれだけずれているかを再度CCDカメラ203を用いて検出した後、適宜、平板ガラス202をレーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として、あるいはそれに加えて、前記レーザビームの進行方向に平行な直線を軸として回転させることによって、元の所定の位置にレーザビームを戻すことが可能になる。
(実施例5)
101b レーザ発振器
102a 共振ミラー
102b 共振ミラー
103a ウィンドウ
103b ウィンドウ
104a Oリング
104b Oリング
105a ウィンドウ
105b ウィンドウ
106a 共振ミラー
106b 共振ミラー
107a 平板ガラス
107b 平板ガラス
108a 光学系
108b 光学系
109a 照射面
109b 照射面
1501 レーザ発振器
1502 ステアリングミラー
1503 ステアリングミラー
1504 CCDカメラ
1505 光学系
1506 照射面
201 レーザ発振器
202 平板ガラス
203 CCDカメラ
204 照射面
301 レーザ発振器
302 平板ガラス
303 シリンドリカルレンズアレイ
304 シリンドリカルレンズアレイ
305 凸シリンドリカルレンズ
306 凸シリンドリカルレンズ
307 ダブレットシリンドリカルレンズ
307a シリンドリカルレンズ
307b シリンドリカルレンズ
308 照射面
3101 本体
3102 支持台
3103 表示部
3601 投射装置
3602 スクリーン
3701 本体
3702 投射装置
3703 ミラー
3704 スクリーン
3801 光源光学系
3802 ミラー
3803 ダイクロイックミラー
3807 プリズム
3808 液晶表示装置
3809 位相差板
3810 投射光学系
3811 リフレクター
3812 光源
3813 レンズアレイ
3815 偏光変換素子
3816 集光レンズ
401 レーザ発振器
402 平板ガラス
403 シリンドリカルレンズアレイ
403 光学系
404 凸シリンドリカルレンズ
405 凸シリンドリカルレンズ
406 光導波路
407 ダブレットレンズ
407a シリンドリカルレンズ
407b シリンドリカルレンズ
408 照射面
700 基板
701 下地膜
702 半導体膜
702 非晶質半導体膜
703 結晶質半導体膜
704 半導体層
705 半導体層
706 半導体層
707 半導体層
708 ゲート絶縁膜
800 基板
801 下地膜
802 非晶質半導体膜
808 ゲート絶縁膜
810 酢酸ニッケル塩溶液
811 結晶質半導体膜
812 酸化膜
813 半導体
814 半導体層
815 半導体層
816 半導体層
817 半導体層
900 基板
9001 本体
9002 音声出力部
9003 音声入力部
9004 表示装置
9005 操作スイッチ
9006 アンテナ
9101 本体
9102 表示装置
9103 音声入力部
9104 操作スイッチ
9105 バッテリー
9106 受像部
920 導電膜
9201 本体
9202 カメラ部
9203 受像部
9204 操作スイッチ
9205 表示装置
921 不純物領域
922 不純物領域
923 不純物領域
924 不純物領域
925 導電層
926 導電層
927 導電層
928 導電層
929 絶縁層
930 絶縁層
931 絶縁層
932 絶縁層
9301 本体
9302 表示装置
9303 アーム部
935 導電層
936 導電層
937 導電層
938 導電層
940 不純物領域
941 不純物領域
942 チャネル形成領域
943 不純物領域
944 不純物領域
945 不純物領域
946 マスク
947 マスク
950 不純物領域
9501 本体
9502 表示装置
9504 記憶媒体
9505 操作スイッチ
9506 アンテナ
951 不純物領域
952 チャネル形成領域
953 不純物領域
954 不純物領域
955 チャネル形成領域
956 マスク
957 マスク
960 導電層
961 導電層
962 導電層
963 導電層
9601 本体
9602 画像入力部
9603 表示装置
9604 キーボード
964 配線
965 配線
966 配線
967 配線
968 配線
969 配線
970 配線
971 配線
9701 本体
9702 表示装置
9703 スピーカ部
9704 記録媒体
9705 操作スイッチ
972 絶縁膜
973 有機絶縁膜
974 絶縁膜
980 Nチャネル型トランジスタ
981 Pチャネル型トランジスタ
982 Nチャネル型トランジスタ
983 Pチャネル型トランジスタ
Claims (28)
- レーザ発振器と、
一つの光学素子により形成されている第1の光学系とを有し、
前記第1の光学系は、前記レーザ発振器から発振されたレーザビームの所定の位置からのずれを前記第1の光学系の前後において前記レーザビームを平行移動させることによって修正し、前記レーザビームを前記所定の位置に保ち、
前記レーザビームの強度分布を照射面において均一にする第2の光学系とを有することを特徴とするレーザ照射装置。 - レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振されたレーザビームの所定の位置の位置を記録し、前記レーザビームの前記所定の位置からのずれを検出する記録機能を有する位置検出手段と、
一つの光学素子により形成されている第1の光学系とを有し、
前記第一の光学系は、前記第1の光学系の前後において前記レーザビームを平行移動させることによって前記ずれを修正し、前記レーザビームを前記所定の位置に保ち、
前記レーザビームの強度分布を照射面において均一にする第2の光学系とを有することを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項1又は2において、前記第1の光学系は、前記レーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として回転することによって前記レーザビームのずれを修正することを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項3において、前記第1の光学系は、前記レーザビームの進行方向に平行な直線を軸として回転することによって前記レーザビームのずれを修正することを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項において、前記第1の光学系は、前記レーザ発振器と前記第2の光学系との間に配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項2乃至5のいずれか1項において、前記位置検出手段は、CCDカメラを有することを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項1乃至6のいずれか1項において、前記レーザ発振器は、連続発振またはパルス発振の気体レーザであることを特徴とするレーザ照射装置。
- レーザ発振器と、
透光性の平行平板とを有し、
前記透光性の平行平板は、前記レーザ発振器から発振されたレーザビームの所定の位置からのずれを前記透光性の平行平板の前後において前記レーザビームを平行移動させることによって修正し、前記レーザビームを前記所定の位置に保ち、
前記レーザビームの強度分布を照射面において均一にする光学系とを有することを特徴とするレーザ照射装置。 - レーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振されたレーザビームの所定の位置を記録し、前記レーザビームの前記所定の位置からのずれを検出する記録機能を有する位置検出手段と、
レーザビームの強度分布を照射面において均一にする光学系
透光性の平行平板とを有し、
前記透光性の平行平板は、前記透光性の平行平板の前後において前記レーザビームを平行移動させることによって前記ずれを修正し、前記レーザビームを前記所定の位置に保つことを特徴とするレーザ照射装置。 - 請求項8又は9において、前記透光性の平行平板は、前記レーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として回転することによって前記レーザビームのずれを修正することを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項10において、前記透光性の平行平板は、前記レーザビームの進行方向に平行な直線を軸として回転することによって前記レーザビームのずれを修正することを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項8乃至11のいずれか1項において、前記透光性の平行平板は、前記レーザ発振器と前記光学系との間に配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項9乃至12のいずれか1項において、前記位置検出手段は、CCDカメラを有することを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項8乃至13のいずれか1項において、前記レーザ発振器は、連続発振またはパルス発振の気体レーザであることを特徴とするレーザ照射装置。
- 請求項8乃至14のいずれか1項において、前記透光性の平行平板は平板ガラスであることを特徴とするレーザ照射装置。
- 基板に非単結晶半導体膜を形成し、
前記非単結晶半導体膜を照射面とするレーザ発振器から発振されたレーザビームを一つの光学素子で構成される第1の光学系により平行移動させ、前記平行移動されたレーザビームの強度分布を第2の光学系により照射面において均一化し、前記第1の光学系は、前記レーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として回転することによって、前記レーザビームの所定の位置からのずれを修正し、レーザアニールすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板に非単結晶半導体膜を形成し、
前記非単結晶半導体膜を照射面とするレーザ発振器より発振されたレーザビームの所定の位置を記録し、前記所定の位置からの前記レーザビームのずれ検出し、一つの光学素子で構成される第1の光学系により前記レーザビームを平行移動させることによって前記レーザビームを前記所定の位置に保ち、前記平行移動されたレーザビームの強度分布を第2の光学系により照射面において均一化し、前記第1の光学系は、前記レーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として回転することによって、前記レーザビームの所定の位置からのずれを修正し、レーザアニールすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項16又は17において、前記第1の光学系は、前記レーザビームの進行方向に平行な直線を軸として回転することによって、前記レーザビームの前記所定の位置からのずれを修正することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項16乃至18のいずれか1項において、前記第1の光学系は、前記レーザ発振器と前記第2の光学系との間に配置されていることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項17乃至19のいずれか1項において、前記レーザビームの所定の位置を記録し、前記所定の位置からの前記レーザビームのずれを検出するためにCCDカメラを用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項16乃至20のいずれか1項において、前記レーザ発振器は、連続発振またはパルス発振の気体レーザであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 基板に非単結晶半導体膜を形成し、
前記非単結晶半導体膜を照射面とするレーザ発振器から発振されたレーザビームを透光性の平行平板により平行移動させ、
前記平行移動されたレーザビームの強度分布を光学系により照射面において均一化し、
前記透光性の平行平板は、前記レーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として回転することによって、前記レーザビームの所定の位置からのずれを修正し、レーザアニールすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板に非単結晶半導体膜を形成し、
前記非単結晶半導体膜を照射面とするレーザ発振器より発振されたレーザビームの所定の位置を記録し、
前記所定の位置からの前記レーザビームのずれを検出し、
透光性の平行平板により前記レーザビームを平行移動させることによって前記レーザビームを前記所定の位置に保ち、
前記平行移動されたレーザビームの強度分布を光学系により照射面において均一化し、
前記透光性の平行平板は、前記レーザビームの進行方向に垂直な直線を軸として回転することによって、前記レーザビームの前記所定の位置からのずれを修正し、レーザアニールすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項22又は23において、前記透光性の平行平板は、前記レーザビームの進行方向に平行な直線を軸として回転することによって、前記レーザビームの前記所定の位置からのずれを修正することを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項22乃至24のいずれか1項において、前記透光性の平行平板は、前記レーザ発振器と前記光学系との間に配置されていることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項23乃至25のいずれか1項において、前記レーザビームの所定の位置を記録し、前記所定の位置からの前記レーザビームのずれを検出するためにCCDカメラを用いることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項22乃至26のいずれか1項において、前記レーザ発振器は、連続発振またはパルス発振の気体レーザであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項22乃至27のいずれか1項において、前記透光性の平行平板は平板ガラスであることを特徴とする半導体装置の作製方法。
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JP2004328464A JP2005175451A (ja) | 2003-11-20 | 2004-11-12 | レーザ照射装置並びに半導体装置の作製方法 |
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- 2004-11-12 JP JP2004328464A patent/JP2005175451A/ja not_active Withdrawn
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