JP2005175363A - 撮像素子検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光学アダプタ保持部1が、プローバ装置の一部であるヘッドプレート2の内側に取り付けられている。そして、光学アダプタ保持部1の内部に、光学アダプタ3が嵌り込んで保持されるようになっている。照明装置9から放出された照明光源は、ヘッドプレート2に取り付けられた光学アダプタ保持部1中の光学アダプタ3を介して撮像素子7を照明する。光学アダプタ3は光学アダプタ保持部1に、人手により取り付けられるので、取り付けに際し、プローバ装置の内部の部品に衝突することもない。メンテナンス時には、照明装置9を後退させる場合でも、プローバ装置との機械的な干渉がないので、特別の配慮をすることなく後退させることができる。
【選択図】 図1
Description
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードに
取り付けられていることを特徴とするもの(請求項3)である。
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードを保持し、前記プローブカードからの配線を前記テスタ部に導くテスタ基板
に取り付けられていることを特徴とするもの(請求項4)である。
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードに
取り付けられていることを特徴とするもの(請求項7)である。
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードを保持し、前記プローブカードからの配線を前記テスタ部に導くテスタ基板
に取り付けられていることを特徴とするもの(請求項8)である。
Claims (8)
- 撮像素子を照明光学系により照明し、前記撮像素子の各画素からの出力を入力して、その結果により前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査装置であって、前記撮像素子を照明する照明装置と、前記撮像素子を保持し、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出す手段を有するプローバ装置と、前記撮像素子の診断を行う機能を有するテスタ部とを有し、前記照明装置から放出される光を、前記撮像素子の仕様に合わせるように変換する光学アダプタを保持する光学アダプタ保持部が前記プローバ装置の内部に取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。
- 請求項1に記載の撮像素子検査装置であって、前記光学アダプタ保持部が、前記プローバ装置の筐体の内部側に取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。
- 請求項1に記載の撮像素子検査装置であって、前記光学アダプタ保持部が、
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードに
取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。 - 請求項1に記載の撮像素子検査装置であって、前記光学アダプタ保持部が、
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードを保持し、前記プローブカードからの配線を前記テスタ部に導くテスタ基板
に取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。 - 撮像素子を照明光学系により照明し、前記撮像素子の各画素からの出力を入力して、その結果により前記撮像素子の検査を行う撮像素子検査装置であって、前記撮像素子を照明する照明装置と、前記撮像素子を保持し、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出す手段を有するプローバ装置と、前記撮像素子の診断を行う機能を有するテスタ部とを有し、前記プローバ装置の筐体の内部に、遮光板又は絞りの少なくとも一方を保持するアダプタ保持部が取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。
- 請求項1に記載の撮像素子検査装置であって、前記アダプタ保持部が、前記プローバ装置の筐体の内部側に取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。
- 請求項1に記載の撮像素子検査装置であって、前記アダプタ保持部が、
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードに
取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。 - 請求項1に記載の撮像素子検査装置であって、前記アダプタ保持部が、
前記プローバ装置の内部に設けられ、前記撮像素子の端子に接触して、前記撮像素子の出力端子部から出力を取り出すプローブピンを保持するプローブカードを保持し、前記プローブカードからの配線を前記テスタ部に導くテスタ基板
に取り付けられていることを特徴とする撮像素子検査装置。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003416417A JP2005175363A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | 撮像素子検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003416417A JP2005175363A (ja) | 2003-12-15 | 2003-12-15 | 撮像素子検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005175363A true JP2005175363A (ja) | 2005-06-30 |
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ID=34735619
Family Applications (1)
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---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2011163821A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Tokyo Electron Ltd | ヘッドプレートの開閉軽減機構及び開閉ロック機構 |
WO2017179836A1 (ko) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | 주식회사 휴로 | Cis 프로브카드 및 그 제작 방법 |
KR20200094770A (ko) * | 2017-12-13 | 2020-08-07 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 검사 장치 |
-
2003
- 2003-12-15 JP JP2003416417A patent/JP2005175363A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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