JP2005175148A - ダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハWの表面側に保護シートPを貼付してウェーハWの表面を保護し、ウェーハWの表面側からダイシングブレード10で保護シートPごとウェーハWを切断して、ウェーハWの表面に研削屑等のコンタミネーションの付着や研削水の回り込みを防止した。また、ダイシング後に保護シートPを自己剥離させるて、個々の小片に切断された保護シートPをウェーハWの表面から容易に取り除くことができるようにした。
【選択図】 図5
Description
Claims (12)
- ウェーハのダイシング方法において、
前記ウェーハの表面側に保護シートを貼付する工程と、
前記ウェーハの裏面にダイシングシートを貼付し、該ダイシングシートを介して前記ウェーハを環状のフレームにマウントする工程と、
前記ウェーハの表面側から前記保護シートごと前記ウェーハをダイシングする工程と、
切断された前記保護シートを自己剥離させる工程と、を有することを特徴とするダイシング方法。 - 前記保護シートごとウェーハをダイシングする工程は、ダイシングブレードを用いて行うことを特徴とする請求項1に記載のダイシング方法。
- 前記保護シートが熱収縮性のシートであることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のダイシング方法。
- 前記保護シートの一方側の面には、紫外線硬化型の粘着剤層又は熱硬化型の粘着剤層が形成されていることを特徴とする、請求項1、2、又は3のうちいずれか1項に記載のダイシング方法。
- 前記保護シートの材質が光を透過する材質であることを特徴とする、請求項1、2、3、又は4のうちいずれか1項に記載のダイシング方法。
- 切断された前記保護シートを加熱することによって、又は切断された前記保護シートに紫外線を照射し次いで前記保護シートを加熱することによって、前記保護シートを自己剥離させることを特徴とする、請求項4、又は請求項5に記載のダイシング方法。
- 前記保護シートごとウェーハを切断する工程では、刃先部に複数の切り欠きが形成されたダイシングブレードを用いることを特徴とする、請求項2、3、4、5、又は6のうちいずれか1項に記載のダイシング方法。
- 前記保護シートごとウェーハを切断する工程では、
刃先部に複数の切り欠きが形成された第1のダイシングブレードを用いて前記保護シートごと前記ウェーハの厚さの途中まで切り込むハーフカット(第1の加工)を行い、
前記第1の加工で切り残された部分を第1のダイシングブレードよりも厚さの薄い第2のダイシングブレードを用いてフルカット(第2の加工)することを特徴とする、請求項2、3、4、5、6、又は7のうちいずれか1項に記載のダイシング方法。 - 前記第1のダイシングブレードを取り付けるスピンドルと、前記第2のダイシングブレードを取り付けるスピンドルとの2本のスピンドルを有するダイシング装置を用い、
前記第2の加工を前記第1の加工に対して僅かな時間差で、又は1ライン或いは複数ライン遅れで、同時に行うことを特徴とする、請求項8に記載のダイシング方法。 - 前記保護シートごとウェーハを切断する工程では、研削水を室温以下の低温にして供給することを特徴とする、請求項2、3、4、5、6、7、8、又は9のうちいずれか1項に記載のダイシング方法。
- ダイシング装置の加工部で前記保護シートごとウェーハをダイシングする工程を行った後、ダイシング装置のスピンナー洗浄部で切断された前記保護シートに熱風を照射して加熱し、前記保護シートを自己剥離させることを特徴とする、請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、又は10のうちいずれか1項に記載のダイシング方法。
- 前記スピンナー洗浄部では、前記自己剥離した保護シートを減圧ダクトで吸引して外部に排出することを特徴とする、請求項11に記載のダイシング方法。
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