JP2005175091A - レジスト剥離装置及び方法、並びにフラットディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板から剥離したレジスト被膜カスが、搬送ローラや装置の底部へ付着滞留することを防止できるレジスト剥離装置及び方法、並びにフラットディスプレイパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】 レジスト剥離装置１は、複数本の搬送ローラ５によってガラス基板３を水平搬送する搬送手段７と、搬送されるガラス基板３の上面に剥離液１３を供給することによってガラス基板３上のレジスト被膜１５を剥離する剥離液供給手段１７とを備える。剥離液供給手段１７は、ガラス基板３の両外側の斜め上方から剥離液１３を吹き付ける第１シャワーノズル１１ａと、基板搬送方向に対して対向する斜め上方から剥離液１３を吹き付ける第２シャワーノズルと、を備える。搬送手段７は、搬送ローラ５が所定幅Ｗに対応するガラス基板３の下面を支持しないように構成された間隙部Ｌを有する。
【選択図】 図４

Description

本発明は、レジスト剥離装置及び方法、並びにフラットディスプレイパネルの製造方法に関する。

従来、プラズマディスプレイパネル、液晶表示装置又は有機ＥＬ表示装置などのフラットディスプレイパネル用基板の保護膜としてエッチング工程等で使用されたレジスト被膜（マスク部材）を基板から剥離・除去するレジスト剥離装置としては、例えば基板（被洗浄基板）１枚ずつに対してレジスト剥離処理を施す枚葉式のレジスト剥離装置のように、シャワー式のレジスト剥離装置がある（例えば、特許文献１参照）。

図１及び図２に示すように、このようなシャワー式のレジスト剥離装置１００では、全体箱状の剥離室１０１が用いられている。
図１中左側における剥離室１０１の前壁１０１ｆの中央部には、表面に付着しているレジスト被膜１０２ａを剥がす被洗浄基板としてのガラス基板１０２を搬入する入口開口部１０３が設けられ、図１中右側における後壁１０１ｒの中央部には、洗浄したガラス基板１０２を搬出する出口開口部１０４が設けられている。

剥離室１０１の内部には、回転軸線をガラス基板１０２の幅方向に向けて所定間隔で配置されることにより、その上に載置されたガラス基板１０２を水平に支承した状態で水平搬送する複数本の搬送ローラ１０５と、搬送ローラ１０５上のガラス基板１０２に向けて剥離液１０７を噴射する複数個のシャワーノズル１０６を備えている。
剥離室１０１の底部１０１ｃには、剥離液１０７や剥離されたレジスト被膜１０２ａのカス１０２ｂ等を外部に排出する排出口１０８が設けられている。

そこで、ガラス基板１０２を入口開口部１０３から剥離室１０１内の搬送ローラ１０５上に搬入し、ガラス基板１０２を搬送ローラ１０５に載置してシャワーノズル１０６から剥離液１０７をガラス基板１０２の上面に向けて噴射する。
これにより、ガラス基板１０２上のレジスト被膜１０２ａは、剥離液１０７によって剥離され、レジスト被膜１０２ａを剥離した剥離液１０７は、カス１０２ｂと共に底部１０１ｃの排出口１０８から排出される。

特開２００１−７０１７号公報

ところが、前述したレジスト剥離装置１００では、剥離液１０７がガラス基板１０２の表面（上面）に略垂直に噴射されるように、搬送されるガラス基板１０２の上方にシャワーノズル１０６が配置されていた。
その為、各シャワーノズル１０６から噴射された剥離液１０７は、図２にも示しているように、ガラス基板１０２の表面に衝突した後、表面上を不規則に多方向に流出し、剥離液１０７の流れによって押し流されたカス１０２ｂが、ガラス基板１０２の両外側に露出している搬送ローラ１０５の外周面に付着する。
そして、搬送ローラ１０５の外周面に付着したカス１０２ｂが、ガラス基板１０２の円滑な搬送を妨げたり、ガラス基板１０２の走行を蛇行させて、安定したレジスト剥離処理を困難にするという問題が一例として挙げられる。

また、ガラス基板１０２に衝突して、ガラス基板１０２上を不規則に多方向に流れた剥離液１０７は、ガラス基板１０２の外周縁から剥離室１０１の底部１０１ｃに流下し、底部１０１ｃの傾斜に沿って排出口１０８に向かって流れるが、底部１０１ｃの広域に分散して流下するため流れが弱く、底部１０１ｃに落ちたカス１０２ｂが速やかに排出口１０８に流れず、滞留によって大きなカス１０２ｂの塊に成長して、排出口１０８の詰まり等を招く可能性があるという問題も一例として挙げられる。

請求項１に記載の発明は、複数本の搬送ローラによって被洗浄基板を水平搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって搬送される被洗浄基板の上面に剥離液を供給することによって前記被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離する剥離液供給手段と、を備えるレジスト剥離装置であって、前記剥離液供給手段は、前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が、該被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下するように、前記剥離液を前記被洗浄基板の上面に供給すると共に、前記搬送手段は、前記搬送ローラが少なくとも前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持しないように構成された間隙部を有することを特徴とする。

又、請求項８に記載の発明は、複数本の搬送ローラによって水平搬送される被洗浄基板の上面に剥離液を供給することにより、前記被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離するレジスト剥離方法であって、前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が該被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下するように、前記剥離液を前記被洗浄基板の上面に供給すると共に、前記搬送ローラが少なくとも前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持せずに前記被洗浄基板を水平搬送することを特徴とする。

又、請求項９に記載の発明は、請求項１に記載のレジスト剥離装置を用いて、前記被洗浄基板としてのフラットディスプレイパネル用基板上のレジスト被膜を剥離することを特徴とする。

本発明に係わるレジスト剥離装置及び方法、並びにフラットディスプレイパネルの製造方法の実施の形態について説明する。
本発明のレジスト剥離装置は、複数本の搬送ローラによって被洗浄基板を水平搬送する搬送手段と、前記搬送手段によって搬送される被洗浄基板の上面に剥離液を供給することによって前記被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離する剥離液供給手段と、を備える。
前記剥離液供給手段は、前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が、該被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下するように、前記剥離液を前記被洗浄基板の上面に供給すると共に、前記搬送手段は、前記搬送ローラが少なくとも前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持しないように構成された間隙部を有する。
尚、前記間隙部の間隔は、被洗浄基板の搬送に影響を与えない間隔に適宜設定される。

又、本発明のレジスト剥離方法は、複数本の搬送ローラによって水平搬送される被洗浄基板の上面に剥離液を供給することにより、前記被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離する。前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が該被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下するように、前記剥離液を前記被洗浄基板の上面に供給すると共に、前記搬送ローラが少なくとも前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持せずに前記被洗浄基板を水平搬送する。

即ち、搬送手段の搬送ローラによって水平搬送される被洗浄基板の上面に供給された剥離液は一定方向の流れとなるので、不規則に基板上を多方向に拡散することがなく、被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下する。
そして、各搬送ローラは、前記所定幅に対応する被洗浄基板の下面を支持せずに前記被洗浄基板を水平搬送するので、該被洗浄基板から流下する剥離液によって押し流されたレジスト被膜カスは間隙部を通って流下し、搬送ローラの外周面に付着することがない。

そこで、被洗浄基板から剥離したレジスト被膜カスが、搬送ローラに付着滞留するのを防止でき、レジスト被膜カスを取り除くメンテナンスの実施頻度を抑えても、被洗浄基板の蛇行や排出口の詰まり等が発生せず、安定したレジスト剥離処理をより長期に渡って連続実施することができる。
従って、メンテナンスコストの軽減による処理コストの低減や、装置稼働率の向上による生産性の向上を図ることができる。

又、前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が、該被洗浄基板の両外側から幅方向の例えば中間部における所定幅内に向かうように、前記被洗浄基板の両外側の斜め上方から前記剥離液を供給する第１ノズルと、前記第１ノズルによる供給によって前記被洗浄基板の幅方向の例えば中間部における所定幅内に集まった剥離液を基板搬送方向における基板端後端縁から流下させるように、基板搬送方向に対して対向する斜め上方から前記剥離液を供給する第２ノズルと、を備えた剥離液供給手段によって、供給した剥離液及び剥離したレジスト被膜カスを被洗浄基板の幅方向の例えば中間部における所定幅内に集めると共に、集めた剥離液及びレジスト被膜カスを基板搬送方向における基板後端縁から流下させる。
即ち、剥離液の供給方向を違えた２種のノズルを設けるという単純な構成でありながら、剥離液及び剥離したレジスト被膜カスが不規則に多方向に分散することを防止でき、剥離液及び剥離したレジスト被膜カスの効率的な排出・回収を実現することができる。

更に、前記各搬送ローラが、前記被洗浄基板の下面における両側縁部をそれぞれ支持すると共に、互いに対向する内端部相互間に前記所定幅に対応する間隙部を有する一対の片持ちローラにより構成されることによって、前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持しないように構成された間隙部を有する搬送手段を容易に構成することができる。

更に、前記所定幅が、前記被洗浄基板の幅方向における中央部に設定されていることによって、前記被洗浄基板の上面に剥離液を供給する剥離液供給手段及び前記被洗浄基板を搬送する搬送手段を被洗浄基板の幅方向における中心に対して略線対称に設ければよく、これらの配備が容易になると共に、被洗浄基板の搬送安定性の向上が容易になる。

更に、前記各搬送ローラが、搬送する前記被洗浄基板の幅方向の移動を規制するガイド部を備えることによって、搬送中の被洗浄基板の蛇行を防ぐことができる。
又、前記ガイド部が、前記第１ノズルによって剥離液が供給される前記被洗浄基板上の供給範囲よりも外側に設けられることにより、剥離液に押し流されたレジスト被膜カスが各搬送ローラの外側部分に付着するのを防止できる。

更に、前記搬送手段の下方を覆う装置底部には、前記所定幅に対応する部分の真下に、流下した剥離液を排水口に誘導する排水溝が設けられることによって、基板搬送方向における基板後端縁から流下した剥離液及び剥離したレジスト被膜カスが、その下方の装置底部に設けた排水溝によって、分散することなく排出口まで集中した一条の流れとなって円滑に誘導される。
従って、流れの分散によって装置底部にレジスト被膜カスが滞留・付着することがなく、滞留によってレジスト被膜カスが大きなカスの塊に成長して、排出口の詰まり等を招くことを防止できる。

また、本発明のフラットディスプレイパネルの製造方法は、請求項１に記載のレジスト剥離装置を用いて、前記被洗浄基板としてのフラットディスプレイパネル用基板上のレジスト被膜を剥離する。
即ち、洗浄時のフラットディスプレイパネル用基板から剥離したレジスト被膜カスが、搬送ローラに付着滞留するのを防止でき、レジスト被膜カスを取り除くメンテナンスの実施頻度を抑えても、フラットディスプレイパネル用基板の蛇行や排出口の詰まり等が発生せず、安定したレジスト剥離処理をより長期に渡って連続実施することができる。
従って、フラットディスプレイパネル製造時のメンテナンスコストの軽減による製造コストの低減や、装置稼働率の向上によるフラットディスプレイパネルの生産性の向上を図ることができる。

以下、添付図面に基づいて本発明の一実施例に係るレジスト剥離装置及び方法をフラットディスプレイパネルの製造方法を例に詳細に説明する。
図３乃至図５に示すように、本実施例のレジスト剥離装置１は、回転軸線をフラットディスプレイパネル用基板としてのガラス基板（被洗浄基板）３の幅方向に向けて所定間隔で配置された複数本の搬送ローラ５によってガラス基板３を図３の矢印（Ａ）方向に水平搬送する搬送手段７と、該搬送手段７によって搬送されるガラス基板３の上面に剥離液１３を供給することによって前記ガラス基板３上のレジスト被膜１５を剥離する剥離液供給手段１７と、これら搬送手段７及び剥離液供給手段１７の周囲を囲って剥離室１９を区画形成した全体箱状の装置枠体２１とを備えている。

搬送手段７の基板搬送方向（矢印（Ａ）方向）の上流側（図３中左側）に位置する装置枠体２１の前壁２１ａには、搬送手段７にガラス基板３を搬入するための入口開口部２１ｂが設けられており、基板搬送方向の下流側（図３中右側）に位置する装置枠体２１の後壁２１ｃには、剥離処理済みのガラス基板３を搬出するための出口開口部２１ｄが設けられている。
また、搬送手段７の下方を覆う装置枠体２１の底部（装置底部）２１ｅには、搬送するガラス基板３の幅方向の中央部における所定幅Ｗに対応して溝幅を設定した排水溝２１ｆが設けられている。この排水溝２１ｆは、基板搬送方向に沿って延在しており、搬送ローラ５上のガラス基板３の後端縁（基板搬送方向における下流側の基板端縁）から流下する剥離液１３を受けて、受けた剥離液１３を排出口２１ｇに誘導する。

本実施例の剥離液供給手段１７は、ガラス基板３の上面に吹き付けた剥離液１３がガラス基板３の幅方向の中央部における所定幅Ｗ内に集まって後端縁から底部２１ｅに流下するように、第１供給管１１における第１シャワーノズル（第１ノズル）１１ａの噴射方向と、第２供給管１２における第２シャワーノズル（第２ノズル）１２ａの噴射方向と、を設定している。
また、搬送ローラ５は、ガラス基板３から流下する剥離液１３がガラス基板３を支持するローラ外周面に付着しないように、前記所定幅Ｗに対応するガラス基板３の下面を支持せずにガラス基板３を水平搬送する構造としている。

以下、剥離液供給手段１７及び搬送ローラ５について詳述する。
本実施例の剥離液供給手段１７における各第１シャワーノズル１１ａは、図４及び図５に示したように、搬送ローラ５によって搬送されるガラス基板３の上面に吹き付けた剥離液１３が、該ガラス基板３の幅方向の中央部における所定幅Ｗ内に集まるように、剥離液１３をガラス基板３の両側の斜め上方から吹き付ける。

又、図３及び図５に示したように、本実施例の剥離液供給手段１７における各第２シャワーノズル１２ａは、前記第１シャワーノズル１１ａによる吹き付けによってガラス基板３上の幅方向の中央部における所定幅Ｗ内に集まった剥離液１３を後端縁から流下させるように、剥離液１３を基板搬送方向（図中右方向）に対して対向する斜め上方から吹き付ける。

図５において、矢印（Ｂ）は、ガラス基板３の上面に吹き付けられた剥離液１３及び剥離液１３の吹き付けで剥離したレジスト被膜カスが、流れる方向を図示している。
即ち、吹き付けられた剥離液１３及び剥離したレジスト被膜カスは、ガラス基板３の中央部における所定幅Ｗ内に集まって基板中央部を後端縁に向かって流れ、該後端縁の幅方向の中央部から底部２１ｅに流下する。

図４に示すように、搬送手段７の下方を覆う底部２１ｅの排水溝２１ｆは、基板両側の第１シャワーノズル１１ａによって吹き付けた剥離液１３が集まるガラス基板３の中央部における所定幅Ｗの直下に位置している。
そこで、第１シャワーノズル１１ａ及び第２シャワーノズル１２ａによる剥離液１３の吹き付けによってガラス基板３の後端縁の幅方向中央部から流下する剥離液１３は、殆どが排水溝２１ｆに流れ込み、排水溝２１ｆの連通接続された排出口２１ｇから排出される。

尚、第１及び第２シャワーノズル１１ａ，１２ａからガラス基板３に吹き付けた剥離液１３が、ガラス基板３の上面を適度な速度で流動するためには、剥離液１３を噴射する各第１及び第２シャワーノズル１１ａ，１２ａの噴射角度が、噴射方向とガラス基板３の上面との間の挟角が４５°以下となるように設定することが望ましい。

本実施例の各搬送ローラ５は、図４及び図５に示すように、ガラス基板３の下面における両側縁部をそれぞれ支持すると共に、互いに対向する内端部相互間に前記所定幅Ｗに対応する間隙部Ｌを有する一対の片持ちローラ５ａ，５ｂにより構成されており、それぞれ図示略の駆動機構により所定速度で回転駆動される。
そこで、互いに対向する片持ちローラ５ａ，５ｂの内端部相互間の間隙部Ｌは、前記所定幅Ｗに対してＬ≧Ｗを満たすように設定されており、これにより各搬送ローラ５が前記所定幅Ｗに対応するガラス基板３の下面を支持せずにガラス基板３を水平搬送する構造を達成している。

尚、間隙部Ｌの間隔は、レジスト被膜カスを効率良く流下させる為には広い方がよいが、ガラス基板３に撓みが生じて搬送に影響を与えない程度の間隔に適宜設定する必要がある。例えば、被洗浄基板の材質等にもよるが、厚さ：１．８ｍｍ、幅：１１５０ｍｍのガラス基板では６０ｃｍ程度が望ましい。
そこで、間隙部Ｌの間隔は、被洗浄基板の材質、厚さ及び幅等に応じて、適正値に設定される。

又、前記各搬送ローラ５は、搬送するガラス基板３の幅方向の移動を規制するフランジ状のガイド部２７を備えている。本実施例の場合、ガイド部２７は、各片持ちローラ５ａ，５ｂのローラ外周面に一体に突設された円板状のフランジである。
更に、前記ガイド部２７は、図４に示すように、搬送されるガラス基板３の両側の斜め上方に設けた各第１シャワーノズル１１ａにより噴射供給される剥離液１３のガラス基板３上の供給範囲Ｓよりも、外側に設けられている。

即ち、上述した本実施例のレジスト剥離装置１によれば、搬送手段７の各搬送ローラ５によって水平搬送されるガラス基板３の上面に供給された剥離液１３は、一定方向の流れとなるので不規則に基板上を多方向に拡散することがなく、ガラス基板３の幅方向の中央部における所定幅Ｗ内に集まってガラス基板３の後端縁から流下する。
そして、各搬送ローラ５は、前記所定幅Ｗに対応するガラス基板３の下面を支持せずにガラス基板３を水平搬送し、剥離液１３によって押し流されたレジスト被膜カスは片持ちローラ５ａ，５ｂの内端部相互間の間隙部Ｌ（搬送ローラが存在しない部分）を通って流下するので、搬送ローラ５の外周面に付着することがない。

そこで、ガラス基板３から剥離したレジスト被膜カスが、搬送ローラ５に付着滞留するのを防止でき、レジスト被膜カスを取り除くメンテナンスの実施頻度を抑えても、ガラス基板３の蛇行や排出口２１ｇの詰まり等が発生せず、安定したレジスト剥離処理をより長期に渡って連続実施することができる。
従って、メンテナンスコストの軽減による処理コストの低減や、装置稼働率の向上による生産性の向上を図ることができる。

又、上記実施例の剥離液供給手段１７は、ガラス基板３の両外側の斜め上方から剥離液１３を吹き付ける第１シャワーノズル１１ａと、基板搬送方向に対して対向する斜め上方から剥離液１３を吹き付ける第２シャワーノズル１２ａと、を設けるという単純な構成でありながら、剥離液１３及び剥離したレジスト被膜カスの効率的な排出・回収を実現することができる。

更に、前記各搬送ローラ５が、ガラス基板３の下面における両側縁部をそれぞれ支持すると共に、互いに対向する内端部相互間に前記所定幅Ｗに対応する間隙部Ｌを有する一対の片持ちローラ５ａ，５ｂにより構成されることによって、前記所定幅Ｗに対応するガラス基板３の下面を支持しないように構成された間隙部を有する搬送手段７を容易に構成することができる。

更に、前記所定幅Ｗが、ガラス基板３の幅方向における中央部に設定されることによって、ガラス基板３の上面に剥離液１３を供給する剥離液供給手段１７及びガラス基板３を搬送する搬送手段７をガラス基板３の幅方向における中心に対して略線対称に設ければよく、これらの配備が容易になると共に、ガラス基板３の搬送安定性の向上が容易になる。

更に、前記各搬送ローラ５が、搬送するガラス基板３の幅方向の移動を規制するガイド部２７を備えることによって、搬送中のガラス基板３の蛇行を防ぐことができる。
又、前記ガイド部２７は、前記第１シャワーノズル１１ａにより噴射供給される剥離液１３のガラス基板３上の供給範囲Ｓよりも、外側に設けられることによって、剥離液１３に押し流されたレジスト被膜カスが各搬送ローラ５の外側部分に付着するのを防止できる。

更に、搬送手段７の下方を覆う底部２１ｅには、前記所定幅Ｗに対応する部分の真下に、流下した剥離液１３を排水口２１ｇに誘導する排水溝２１ｆが設けられることによって、搬送中のガラス基板３の後端縁から流下した剥離液１３及び剥離したレジスト被膜カスが、その下方の底部２１ｅに設けた排水溝２１ｆによって、分散することなく排出口２１ｆまで集中した一条の流れとなって円滑に誘導される。

従って、流れの分散によって底部２１ｅにレジスト被膜カスが滞留・付着することがなく、滞留によってレジスト被膜カスが大きなカスの塊に成長して、排出口２１ｇの詰まり等を招くことを防止できる。
即ち、フラットディスプレイパネル用基板としてのガラス基板３から剥離したレジスト被膜カスが、搬送ローラ５に付着滞留するのを防止でき、レジスト被膜カスを取り除くメンテナンスの実施頻度を抑えても、ガラス基板３の蛇行や排出口の詰まり等が発生せず、安定したレジスト剥離処理をより長期に渡って連続実施することができるので、フラットディスプレイパネル製造時のメンテナンスコストの軽減による製造コストの低減や、装置稼働率の向上によるフラットディスプレイパネルの生産性の向上を図ることができる。

なお、本発明に係るレジスト剥離装置及び方法、並びにフラットディスプレイパネルの製造方法において、ガラス基板３の上面に吹き付けた剥離液１３をガラス基板３上の幅方向の所定幅Ｗ内に集める場合の範囲は、上記実施例で示した中央部に限定するものではない。
例えば、ガラス基板３の幅方向中心から適宜距離だけ一方の側に偏心した位置或いは一側縁部に、剥離液１３を所定幅Ｗ内に集中させる範囲を設定することも可能であり、ガラス基板３の搬送方向に沿った両側縁の間である幅方向の一部分であれば何処でも良い。

また、本発明のレジスト剥離装置における搬送ローラ、搬送手段、剥離液供給手段及び間隙部などの構成は、上記実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の形態を採りうることは勿論である。
更に、本発明のレジスト剥離装置で処理する被洗浄基板は、例えばプラズマディスプレイパネル、液晶表示装置又は有機ＥＬ表示装置などに使用されるフラットディスプレイパネル用基板に限るものではなく、平板状の基板表面に形成したレジスト被膜を後で剥離処理する各種の被洗浄基板を処理対象とすることができる。

従来のレジスト剥離装置の縦断面図である。 図１のII−II線に沿う断面図である。 本発明の一実施例に係るレジスト剥離装置の縦断面図である。 図３のIV−IV線に沿う断面矢視図である。 図３のＶ−Ｖ線に沿う断面矢視図である。

符号の説明

１ レジスト剥離装置
３ ガラス基板（被洗浄基板）
５ 搬送ローラ
５ａ 片持ちローラ
５ｂ 片持ちローラ
７ 搬送手段
１１ａ 第１シャワーノズル（第１ノズル）
１２ａ 第２シャワーノズル（第２ノズル）
１３ 剥離液
１５ レジスト被膜
１７ 剥離液供給手段
２１ｅ 底部
２１ｆ 排水溝
２１ｇ 排出口
２７ ガイド部
Ｌ 間隙部
Ｗ 所定幅
Ｓ 供給範囲

Claims (9)

1. 複数本の搬送ローラによって被洗浄基板を水平搬送する搬送手段と、
   前記搬送手段によって搬送される被洗浄基板の上面に剥離液を供給することによって前記被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離する剥離液供給手段と、を備えるレジスト剥離装置であって、
   前記剥離液供給手段は、前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が、該被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下するように、前記剥離液を前記被洗浄基板の上面に供給すると共に、
   前記搬送手段は、前記搬送ローラが少なくとも前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持しないように構成された間隙部を有することを特徴とするレジスト剥離装置。
2. 前記剥離液供給手段は、前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が、該被洗浄基板の両外側から幅方向の中間部における所定幅内に向かうように、前記被洗浄基板の両外側の斜め上方から前記剥離液を供給する第１ノズルと、
   前記第１ノズルによる供給によって前記被洗浄基板の幅方向の中間部における所定幅内に集まった剥離液を基板搬送方向における基板後端縁から流下させるように、基板搬送方向に対して対向する斜め上方から前記剥離液を供給する第２ノズルと、
   を備えたことを特徴とする請求項１に記載のレジスト剥離装置。
3. 前記各搬送ローラが、前記被洗浄基板の下面における両側縁部をそれぞれ支持すると共に、互いに対向する内端部相互間に前記所定幅に対応する間隙部を有する一対の片持ちローラにより構成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のレジスト剥離装置。
4. 前記所定幅が、前記被洗浄基板の幅方向における中央部に設定されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のレジスト剥離装置。
   剥離装置。
5. 前記各搬送ローラが、搬送する前記被洗浄基板の幅方向の移動を規制するガイド部を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のレジスト剥離装置。
   剥離装置。
6. 前記ガイド部が、前記第１ノズルによって剥離液が供給される前記被洗浄基板上の供給範囲よりも外側に設けられることを特徴とする請求項５に記載のレジスト剥離装置。
7. 前記搬送手段の下方を覆う装置底部には、前記所定幅に対応する部分の真下に、流下した剥離液を排水口に誘導する排水溝が設けられることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載のレジスト剥離装置。
8. 複数本の搬送ローラによって水平搬送される被洗浄基板の上面に剥離液を供給することにより、前記被洗浄基板上のレジスト被膜を剥離するレジスト剥離方法であって、
   前記被洗浄基板の上面に供給した剥離液が該被洗浄基板の幅方向の所定幅内に集まって基板搬送方向における基板後端縁から流下するように、前記剥離液を前記被洗浄基板の上面に供給すると共に、
   前記搬送ローラが少なくとも前記所定幅に対応する前記被洗浄基板の下面を支持せずに前記被洗浄基板を水平搬送することを特徴とするレジスト剥離方法。
9. 請求項１に記載のレジスト剥離装置を用いて、前記被洗浄基板としてのフラットディスプレイパネル用基板上のレジスト被膜を剥離することを特徴とするフラットディスプレイパネルの製造方法。