KR101927536B1 - 기판처리장치 및 기판처리방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 평류의 기판 반송로상에서 피처리 기판에 공급한 제1 처리액을 분별 회수하여 제2 처리액으로 치환하는 동작을 효율적이고 원활하게 행하여, 현상반의 발생을 억제한다.
[해결 수단] 피처리 기판(G)에 제1 처리액(D)을 공급하는 제1 처리액 공급수단(9)과, 상기 제1 처리액이 액상으로 모인 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 가스류를 내뿜는 기체 공급수단(21)과, 상기 피처리 기판의 기판면에 대해 상기 제2 처리액(S)을 토출하는 제2 린스 수단(23)과, 상기 기체 공급수단과 상기 제2 린스 수단의 사이에 마련되어, 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어진 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 제1 린스 수단(22)과, 상기 기판 반송로상에 있어서, 상기 제1 린스 수단에 의해 공급된 제2 처리액에 의해서, 기판폭 방향으로 뻗는 액 고임부를 형성하는 액 고임 형성 수단(27)을 구비한다.

Description

기판처리장치 및 기판처리방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}

본 발명은, 피처리 기판을 평류(平流) 방식에 의해 반송하면서 액처리를 행하는 기판처리기술과 관한 것으로, 특히 평류의 기판 반송로상에서 피처리 기판에 공급한 제1 처리액을 분별 회수하여 제2 처리액으로 치환하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.

예를 들면, FPD(플랫 패널 디스플레이)의 제조에 사용되는 레지스트 도포 현상 처리 시스템에 있어서는, 유리 기판의 대형화에 유리하게 대응할 수 있는 방식으로서, 롤러를 수평방향으로 부설(敷設)한 반송로상에서 기판을 반송하는, 이른바 평류 방식이 보급되어 있다. 이 평류 방식으로는, 기판을 수평방향으로 반송하면서 현상, 린스, 건조 등의 일련의 현상 처리 공정을 행하는 것으로, 기판을 회전운동시키는 스피너 방식과 비교해서, 대형 기판의 취급이 간단하고, 미스트의 발생 내지 기판으로의 재부착이 적다는 등의 이점이 있다.

그러나, 상기 평류 방식에 의한 현상 처리 공정에 있어서는, 기판상의 현상액을 린스액(일반적으로 순수)으로 치환할 때, 현상액을 제거하고 나서 린스액이 공급될 때까지의 시간이 너무 길면, 기판 표면내에 있어서의 외관상의 상이(현상반(現像斑)이라고 부른다)가 발생한다고 하는 과제가 있었다.

그러한 과제에 대해서, 본원 출원인은, 기판에 액상으로 모인 현상액을 제거하고, 린스액으로 치환하는 린스부에 있어서, 메인의 린스 노즐의 직전에 프레린스(pre-rinse) 노즐을 배치한 구성을 특허문헌 1에 개시하였다.

도 12에, 특허문헌 1에 개시한 린스부(200)의 구성을 나타낸다. 아울러, 도 12(a)는 린스부(200)의 평면도이고, 도 12(b)는 그 측면도이다.

도시하는 린스부(200)의 구성에 있어서, 복수의 롤러(201)가 부설된 산 형상의 반송로(202)가 마련되어 있다. 전단(前段) 처리에 있어서 현상액(D)이 액상으로 모인 기판(G)이 편평한 반송로(202)의 구간(N1)으로부터 점차 상향 경사면으로 되는 구간(N2)을 반송되면, 기판(G)상의 현상액(D)은 후방(반송 방향 상류)으로 흘러 떨어진다. 또한, 구간(N2)의 후부 부근에 마련된 에어 노즐(203)에 의해서 기판상에 커튼 형상의 에어가 내뿜어지고, 그 내뿜기 위치에서 현상액(D)이 저지되기 때문에, 그 위치로부터 전방으로 나아가는 기판상에서는 현상액(D)이 거의 제거된다.

또한, 린스액 공급 노즐(205)보다 상류측에는, 프레린스 노즐(204)이 마련되어 있으며, 도 13에 나타내는 바와 같이 에어 노즐(203)에 의해서 현상액(D)이 제거된 기판면에 즉시 린스액(S)이 공급되고, 기판면이 건조됨에 의한 현상반의 발생이 억제되도록 되어 있다.

그리고, 기판(G)이 산 형상인 반송로(202)를 내려가는 구간(N3)에 들어가면, 상방에 배치된 기판폭 방향으로 뻗는 린스액 공급 노즐(205)로부터 린스액(S)이 기판(G)상에 공급되어, 기판(G)이 구간(N3, N4)을 통과하는 사이에 현상액(D)이 완전히 린스액(S)으로 치환되도록 구성되어 있다.

특허문헌 1 : 일본국 공개특허 2010-199150호 공보

상기한 바와 같이 기판(G)상에 있어서 현상액(D)이 제거된 영역은, 즉시 프레린스 노즐(204)로부터 공급되는 린스액(S)으로 덮이고, 이어서, 린스액 공급 노즐(205)로부터 공급되는 린스액(S)에 의해서 액이 모인다. 이 때문에, 기판면의 건조에 따른 현상반의 발생은, 대략 전체면에 걸쳐서 억제할 수 있다.

그러나, 도 14에 나타내는 바와 같이, 기판(G)에 있어서 최초로 에어 노즐(203)에 의해 현상액(D)이 제거되는 선단부 영역(G1)에 있어서는, 기판 선단이 프레린스 노즐(204)의 직하(토출 위치)에 도달할 때까지의 사이(반송 방향 거리(L)의 구간)에 린스액(S)이 공급되지 않기 때문에, 기판면의 건조에 따른 현상반이 생길 우려가 있었다.

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점에 감안하여 안출된 것으로, 평류의 기판 반송로상에서 피처리 기판에 공급한 제1 처리액을 분별 회수하여 제2 처리액으로 치환하는 동작을 효율적이고 원활하게 행하여, 현상반의 발생을 억제할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 기판처리장치는, 기판 반송로를 평류 반송되는 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리장치로서, 상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급수단과, 상기 제1 처리액이 액상으로 모인 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 피처리 기판이 반송됨에 의해, 그 선단측으로부터 후단측에 걸쳐 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜는 기체 공급수단과, 상기 기체 공급수단보다 기판 반송 방향의 하류측에 마련되어, 상기 피처리 기판의 기판면에 대해 상기 제2 처리액을 토출하는 제2 린스 수단과, 상기 기체 공급수단과 상기 제2 린스 수단의 사이에 마련되어, 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어진 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 제1 린스 수단과, 상기 기판 반송로상에서, 상기 제1 린스 수단에 의해 공급된 제2 처리액에 의해, 기판폭 방향으로 뻗는 액 고임부를 형성하는 액 고임 형성 수단을 구비하고, 상기 피처리 기판의 선단부는, 그 기판면에 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어져, 상기 액 고임 형성 수단에 형성된 액 고임부의 안을 통과하고, 그 기판면에 상기 제1 린스 수단에 의해 제2 처리액이 더 공급되는 것에 특징을 갖는다.

아울러, 상기 액 고임 형성 수단은, 상기 기판 반송로를 반송되는 피처리 기판보다 낮은 위치에 있어서 기판폭 방향으로 연장된 테이블 부재로서, 상기 테이블 부재의 상면에 상기 제2 처리액이 액상으로 모여, 상기 액 고임부가 형성됨이 바람직하다.

또한, 본 발명에 의한 기판처리장치는, 기판 반송로를 평류 반송되는 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리장치로서, 상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급수단과, 상기 제1 처리액이 액상으로 모인 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 피처리 기판이 반송됨에 의해, 그 선단측으로부터 후단측에 걸쳐 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜는 기체 공급수단과, 상기 기체 공급수단보다 기판 반송 방향 하류측에 마련되어, 상기 피처리 기판의 기판면에 대해 상기 제2 처리액을 토출하는 제2 린스 수단과, 상기 기체 공급수단과 상기 제2 린스 수단의 사이에 마련되어, 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어진 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 제1 린스 수단과, 상기 기판 반송로상에서, 상기 제1 린스 수단의 하방에 마련되어, 기판폭 방향으로 뻗는 제2 처리액의 액 고임부를 형성하는 액 고임 형성 수단을 구비하고, 상기 액 고임 형성 수단은, 상기 기판 반송로를 반송되는 피처리 기판보다 낮은 위치에서 기판폭 방향으로 연장되는 동시에, 상면에 상기 제2 처리액의 토출 구멍이 형성된 테이블 부재와, 상기 테이블 부재에 형성된 토출 구멍으로부터 상기 제2 처리액을 토출시키는 제2 처리액 공급수단을 가지며, 상기 제2 처리액 공급수단에 의해 상기 제2 처리액이 상기 테이블 부재의 상면에 공급되어 상기 액 고임부가 형성되고, 상기 피처리 기판의 선단부는, 그 기판면에 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어져, 상기 액 고임 형성 수단으로 형성된 액 고임부의 안을 통과하고, 그 기판면에 상기 제1 린스 수단에 의해 제2 처리액이 더 공급되는 것에 특징을 갖는다.

아울러, 상기 제2 린스 수단은, 상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 제1 린스 수단보다 고유속(高流速)으로 상기 제2 처리액을 토출함이 바람직하다.

또한, 상기 기체 공급수단에 의해 상기 피처리 기판의 기판면에 내뿜어지는 가스류는, 기판폭 방향으로 직선 형상으로 뻗는 커튼 형상의 가스류임이 바람직하다.

이와 같이 구성함에 의해, 제1 처리액이 모여 평류 반송되는 피처리 기판이 도달하기 전에 있어서, 액 고임 형성 수단에 제2 처리액의 액 고임부가 형성된다. 그리고, 피처리 기판은, 기체 공급수단으로부터의 가스류에 의해 그 선단부의 영역으로부터 제1 처리액이 제거되면, 즉시 상기 선단부가 상기 액 고임 형성 수단의 액 고임부의 안을 통과한다. 이에 의해 피처리 기판의 선단부 영역에 있어서는, 제1 린스 수단으로부터 토출된 제2 처리액이 기판면에 닿기 전에, 액 고임 형성 수단에 모여있던 제2 처리액에 의해서 덮을 수 있다. 또한, 피처리 기판에 제1 린스 수단으로부터 제2 처리액이 공급되게 되면, 기체 공급수단에 의해 제1 처리액이 제거된 영역에, 상기 제1 린스 수단으로부터 제2 처리액을 즉시 공급할 수 있고, 시간간격을 거의 두지 않고 기판상의 제1 처리액을 제2 처리액으로 치환할 수 있다. 즉, 기판의 전체면에 있어서, 건조를 방지하고, 기판면 건조에 따른 현상반의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 상기 액 고임 형성 수단에 있어서, 상기 액 고임부가 형성되는 면은, 기판 반송 방향의 상류측 하방에 소정 각도로 경사져서, 상기 액 고임 형성 수단에 의해 형성되는 액 고임부에 있어서, 기판 반송 방향의 상류측 단부는, 상기 기체 공급수단으로부터 내뿜어지는 가스류에 의해 저지됨이 바람직하다.

이와 같이 구성함에 의해, 액 고임부의 제2 처리액이 흘러 떨어짐 없고, 기판 선단부가 통과하기 쉬운 두께를 갖는 액 고임부를 형성할 수 있다.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 기판처리장치는, 기판 반송로를 평류 반송되는 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리장치로서, 상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급수단과, 상기 제1 처리액이 액상으로 모인 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 피처리 기판이 반송됨에 의해, 그 선단측으로부터 후단측에 걸쳐 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜는 기체 공급수단과, 상기 기체 공급수단보다 기판 반송 방향의 하류측에 마련되어, 상기 피처리 기판의 기판면에 대해 상기 제2 처리액을 토출하는 제2 린스 수단과, 상기 기체 공급수단과 상기 제2 린스 수단의 사이에 마련되어, 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어진 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 제1 린스 수단을 구비하고, 상기 제1 린스 수단은, 상기 제2 처리액을 토출하는 린스 노즐과, 상기 린스 노즐로부터 토출된 제2 처리액을, 피처리 기판상의 기판 반송 방향 상류측의 소정 위치까지 도출하는 동시에, 감속된 상태로 상기 소정 위치에 공급되는 방해판을 갖는 것에 특징을 갖는다.

이러한 구성에 의하면, 기체 공급수단으로부터의 가스류의 내뿜기 위치에 근접한 기판상의 소정 위치에, 상기 린스 노즐로부터 토출된 제2 처리액을 감속시킨 상태에서 공급할 수 있다.

이에 의해, 피처리 기판의 선단부 영역에 있어서도 기체 공급수단으로부터의 가스류에 의해 제1 처리액이 제거되면, 즉시 제2 처리액을 공급할 수 있어, 기판면의 건조를 방지하여, 건조에 따른 현상반의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 상기한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의한 기판처리방법은, 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리방법으로서, 기판 반송로에서 상기 피처리 기판을 평류 반송하여, 기판상에 제1 처리액을 공급하는 동시에, 그 하류측의 기판 반송로상에서, 기판폭 방향으로 뻗는 상기 제2 처리액의 액 고임부를 형성하는 단계와, 상기 제1 처리액이 공급된 상기 피처리 기판의 선단부의 기판면에 대해, 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜고, 내뿜은 영역으로부터 상기 제1 처리액을 제거하는 단계와, 상기 가스류가 내뿜어져서 제1 처리액이 제거된 피처리 기판의 선단부를, 상기 액 고임부의 안에 통과시키는 단계와, 상기 피처리 기판의 선단부의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하여 공급하는 단계를 실행하는 것에 특징을 갖는다.

이러한 방법에 의하면, 피처리 기판의 선단부 영역에 있어서는, 토출된 제2 처리액이 피처리 기판의 기판면에 닿기 전에, 상기 액 고임부를 형성하고 있던 제2 처리액에 의해서 덮을 수 있다. 즉, 피처리 기판의 선단부 영역에 있어서의 건조를 방지하여, 기판면의 건조에 따른 현상반의 발생을 억제할 수 있다.

본 발명에 의하면, 평류의 기판 반송로상에서 피처리 기판에 공급한 제1 처리액을 분별 회수하여 제2 처리액으로 치환하는 동작을 효율적이고 원활하게 행하여, 현상반의 발생을 억제할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 일 실시 형태의 전체 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 2(a)는 도 1의 현상 유닛이 구비하는 린스부의 주요부의 평면도이며, 도 2(b)는 그 측면도이다.
도 3은 도 2의 린스부에 배치되는 플레이트 부재와 피처리 기판의 배치 관계를 나타내는 평면도이다.
도 4는 도 2의 린스부에 배치된 에어 노즐, 제1 린스 노즐, 플레이트 부재의 상호의 배치 관계를 더 구체적으로 나타내는 측면도이다.
도 5(a)∼(e)는 도 2의 린스부를 반송되는 피처리 기판에 대한 처리액 치환 상태를 나타내는 측면도이다.
도 6은 도 2의 린스부가 구비하는 제1 린스 노즐의 변형예를 나타내는 측면도이다.
도 7은 도 2의 린스부가 구비하는 제1 린스 노즐의 다른 변형예를 나타내는 측면도이다.
도 8은 도 2의 린스부가 구비하는 테이블 부재의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도 9(a)는 도 2의 린스부가 구비하는 테이블 부재의 다른 변형예를 나타내는 평면도이며, 도 9(b)는 그 정면도이다.
도 10은 도 2의 린스부가 구비하는 테이블 부재의 다른 변형예를 나타내는 단면도이다.
도 11은 액 고임 형성 수단의 다른 형태를 나타내는 측면도이다.
도 12(a)는 종래의 린스부의 개략 구성을 나타내는 평면도이며, 도 12(b)는 그 측면도이다.
도 13은 도 12의 린스부에 의한 처리액 치환의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 14는 도 12의 린스부에 의한 처리액 치환의 동작에 있어서의 과제를 설명하기 위한 측면도이다.

이하, 본 발명의 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 실시 형태에 대해, 도면에 기초하여 설명한다. 본 발명의 기판처리장치는, 예를 들면 FPD용의 유리 기판을 피처리 기판(이하, 간단히 기판이라 한다)으로 하고, FPD 제조에 있어서의 포토리소그래피 공정중의 세정, 레지스트 도포, 프리베이크, 현상 및 포스트베이크 등의 각 처리를 행하는 도포 현상 처리 시스템의 일부 구성에 적용할 수 있다.

더 구체적으로는, 기판상에 포토레지스트가 도포되어, 마스크 패턴을 통하여 노광 처리가 실시된 기판에 현상 및 린스 처리를 실시하는 현상 유닛에 적용할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 현상 유닛에 적용한 일 실시 형태를 설명한다.

도 1에, 이 실시 형태에 있어서의 현상 유닛(1)의 전체 구성을 나타낸다. 현상 유닛(1)은, 도시한 바와 같이, 프로세스 라인(A)을 따라서 수평방향(X방향)으로 뻗는 평류의 반송 라인(2)(기판 반송로)을 설치하고 있으며, 이 반송 라인(2)을 따라서 상류측으로부터 차례로 현상부(3), 린스부(4) 및 건조부(5)가 마련되어 있다.

반송 라인(2)은, 기판(G)을, 그 피처리면을 위로 향한 상향 자세(이른바 평류 방식)로 하여 소정 속도(예를 들면 60㎜/s)로 반송하기 위한 롤러(6)(반송체)를 반송 방향(X방향)으로 일정 간격(예를 들면 100㎜ 간격)으로 부설해서 이루어진다. 각 롤러(6)는, 예를 들면 전기 모터를 갖는 반송 구동부(도시 안함)에 치차 기구 또는 벨트 기구 등의 전동 기구를 통하여 접속되어 있다.

이 반송 라인(2)은, 반송 방향(X방향)에 있어서 시점(始點)에서 종점(終點)까지 대략 동일 높이 위치로 이어져 있어도 좋지만, 본 실시 형태에 있어서는, 린스부(4) 및 건조부(5)의 소정 개소에 있어서, 롤러(6)의 배치에 의해 상이한 높이 위치로 되어 있다. 구체적으로는, 융기부(2a)와 단차부(2b)를 갖는다.

또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 반송 라인(2)은, 기판(G)으로의 처리 단계에 따라서 8개의 반송 구간(M1, M2, M3, M4, M5, M6, M7, M8)으로 구분할 수 있다.

제1 반송 구간(M1)은, 전단의 처리부로부터, 현상부(3)내의 출구보다 조금 앞(상류측)인 위치로 설정된 제1 구간 변경점(P1)까지의 구간으로서, 소정의 높이 위치를 유지한 채로, 대략 수평 일직선으로 뻗는 수평 반송로를 갖는다.

제2 반송 구간(M2)은, 상기 제1 구간 변경점(P1)으로부터, 린스부(4)내에 들어가며, 린스부(4)의 입구보다 조금 하류측의 위치로 설정된 제2 구간 변경점(P2)까지의 구간이며, 상기 제1 반송 구간(M1)과 동일하게 대략 수평 반송로를 갖는다.

제3 반송 구간(M3)은, 린스부(4)내에 있어서, 상기 제2 구간 변경점(P2)으로부터, 내측의 소정 위치로 설정된 제3 구간 변경점(P3)까지의 구간이며, 상기 제2 반송 구간(M2)과 동일하게 수평 반송로를 갖는다.

또한, 제4 반송 구간(M4)은, 린스부(4)내에 있어서, 상기 제3 구간 변경점(P3)으로부터 그보다 소정의 거리만큼 하류측인 위치로 설정된 제4 구간 변경점(P4)까지의 구간이며, 거기까지의 반송로 높이보다 소정량(예를 들면 10∼25㎜) 높은 융기부(2a)의 정상까지 소정의 경사각으로 오르는 상향 경사의 반송로를 갖는다.

제5 반송 구간(M5)은, 린스부(4)내에서 상기 제4 구간 변경점(P4)으로부터 그보다 소정의 거리만큼 하류측인 위치로 설정된 제5 구간 변경점(P5)까지의 구간이며, 상기 융기부(2a)의 정상으로부터 그보다 소정량(예를 들면 10∼25㎜) 낮은 위치까지 소정의 경사각으로 내려가는 하향 경사의 반송로를 갖는다.

또한, 제6 반송 구간(M6)은, 린스부(4)내에 있어서 상기 제5 구간 변경점(P5)으로부터 그보다 소정의 거리만큼 하류측인 위치, 즉 출구보다 조금 앞인 위치로 설정된 제6 구간 변경점(P6)까지의 구간이며, 수평 일직선으로 뻗는 수평 반송로를 갖는다.

제7 반송 구간(M7)은, 상기 제6 구간 변경점(P6)으로부터 린스부(4)와 건조부(5)의 경계 부근에 설정된 제7 구간 변경점(P7)까지의 구간이며, 상기 제6 반송로(M6)보다 소정량(예를 들면 4∼25㎜) 높은 단차부(2c)의 상단 위치까지 소정의 경사각으로 오르는 상향 경사의 반송로를 갖는다.

또한, 제8 반송 구간(M8)은, 상기 제7 구간 변경점(P7)으로부터 건조부(5) 및 후단의 처리부까지 이르는 구간이며, 상기 단차부(2b)의 상단 위치의 높이를 일정하게 유지한 채로 수평 일직선으로 뻗는 수평 반송로를 갖는다.

또한, 현상부(3)에 있어서는, 제1 반송 구간(M1)내의 소정 위치에, 반송 라인(2)상을 롤러 반송으로 이동하는 수평 자세의 기판(G)을 향해서, 상방으로부터 기준 농도의 현상액(제1 처리액)을 토출하는 현상액 공급 노즐(제1 처리액 공급수단이며, 이하, 현상 노즐이라 한다)(9)이 배치되어 있다. 현상 노즐(9)은, 기판폭 방향으로 뻗는 예를 들면 슬릿 형상의 토출구 또는 1열로 배치된 다수의 미세지름 토출구를 갖는 장척형(長尺型)의 노즐로 이루어지고, 도시하지 않는 현상액 공급원으로부터 배관을 통하여 현상액을 급액(給液)되도록 되어 있다.

현상부(3)내에는, 반송 라인(2)의 아래에 떨어진 현상액을 받아 모으기 위한 팬(10)이 마련되어 있다. 이 팬(10)의 배액구는 배액관(11)을 통하여 현상액 재이용 기구(12)에 연결되어 있다. 현상액 재이용 기구(12)는, 현상액 노즐(9)에 의해 기판(G)상에 현상액을 모을 때 흘러 떨어진 현상액을 팬(10) 및 배액관(11)을 통하여 회수하고, 회수된 현상액에 원액이나 용매를 더하여, 기준 농도로 조정된 리사이클의 현상액을 상기 현상액 공급원으로 보내도록 되어 있다.

또한, 현상부(3)의 출구 부근인 제2 반송 구간(M2)에 있어서, 그 상방 위치에는, 반송 방향 하류측을 향해서 소정의 가스류, 구체적으로는 기판폭 방향으로 직선 형상으로 뻗는 커튼 형상의 가스류를 분출하는 에어 노즐(21)(기체 공급수단)이 마련되어 있다. 이 에어 커튼형상의 가스류가 형성됨에 의해, 그 아래를 통과하는 기판(G)상의 현상액은, 가스류가 내뿜어지는 위치에서 저지되고, 기판 후방으로부터 흘러 떨어진다. 즉, 기판상에 있어서는, 상기 가스류가 내뿜어진 위치보다 전방(하류측)의 영역에는, 현상액이 거의 남지 않는 상태로 할 수 있다.

또한, 제2 반송 구간(M2)에 있어서, 상기 에어 노즐(21)보다 하류측에는, 현상액이 흘러 떨어진 기판(G)상에, 즉시 순수 등의 린스액(제2 처리액)을 공급하기 위한 제1 린스 노즐(22)(제1 린스 수단)이 마련되어 있다. 이 제1 린스 노즐(22)은, 기판(G)에 남는 현상액이 물결치지 않도록 저류속으로 린스액을 토출하는 것으로, 그때의 임펙트(충격)가 작은 것으로 되어 있다.

아울러, 이 제1 린스 노즐(22)로부터 기판상에 공급된 린스액은, 상기 에어 노즐(21)에 의해 형성되는 가스류의 에어 커튼에 의해서, 그 위치로부터 상류측에 흐르지 않도록 저지된다.

또한, 제1 린스 노즐(22)의 하방에는, 기판 반송 방향의 단면이 역사다리꼴 형상의 테이블 부재(27)(액 고임 형성 수단)가 배치되어 있다. 이 테이블 부재(27)는, 제1 린스 노즐(22)의 직하에 배치되어, 반송되는 기판(G)이 도달하기까지, 제1 린스 노즐(22)로부터 공급된 린스액을 상면에 액상으로 모아, 액 고임부를 형성하기 위해 마련되어 있다. 아울러, 적어도 제1 린스 노즐(22)로부터의 린스액 공급 위치보다 상류측에 상기 액 고임부는 형성된다.

또한, 제2 반송 구간(M2)에 있어서, 상기 린스 노즐(22)의 하류측에는, 더 고유속으로, 즉 토출시의 임펙트가 더 커지게 되는 유속으로, 액 치환(현상 정지)용의 린스액을 공급하는 제2 린스 노즐(23)(제2 린스 수단)이 배치되어 있다.

또한, 중심부의 제4 반송 구간(M4)내의 소정 위치에, 반송 라인(2)의 융기부(2a)의 상향 경사면을 통과하는 기판(G)을 향해서 상방으로부터 세정용의 린스액을 토출하는 제3 린스 노즐(24)이 반송 방향을 따라서 배치되어 있다.

또한, 그 하류측 근처의 제5 반송 구간(M5)내의 소정 위치에, 반송 라인(2)의 융기부(2a)의 하향 경사면을 통과하는 기판(G)을 향해서 상방으로부터 마무리 세정용의 린스액을 토출하는 제4 린스 노즐(25)이 반송 방향을 따라서 배치되어 있다.

더욱이, 출구 부근에서 제7 반송 구간(M7)내의 소정 위치에, 반송 라인(2)의 상향 단차부(2b)를 오르는 기판(G)을 향해서 상방으로부터 최종 세정용의 린스액을 토출하는 제5 린스 노즐(26)이 반송 방향을 따라서 배치되어 있다. 각 린스 노즐(22∼26)은, 상기 현상액 노즐(9)과 동일한 구성을 갖는 장척형 노즐로 이루어지고, 린스액 공급원(도시 안함)으로부터 배관을 통하여 린스액이 급액되도록 되어 있다.

또한, 린스부(4)내에는, 반송 라인(2)의 아래에 떨어진 린스액을 받아 모으기 위한 팬(17)이 마련되어 있다. 이 팬(17)의 배액구는 배액관(18)을 통하여 린스액 회수부(도시 안함)에 연결되어 있다. 도시는 생략하지만, 반송 라인(2)의 아래로부터 기판(G)의 하면에 대해서 세정용의 린스액을 분출하는 하부 린스 노즐을 마련할 수도 있다.

건조부(5)에 있어서는, 제8 반송 구간(M8)의 시단(始端) 부근의 소정 위치에, 반송 라인(2)의 상기 단차부(2b)를 올라온 직후의 기판(G)을 향해서 상방으로부터 반송 방향과 역방향으로 액절(液切) 내지 건조용의 고압 가스류(통상은 에어류)를 가하는 장척형의 가스 노즐 또는 에어 노즐(20)이 반송 방향을 따라서 1개 또는 복수개 배치되어 있다. 반송 라인(2)의 아래로부터 기판(G)의 하면을 향해서 액절 내지 건조용의 고압 가스류를 가하는 하부 에어 노즐(도시 안함)도 설치 가능하다. 또한, 건조부(5)내에서 반송 라인(2)의 아래에 떨어진 액을 받아 모으기 위한 팬(도시 안함)을 마련해도 좋다.

아울러, 현상 유닛(1)은, 일체적인 하우징(30)내에 현상부(3), 린스부(4) 및 건조부(5)를 수용하고 있으며, 다른 처리부간의 경계에는 반송 라인(2)에 따른 주위의 공간을 상류측과 하류측으로 가르기 위한 연직 방향으로 연장하는 격벽(30a, 30b)을 마련한다. 더 상세하게는, 현상부(3)와 린스부(4)의 경계, 즉 제2 반송 구간(M2) 부근에 격벽(30a)이 마련되고, 린스부(4)와 건조부(5)의 경계, 즉 제7 반송 구간(M7)와 제8 반송 구간(M8)의 경계 부근에 격벽(30b)이 마련된다. 각 격벽(30a, 30b)에는, 반송 라인(2)을 지나는 개구(31, 32)가 각각 형성되어 있다.

또한, 이 현상 유닛(1)에 있어서, 각 처리부(3, 4, 5)내의 공간은 격벽(30a, 30b)의 개구(31, 32)를 통하여 서로 연통되어 있다. 현상부(3) 및 건조부(5)에서는, 실외의 공기를 끌어들이기 위한 팬(33, 34)과, 이들 팬(33, 34)으로부터의 공기류를 제진(除塵)하는 에어 필터(35, 36)에 의해서, 천정으로부터 청정한 공기가 다운 플로우로 실내에 공급되도록 되어 있다. 이 중, 현상부(3)의 천정으로부터 공급되는 청정 공기는, 현상 처리시에 발생하는 현상액의 미스트를 끌어들이도록 하여 상기 격벽(30a)의 개구(31)를 지나서 린스부(4)의 실내에 유입된다.

한편, 건조부(5)의 천정으로부터 공급되는 청정 공기는, 건조(액절) 처리에서 발생하는 린스액의 미스트를 끌어들여 상기 격벽(30b)의 개구(32)를 지나서 린스부(4)의 실내에 유입하도록 되어 있다. 린스부(4)의 바닥부에는, 예를 들면 배기 펌프 또는 배기 팬을 갖는 배기 기구(37)에 연결되는 배기구(38)가 마련되어 있다.

상기와 같이 하여 현상부(3)측으로부터 유입되어 온 미스트 혼입 공기와, 건조부(5)측으로부터 유입되어 온 미스트 혼입 공기는, 린스부(4)내에서 발생하는 미스트도 끌어들여 좌우에서 합류해서 배기구(38)로부터 배출되도록 되어 있다.

이어서, 제2 반송 구간(M2)에 있어서의 액처리의 구성에 대해서, 더 자세하게 설명한다.

도 2(a)는, 반송 구간(M1∼M3)을 통과하는 기판(G)의 상태를 나타내는 평면도이며, 도 2(b)는 그 측면도이다. 도 3은, 반송 구간(M2)에 배치되는 플레이트 부재(27)와 기판(G)의 배치 관계를 나타내는 평면도이다. 또한, 도 4는, 상기 반송 구간(M2)에 배치된 에어 노즐(21), 제1 린스 노즐(22), 플레이트 부재(27)의 상호 배치 관계를 더 구체적으로 나타내는 측면도이다.

도 2(b)에 나타내는 바와 같이, 반송 구간(M2)의 상방에 있어서, 기판폭 방향으로 뻗는 장척형의 에어 노즐(21), 제1 린스 노즐(22), 제2 린스 노즐(23)이 기판 반송 방향을 따라서 차례로 배치되어 있다.

상기 에어 노즐(21)은, 반송 구간(M2)을 반송되는 기판(G)에 대해, 소정의 고압 가스류를 반송 방향 하류측을 향해서 내뿜도록, 기판면으로부터 예를 들면 5∼15㎜의 높이 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 에어 노즐(21)은, 반송 구간(M2)의 상방에 있어서, 그 분사 방향이, 수직 하방(연직 방향)을 0°로 하여 하류측에 소정 각도(예를 들면 10°) 경사진 상태로 마련되어 있다.

이 에어 노즐(21)에 의해, 반송되는 기판(G)의 선단측으로부터 후단측에 걸쳐, 기판폭 방향으로 직선 형상으로 뻗는 커튼 형상의 고압 가스류가, 기판 반송 방향(하류측)을 향해서 소정 유량(예를 들면 300∼500리터/min)으로 내뿜어진다. 이에 의해, 에어 노즐(21)로부터의 고압 가스류의 내뿜기 위치에 있어서, 기판(G)상의 현상액(D)이 저지되어, 상기 가스류의 내뿜기 위치로부터 전방(기판(G)상의 하류측 영역)에는 현상액(D)이 거의 남지 않는 상태로 된다. 또한, 상기 가스류를, 기판 반송 방향(하류측)을 향해서 내뿜음에 의해, 현상액(D)이 물결치는 것을 방지하여, 미소한 현상반의 발생을 억제하도록 되어 있다.

아울러, 에어 노즐(21)로부터의 가스류의 내뿜기 위치에 기판(G)이 도달되어 있지 않은 상태에서는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 린스 노즐(22)로부터 테이블 부재(27)상에 공급된 린스액(S)(액 고임부)이 상류측으로부터 흘러 떨어지지 않도록, 에어 노즐(21)로부터의 가스류에 의해 저지된다.

또한, 에어 노즐(21)의 하류측에 배치된 제1 린스 노즐(22)은, 기판(G)상에 있어서의 에어 노즐(21)로부터의 가스류 내뿜기 위치로부터 전방의 영역, 즉 현상액(D)이 제거된 영역에, 즉시 저류속(예를 들면 0.0247∼0.074m/s)으로 린스액(S)을 토출 공급하여, 기판상에서 액절되는 영역을 극력 작게 하기 위해 마련되어 있다.

이 제1 린스 노즐(22)은, 기판면으로부터 예를 들면 2㎜의 높이에 배치되고, 그 토출 방향은, 대략 수직 하방(수직 하방을 0°로 하여 ±10° 경사)으로 향해 있다.

또한, 제1 린스 노즐(22)의 하류측에 배치된 제2 린스 노즐(23)은, 반송 구간(M2)을 반송되는 기판(G)에 대해, 더 고유속(예를 들면 1.7581m/s)으로 린스액(S)을 토출 공급하여, 현상액(D)을 완전히 린스액(S)으로 치환하기 위한 노즐이다.

이 제2 린스 노즐(23)은, 예를 들면 기판면으로부터 10∼30㎜의 높이에 배치되고, 그 토출 방향은, 기판 반송 방향(하류측)으로 되도록 배치되어 있다. 즉, 제2 린스 노즐(23)은, 반송 구간(M2)의 상방에 있어서, 그 분사 방향이, 수직 하방(연직 방향)을 0°로 하여 하류측에 소정 각도(예를 들면 0°∼70°) 경사진 상태로 마련되어 있다.

또한, 제1 린스 노즐(22)의 직하에 배치되는 플레이트 부재(27)는, 도 3에 나타내는 바와 같이 롤러(6A)와 롤러(6B) 사이에 있어서, 기판 반송 방향으로 소정의 폭을 가지며, 또한 기판폭 방향에 있어서 기판(G)의 폭 치수보다 길게 연장되어 있다. 이 플레이트 부재(27)의 상면은, 예를 들면 친수성이 높은 합성수지에 의해 형성되고, 린스액이 모였을 때 린스액이 흘러 떨어지지 않도록 되어 있다.

또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 플레이트 부재(27)는, 롤러(6A)와 롤러(6B)의 사이에 있어서 프레임 부재(28)에 의해 지지되고, 그 위치는 고정되어 있다. 도시된 바와 같이, 플레이트 부재(27)는, 기판 반송 방향의 단면이 역사다리꼴 형상이기 때문에, 그 전후 가장자리부는 롤러(6A, 6B)의 상방에 위치되어 있다. 즉, 롤러(6A, 6B)의 사이에 있어서, 기판(G)을 향하는 플레이트 면적이 크게 확보되어 있다.

또한, 플레이트 부재(27)의 높이 위치는, 그 상방을 반송되는 기판(G)이, 플레이트 부재(27)에 접촉하지 않는 높이로 설정되어 있다. 또한, 그 경우, 반송되는 기판(G)의 선단이, 도 4에 나타내는 바와 같이 플레이트 부재(27)상에 모인 린스액(S)(액 고임부) 중을 통과하도록, 기판(G)과 플레이트 부재(27) 사이의 간극은 작은 것으로 된다.

또한, 상기와 같이 플레이트 부재(27)는, 그 상면에 린스액을 액상으로 모이도록 마련되지만, 그 방책으로, 도 4에 나타내는 바와 같이 플레이트 부재(27)의 상면은, 기판 반송 방향의 상류측 하방에 소정 각도 θ(예를 들면 2°)만큼 경사진 상태로 설치되어 있다. 또한 플레이트 부재(27)의 후단부(플레이트 부재(27)의 상면에 있어서 기판 반송 방향 상류측)에 에어 노즐(21)로부터의 가스류가 내뿜어지도록 되어 있다.

이 구성에 의해 제1 린스 노즐(22)로부터 플레이트 부재(27)상에 공급된 린스액(S)은, 플레이트의 경사에 의해 기판 반송 방향 상류측으로 흐르도록 하지만, 에어 노즐(21)로부터의 가스류에 의해 저지된다. 즉, 도 4에 나타내는 바와 같이 플레이트 부재(27)상에 있어서, 그 상류측에 더 많은 린스액(S)이 모여, 두께가 있는 액 고임부가 형성된다.

또한, 기판(G)상에 있어서, 에어 노즐(21)에 의해 분출되는 가스류의 내뿜기 위치와 제1 린스 노즐(22)에 의한 린스액의 공급 위치와의 거리는, 예를 들면 20∼40㎜(바람직하게는 30㎜)로 설정되어 있다. 또한, 기판(G)상에 있어서, 에어 노즐(21)에 의해 분출되는 가스류의 내뿜기 위치와 제2 린스 노즐(23)에 의한 린스액의 공급 위치와의 거리는, 예를 들면 150∼350㎜(바람직하게는 200㎜)로 설정되어 있다.

이어서, 이 현상 유닛(1)에 있어서의 전체의 동작을, 도 1의 전체 구성도, 및 도 5의 상태 천이도를 적절히 이용하여 설명한다. 아울러, 도 5는 반송 구간(M2)을 반송되는 기판(G)에 대한 처리액 치환 상태를 나타내는 측면도이다.

전단(前段) 처리부를 반출된 기판(G)이 일정 속도(예를 들면 60㎜/s)의 롤러 반송으로 현상 유닛(1)에 반입되면, 도 1에 나타내는 바와 같이 최초로 현상부(3)에 있어서, 기판(G)이 반송 라인(2)의 제1 반송 구간(M1)내를 수평 자세로 이동하는 사이에 정치(定置)의 현상 노즐(9)로부터 현상액(D)이 공급된다. 기판(G)상에는 기판 전단(前端)으로부터 기판 후단(後端)을 향하여 반송 속도와 동일한 주사(走査) 속도로 현상액(D)이 모인다. 기판(G)으로부터 흘러넘친 현상액(D)은 팬(10)에 받아 모여진다.

상기와 같이 기판(G)에 현상액(D)이 모이는 한편, 제2 반송 구간(M2)에 있어서는, 제1 린스 노즐(22)로부터 플레이트 부재(27)의 상면에 대해, 소정량의 린스액(S)이 공급된다. 또한, 에어 노즐(21)로부터의 가스류에 의해 플레이트 부재(27)로부터 린스액(S)이 흘러 떨어지지 않도록 저지된다. 이에 의해, 플레이트 부재(27)상에는, 상류측만큼 액량이 많고 두께가 있는 상태로 린스액(S)이 액상으로 모인다.

또한, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 현상액(D)이 모인 기판(G)은, 직후에 제2 반송 구간(M2)으로 반송된다.

기판(G)이 제2 반송 구간(M2)에 들어가면, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 먼저 에어 노즐(21)에 의해, 기판(G)의 선단부 영역에 대해, 소정 유량(예를 들면 300∼500리터/min)의 고압 가스류가 내뿜어져, 기판(G)의 선단부 영역으로부터는 현상액(D)이 제거된다. 또한, 즉시 기판(G)의 선단부는, 플레이트 부재(27)에 액상으로 모인 린스액(S)(액 고임부)의 안을 통과하고, 그에 의해, 기판(G)상의 선단부 영역은 린스액(S)으로 덮인다. 즉, 기판(G)의 선단부 영역이 제1 린스 노즐(22)의 아래에 도달하기 전에 린스액(S)이 공급되어, 기판(G)의 선단부 영역에 있어서의 기판면의 건조가 방지된다.

도 5(c)에 나타내는 바와 같이, 기판 선단이 제1 린스 노즐(22)의 하방에 도달하면, 제1 린스 노즐(22)로부터는 저류속(예를 들면 0.0247∼0.074m/s), 즉 토출시의 임펙트가 작아지는 유속으로 린스액(S)이 기판(G)에 공급된다.

이에 의해 기판(G)의 선단부 영역에 있어서는, 기판 선단이 제2 린스 노즐(23)의 하방(린스액 공급 위치)에 도달할 때까지의 동안에, 제1 린스 노즐(22)로부터 린스액(S)이 공급되게 된다.

또한, 상기와 같이 제1 린스 노즐(22)로부터, 기판(G)에 린스액(S)이 직접 공급되게 되면, 반송되는 기판(G)상에는, 에어 노즐(21)로부터의 가스류에 의해서 저지된 현상액(D)의 선단부분(현상액(D)이 제거되는 부분)으로부터, 거의 거리를 두지 않고 린스액(S)의 막이 형성되는 상태로 된다. 즉, 기판(G)상의 현상액(D)과 린스액(S)의 사이에 형성되는 액절 영역의 기판 반송 방향의 폭은 현상반의 발생에 영향을 주지 않는 미소한 것으로 된다. 아울러, 에어 노즐(21)로부터 분사되는 에어 커튼형상의 가스류는, 기판 반송 방향(하류측)으로 향해져 있기 때문에, 현상액(D)이 물결침도 없이, 미소한 현상반의 발생이 억제된다.

또한, 도 5(d)에 나타내는 바와 같이, 기판(G)이 제2 린스 노즐(23)의 하방에 도달하면, 상기 제1 린스 노즐(22)로부터 린스액(S)이 공급된 기판(G)에는, 린스액(S)이 중단되지 않도록 제2 린스 노즐(23)로부터 더 고유속(예를 들면 1.7581m/s)으로, 즉 토출시의 임펙트가 더 커지는 유속으로 린스액(S)이 공급된다. 이에 의해 기판(G)상에는 린스액(S)이 중단됨 없이 현상액(D)과 치환된다.

이와 같이 하여 기판(G)이 제2 반송 구간(M2)을 반송됨에 따라, 기판상의 현상액(D)은 린스액(S)으로 치환되어간다.

즉, 도 5(e)에 나타내는 바와 같이 기판(G)의 전체가 제2 반송 구간(M2)을 통과하는 시점에서는, 기판(G)의 상면은 전부 린스액(S)으로 치환되어, 현상이 정지된다. 아울러, 기판(G)으로부터 흘러 떨어진 현상액(D) 및 린스액(S)은 팬(17)에 받아 모여진다.

이와 같이 기판(G)상의 처리액을 현상액(D)으로부터 린스액(S)으로 치환하는 처리에 있어서는, 에어 노즐(21)로부터 내뿜어지는 에어 커튼상태의 고속 가스류에 의해, 현상액(D)은 그 내뿜어진 위치에서 저지되고, 기판(G)의 반송에 수반하여 기판 후단측으로부터 흘러 떨어진다.

그리고, 기판(G)상에 있어서의 가스류의 내뿜기 위치보다 전방, 즉 현상액(D)이 제거된 영역에는, 즉시 제1 린스 노즐(22), 및 제2 린스 노즐(23)에 의해서 린스액(S)이 공급된다. 특히, 기판(G)의 선단부 영역에 있어서는, 현상액(D)이 제거되면, 즉시 테이블 부재(27)상의 액 고임부에 의해서 린스액(S)이 공급되고, 이어서, 제1 린스 노즐(22), 및 제2 린스 노즐(23)에 의해서 린스액(S)이 공급된다.

이 때문에, 기판(G)의 전면(全面)에 있어서, 시간간격을 거의 두지 않고 기판상의 현상액(D)을 린스액(S)으로 치환할 수 있어, 액절 영역을 미소하게 할 수 있다.

현상 처리를 마친 기판(G)은, 수평의 제3 반송 구간(M3)을 통과하고, 다음의 제4 반송 구간(M4)에서 융기부(2a)의 상향 경사로를 오른다. 이때, 기판(G)상에 남아 있는 치환용의 린스액(S)이 기판 전단측으로부터 후방으로 중력에 의해 이동하여 기판 후단으로부터 흘러 떨어진다. 또한, 상방의 린스 노즐(24)로부터 기판(G)상에 일차 세정용의 린스액이 공급되어, 오래된 린스액을 몰아내면서 이 새로운 린스액도 기판 후단으로부터 흘러 떨어진다.

기판의 후방에 흘러 떨어진 린스액은 팬(17)에 받아 모여진다. 이렇게 해서, 융기부(2a)의 정점을 넘는 기판(G)은, 그 상면에 일차 세정용의 린스액이 얇은 액막으로 남아 있는 상태에서, 융기부(2a)의 하향 경사로(제5 반송 구간(M5))에 도달한다.

이어서, 융기부(2a)의 하향 경사로(M5)를 기판(G)이 내려질 때에는, 상방의 린스 노즐(25)에 의해 기판(G)상에 2차 세정용의 새로운 린스액이 공급되고, 기판(G)상에 얇게 남아 있던 일차 세정액을 전방으로 몰아내면서 새로운 린스액도 기판 전단으로부터 흘러 떨어진다. 기판(G)의 전방으로 흘러 떨어진 린스액은 팬(17)에 받아 모여진다.

상기와 같이 해서 린스 처리를 마친 기판(G)은, 수평인 제6 반송 구간(M6)을 통과하여, 다음의 제7 반송 구간(M7)에서 상향 단차부(2b)의 경사로를 오른다. 이때, 기판(G)상에 남아 있는 마무리용 린스액이 기판 전단측으로부터 후방으로 중력에 의해 이동해서 기판 후단으로부터 흘러 떨어진다. 또한, 상방의 린스 노즐(26)로부터 기판(G)상에 최종 세정용의 린스액이 공급되어, 오래된 린스액을 몰아내면서 이 새로운 린스액도 기판 후단으로부터 흘러 떨어진다. 기판(G)의 후방에 흘러 떨어진 린스액은 팬(17)에 받아 모여진다.

그리고, 기판(G)이 단차부(2b)를 올라, 건조부(5)측, 즉 제8 반송 구간(M8)내의 상단 반주로(搬走路)에 들어가면, 에어 노즐(20)이 기판(G)에 대해서 반송 방향과는 역방향으로 고압 가스류를 닿게 함에 의해, 기판(G)상의 남아 있던 린스액이 기판 후방으로 밀려 기판 후단으로부터 몰아내어진다(액절된다). 기판(G)의 후방으로 날려진 린스액은 팬(17)에 받아 모여진다.

이렇게 해서 현상 유닛(1)내에서 일련의 현상 처리 공정을 마친 기판(G)은, 그대로 반송 라인(2)상을 곧바로 이동해서 후단의 처리부에 보내진다.

이상과 같이, 본 발명에 의한 실시 형태에 의하면, 현상액(D)이 모여서 평류 반송되는 기판(G)이 도달하기 전에 있어서, 플레이트 부재(27)상에 린스액(S)의 액 고임부가 형성된다. 그리고, 기판(G)은, 에어 노즐(21)로부터의 가스류에 의해 그 선단부의 영역으로부터 현상액(D)이 제거되면, 즉시 기판 선단부가 상기 플레이트 부재(27)상의 린스액(S)(액 고임부)의 안을 통과한다.

이에 의해 기판(G)의 선단부 영역에 있어서는, 제1 린스 노즐(22)로부터 토출된 린스액(S)이 기판면에 닿기 전에, 플레이트 부재(27)상의 린스액(S)에 의해 덮을 수 있다. 또한, 기판(G)에 제1 린스 노즐(22)로부터 린스액(S)이 공급되게 되면, 에어 노즐(21)에 의해 현상액(D)이 제거된 영역에, 상기 제1 린스 노즐(22)로부터 린스액(S)을 즉시 공급할 수 있으며, 시간간격을 거의 두지 않고 기판상의 현상액(D)을 린스액(S)으로 치환할 수 있다. 즉, 기판(G)의 전면에 있어서, 건조를 방지하여, 기판면 건조에 의한 현상반의 발생을 억제할 수 있다.

아울러, 상기 실시 형태에 있어서는, 제1 린스 노즐(22)의 기판(G)에 대한 토출 방향은, 수직 하방으로 하는 구성으로 했지만, 본 발명에 있어서는, 그것으로 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 도 6에 나타내는 바와 같이 제1 린스 노즐(22)에 있어서, 토출된 린스액(S)을 기판(G)상의 임의의 위치까지 도출하는 방해판(29A)을 마련해도 좋다. 도 6의 구성의 경우, 제1 린스 노즐(22)의 토출 방향이 상류측으로 향해져, 토출된 린스액(S)은 방해판(29A)에 부딪히고, 감속된 상태로 기판상에 공급된다. 여기서, 기판상의 린스액(S)의 공급 위치는, 에어 노즐(21)로부터의 가스류의 내뿜기 위치에 근접해 있다.

즉, 에어 노즐(21)로부터의 가스류의 내뿜기 위치에 근접한 기판상의 소정 위치에, 제1 린스 노즐(22)에 의해 직접적으로 린스액(S)을 토출하면, 토출 속도가 빠르기 때문에 액면이 물결치고, 그것이 현상반의 원인으로 될 우려가 있지만, 본 구성에 의하면, 감속시키면서 상기 소정 위치에 린스액(S)을 공급할 수 있다.

또한, 이 구성에 의해, 제1 린스 노즐(22)로부터 토출되는 린스액(S)은, 에어 노즐(21)로부터의 가스류의 내뿜기 위치에 근접한 기판상의 소정 위치에 토출되기 때문에, 에어 노즐(21)의 가스류로 현상액(D)을 액절한 후, 바로 린스액(S)으로 치환할 수 있다.

또한, 이 경우, 상기 실시 형태에서 설명한 플레이트 부재(27)와 함께 병용함에 의해, 기판(G)의 선단부 영역에 있어서의 현상액(D)으로부터 린스액(S)으로의 치환을 더 확실히 행할 수 있다. 또한, 플레이트 부재(27)를 마련하지 않는 경우라도, 상기와 같이, 기판(G)상에 있어서, 에어 노즐(21)로부터의 가스류의 공급 위치에 근접한 위치에, 약한 기세로 린스액(S)을 공급할 수 있다.

아울러, 도 6에 있어서는, 방해판(29A)에 의해 린스액(S)이 수직 하방으로 공급되는 구성을 나타내고 있지만, 도 7의 방해판(29B)과 같이, 그 선단부를 기판면에 대해서 임의의 각도로 경사시켜, 린스액(S)의 공급 위치를 조정할 수도 있다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 현상액(D)이 모인 기판(G)이 도달하기까지, 제1 린스 노즐(22) 및 에어 노즐(21)을 이용하여 플레이트 부재(27)상에 린스액(S)을 액상으로 모으는 구성으로 하였다.

그러나, 본 발명에 있어서는, 그 구성으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 8에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 방향의 단면(斷面)이 역사다리꼴 형상의 플레이트 부재(27)에 있어서, 예를 들면 중앙에 기판폭 방향으로 뻗는 슬릿 형상의 린스액 토출 구멍(27a)을 형성하고, 전후 가장자리부에, 각각 기판폭 방향으로 뻗는 슬릿 형상의 에어 분출구멍(27b, 27c)을 형성해도 좋다.

그리고, 도시하는 바와 같이 린스액 공급원(41)(제2 처리액 공급수단)으로부터 린스액 토출 구멍(27a)에 린스액(S)을 공급하여 플레이트 상면에 린스액(S)을 토출시키고, 가스 공급원(42)으로부터 에어 분출구멍(27b, 27c)에 고압 가스를 공급하여 플레이트상에 가스류를 형성함에 의해, 플레이트상으로부터 린스액(S)이 흘러 떨어지지 않도록 액상으로 모을 수 있다.

아울러, 이 경우, 플레이트 부재(27)는 기판 반송 방향 상류측 하방에 소정 각도(예를 들면, 수평면에 대해 하방으로 2°) 경사시킴이 바람직하고, 그에 의해 플레이트 부재(27)상에 있어서 상류측에 더 많은 린스액(S)이 모여, 두께가 있는 액 고임부를 형성할 수 있다.

또한, 도시하는 바와 같이 플레이트 부재(27)의 전후 가장자리부에 에어 분출구멍(27b, 27c)을 형성해도 좋지만, 적어도 기판 반송 방향 상류측의 에어 분출구멍(27b)을 형성함에 의해, 플레이트 부재(27)상에 있어서 상류측으로부터 린스액(S)이 흘러 떨어지지 않도록 할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 플레이트 부재(27)의 상면은 면 일치(평면)로서 설명했지만, 도 9(a)에 평면도, 도 9(b)에 정면도를 나타내는 바와 같이, 그 양단에 있어서 상방으로 돌출하는 둑(27d)을 마련해도 좋다. 그와 같이 구성함에 의해, 플레이트 부재(27)의 양단에 있어서는 둑(27d)에 의해 린스액(S)이 저지되어, 더 균일한 두께로 린스액(S)을 플레이트상에 액상으로 모을 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 플레이트 부재(27)는, 기판 반송 방향의 단면이 역사다리꼴 형상으로 하고, 그 상면이 상류측 하방으로 경사져 있는 것으로 했지만, 경사지지 않고 수평인 상태라도 본 발명에 의한 효과를 충분히 얻을 수 있다.

또한, 플레이트 부재(27)를 상류측 하방에 임의의 각도로 경사시키는 기구를 프레임 부재(28)(도 4 참조) 등에 갖추도록 해도 좋다.

혹은, 도 10에 나타내는 바와 같이 플레이트 부재(27)의 상면(27e)을, 기판 반송 방향의 단면이 산 형상으로 되도록 형성해도 좋은데, 그 경우에는, 산 형상의 경사에 의해 린스액(S)을 플레이트 후부에 모을 수 있다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 액 고임 형성 수단으로서, 플레이트 부재(27)를 구비하는 구성으로 했지만, 본 발명에 있어서는, 그것으로 한정되는 것은 아니다.

예를 들면, 도 11에 나타내는 바와 같이, 롤러(6A)와 롤러(6B)의 사이에 벨트(43)를 걸고, 벨트(43)상에, 제1 린스 노즐(22)로부터 린스액(S)을 공급하여 액상으로 모으는 구성을 액 고임 형성 수단으로 해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에 나타낸 각 린스 노즐은, 기판폭 방향으로 뻗는 장척형의 노즐로서 나타냈지만, 그에 한정되지 않고, 미세지름 토출구를 각각 갖는 복수의 노즐(예를 들면 스프레이 타입의 노즐)을 기판폭 방향으로 나열해서 구성하도록 해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 제1 린스 노즐(22)에 의한 토출시의 임펙트가, 제2 린스 노즐(23)의 토출보다 작게 되도록, 토출 유속을 규정했지만, 제1 린스 노즐(22)과 제2 린스 노즐(23)의 노즐 형상이 동일하면, 토출 유량에 의해 규정할 수도 있다.

또한, 상기 실시 형태에서는, 에어 노즐(21)은, 반송 구간(M2)의 상방에 있어서, 그 분사 방향이, 수직 하방(연직 방향)을 0°로 하여 하류측에 소정 각도(예를 들면 10°)로 경사진 상태로 마련된 구성으로 했지만, 그에 한정되지 않고, 분사 방향이 수직 하방을 향한 상태의 구성으로 해도 좋다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 제2 반송 구간(M2)은, 대략 수평의 반송로의 구간으로 했지만, 상향 경사의 반송로와 하향 경사의 반송로로 이루어지는 융기부를 갖는 구성으로 해도 좋다. 그 경우, 에어 노즐(21), 제1 린스 노즐(22), 플레이트 부재(27)는, 상기 융기부의 정점 상방에 배치되고, 제2 린스 노즐(23)은 하향 경사의 반송로의 상방에 배치된다. 이 구성에 의해, 상향 경사의 반송로에 있어서, 기판(G)상의 현상액(D)을, 기판 전단측으로부터 후단측까지 차례로(기판 후단측으로부터) 흘려 떨어뜨릴 수 있다. 또한, 하향 경사의 반송로에 있어서, 제1 린스 노즐(22)과 제2 린스 노즐(23)로부터 공급된 린스액(S)에 의해, 기판 전단까지를 덮을 수 있다.

1 : 현상 유닛(기판처리장치)
2 : 반송 라인(기판 반송로)
2a : 융기부
2b : 단차
3 : 현상부
4 : 린스부
5 : 건조부
6 : 롤러
9 : 현상액 공급 노즐(제1 처리액 공급수단)
10 : 팬
11 : 폐액관
12 : 현상액 재이용 기구
21 : 에어 나이프(기체 공급수단)
22 : 제1 린스 노즐(제1 린스 수단)
23 : 제2 린스 노즐(제2 린스 수단)
27 : 플레이트 부재(액 고임 형성 수단)
41 : 린스액 공급원(제2 처리액 공급수단)
43 : 벨트(액 고임 형성 수단)
D : 현상액(제1 처리액)
G : 유리 기판(피처리 기판)
S : 린스액(제2 처리액)

Claims (9)

1. 기판 반송로를 평류 반송되는 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리장치로서,
   상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급수단과,
   상기 제1 처리액이 액상으로 모인 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 피처리 기판이 반송됨에 의해, 그 선단측으로부터 후단측에 걸쳐 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜는 기체 공급수단과,
   상기 기체 공급수단보다 기판 반송 방향의 하류측에 마련되어, 상기 피처리 기판의 기판면에 대해 상기 제2 처리액을 토출하는 제2 린스 수단과,
   상기 기체 공급수단과 상기 제2 린스 수단의 사이에 마련되어, 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어진 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 제1 린스 수단과,
   상기 기판 반송로상에서, 상기 제1 린스 수단에 의해 공급된 제2 처리액에 의해, 기판폭 방향으로 뻗는 액 고임부를 형성하는 액 고임 형성 수단을 구비하고,
   상기 피처리 기판의 선단부는, 그 기판면에 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어져, 상기 액 고임 형성 수단에 형성된 액 고임부의 안을 통과하고, 그 기판면에 상기 제1 린스 수단에 의해 제2 처리액이 더 공급되며,
   상기 액 고임 형성 수단에서, 상기 액 고임부가 형성되는 면은, 기판 반송 방향의 상류측 하방에 소정 각도로 경사지고,
   상기 액 고임 형성 수단에 의해 형성되는 액 고임부에서, 기판 반송 방향의 상류측 단부(端部)는, 상기 기체 공급수단으로부터 내뿜어지는 가스류에 의해 저지되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 액 고임 형성 수단은, 상기 기판 반송로를 반송되는 피처리 기판보다 낮은 위치에서 기판폭 방향으로 연장된 테이블 부재로서, 상기 테이블 부재의 상면에 상기 제2 처리액이 액상으로 모여, 상기 액 고임부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
3. 기판 반송로를 평류 반송되는 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리장치로서,
   상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하는 제1 처리액 공급수단과,
   상기 제1 처리액이 액상으로 모인 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 피처리 기판이 반송됨에 의해, 그 선단측으로부터 후단측에 걸쳐 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜는 기체 공급수단과,
   상기 기체 공급수단보다 기판 반송 방향 하류측에 마련되어, 상기 피처리 기판의 기판면에 대해 상기 제2 처리액을 토출하는 제2 린스 수단과,
   상기 기체 공급수단과 상기 제2 린스 수단의 사이에 마련되어, 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어진 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 제1 린스 수단과,
   상기 기판 반송로상에서, 상기 제1 린스 수단의 하방에 마련되어, 기판폭 방향으로 뻗는 제2 처리액의 액 고임부를 형성하는 액 고임 형성 수단을 구비하고,
   상기 액 고임 형성 수단은,
   상기 기판 반송로를 반송되는 피처리 기판보다 낮은 위치에서 기판폭 방향으로 연장되는 동시에, 상면에 상기 제2 처리액의 토출 구멍이 형성된 테이블 부재와,
   상기 테이블 부재에 형성된 토출 구멍으로부터 상기 제2 처리액을 토출시키는 제2 처리액 공급수단을 가지며,
   상기 제2 처리액 공급수단에 의해 상기 제2 처리액이 상기 테이블 부재의 상면에 공급되어 상기 액 고임부가 형성되고,
   상기 피처리 기판의 선단부는, 그 기판면에 상기 기체 공급수단에 의해 가스류가 내뿜어져, 상기 액 고임 형성 수단으로 형성된 액 고임부의 안을 통과하고, 그 기판면에 상기 제1 린스 수단에 의해 제2 처리액이 더 공급되며,
   상기 액 고임 형성 수단에서, 상기 액 고임부가 형성되는 면은, 기판 반송 방향의 상류측 하방에 소정 각도로 경사지고,
   상기 액 고임 형성 수단에 의해 형성되는 액 고임부에서, 기판 반송 방향의 상류측 단부는, 상기 기체 공급수단으로부터 내뿜어지는 가스류에 의해 저지되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 린스 수단은, 상기 기판 반송로를 반송되는 상기 피처리 기판의 기판면에 대해, 상기 제1 린스 수단보다 고유속으로 상기 제2 처리액을 토출하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
5. 삭제
6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기체 공급수단에 의해 상기 피처리 기판의 기판면에 내뿜어지는 가스류는, 기판폭 방향으로 직선 형상으로 뻗는 커튼 형상의 가스류인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 린스 수단은,
   상기 제2 처리액을 토출하는 린스 노즐과,
   상기 린스 노즐로부터 토출된 제2 처리액을, 피처리 기판상의 기판 반송 방향 상류측의 소정 위치까지 도출하는 동시에, 감속된 상태로 상기 소정 위치에 공급되는 방해판을 갖는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
8. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 반송로에서, 상향 경사의 반송로와 하향 경사의 반송로에 의해 융기부가 형성되고, 상기 융기부의 정점 상방에 상기 기체 공급수단과,
   상기 제1 린스 수단이 배치되며,
   하향 경사의 반송로의 상방에 상기 제2 린스 수단이 배치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
9. 피처리 기판에 제1 처리액을 공급하여 소정의 액 처리를 실시하고, 상기 제1 처리액을 회수하여 제2 처리액에 의해 세정하는 기판처리방법으로서,
   기판 반송로에서 상기 피처리 기판을 평류 반송하여, 기판상에 제1 처리액을 공급하는 동시에, 그 하류측의 기판 반송로상에서, 기판폭 방향으로 뻗는 상기 제2 처리액의 액 고임부를 형성하는 단계와,
   상기 제1 처리액이 공급된 상기 피처리 기판의 선단부의 기판면에 대해, 소정의 가스류를 연직 방향 내지 반송 방향 하류측 중 어느 한쪽을 향하여 내뿜고, 내뿜은 영역으로부터 상기 제1 처리액을 제거하는 단계와,
   상기 가스류가 내뿜어져서 제1 처리액이 제거된 피처리 기판의 선단부를, 상기 액 고임부의 안에 통과시키는 단계와,
   상기 피처리 기판의 선단부의 기판면에 대해, 소정의 유속으로 상기 제2 처리액을 토출하여 공급하는 단계를 실행하며,
   상기 액 고임부를 형성하는 단계에서, 상기 액 고임부가 형성되는 면은, 기판 반송 방향의 상류측 하방에 소정 각도로 경사지고,
   상기 액 고임부를 형성하는 단계에서 형성되는 액 고임부에서, 기판 반송 방향의 상류측 단부는, 기체 공급수단으로부터 내뿜어지는 가스류에 의해 저지되는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.

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