JP2005174990A - 半導体装置の製造方法、半導体装置、回路基板および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板10の裏面10bをブラスト処理して、基板10を構成する脆性材料を除去し、電極34の先端部を露出させる。またブラスト処理では、基板10を構成する脆性材料の除去速度より、電極34を構成する延性材料の除去速度が小さくなるので、基板10の裏面10bから所定高さhに電極34の先端部を突出させることができる。このブラスト処理は、エッチングに比べて加工速度が速いので、スループットを向上させることができる。
【選択図】 図8
Description
また、低コストの半導体装置、回路基板および電子機器の提供を目的とする。
ブラスト処理により、基板を構成する脆性材料を除去することができるので、電極の先端部を露出させることができる。またブラスト処理では、基板を構成する脆性材料の除去速度より、電極を構成する延性材料の除去速度が小さくなるので、基板の裏面から所定高さに電極の先端部を突出させることができる。さらにブラスト処理は、エッチングに比べて加工速度が速いので、スループットを向上させることができる。また、エッチング液やエッチングガスを使用しないので、製造プロセスを簡略化することができる。なお、周囲の環境に悪影響を及ぼすおそれも少ない。
この構成によれば、半導体装置における電流リークの発生や、酸素または水分等による浸食などを防止することができる。
電極の形成領域をマスクしてブラスト処理することにより、基板の裏面における電極の形成領域とそれ以外の領域との間に段差が形成される。さらに、基板の裏面全体をブラスト処理することにより、電極の先端部を露出させるとともに、電極の先端部を基板の裏面から突出させることができる。したがって、電極の先端部を荒らすことなく、電極の先端部を突出させることができる。また、電極の先端部を基板の裏面から任意の高さに突出させることができる。
この構成によれば、上下に積層された半導体装置の電極を接合する際に、電極の先端面に加えて側面にも接合部材を収容することが可能になる。これにより、機械的および電気的な接合信頼性を向上させることができる。
この構成によれば、半導体装置を積層する際に電極間の接合部材が変形しても、その接合部材と半導体基板の裏面との短絡を防止することが可能となる。したがって、信号線とグランドとの短絡を防止することができる。
この構成によれば、半導体装置の電極が酸化されて濡れ性が低下するのを防止することができる。したがって、半導体装置の形成から長時間の経過後に当該半導体装置を積層する場合でも、電極相互の接合が可能になるので、電極相互の導通不良を回避することができる。
この構成によれば、低コストの半導体装置を提供することができる。
この構成によれば、高密度実装された小型の半導体装置を低コストで提供することができる。
この構成によれば、低コストの回路基板を提供することができる。
この構成によれば、低コストの電子機器を提供することができる。
最初に、本発明に係る半導体装置の第1実施形態である半導体チップにつき、図1を用いて説明する。
図1は本実施形態に係る半導体チップの電極部分の側面断面図である。本実施形態に係る半導体チップ2は、集積回路が形成された半導体基板10と、半導体基板10の能動面10aから半導体基板10の裏面10bにかけて形成された貫通孔H4の内部に、第1の絶縁層である絶縁膜22を介して形成された電極34と、半導体基板10の裏面10bに形成された第2の絶縁層である絶縁膜26とを有するものである。
図1に示す半導体チップ2では、Si(ケイ素)等からなる半導体基板10の能動面10aに、トランジスタ、メモリ素子、その他の電子素子からなる集積回路(図示省略)が形成されている。その半導体基板10の能動面10aには、SiO2(酸化ケイ素)等からなる絶縁膜12が形成されている。さらに、その絶縁膜12の表面には、硼燐珪酸ガラス(以下、BPSGという)等からなる層間絶縁膜14が形成されている。
本実施形態に係る半導体チップ2は、以上のように構成されている。
次に、本実施形態に係る半導体チップの製造方法につき、図3〜図12を用いて説明する。図3〜図7は、本実施形態に係る半導体チップの製造方法の説明図である。本実施形態に係る半導体チップの製造方法は、半導体基板10の能動面から内部にかけて凹部H0を形成する工程と、凹部H0の内面に絶縁膜22を形成する工程と、絶縁膜22の内側に第1導電材料を充填して電極34を形成する工程と、半導体基板10の裏面10bをブラスト処理して、電極34の先端部を露出させる工程とを有するものである。なお以下には、半導体基板における多数の半導体チップ形成領域に対して同時に処理を行う場合を例にして説明するが、個々の半導体チップに対して以下に示す処理を行ってもよい。
以上により、図1に示す状態となり、本実施形態に係る半導体チップ2が完成する。
ここで図6(b)に示すように、電極34の先端部を露出させて、基板10の裏面10bから所定高さに電極34を突出させる方法について説明する。この作業は、基板10の裏面10bにブラスト処理を施すことによって行う。
次に、本発明の第2実施形態に係る半導体チップの製造方法につき、図9を用いて説明する。図9は、第2実施形態に係る半導体チップの製造方法の説明図である。第2実施形態に係る半導体チップの製造方法は、半導体基板10の裏面10bをブラスト処理する際に、電極34の形成領域をマスクしてブラスト処理する工程を含む点で、第1実施形態の半導体チップの製造方法と異なっている。これにより、電極34の先端部を、基板10の裏面10bから任意の高さに突出させることができる。なお、第1実施形態の半導体チップの製造方法と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係る半導体チップの製造方法につき、図10を用いて説明する。図10は、第3実施形態に係る半導体チップの製造方法の説明図である。第3実施形態に係る半導体チップの製造方法は、半導体基板10の裏面10bをブラスト処理する際に、電極34の中心軸と交差する方向からのブラスト処理を含む点で、第1実施形態の半導体チップの製造方法と異なっている。これにより、電極34の先端部に配置された絶縁膜22が除去され、電極34の先端部における先端面および側面を露出させることが可能になる。なお、第1実施形態の半導体チップの製造方法と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
以上のように形成した半導体チップを積層して、3次元実装された半導体装置を形成する。図12は、実施形態に係る半導体チップを積層した状態の側面断面図であり、図13は図12のA部における拡大図である。各半導体チップ2a,2bは、下層の半導体チップ2bにおける電極34のポスト部の上面に、上層の半導体チップ2aにおける電極34のプラグ部の下端面が位置するように配置する。そして、ハンダ層40を介することにより、各半導体チップ2a,2bにおける電極34を相互に接合する。具体的には、リフローによりハンダ層40を溶解させつつ、各半導体チップ2a,2bを相互に加圧する。これにより、ハンダ層40と電極34との接合部にハンダ合金が形成されて、両者が機械的および電気的に接合される。以上により、各半導体チップ2a,2bが配線接続される。なお、必要に応じて、積層した各半導体チップ相互の隙間にアンダーフィルを充填する。
以上のように積層形成された半導体装置を回路基板に実装するため、再配線を行うのが望ましい。まず、再配線について簡単に説明する。図14は、半導体チップの再配線の説明図である。図14(a)に示す半導体チップ61の表面には、その対辺に沿って複数の電極62が形成されているので、隣接する電極相互のピッチが狭くなっている。このような半導体チップ61を回路基板に実装すると、隣接する電極相互が短絡するおそれがある。そこで、電極相互のピッチを広げるため、半導体チップ61の対辺に沿って形成された複数の電極62を中央部に引き出す再配線が行われている。
図16は、回路基板の斜視図である。図16では、半導体チップを積層して形成した半導体装置1が、回路基板1000に実装されている。具体的には、半導体装置1における最下層の半導体チップに形成されたバンプが、回路基板1000の表面に形成された電極パッドに対して、リフローやFCB(Flip Chip Bonding)等を行うことにより実装されている。なお、回路基板との間に異方導電性フィルム等を挟み込んで、半導体装置1を実装してもよい。
次に、上述した半導体装置を備えた電子機器の例について、図17を用いて説明する。図17は、携帯電話の斜視図である。上述した半導体装置は、携帯電話300の筐体内部に配置されている。
Claims (10)
- 半導体基板を貫通する電極を有する半導体装置の製造方法であって、
集積回路が形成された前記半導体基板の能動面から内部にかけて凹部を形成する工程と、
前記凹部の内部に第1導電材料を充填して前記電極を形成する工程と、
前記半導体基板の裏面をブラスト処理して、前記電極の先端部を露出させる工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記凹部の内部に第1導電材料を充填する工程の前に、前記凹部の内面に第1絶縁層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の裏面をブラスト処理する工程は、前記電極の形成領域をマスクしてブラスト処理する工程を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の裏面をブラスト処理する工程では、前記電極の先端部における先端面および側面を露出させることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の裏面に、第2絶縁層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記凹部の底部に、前記第1導電材料より酸化されにくい第2導電材料からなる電極キャップを形成し
前記半導体基板の裏面をブラスト処理する工程では、前記電極キャップの少なくとも先端部を露出させることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の半導体装置の製造方法を使用して製造したことを特徴とする半導体装置。
- 請求項7に記載の半導体装置が複数積層され、上下に隣接する前記半導体装置の電極が電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7または請求項8に記載の半導体装置が実装されていることを特徴とする回路基板。
- 請求項7または請求項8に記載の半導体装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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JP2003408856A JP2005174990A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 半導体装置の製造方法、半導体装置、回路基板および電子機器 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011166168A (ja) * | 2011-05-16 | 2011-08-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
US8916423B2 (en) | 2012-05-29 | 2014-12-23 | Fujitsu Semiconductor Limited | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
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2003
- 2003-12-08 JP JP2003408856A patent/JP2005174990A/ja not_active Withdrawn
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