JP2005166971A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ペロブスカイト型酸化膜高誘電体薄膜を用いた容量素子において、高温アニールにより高誘電率化を図った誘電体膜においても、リーク電流特性劣化の少ない高性能な容量の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】GaAsエピタキシャル基板101上に、プラズマSiO2膜102を形成し、この上に容量の下部電極となるTi膜103,Pt膜104を形成する工程と、Pt膜104上にSrTiO3膜105を形成した後、アニールする工程と、SrTiO3膜105上に上部電極となるPt膜106を形成する工程と、SrTiO3膜105および上部電極となるPt膜106の所定の領域を残し、エッチングして容量素子を形成する工程と、前記容量素子の側壁面をオゾン処理する工程とを具備する。
【選択図】図1
【解決手段】GaAsエピタキシャル基板101上に、プラズマSiO2膜102を形成し、この上に容量の下部電極となるTi膜103,Pt膜104を形成する工程と、Pt膜104上にSrTiO3膜105を形成した後、アニールする工程と、SrTiO3膜105上に上部電極となるPt膜106を形成する工程と、SrTiO3膜105および上部電極となるPt膜106の所定の領域を残し、エッチングして容量素子を形成する工程と、前記容量素子の側壁面をオゾン処理する工程とを具備する。
【選択図】図1
Description
本発明は、高誘電体薄膜を用いた容量素子を有する半導体装置の製造方法に関するものである。
SrTiO3等のペロブスカイト型酸化膜高誘電体薄膜を用いた容量は、準マイクロ波帯で損失が少なく、60GHzまで周波数分散を示さないことから高周波GaAsMMIC用容量として使用されている(例えば特許文献1参照)。
これら容量はリーク電流を低減するため誘電体膜と電極の端面を離した形状にして端面リークを回避したり、酸素雰囲気でのアニールにより誘電体膜の酸素欠損を補填してリーク電流を抑えることで使用されている。
特開平8−45925号公報
しかしながら、更なる高容量化(高誘電率化)を図るためには、誘電体薄膜形成後に高温アニールによる結晶性の向上が必要となる。しかしこの高温アニール処理により生じる酸素欠損によりドナー準位が形成され、リーク電流レベルが劣化するといった課題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、誘電体薄膜を更に高誘電率化するための高温アニール処理により容量リーク特性の劣化が少ない高性能な容量素子の製造を実現した半導体装置の製造方法を提供するものである。
上記目的を達成するため本発明の半導体装置の製造方法では、高誘電体薄膜形成後、600℃〜700℃の温度で、2秒から60秒の高温短時間アニールを行い、次に容量端面を形成後、オゾン雰囲気で200℃〜300℃のアニール処理を施すことにより、充分に誘電体膜の結晶性を向上させ誘電率の向上をはかることができ、誘電体膜端面の酸素欠損を補填し、リーク電流の主要素である酸素欠損に起因した容量端リークを低減する。
このため、容量電極と容量端面を一致させても、リーク電流が低減されるので、更なる容量の小型化を実現することができる。
また、容量素子が形成される半導体基板にGaAs、GaAlAsまたはInAlAsのエピタキシャル層にTe又はSeドープの電子供給層を用いているため、容量素子の誘電率向上のために高温アニールをしても、従来の両極性のSiドープ電子供給層に比して、GaAsMMICの能動素子のエピタキシャル層の電気特性劣化が少ない。
本発明によれば、ペロブスカイト型酸化膜高誘電体薄膜を用いた容量形成において、高容量化のための高温アニールにより生じた酸素欠損を、オゾン雰囲気の熱処理を行うことで強制的に補填し、リーク電流の主要素である容量端面部での電流リークを抑え、高容量かつリーク電流の低い高性能な容量素子を実現することが可能である。
以下、図面を参照しながら、本発明をさらに詳細に説明する。
図1は本発明の実施形態によって製造される半導体装置の構造を示す断面図であり、101はGaAsエピタキシャル基板、102はプラズマSiO2膜、103はTi膜、104はPt膜、105は高誘電体薄膜であるSrTiO3膜、106はPt膜、108はプラズマSiO2膜、109,110は配線である。
図2は高誘電体容量素子の製造工程を示す断面図である。図2(a)に示すように、GaAsエピタキシャル基板101上に基板前面にプラズマCVD法を用いてプラズマSiO2膜(厚さ300nm)102を形成する。この上に下部電極であるTi膜(厚さ20nm)103、Pt膜(厚さ250nm)104をEB蒸着法を用い形成する。
次に、図2(b)に示すようにPt膜104上にO2を含むArプラズマ中でRFスパッタ法により基板温度300℃でSrTiO3膜(厚さ300nm)105を形成する。
次に、図2(c)に示すように、ランプアニール法を用いて、N2雰囲気中、650℃、30秒間のアニールを行い、SrTiO3膜105の結晶化を促進させる。アニール温度としては、600〜700℃、時間としては2秒〜60秒が適当である。なお、O2雰囲気を用いれば更なる結晶化の向上が図れる。
次に、図2(d)に示すように、SrTiO3膜105上に上部電極となるPt膜(厚さ300nm)106をEB蒸着法を用い形成する。
次に、図2(e)に示すように、フォトレジストマスク107を用いて、上部電極となりうる所定の領域を、Arイオンミリング法を用いて上部電極となるPt膜106と誘電膜であるSrTiO3膜105のエッチングを同時に行い上部電極を形成する。
次に、フォトレジスト107(図2(e)参照)を除去した後、図2(f)に示すように、オゾン雰囲気で300℃、30秒のアニールを行う。イオンミリング後SrTiO3膜105の端面にできた酸素欠損がリーク電流を引き起こすおそれがあるため、オゾンアニールによりこの酸素欠損を強制的に補填する。
次に、図2(g)に示すように、絶縁膜をプラズマCVD法を用いてプラズマSiO2膜(厚さ500nm)108を形成する。これは容量端の保護と次工程で形成するAu配線と容量との絶縁性を担う。
次に、図2(h)に示すように、Auメッキ法を用いて上部電極となるPt膜106および下部電極となるPt膜104からの配線(厚さ3μm)109,110を形成し、容量構造を形成する。
図3は、100μm×100μmサイズの容量の電気特性を図1で示した本実施形態のオゾンアニール処理した容量とアニール処理のない従来の容量とで比較したものであり、図3(a)は本実施形態における容量、図3(b)は従来の容量を示す。同図より本実施形態の容量の方が、容量値が大きく(約1.5倍)、また容量リークの少ない良好な特性が実現できていることが分かる。
以上の説明では、高誘電体薄膜としてSrTiO3を採用した場合について説明したが、BaSrTiO3等の他のペロブスカイト型酸化膜誘電体薄膜についても、同様の効果があることは言うまでもない。
また、基板としてGaAsエピタキシャル基板を採用した場合について説明したが、他のInPエピタキシャル基板についても同様である。更に、Te又はSeドープの電子供給層を用いることにより、GaAsMMICにおける能動素子部分において、高温アニール時におけるエピタキシャル基板の電気特性劣化を抑制することが可能である。
これによりエピタキシャル基板の電気特性を維持したまま、SrTiO3誘電率をアップできる。これにより、容量素子の端面リーク防止のために誘電体膜サイズを電極より小さくする必要が無くなり、容量素子の小型化実現できる。
ところで、SrTiO3の成膜温度を高くして、低温での熱処理での製造方法、例えば400℃でSrTiO3を成膜し、400〜500℃でアニール処理するものでは、SrTiO3膜の誘電率はバルクの50%程度しか得られていない。アニール温度とSrTiO3誘電率の正相関を確認しており、600〜700℃の高温アニールにすることにより誘電率40%アップできると見込める。
しかしながら、高温アニール時間が長いとSrTiO3から酸素が抜け、電流リークが増大し、化合物半導体基板のエピタキシャル層上に容量形成するため、400℃以上でのエピタキシャル層の電気特性劣化が考えられる。
そこで本実施形態によれば、耐熱性の高いTe,Seドープ基板を用い、RTP(Rapid Thermal Process:急速加熱処理)で高温度(600〜700℃)の短時間アニール処理(2秒)することで、基板の熱劣化を抑えつつ、低温(400℃以下、ここでは200〜300℃)オゾンアニールで電流リークを低減することが可能になる。またアニール処理は成膜直後でなく、容量端面を曝した直後に行うことにより、電流リークの支配的成分である端面リークを抑えることができる。
本発明によれば、リーク電流の主要素である容量端面部での電流リークを抑え、高容量かつリーク電流の低い高性能な容量素子を実現することが可能であることにより、例えば、携帯電話用の高誘電体容量素子を製造する分野において利用可能である。
101 GaAsエピタキシャル基板
102 プラズマSiO2膜
103 Ti膜
104 Pt膜
105 SrTiO3膜
106 Pt膜
107 フォトレジスト
108 プラズマSiO2膜
109,110 配線
102 プラズマSiO2膜
103 Ti膜
104 Pt膜
105 SrTiO3膜
106 Pt膜
107 フォトレジスト
108 プラズマSiO2膜
109,110 配線
Claims (6)
- 半導体基板の一主面上に、容量の下部電極となる第1の金属を形成する工程と、前記第1の金属上に高誘電体薄膜を形成した後、アニールする工程と、前記高誘電体薄膜上に容量の上部電極となる第2の金属を形成する工程と、前記高誘電体薄膜および第2の金属の所定の領域のみを残すようにエッチングして、前記第1の金属,高誘電体薄膜および第2の金属からなる容量素子を形成する工程と、前記容量素子の側壁面をオゾン処理する工程とを具備したことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板が化合物半導体基板であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板がTeまたはSeドープ層を有するGaAs、GaAlAsまたはInAlAsのエピタキシャル層を具備していることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記高誘電体薄膜が、スパッタ法で形成されたSrTiO3またはBaSrTiO3のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記高誘電体薄膜のアニール温度が600〜700℃、アニール時間が2秒から60秒であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記オゾン処理の温度が200〜300℃であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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JP2003404037A JP2005166971A (ja) | 2003-12-03 | 2003-12-03 | 半導体装置の製造方法 |
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KR20160138620A (ko) * | 2015-05-26 | 2016-12-06 | 성균관대학교산학협력단 | 원자적으로 평평한 다결정 sto 기판 제조방법 |
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2003
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KR20160138620A (ko) * | 2015-05-26 | 2016-12-06 | 성균관대학교산학협력단 | 원자적으로 평평한 다결정 sto 기판 제조방법 |
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