JP2005156933A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】非走査面上を走査するために光源から出力された光ビームの一部を分離し、該分離した光量が所定光量となるように光源の光量制御を行なう場合に、光源から出力される光ビームの偏光方向が不安定であっても非走査面上の光量変動を抑えることができる光走査装置を提供する。
【解決手段】ハーフミラー２０によって分離されＭＰＤ３０に入射されるモニタビームの光路上に、光ビームの入射角に対する反射特性に偏光依存性を有するウィンドウガラス３２（無コートの透明平行平板）を、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とが略一致するように、光軸に対して傾け角度θだけ傾けて挿入する。
【選択図】図２

Description

本発明は、光源から出力された光ビームを偏向手段によって偏向することにより被走査面上を走査させる光走査装置に係り、特に、入射された光ビームの光量を検出する検出手段と、前記光源から出力された光ビームの一部を分離する光分離手段を備え、前記光分離手段によって分離した光ビームの一部を前記検出手段に入射させる光学系と、前記検出手段による検出光量が予め定められた所定光量となるように、前記光源の出力光量を制御する光量制御手段と、を備えた光走査装置に関する。

従来より、光走査装置によって感光体を走査露光して画像を形成するレーザプリンタや複写機等の画像形成装置が普及している。光走査装置の光源には、従来より端面発光レーザが用いられてきたが、近年は、画像形成装置の高速化・高解像度化のために、複数の発光点が２次元配列された面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting diode Laser）からなる光源が用いられるようになってきている。

従来より光源として用いてきた端面発光レーザは、前方に出力されるメインビームの他に、後方に出力されるバックビームを有するため、このバックビーム光量をモニタしてその出力光量制御を行うことができた。

これに対して、ＶＣＳＥＬは、端面発光レーザと異なり、バックビームが出力されない。このため、図１１に示すように、ＶＣＳＥＬ１２を光源として用いる場合は、ＶＣＳＥＬ１２からの出力ビームの光路上にハーフミラー２０を設け、このハーフミラー２０によりＶＣＳＥＬ１２の出力ビームを感光体に照射されるメインビームと、光量モニタ用のビーム（モニタビーム）とに分離する。そして、分離されたモニタビーム（図１１では、ハーフミラー２０の反射光）の光量をＭＰＤ３０で検出し、該検出結果に基づいて、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６においてＶＣＳＥＬ１２の光量制御を行う。

ここで、ハーフミラーのような光学素子は、その反射率（透過率）に偏光依存性が有り、入射される光ビームの偏光方向により反射率（透過率）が変化することが一般に知られている。また、ＶＣＳＥＬは構造が基本的に等方性のため、出力ビームの偏向方向は不安定である。

例えば、ハーフミラーの反射率がＳ偏光＞Ｐ偏光であるとすると、ＶＣＳＥＬからハーフミラーに入射される光ビームがＳ偏光である場合は、Ｐ偏光である場合よりも光量センサに入射する光量が多くなる。光量制御回路では、光量センサでの検知光量が一定になるようにＶＣＳＥＬの出力光量を調整するので、ＶＣＳＥＬの出力ビームがＳ偏光からＰ偏光に変化した場合の挙動を説明すると以下の如くなる。

すなわち、ＶＣＳＥＬの出力ビームがＳ偏光からＰ偏光に変化すると、ハーフミラーによってモニタビームとして分離される光量が低下し、代わりにメインビームとして分離される光量が増加するので感光体上でのメインビーム光量が増える。光量制御回路では、モニタビーム光量が低下したので、ＶＣＳＥｌの光量が低下したと誤判定して、出力光量を増大させる。ＶＣＳＥＬの出力光量が増えると、メインビーム光量がさらに増え、感光体に照射される光ビームの光量が増大する。

このように、ＶＣＳＥＬの出力ビームがＳ偏光からＰ偏光に変化すると、ハーフミラーの偏光依存性によって感光体上のメインビーム光量が増加すると共に、光量制御回路の制御によってもさらにメインビーム光量が増加されることになる。また、ビームの偏光方向がＰ偏光からＳ偏光に変化した場合は、逆に、ハーフミラーの偏光依存性によって感光体上のメインビーム光量が減少すると共に、光量制御回路の制御によってもさらにメインビーム光量が減少されることになる。すなわち、ＶＣＳＥＬの偏光不安定性による光量変動が光量制御によって増幅されてしまうという問題があった。

以下、具体的な例を用いてこの問題を詳述する。

図１２に、一般的な光走査装置を示す。なお、図１２では、コリメータレンズやシリンダレンズといった偏光依存性が無い光学素子は省略している。

図１２に示す光走査装置１０では、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームは、コリメータレンズ（図示省略）を介してハーフミラー２０に入射され、ハーフミラー２０によってモニタビームとメインビームとに分離される。ハーフミラー２０の反射光であるモニタビームは、光量モニタ用の光量センサ（ＭＰＤ）３０に入射される。一方、ハーフミラー２０の透過光であるメインビームは、シリンダレンズ（図示省略）を介してポリゴンミラー１４に反射され、Ｆθレンズ２２を透過した後、３枚の反射ミラー２４Ａ〜Ｃで反射されることによって、感光体５０方向へと案内される。感光体５０方向へと案内されたメインビームは、カバーガラス２６を透過することによって光走査装置１０外へ出て、感光体５０へ照射される。

すなわち、光走査装置１０では、ハーフミラー２０以外にも、ポリゴンミラー１４、反射ミラー２４Ａ〜Ｃ、及ぶカバーガラス２６といった反射率や透過率に偏光依存性を有する光学素子を介した光ビームを感光体５０に照射することになる。

ここで、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が、副走査方向（光走査装置による光ビームの走査方向と直交する方向）に平行であった場合と、主走査方向（光走査装置による光ビームの走査方向）に平行であった場合の、上記ハーフミラー２０、ポリゴンミラー１４、反射ミラー２４Ａ〜Ｃ、及ぶカバーガラス２６の各光学素子における偏光を次の表１に示す。

また、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が、副走査方向（光走査装置による光ビームの走査方向と直交する方向）に平行であった場合と、主走査方向（光走査装置による光ビームの走査方向）に平行であった場合とで、各光学素子の透過率・反射率が次の表２の如く変化するとする。

なお、表２における光学系全体とは、ＶＣＳＥＬの出力ビームのうち光走査装置から出力される光ビームの割合を示すものであり、以下、この割合のことをメインビーム側の光学系全体の透過率と称す。

上記の表１、２のような場合に、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が、副走査方向から主走査方向に変化すると、メインビーム側の光学系全体の透過率は、２６．３％から３０．２％に増加する。

一方、ＶＣＳＥＬの出力ビームのうち光量センサに入射する光量は、ハーフミラーの透過光の残りが全て光量センサ方向へ反射されるとすると、出力ビームの偏光方向が副走査方向に平行な場合は５０％、出力ビームの偏光方向が主走査方向に平行な場合は４５％となる。すなわち、ハーフミラーから光量センサへと進行する光ビーム（モニタビーム）側の光学系については、透過率が１１％（＝（５０―４５）／４５）低下することになり、その結果、光量センサでの検出光量が１１％低下する。

このため、光量制御回路では、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変化すると、ＶＣＳＥＬの光量が低下したと誤判断して、ＶＣＳＥＬの出力光量を１１％、すなわち光量センサでの検出光量の低下分だけ増加させる。

したがって、感光体に照射される光ビームの光量は、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向に平行な場合を１００とすると、主走査方向に平行な場合は１２７．５（＝１００×（３０．２／２６．３）×１．１１）となる。すなわち、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変化すると、感光体上のメインビーム光量が２７．５％増大し、表２で示した光学系全体の偏光依存性による増加分である１４．８％（＝（３０．２−２６．３）／２６．３）よりも、光量制御による影響が加わるために光量変動が大きくなることが分かる。

このようにＶＣＳＥＬの偏光不安定性による光量変動が光量制御によって増幅されると、感光体上のメインビーム光量を一定に制御することができず、画像形成装置では形成した画像上に濃度ムラが生じてしまう。これを防止するための技術としては、ＶＣＳＥＬの構造に異方性を持たせて、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光を制御する技術がある（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、実際には、ＶＣＳＥＬの偏光を完全に制御することはできなかった。

一方、偏光方向が不安定な光源を用いる場合に、後段の光学系で偏光の影響を受けないようにする技術も従来より提案されている。特に、特許文献２で提案されている技術は、光路上に光学素子を光軸に対して傾けて配設することで、光学系の偏光依存性を打ち消すものであり、特殊な光学素子を必要とせず低コスト化が可能な点で優れている。
特開平１−１９６８８４号公報 特開２００２−６２４５号公報

しかしながら、特許文献２で提案されている技術は、ＶＣＳＥＬを光源として用いる場合に必須となる出力ビームからモニタビームを分離して光量検出を行うことを考慮したものではなく、光源から感光体へ至る光ビームの光路上に偏光依存性を打ち消すための光学素子を挿入するものであるので、ＶＣＳＥＬを光源として用いる場合に適用すると以下のような問題が発生した。

図１３は、ＶＣＳＥＬを光源として用いる場合の光学系に特許文献２で提案されている技術を適用した一例を示しており、ハーフミラー２０と感光体５０との間の光ビーム（メインビーム）の光路上に、光軸に対して傾けて光学素子１００を配置することによって、メインビーム側の光学系の偏光依存性（上述した１４．８％）が相殺される。この場合、ハーフミラー２０からＭＰＤ３０へと進行する光ビーム（モニタビーム）側の光学系については、光学素子１００から何ら影響を受けないので、ハーフミラー２０の偏光依存性が残ってしまう。

また、図１４は、ＶＣＳＥＬを光源として用いる場合の光学系に特許文献２で提案されている技術を適用した別の一例であり、光軸に対して傾けた光学素子１００をＶＣＳＥＬ１２とハーフミラー２０との間に設けた点が図１３と異なっている。前述したように、光走査装置にはハーフミラー以外にも偏光依存性を有する光学素子が存在し、特許文献２で提案している技術は、これら光学素子トータルの偏光依存性、すなわちメインビーム側の光学系全体の偏光依存性を相殺するように光学素子１００を配置するものである。したがって、メインビーム側の光学系全体の偏光依存性を相殺することができても、ハーフミラー２０単体では偏光依存性が残ってしまう。

すなわち、ハーフミラー２０の前後何れであってもＶＣＳＥＬ１２から感光体５０へ至る光ビームの光路上に光学素子１００を傾けて配置したのでは、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が変化した場合に、ハーフミラーの偏光依存性によってモニタビーム光量が増加又は減少するため、光量駆動回路によって誤った光量制御がなされてしまい、感光体に照射される光ビームの光量（メインビーム光量）を一定に制御することができないという問題があった。特に、表２の例では、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変化すると、光量制御によってＶＣＳＥＬの出力光量が必要以上に高くされるため、ＶＣＳＥＬの寿命に与える影響が大きい。

なお、図１４の場合、光学素子１００をハーフミラー２０の偏光依存性を完全に相殺するように傾けて配置することで、出力ビームの偏光が変化してもＭＰＤ３０に入射するモニタビーム光量が変化しないようにすることも考えられるが、この場合、その他の光学素子に偏光依存性が有ってはならないことになり、矛盾が生じる。

本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、非走査面上を走査するために光源から出力された光ビームの一部を分離し、該分離した光量が所定光量となるように光源の光量制御を行なう場合に、光源から出力される光ビームの偏光方向が不安定であっても非走査面上の光量変動を抑えることができる光走査装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために請求項１に記載の光走査装置は、光源から出力された光ビームを偏向手段によって偏向することにより被走査面上を走査させる光走査装置であって、入射された光ビームの光量を検出する検出手段と、前記光源から出力された光ビームの一部を分離する光分離手段を備え、前記光分離手段によって分離した光ビームの一部を前記検出手段に入射させる光学系と、前記検出手段による検出光量が予め定められた所定光量となるように、前記光源の出力光量を制御する光量制御手段と、を有し、前記光学系が、前記光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合に、前記非走査面上の光量の変動率と、前記検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有する、ことを特徴としている。

請求項１に記載の光走査装置によれば、光源から出力された光ビームは、その一部が光分離手段によって分離されて、該光分離手段を含む光学系によって検出手段に入射される。検出手段では、この入射された光ビームの光量を検出し、当該検出光量が予め定められた所定光量となるように、光量制御手段によって光源の出力光量制御がなされる。

このとき、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化すると、検出手段に光ビームを入射させる光学系が、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合に、非走査面上の光量の変動率と検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有するので、検出手段での検出光量が非走査面上の光量の変動率と略等しい変動率で変動することになる。検出手段の検出光量が変動すると、光量制御手段によって検出光量を元に戻す（前記所定値にする）ようにその変動率分に応じて光源の出力光量が増減されるので、この結果、非走査面上の光量も元に戻される。

すなわち、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化し、該変化に伴って非走査面上の光量が変動しても、光量制御手段において検出手段での検出光量が所定光量となるように光源の出力光量を制御することで、非走査面上の光量が変動前の状態に自動的に戻されるので、光源から出力される光ビームの偏光方向が不安定であっても、非走査面上の光量変動を抑えることができる。

なお、検出手段に光ビームを入射させる光学系が、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合に、非走査面上の光量の変動率と検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有するようにするためには、請求項２に記載されているように、前記光学系が、光ビームの入射角に対する反射特性に偏光依存性を有し、前記特性にするべく光軸に対して傾けて配置された光学素子を備えるようにすればよい。

上記の光学素子としては、例えば、請求項３に記載されているように、無コーティング（以下、無コート）の透明平行平板を用いることができる。この場合、請求項４に記載されているように、前記透明平行平板が、前記光分離手段によって分離された前記光ビームの一部が非平行光状態で入射される位置に配置されるようにすれば、光ビームの干渉の影響を受けることなく安定した出力光量制御を行うことができる。また、請求項５に記載されているように、前記透明平行平板の光軸に対する傾け角度を調整可能にすれば、光走査装置に個体差があってもそれぞれの装置で最適な傾き角度に調整することができる。

また、上記の光学素子は、請求項６に記載されているように、前記光分離手段によって分離された前記光ビームの一部を前記検出手段の光入射面に集光させるレンズであってもよい。

また、請求項７に記載されているように、前記光分離手段に前記特性を備えさせることで、検出手段に光ビームを入射させる光学系において、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合に、非走査面上の光量の変動率と検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させることができるようにしてもよい。この場合、上記のような光学素子が不要となり、部品点数の増加を防止することができる。

また、請求項８に記載の光走査装置は、光源から出力された光ビームを偏向手段によって偏向することにより被走査面上を走査させる光走査装置であって、入射された光ビームの光量を検出する検出手段と、前記光源から出力された光ビームの一部を分離する光分離手段を備え、前記光分離手段によって分離した光ビームの一部を前記検出手段に入射させる光学系と、前記検出手段による検出光量が予め定められた所定光量となるように、前記光源の出力光量を制御する光量制御手段と、を備え、前記検出手段の光入射面に、前記光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合の前記非走査面上の光量の変動率と、前記検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有するコーティングを施した、ことを特徴としている。

請求項８に記載の光走査装置によれば、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合に、非走査面上の光量の変動率と検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有するコーティングを検出手段の光入射面に施したので、光源から出力された光ビームの偏光方向が変化し、該変化に伴って非走査面上の光量が変動すると、検出手段での検出光量が非走査面上の光量の変動率と略等しい変動率で変動することになり、請求項１に記載の発明と同様に、光源から出力される光ビームの偏光方向が不安定であっても、非走査面上の光量変動を抑えることができる。

なお、光源としては、請求項９に記載されているように、面発光レーザアレイを用いることができる。

以上説明したように本発明によれば、非走査面上を走査するために光源から出力された光ビームの一部を分離し、該分離した光量が所定光量となるように光源の光量制御を行なう場合に、光源から出力される光ビームの偏光方向が不安定であっても非走査面上の光量変動を抑えることができるという効果がある。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。

＜第１の実施の形態＞
[構成]
図１に本発明の第１の実施の形態に係る光走査装置１０を示す。なお、この光走査装置１０は、レーザプリンタや複写器といった画像形成装置に搭載されて、円筒状の感光体５０をその軸線方向（主走査方向：矢印Ａ参照）に走査露光するために用いられる。

図１に示すように、光走査装置１０は、光源としての面発光レーザアレイ（ＶＣＳＥＬ）１２と、側面に複数の反射面１４Ａを有する正多角形状（具体的には正六角形）に形成された偏向手段としてのポリゴンミラー１４と、を備えている。

ＶＣＳＥＬ１２は、複数の発光点が二次元配列されており、複数の光ビームを同時出力することができる。光走査装置１０は、このようなＶＣＳＥＬ１２を光源として用いることで、複数の光ビームを同時走査させることが可能となる。

また、光走査装置１０は、ＶＣＳＥＬ１２を駆動させるためのＶＣＳＥＬ駆動回路１６を備えており、ＶＣＳＥＬ１２はＶＣＳＥＬ駆動回路１６と接続されている。ＶＣＳＥＬ１２の各発光点は、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６から駆動電流が供給されることによって発光し、該供給された駆動電流値に応じた光量のビームを出力する。

ケーシング内のＶＣＳＥＬ１２から出力されたビームの進行方向下流側には、コリメータレンズ１８、及び光分離手段としてのハーフミラー２０が順に配置されている。コリメータレンズ１８は、ＶＣＳＥＬ１２から出力された各ビームを発散光から略並行光に変換する。コリメータレンズ１８を透過した各ビームはハーフミラー２０に入射され、各ビームの一部はハーフミラー２０を透過し、残りの一部はハーフミラー２０によって反射される。なお、本実施形態では、ハーフミラー２０の透過光がメインビームとして、ポリゴンミラー１４の反射面１４Ａに入射されるようになっている。

ハーフミラー２０とポリゴンミラー１４の間には、シリンダレンズ２１が配置されている。シリンダレンズ２１は、主走査方向と直交する方向（以下、副走査方向）にパワーを有し、メインビームをポリゴンミラー１４の反射面１４Ａ上に主走査方向に細長い線像として収束させる。

ポリゴンミラー１４は、図示しないポリゴンモータによって所定速度で矢印Ｂ方向に回転されており、この回転によって反射面１４Ａに対するメインビームの入射角度が連続的に変化し、反射面１４Ａに入射したメインビームが偏向される。これにより、ＶＣＳＥＬ１２から出力された各ビームのメインビームが主走査方向（矢印Ａ参照）に走査されることになる。

ポリゴンミラー１４によって反射されたビームの進行方向には、第１のレンズ２２Ａ及び第２のレンズ２２ＢからなるＦθレンズ２２、及び３枚の反射ミラー２４Ａ〜Ｃが配置されている。ポリゴンミラー１４によって反射されたメインビームは、Ｆθレンズ２２を透過した後、反射ミラー２４Ａ〜Ｃによって光走査装置１０の光出力口となるカバーガラス２６へと案内され、カバーガラス２６を透過することによって光走査装置１０外へと出力される。光走査装置１０外に出力された光ビームは、感光体５０に照射される。このとき、ポリゴンミラー１４によって反射されたメインビームは、Ｆθレンズ２２によって、感光体５０の表面上で結像点が結ばれ、かつ感光体５０上での走査速度が略等速度にされる。画像形成装置では、光走査装置１０によって光ビームを感光体５０上で主走査させ、且つ感光体５０を矢印Ｃ方向に一定速度で回転することで副走査がなされ、感光体５０上に画像（潜像）を形成することができる。

なお、図示は省略するが、Ｆθレンズ２２よりも光の進行方向下流側で、且つ主走査方向最上流側にはミラーが配置され、このミラーによる光の反射方向には、ＰＤ等の受光素子を備えたＳＯＳ（Start of Scan）センサが配設されている。すなわち、光走査装置１０では、感光体５０上をメインビームが走査する毎に、感光体５０上の走査開始手前のメインビームがミラーによって反射されてＳＯＳセンサへと案内され、ＳＯＳセンサによって走査開始タイミングを検知することができるようになっている。画像形成装置に光走査装置１０が搭載された際には、このＳＯＳセンサによる走査開始タイミングの検知信号（ＳＯＳ信号）に基づいて、該光走査装置１０の各種動作タイミング制御がなされる。

一方、ハーフミラー２０による光の反射方向には、集光レンズ２８、及び光量モニタ用の光量センサ（以下、ＭＰＤ）３０が配設されている。ハーフミラー２０によって反射されたビームは、モニタビームとして、集光レンズ２８によって集光されてＭＰＤ３０に入射されることになる。ＭＰＤ３０は、本発明の検出手段に対応するものであり、入射したモニタビームを受光し、その受光量に応じた値の電流を出力する。

すなわち、本実施の形態では、このようにハーフミラー２０からＭＰＤ３０に至るモニタビームの光路上に配置された光学素子（ハーフミラー２０を含む）から本発明の光学系が構成されることになり、以下、この光学系のことをモニタビーム側の光学系と称す。

なお、ＶＣＳＥＬ１２の何れの発光点を点灯させたときでも、ＭＰＤ３０の受光面にモニタビームを入射させることができるのであれば、集光レンズ２８は省略可能である。ただし、後述する光ビームの干渉の問題を解消するためには、集光レンズ２８を設け、モニタビームを集光させてＭＰＤ３０に入射させるようにすることが好ましい。

ＭＰＤ３０の出力は、不図示の電流電圧変換器を介してＶＣＳＥＬ駆動回路１６と接続されている。ＭＰＤ３０から出力された受光量に応じた電流値は電流電圧変換器によって電圧変換され、該電流値に応じた値の電圧信号（以下、モニタ光量信号）となって、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６に入力される。これにより、ＶＣＳＥＬ１２から出力されたビームのうち、ハーフミラー２０によって反射されたモニタビームの光量を表すモニタ光量信号がＶＣＳＥＬ駆動回路１６に入力されることになる。

ＶＣＳＥＬ駆動回路１６には、外部（画像形成装置のコントローラ）から点灯信号、光量指示信号、光量制御実行指示（ＡＰＣ）信号といった各種の制御信号が入力されるようになっている。ＶＣＳＥＬ駆動回路１６は、点灯信号に従って、ＶＣＳＥＬ１２の対応する発光点への駆動電流の供給をＯＮ／ＯＦＦし、当該発光点をビーム点灯させたり消灯させたりする。具体的に、画像形成装置に搭載時には、ＳＯＳ信号を取得するためにビーム点灯させたり、光量制御のためにビーム点灯させたり、画像データに基づいてビーム点灯させるための点灯信号が入力される。

また、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６は、光量制御のためにＶＣＳＥＬ１２の何れかの発光点の点灯を指示する点灯信号と、光量制御の実行を指示するＡＰＣ信号とが入力された光量制御時には、点灯信号に従って該当する発光点を点灯させた状態で、モニタ光量信号が光量指示信号と略一致するように、すなわちＭＰＤ３０での検出光量が光量指示信号で指示されている所定光量となるように、該当する発光点へ供給する駆動電流値を調整する。これにより、当該発光点の出力光量を制御することができ、光量制御後は調整後の駆動電流値を保持し、当該発光点の以降の点灯時には、該駆動電流値の電流を供給する。すなわち、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６が本発明の光量制御手段としての機能を備えている。

ここで、本実施の形態では、集光レンズ２８とＭＰＤ３０との間のモニタビームの光路上に、光学素子として、光ビームの入射角に対する反射特性に偏光依存性を有する無コートの透明平行平板（以下、ウィンドウガラス）３２が配設されている。

このウィンドウガラス３２は、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が副走査方向である場合に、Ｓ偏光入射となるようにモニタビームの光路上に挿入されており、図２に示すように、その光軸がモニタビーム側の光学系の光軸に対して所定角度（以下、光軸に対する傾け角度と称す）θだけ傾けられている。

この光軸に対するウィンドウガラス３２の傾け角度θは、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とが略一致するように定められている。

[作用]
次に、第１の実施の形態の作用として、光量制御時の光走査装置１０の動作について説明する。

第１の実施の形態に係る光走査装置１０では、光量制御時は、ＶＣＳＥＬ１２の光量制御対象の発光点を点灯させる。これにより、ＶＣＳＥＬ１２から１本の光ビームが出力され、出力された光ビームはコリメータレンズ１８によって平行光化された後、ハーフミラー２０に入射し、ハーフミラー２０によってメインビームとモニタビームとに分離される。

ハーフミラー２０の透過光であるメインビームは、ポリゴンミラー１４の反射面によって反射され、Ｆθレンズ２２を透過し、反射ミラー２４Ａ〜Ｃによって反射された後、カバーガラス２６を透過して、感光体５０に照射される。ハーフミラー２０の反射光であるモニタビームは、集光レンズ２８、ウィンドウガラス３２を透過した後、ＭＰＤ３０の受光面に入射する。ＭＰＤ３０では、受光面に入射したモニタビームの光量を検出し、その検出結果がモニタ光量信号としてＶＣＳＥＬ駆動回路１６へ入力される。

ＶＣＳＥＬ駆動回路１６は、該モニタ光量信号が外部（画像形成装置のコントローラ）から入力された光量指示信号と一致するように、すなわち、ＭＰＤ３０で検出されるモニタビーム光量が光量指示信号で指示されている光量と一致するように、点灯中の発光点の出力光量を制御する。これにより、感光体５０上のメインビーム光量が所定の値となるように制御することができる。

このような光量制御を、ＶＣＳＥＬ１２の全ての発光点について行うことで、ＶＣＳＥＬ１２から出力される複数の光ビーム各々の感光体５０上でのメインビーム光量を所定値に揃えることができる。

ところで、上記の如く光量制御が行われる場合に、ＶＣＳＥＬからの出力ビームの偏光方向が変化すると、ハーフミラー２０、ポリゴンミラー１４、反射ミラー２４A〜C、カバーガラス２６の透過率・反射率が変化し、感光体５０に照射されるメインビーム光量が変動する。このとき、ハーフミラー２０によって分離されたモニタビーム光量も変動するが、モニタビーム光路上に、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とが略一致するように、光軸に対して傾けられてウィンドウガラス３２が設けられているため、ＭＰＤ３０に入射するモニタビーム光量は、感光体５０上のメインビーム光量の変動率だけ増減されたものになる。

これにより、ＭＰＤ３０では、出力ビームの偏光方向の変化後に感光体５０に実際に照射されているメインビーム光量に応じた光量のモニタビームを検出することができ、従来技術のように、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６において誤判定されることがない。すなわち、出力ビームの偏光方向の変化後も、感光体５０上のメインビーム光量を所定の値にするべく光量制御が継続され、感光体５０上のメインビーム光量の変動を抑えることができる。

次に、光軸に対するウィンドウガラス３２の傾け角度θについて具体的に説明する。以下では、光学系が表２で示したような偏光依存性を有している場合を例に説明する。

この場合、前述したように、ＶＣＳＥＬからの出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変化すると、メインビーム側の光学系の透過率は１４．８％増大する。また、モニタビーム側の光学系の透過率は、ウィンドウガラス３２が無い場合では、１１％低下する。このような場合は、ＶＣＳＥＬからの出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変化した場合に２７．５％（＝１．１４８×１．１１）だけ透過率が増加するように、ウィンドウガラス３２を傾けて挿入すればよい。

ここで、図３に、横軸を光ビームの入射角、縦軸をウィンドウガラス３２による１面の反射率として、Ｓ偏光及びＰ偏光それぞれの光ビーム入射時のウィンドウガラス３２の反射特性を示す。なお、ウィンドウガラス３２には、屈折率１．５２の媒質を利用している。

図３から、入射角に対するウィンドウガラス３２による１面の反射率はＰ偏光とＳ偏光とで異なり、ウィンドウガラス３２は、光ビームの入射角に対する反射特性に偏光依存性が有ることが分かる。この図３において、光ビームの入射角が５０．１度の場合のウィンドウガラス３２による１面の反射率は、Ｓ偏光では１１．７９％、Ｐ偏光では０．３７％になっている。この場合のウィンドウガラス３２の透過率は、ウィンドウガラス３２の入出力両面で反射（２面で反射）された残りが全て透過するとして、Ｓ偏光では７７．８％（＝（１−０．１１７９）²）、Ｐ偏光では９９．３％（＝（１−０．００３７）²）となる。

したがって、モニタビームの光路上に、光軸に対する傾け角度θ＝５０．１度となるようにウィンドウガラス３２を傾けて挿入すれば、ＶＣＳＥＬからの出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変化して、ウィンドウガラス３２の入射ビームがＳ偏光からＰ偏光に変化すると、ウィンドウガラス３２の透過率が２７．６％（＝（９９．３−７７．８）／７７．８）増加することになり、前述した２７．５％と略等しい透過率の増加が得られる。

このように光軸に対する傾け角度θ＝５０．１度となるようにウィンドウガラス３２を傾けて挿入することにより、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が、副走査方向に平行であった場合と、主走査方向に平行であった場合とで、モニタビーム側の各光学素子の透過率・反射率は次の表３の如く変化する。

なお、表３における光学系全体とは、モニタビーム側の光学系全体の透過率、すなわちＶＣＳＥＬの出力ビームのうち光走査装置からＭＰＤ３０に入射される光ビームの割合を示すものである。

表３に示したように、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が、副走査方向から主走査方向に変化すると、モニタビーム側の光学系全体の透過率は、３８．９％から４４．７％に増加する。したがって、ＭＰＤ３０に入射するモニタビーム光量は１４．９％（＝（４４．７−３８．９）／３８．９）増加し、この増加率は感光体５０上におけるメインビーム光量の増加率（１４．８％）と略一致する。したがって、ＭＰＤ３０では、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が、副走査方向から主走査方向に変化した場合に、出力ビームの偏光方向の変化後に実際に感光体５０に照射されているメインビーム光量に応じた光量のモニタビームを検出することができる。

図４に、３２ビームを出力可能なＶＣＳＥＬ１２の各発光点を順番に点灯させたときの感光体５０上の光量の測定結果を示す。図４において、（Ａ）はモニタビームの光路上にウィンドウガラス３２が無い場合、（Ｂ）はウィンドウガラス３２が有る（モニタビームの光路上にウィンドウガラス３２を光軸に対する傾け角度θで挿入した）場合である。

図４から、ウィンドウガラス３２が無い場合は、偏光が異常（出力ビームの偏光方向が主走査方向）なビーム光量が、他のビーム光量よりも高くなっているが、ウィンドウガラス３２を挿入することで、全てのビームの光量を略等しくすることができることが分かる。

[第１の実施の形態のまとめ]
上記をまとめると、第１の実施の形態では、ハーフミラー２０によって分離されＭＰＤ３０に入射されるモニタビームの光路上に、光ビームの入射角に対する反射特性に偏光依存性を有するウィンドウガラス３２を、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とが略一致するように、光軸に対して傾け角度θだけ傾けて挿入した。これにより、ＶＣＳＥＬ１２の発光点から出力される出力ビームの偏光方向が変化し、該変化に伴って感光体５０上のメインビーム光量が変動したとしても、ＭＰＤ３０で検出される検出光量も略等しい変動率で変動するので、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６において、ＭＰＤ３０で検出される検出光量が所定光量となるようにＶＣＳＥＬの出力光量制御がなされると、自動的に感光体５０上のメインビーム光量を戻すように制御されることになる。よって、感光体５０上の光量変動を防止でき、本光走査装置１０を搭載した画像形成装置において画像を形成した場合の濃度ムラを低減することができる。また、従来技術のように、必要以上に出力光量が高くされることもないので、光源の長寿命化の効果もある。

さらに、図１３、図１４に示した従来技術と比べて、以下のような効果も有る。すなわち、従来技術では、メインビームを透過させる光学素子１００を光軸に対して傾けたため、感光体上のメインビームの結像性能に影響を与えるため、収差を考慮した部品精度が求められ、光学素子が高価になってコストアップに繋がるという問題があった。これに対して、光軸に対して傾けたウィンドウガラス３２は、モニタビーム側の光学系のであり、モニタビーム側の光学系の目的は、ＭＰＤ３０にモニタビームを入射させるだけであるため、結像性能に対する要求が低い。したがって、ウィンドウガラス３２に要求される面精度は従来技術で用いられる光学素子１００ほど高くなく、例えば透明なプラスチック板程度の安価な部品をウィンドウガラス３２として用いることもでき、低コスト化が可能である。

また従来技術では、コリメータレンズ１８の後段に光学素子１００が配置されるので、光学素子１００にはコリメータレンズ１８で平行光化された光ビームが入射されることになり、干渉が発生する恐れがあった。干渉を防止するためには、光学素子１００として、表面がウェッジされた特殊な光学素子を用いることが考えられるが、この場合、ウェッジに対する光ビームの入射角度によって屈折角が変わるため、光ビームの進行方向が変わってしまうと共に、特殊な光学素子を必要とするのでコストアップに繋がるという問題があった。

本実施の形態においても、図５（Ａ）に示すようにモニタビームの光路上で集光レンズ２８よりも前段にウィンドウガラス３２を設けると、ウィンドウガラス３２に平行光が入射されるため、干渉が発生して、ＭＰＤ３０に入射するモニタビーム光量がこの干渉の影響を受ける。この結果、図５（Ｂ）に示す如く感光体５０上のメインビーム光量は、ビーム間でのばらつきは図４（Ａ）で示したウィンドウガラスが無い場合よりも低減されてはいるが、図４（Ｂ）で示したウィンドウガラス３２を集光レンズ２８の後段に設けた場合と比べて、全体的にばらつきが大きくなってしまう。

したがって、集光レンズ２８の前後何れにウィンドウガラス３２を挿入してもよいが、干渉の影響を受けることなく感光体５０上のメインビーム光量をより均一にするためには、ウィンドウガラス３２を集光レンズ２８よりも後段に挿入し、ウィンドウガラス３２には、モニタビームが平行光ではなく集光された状態で入射させるようにするとよい。言い換えると、従来技術のように特殊な光学素子を用いずとも、単に集光レンズ２９の後段にウィンドウガラス３２を挿入するだけで、光ビームの干渉の問題を解消することができる。

ここで、光学素子の偏光依存性は、コーティング膜厚のばらつきによっても変化することが一般に知られており、光走査装置１０毎に光学系の偏光依存性が異なる。このような光走査装置１０毎の個体差に対応するためには、図６に示すように、ウィンドウガラス３２を回転可能に設け、傾け角度θを調整可能にするとよい。図７（Ａ）〜（Ｃ）には、ウィンドウガラス３２の傾け角度θが不足、最適、過多の各々の場合の光量のばらつきを示しており、光走査装置１０の組み立て時等に、このような光量ばらつきを測定しながらウィンドウガラス３２を回転させて傾け角度θを調整すれば、傾け角度θを当該光走査装置１０に最適な角度（光量のばらつきが最小となる角度）に設定することができる。

また、上記では、モニタビーム光路上にウィンドウガラス３２を光軸に対して傾けて挿入したが、本発明はこれに限定されるものではなく、モニタビームの光路上に、光ビームの入射角に対する反射特性が偏光依存性を有する光学素子を光軸に対して傾けて配置することが本質である。

例えば、図８に示すように、ウィンドウガラス３２を挿入する代わりに、集光レンズ２８を光軸に対して傾けて配置してもよい。すなわち、集光レンズ２８のレンズ面が、ウィンドウガラス３２のように入射角に対する反射特性に偏光依存性が有れば（図３参照）、同様に集光レンズ２８を光軸に対して傾ければ、ウィンドウガラス３２の挿入と同等の効果を得ることができる。この場合、ウィンドウガラス３２を省略して部品点数を少なくすることができるので、より低コスト化が可能である。

＜第２の実施の形態＞
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。図９に第２の実施の形態に係る光走査装置１０を示す。なお、図９では、第１の実施の形態と同一の部材については同一の符号を付与して示しており、以下では詳細な説明は省略する。

図９に示すように、第２の実施の形態に係る光走査装置１０は、第１の実施の形態で説明した光走査装置１０からウィンドウガラス３２を除去した構成となっており、ハーフミラー２０の反射率が、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とを略一致させる偏光依存性となるように調整されている点が第１の実施の形態と異なる。

詳しくは、出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変わったときの、ハーフミラー２０を含んだメインビーム側の光学系の透過率の増加率（すなわち感光体５０上でのメインビーム光量の増加率）と、ハーフミラー２０の反射率の増加率とが略等しくなるようにすればよい。

具体的に、ハーフミラー２０を除いたメインビーム側の光学系（具体的には、ポリゴンミラー１４、反射ミラー２４Ａ〜Ｃ、カバーガラス２６で構成される光学系であり、以下、「その他の光学系」と称す）の透過率が、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向の場合は５０％、主走査方向の場合は６０％となる場合を例に説明する。この場合、出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変わると、その他の光学系の透過率が１．２倍になるので、出力ビームの偏光方向が副走査方向のときのハーフミラー２０の反射率（すなわちＳ偏光に対する反射率）をａ、出力ビームの偏光方向が主走査方向のときのハーフミラー２０の反射率（すなわちＰ偏光に対する反射率）をｂとすると、次の式（１）が成り立つように、ハーフミラー２０の反射率偏光依存性が定められる。

１−ａ：１．２（１−ｂ）＝ａ：ｂ …式（１）
この式（１）より、
ｂ／ａ＝１．２／（１＋０．２ａ）
と求められる。すなわち、出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変わった場合に、ハーフミラー２０の反射率が１．２／（１＋０．２ａ）倍になればよい。

例えば、出力ビームの偏光方向が副走査方向の場合のハーフミラー２０の反射率が５０％、透過率が５０％であるときは、出力ビームの偏光方向が主走査方向の場合は、ハーフミラー２０の反射率が１．０９（＝１．２／（１＋０．２×０．５））倍、すなわち９％増加して５４．５％となり、透過率が４５．５％となればよい。したがって、Ｓ偏光に対しては反射率が５０％、透過率が５０％、Ｐ偏光に対しては反射率が５４．５％、透過率が４５．５％となるように、ハーフミラー２０に入射面２０Ａにコーティングを施す等して、ハーフミラー２０の反射率偏光依存性を調整すればよい。

この場合、ハーフミラー２０を含めたメインビーム側の光学系の透過率は、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向の場合は２５％（＝０．５０×０．５０）、主走査方向の場合は２７．３％（＝０．４５５×０．６０）となる。

ＭＰＤ３０には、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が主走査方向の場合は、出力ビームの偏光方向が副走査方向の場合の１．０９（＝５４．５／５０）倍、すなわち９％多い光量が入射するので、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６によって入射光量の増加分を下げるように光量制御がなされるので、感光体５０上のメインビーム光量は、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が副走査方向の場合を２５とすると、主走査方向の場合も２５（＝２７．３×５０／５４．４）となる。すなわち、ＶＣＳＥＬの出力ビームの偏光方向が変化しても、感光体５０上のメインビーム光量を所定の値となるように制御することができる。

このように、第２の実施の形態では、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とを略一致させるように、ハーフミラー２０の反射偏光依存性を調整した。これにより、第１の実施の形態と同様に、ＶＣＳＥＬ１２の発光点から出力される出力ビームの偏光方向が変化し、該変化に伴って感光体５０上のメインビーム光量が変動したとしても、ＶＣＳＥＬ駆動回路１６において、感光体５０上のメインビーム光量を戻すように制御することができ、感光体５０上の光量変動を抑えることができる。

また、ＶＣＳＥＬ１２を光源に用いる場合に必須とされる光分離手段であるハーフミラー２０に、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とを略一致させる特性を持たせたので、前述したウィンドウガラス３２のような光学素子の追加を必要とせず、部品点数の増加を防止することもできる。

なお、上記では、ハーフミラー２０の入射面２０Ａをコーティングするなどして、ハーフミラー２０の反射率偏光依存性を調整する場合を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。ハーフミラー２０の反射率偏光依存性を調整する代わりに、図１０に示すように、ＭＰＤ３０の受光面上に、ＶＣＳＥＬ１２の出力ビームの偏光方向が変化した場合に該偏光方向の変化によって生じる感光体５０上のメインビーム光量の変動率と、ＭＰＤ３０に入射するモニタビームの変動率とを略一致させるようなコーティング３０Ａを施してもよい。この場合、出力ビームの偏光方向が副走査方向から主走査方向に変わったときの、ハーフミラー２０を含んだメインビーム側の光学系の透過率の増加率と、受光面上に施されたコーティングの透過率の増加率とが略等しくなるように、コーティング３０Ａの透過率依存性を定めればよい。

第１の実施の形態に係る光走査装置の構成を示す斜視図である。 第１の実施の形態におけるＶＣＳＥＬの出力ビームからモニタビームを分離して光量検出を行うための構成を示す図である。 光ビームの入射角に対するウィンドウガラスによる１面の反射特性を示すグラフである。 モニタビームの光路上にウィンドウガラスが無い場合（Ａ）、ウィンドウガラスが有る場合（Ｂ）の３２ビーム出力可能なＶＣＳＥＬの各発光点を順番に点灯させたときの感光体上の光量を示すグラフである。 （Ａ）はウィンドウガラスを集光レンズの前段に設けた場合のハーフミラー及びその周辺の構成図、（Ｂ）は（Ａ）の構成の場合に、３２ビーム出力可能なＶＣＳＥＬの各発光点を順番に点灯させたときの感光体上の光量を示すグラフである。 第１の実施の形態におけるＶＣＳＥＬの出力ビームからモニタビームを分離して光量検出を行うための構成の変形例を示す図である。 ウィンドウガラスの光軸に対する傾け角度が不足している場合（Ａ）、最適な場合（Ｂ）、過多である場合（Ｃ）の３２ビーム出力可能なＶＣＳＥＬの各発光点を順番に点灯させたときの感光体上の光量を示すグラフである。 第１の実施の形態におけるＶＣＳＥＬの出力ビームからモニタビームを分離して光量検出を行うための構成の別の変形例を示す図である。 第２の実施の形態に係る光走査装置の構成を示す斜視図である。 第２の実施の形態におけるＶＣＳＥＬの出力ビームからモニタビームを分離して光量検出を行うための構成の変形例を示す図である。 ＶＣＳＥＬの出力ビームからモニタビームを分離して光量検出を行うための一般的な構成を示す図である。 一般的な光走査装置の構成を示す図である。 ＶＣＳＥＬを光源に用いる場合に、光学系の偏光依存性を打ち消すために光学素子を項軸に対して傾けて配置した例を示す図である（従来技術）。 ＶＣＳＥＬを光源に用いる場合に、光学系の偏光依存性を打ち消すために光学素子を項軸に対して傾けて配置した別の例を示す図である（従来技術）。

符号の説明

１０ 光走査装置
１２ ＶＣＳＥＬ
１４ ポリゴンミラー
１６ ＶＣＳＥＬ駆動回路
１８ コリメータレンズ
２０ ハーフミラー
２２ Ｆθレンズ
２４Ａ〜Ｃ 反射ミラー
２６ カバーガラス
２８ 集光レンズ
３０ ＭＰＤ
３２ ウィンドウガラス
５０ 感光体

Claims (9)

1. 光源から出力された光ビームを偏向手段によって偏向することにより被走査面上を走査させる光走査装置であって、
   入射された光ビームの光量を検出する検出手段と、
   前記光源から出力された光ビームの一部を分離する光分離手段を備え、前記光分離手段によって分離した光ビームの一部を前記検出手段に入射させる光学系と、
   前記検出手段による検出光量が予め定められた所定光量となるように、前記光源の出力光量を制御する光量制御手段と、を有し、
   前記光学系が、前記光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合に、前記非走査面上の光量の変動率と、前記検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有する、
   ことを特徴とする光走査装置。
2. 前記光学系が、光ビームの入射角に対する反射特性に偏光依存性を有し、前記特性にするべく光軸に対して傾けて配置された光学素子を備える、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
3. 前記光学素子が、無コーティングの透明平行平板である、
   ことを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
4. 前記透明平行平板が、前記光分離手段によって分離された前記光ビームの一部が非平行光状態で入射される位置に配置される、
   ことを特徴とする請求項３に記載の光走査装置。
5. 前記透明平行平板の光軸に対する傾け角度が調整可能である、
   ことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の光走査装置。
6. 前記光学素子が、前記光分離手段によって分離された前記光ビームの一部を前記検出手段の光入射面に集光させるレンズである、
   ことを特徴とする請求項２に記載の光走査装置。
7. 前記光分離手段に前記特性を備えさせた、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。
8. 光源から出力された光ビームを偏向手段によって偏向することにより被走査面上を走査させる光走査装置であって、
   入射された光ビームの光量を検出する検出手段と、
   前記光源から出力された光ビームの一部を分離する光分離手段を備え、前記光分離手段によって分離した光ビームの一部を前記検出手段に入射させる光学系と、
   前記検出手段による検出光量が予め定められた所定光量となるように、前記光源の出力光量を制御する光量制御手段と、を備え、
   前記検出手段の光入射面に、前記光源から出力された光ビームの偏光方向が変化した場合の前記非走査面上の光量の変動率と、前記検出手段に入射する光量の変動率とを略一致させる特性を有するコーティングを施した、
   ことを特徴とする光走査装置。
9. 前記光源が、面発光レーザアレイである、
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れか１項に記載の光走査装置。

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