JP2005150705A - コンデンサの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面に誘電体層を形成した細孔を有する導電体を一方の電極(陽極)とし、電解液中で通電手法によって導電体上に形成した半導体層を他方の電極(陰極)とするコンデンサの製造方法において、通電前に細孔内に半導体層形成用前駆体を含浸し、細孔内の半導体層形成用前駆体濃度を電解液中の半導体層形成用前駆体より高濃度にすることを特徴とするコンデンサの製造方法、その方法で作製されたコンデンサ、そのコンデンサを使用した電子回路及び電子機器。
【選択図】なし
Description
特許文献2の方法では、多数個の導電体に同時に半導体層を形成する工業的な生産規模では対極を必要とするが、その対極にも半導体層が付着するという欠点がある。
したがって、さらにESRが改良され、かつ容量の拡大されたコンデンサ製造方法が求められている。
1.表面に誘電体層を形成した細孔を有する導電体を一方の電極(陽極)とし、電解液中で通電手法によって導電体上に形成した半導体層を他方の電極(陰極)とするコンデンサの製造方法において、通電前に細孔内に半導体層形成用前駆体を含浸し、細孔内の半導体層形成用前駆体濃度を電解液中の半導体層形成用前駆体より高濃度にすることを特徴とするコンデンサの製造方法。
2.電解液が半導体層形成用前駆体を含まない電解液である前記1に記載のコンデンサの製造方法。
3.導電体が、金属、無機半導体、有機半導体及びカーボンから選ばれる少なくとも1種またはそれらの混合物である前記1に記載のコンデンサの製造方法。
4.導電体が、金属、無機半導体、有機半導体及びカーボンから選ばれる少なくとも1種またはそれらの混合物の導電体を表層に有する積層体である前記1に記載のコンデンサの製造方法。
5.導電体が、タンタル、ニオブ及びアルミニウムから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属あるいは合金、または酸化ニオブである前記3または4に記載のコンデンサの製造方法。
6.導電体が、CV値10万μF・V/g以上のタンタルである前記1乃至5のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
7.導電体が、CV値15万μF・V/g以上のニオブである前記1乃至5のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
8.導電体の大きさが、5mm3以上である前記1、3乃至7のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
9.導電体が箔形状であり、エッチングによる細孔深さが200μm以上である前記1、3乃至8のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
10.誘電体層が、Ta2O5、Al2O3、TiO2及びNb2O5から選ばれる少なくとも1つを主成分とするものである前記1に記載のコンデンサの製造方法。
11.半導体層形成用前駆体が、アニリン誘導体(ポリアニリンの原料)、フェノール誘導体(ポリオキシフェニレンの原料)、チオフェノール誘導体(ポリフェニレンサルファイドの原料)、チオフェン誘導体(ポリチオフェンの原料)、フラン誘導体(ポリフランの原料)、及びピロール誘導体(ポリピロール、ポリメチルピロールの原料)から選ばれる少なくとも1種である前記1または2に記載のコンデンサの製造方法。
12.半導体層形成用前駆体が、ピロール、または3,4−エチレンジオキシチオフェンである前記11に記載のコンデンサの製造方法。
13.半導体層形成用前駆体が、通電によって酸化または還元されて、無機半導体になる化合物である前記1または2に記載のコンデンサの製造方法。
14.半導体層が、有機半導体層及び無機半導体層から選ばれる少なくとも1種である前記1に記載のコンデンサの製造方法。
15.有機半導体が、ベンゾピロリン4量体とクロラニルからなる有機半導体、テトラチオテトラセンを主成分とする有機半導体、テトラシアノキノジメタンを主成分とする有機半導体、下記一般式(1)または(2)
で示される繰り返し単位を含む高分子にドーパントをドープした導電性高分子を主成分とした有機半導体から選択される少なくとも1種である前記14に記載のコンデンサの製造方法。
16.一般式(1)で示される繰り返し単位を含む導電性高分子が、下記一般式(3)
で示される構造単位を繰り返し単位として含む導電性高分子である前記15に記載のコンデンサの製造方法。
17.導電性高分子が、ポリアニリン、ポリオキシフェニレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリチオフェン、ポリフラン、ポリピロール、ポリメチルピロール、及びこれらの置換誘導体及び共重合体から選択される前記16に記載のコンデンサの製造方法。
18.導電性高分子、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)である前記17に記載のコンデンサの製造方法。
19.無機半導体が、二酸化モリブデン、二酸化タングステン、二酸化鉛、及び二酸化マンガンから選ばれる少なくとも1種の化合物である前記14に記載のコンデンサの製造方法。
20.半導体の電導度が10-2〜103S/cmの範囲である前記14乃至19のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
21.前記1乃至20のいずれかに記載のコンデンサの製造方法によって作製されたコンデンサ。
22.含浸率が90%以上である前記21に記載のコンデンサ。
23.前記21または22に記載のコンデンサを使用した電子回路。
24.前記21または22に記載のコンデンサを使用した電子機器。
本発明に使用される導電体の例としては、金属、無機半導体、有機半導体、カーボンから選ばれた少なくとも1種の導電体またはそれらの混合物、またはそれらの表層に導電体を積層した積層体が挙げられる。
無機半導体として、二酸化鉛、二酸化モリブデン、二酸化タングステン、一酸化ニオブ、二酸化スズ、一酸化ジルコニウム等の金属酸化物が挙げられ、有機半導体としてポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン及びこれら高分子骨格を有する置換体、共重合体等の導電性高分子、テトラシアノキノジメタンとテトラチオテトラセンとの錯体、テトラシアノキノジメタン(TCNQ)塩等の低分子錯体が挙げられる。また、表層に導電体を積層した積層体としては、紙、絶縁性高分子、ガラス等に前記導電体を積層した積層体が挙げられる。
本発明では、通電前に導電体の細孔内に半導体層形成用前駆体を高濃度で含浸させることができるので、半導体層形成溶液に半導体となる原料を入れないでおくことも可能である。
導電性ペーストは、通常導電粉を40〜97質量%含む。40質量%未満であると作製した導電ペーストの導電性が小さく、97質量%を超えると、導電ペーストの接着性が不良になるために好ましくない。導電ペーストに前述した半導体層を形成する導電性高分子や金属酸化物の粉を混合して使用してもよい。
以上のような構成の本発明のコンデンサ素子は、例えば、樹脂モールド、樹脂ケース、金属性の外装ケース、樹脂のディッピング、ラミネートフイルムによる外装などの外装により各種用途のコンデンサ製品とすることができる。これらの中でも、とりわけ樹脂モールド外装を行ったチップ状コンデンサが、小型化と低コスト化が簡単に行えるので好ましい。
CV(容量と化成電圧の積)14万μF・V/gのタンタル粉と0.24mmφのタンタルリード線を使用して成形し、大きさ4.5×1.0×1.5mmの焼結体を作製した(焼結温度1300℃、焼結時間20分、焼結体密度6.2g/cm3、焼結体の1.0×1.5mmの面中央部に垂直にTaリード線が焼結体内部に4mm入り、外部に10mm出るように植設されている。)。
別途用意した長さ250mm幅30mm厚さ2mmのポリイミド製樹脂板(印刷配線により、表面に32個の導電体用の接続端子と定電流ダイオードの各アノードを接続して板左側の給電端子に至る回路、及び裏面に表面の導電体用の接続端子とのみ電気的に接続し、整流ダイオードを介して板右側の化成用給電端子に至る回路が設けられている)に左右30mmを残して前記焼結体32個の各リード線を等間隔かつ等寸に整列接続した。このような樹脂板20枚を5mm間隔に並列に並べ、樹脂板の左右15mmのところで電気的に接続するように金属製フレーム(左右中央部が絶縁されていて、樹脂板に設けた表裏左右の給電端子が絶縁される)に配設した。金属製フレームに焼結体が640個等間隔に配置されていて、各焼結体はリード線を通して金属性フレームに設けた左右の給電端子に電気的に接続されている。該金属製フレームに連なった焼結体を1ロットとして以下の各種操作を行った。
その後焼結体を溶液から引き上げ水洗乾燥した後、0.1%燐酸水溶液中で8V、80℃、30分の再化成を行った。再化成終了後、焼結体を水洗・乾燥を行った。
実施例1で誘電体層を形成した焼結体細孔内に半導体層形成用前駆体の含浸を行うことなしに半導体層を形成してチップ状固体電解コンデンサを320個作製した。
実施例1でタンタル焼結体の代わりにニオブ焼結体(CV25万μF・V/gの粉、窒化量1.1万ppm、表面に自然酸化酸素量8.1万ppm、焼結温度1280℃、焼結時間30分、焼結体密度3.4g/cm3)を、タンタルリード線の代わりにニオブリード線を使用して、23Vの化成でNb2O5からなる誘電体酸化皮膜層を形成した。次に焼結体を2%エチレンジオキシチオフェンアルコール溶液に浸漬した後引き上げ放置後18%ナフタレンスルホン酸鉄アルコール溶液に浸漬し引き上げ40℃で30分放置後エタノールに浸漬するという一連の操作を7回繰り返した。次に、0.1%酢酸水溶液中で17V、80℃、30分再化成し、水洗・乾燥した。
実施例2で使用したエチレンジオキシチオフェンアルコール溶液の濃度を20%にし、さらにアルコールに漬けることを行わずに、18%ナフタレンスルホン酸鉄アルコール溶液との浸漬を交互に30回行い、誘電体層を設けた導電体に化学重合層を形成したことと、焼結体細孔内に半導体層形成用前駆体の含浸を行わなかったこと以外は実施例2と同様にしてチップ状固体電解コンデンサを216個(半導体層形成が比較的に良好であった432個のコンデンサ素子から)作製した。
コンデンサの容量:ヒューレットパッカード社製LCR測定器を用い、室温120Hzで測定した。
含浸率:前記コンデンサ容量を、誘電体層を形成した各導電体を30%硫酸中で測定した容量で除した数値の百分率。
ESR値:コンデンサの等価直列抵抗。室温100kHzで測定した。
LC値:室温において、所定の定格電圧(実施例1及び比較例1は2.5V値、実施例2及び比較例2は4V値)を作製したコンデンサの端子間に30秒間印加し続けた後に測定した。
Claims (24)
- 表面に誘電体層を形成した細孔を有する導電体を一方の電極(陽極)とし、電解液中で通電手法によって導電体上に形成した半導体層を他方の電極(陰極)とするコンデンサの製造方法において、通電前に細孔内に半導体層形成用前駆体を含浸し、細孔内の半導体層形成用前駆体濃度を電解液中の半導体層形成用前駆体より高濃度にすることを特徴とするコンデンサの製造方法。
- 電解液が半導体層形成用前駆体を含まない電解液である請求項1に記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体が、金属、無機半導体、有機半導体及びカーボンから選ばれる少なくとも1種またはそれらの混合物である請求項1に記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体が、金属、無機半導体、有機半導体及びカーボンから選ばれる少なくとも1種またはそれらの混合物の導電体を表層に有する積層体である請求項1に記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体が、タンタル、ニオブ及びアルミニウムから選ばれる少なくとも1種を主成分とする金属あるいは合金、または酸化ニオブである請求項3または4に記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体が、CV値10万μF・V/g以上のタンタルである請求項1乃至5のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体が、CV値15万μF・V/g以上のニオブである請求項1乃至5のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体の大きさが、5mm3以上である請求項1、3乃至7のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
- 導電体が箔形状であり、エッチングによる細孔深さが200μm以上である請求項1、3乃至8のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
- 誘電体層が、Ta2O5、Al2O3、TiO2及びNb2O5から選ばれる少なくとも1つを主成分とするものである請求項1に記載のコンデンサの製造方法。
- 半導体層形成用前駆体が、アニリン誘導体(ポリアニリンの原料)、フェノール誘導体(ポリオキシフェニレンの原料)、チオフェノール誘導体(ポリフェニレンサルファイドの原料)、チオフェン誘導体(ポリチオフェンの原料)、フラン誘導体(ポリフランの原料)、及びピロール誘導体(ポリピロール、ポリメチルピロールの原料)から選ばれる少なくとも1種である請求項1または2に記載のコンデンサの製造方法。
- 半導体層形成用前駆体が、ピロール、または3,4−エチレンジオキシチオフェンである請求項11に記載のコンデンサの製造方法。
- 半導体層形成用前駆体が、通電によって酸化または還元されて、無機半導体になる化合物である請求項1または2に記載のコンデンサの製造方法。
- 半導体層が、有機半導体層及び無機半導体層から選ばれる少なくとも1種である請求項1に記載のコンデンサの製造方法。
- 有機半導体が、ベンゾピロリン4量体とクロラニルからなる有機半導体、テトラチオテトラセンを主成分とする有機半導体、テトラシアノキノジメタンを主成分とする有機半導体、下記一般式(1)または(2)
で示される繰り返し単位を含む高分子にドーパントをドープした導電性高分子を主成分とした有機半導体から選択される少なくとも1種である請求項14に記載のコンデンサの製造方法。 - 導電性高分子が、ポリアニリン、ポリオキシフェニレン、ポリフェニレンサルファイド、ポリチオフェン、ポリフラン、ポリピロール、ポリメチルピロール、及びこれらの置換誘導体及び共重合体から選択される請求項16に記載のコンデンサの製造方法。
- 導電性高分子、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)である請求項17に記載のコンデンサの製造方法。
- 無機半導体が、二酸化モリブデン、二酸化タングステン、二酸化鉛、及び二酸化マンガンから選ばれる少なくとも1種の化合物である請求項14に記載のコンデンサの製造方法。
- 半導体の電導度が10-2〜103S/cmの範囲である請求項14乃至19のいずれかに記載のコンデンサの製造方法。
- 請求項1乃至20のいずれかに記載のコンデンサの製造方法によって作製されたコンデンサ。
- 含浸率が90%以上である請求項21に記載のコンデンサ。
- 請求項21または22に記載のコンデンサを使用した電子回路。
- 請求項21または22に記載のコンデンサを使用した電子機器。
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