JP2005146382A - アーク放電型真空成膜装置および成膜方法 - Google Patents
アーク放電型真空成膜装置および成膜方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】アーク放電によってプラズマを生成するプラズマチャンバー2の真空容器5と、プラズマチャンバー2で生成されたプラズマを導入して蒸発源17を照射・加熱し、基板16表面に蒸発物質による薄膜を形成する成膜チャンバー3の真空容器13とを開閉自在の仕切バルブ4で連結した。そして、成膜時のみ仕切バルブ4を開放してプラズマチャンバー2の真空容器5内から成膜チャンバー3の真空容器13内にプラズマ21を導入し、それ以外の成膜チャンバー3の真空容器13内で成膜の前工程および後工程が行われている間は仕切バルブ4を閉鎖してプラズマチャンバー2の真空容器5内でアーク放電で生成されるプラズマを維持してプラズマのアイドリング状態を維持する。
【選択図】 図1
Description
このときプラズマは第一の中間電極7および第二の中間電極8によって電位勾配が与えられ、陰極6から第一の陽極9に至るプラズマの円滑な流れが形成される。このとき、プラズマ流が大口径空芯コイル11の磁場の影響を受けないように大口径空芯コイル11の磁力を弱くしておく必要がある。
2 プラズマチャンバー
3 成膜チャンバー
4 仕切バルブ
5 真空容器
6 陰極
7 第一の中間電極
8 第二の中間電極
9 第一の陽極
10 ガス導入口
11 大口径空芯コイル
12 排気口
13 真空容器
14 永久磁石
15 第二の陽極
16 基板
17 蒸発源
18 排気口
19 マイナス端
20 プラス端
21 プラズマ
Claims (3)
- アーク放電によってプラズマを生成するプラズマチャンバーの真空容器と、該真空容器で形成された前記プラズマを導入して蒸発材料に照射し、該蒸発材料から蒸発した粒子によって基板表面に薄膜を形成する成膜チャンバーの真空容器とを具備し、前記プラズマチャンバーの真空容器と前記成膜チャンバーの真空容器の間に開閉自在な仕切バルブを配置したことを特徴とするアーク放電型真空成膜装置。
- 前記プラズマチャンバーが、陰極、陽極および少なくとも1つ以上の中間電極を有することを特徴とする請求項1に記載のアーク放電型真空成膜装置。
- プラズマチャンバーの真空容器内でアーク放電によって形成されたプラズマを成膜チャンバーの真空容器内に導入して蒸発材料に照射し、該蒸発材料から蒸発した粒子によって基板表面に薄膜を形成する成膜方法であって、成膜時は前記プラズマチャンバーの真空容器と前記成膜チャンバーの真空容器との間に配置された開閉自在の仕切バルブを開放して前記プラズマチャンバーの真空容器と前記成膜チャンバーの真空容器とを一体化して前記プラズマチャンバーの真空容器内で生成されたプラズマを前記成膜チャンバーの真空容器内に導入し、成膜時以外は前記仕切バルブを閉鎖して前記成膜チャンバーの真空容器と前記プラズマチャンバーの真空容器とを分離し、独立した前記プラズマチャンバーの真空容器内で常時プラズマ生成状態を維持していることを特徴とする成膜方法。
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