JP2005145006A

JP2005145006A - 露光装置、画像形成装置、寿命判定装置

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Publication number: JP2005145006A
Application number: JP2003389538A
Authority: JP
Inventors: Yoshiyuki Nagafusa; 佳之長房
Original assignee: Kyocera Mita Corp
Current assignee: Kyocera Document Solutions Inc
Priority date: 2003-11-19
Filing date: 2003-11-19
Publication date: 2005-06-09

Abstract

【課題】本発明は、正確な寿命判定が可能な露光装置及びこれを用いた画像形成装置、並びに露光装置の寿命を正確に判定することが可能な寿命判定装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係るＬＳＵ２００は、ＬＤ２０１の駆動電流ＩＬＤを検出する駆動電流検出部２０３と、ＬＤ２０１の初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ及び初期温度Ｔｉｎｉｔに関するデータを保持する不揮発性メモリ２０４を備えており、ＬＳＵ２００が搭載された画像形成装置１００は、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔに対する駆動電流値Ｉの電流変化率が寿命判定基準値に到達した時点でＬＳＵ２００を寿命と判定する。
【選択図】図１

Description

本発明は、露光装置及びこれを用いた画像形成装置、並びに露光装置の寿命判定装置に関するものである。

画像形成装置には、多数の構成部品（ユニット）が使用されているが、画像形成装置本体の寿命と各構成要素の寿命とは必ずしも一致しない。そこで、従来より、省資源・環境保全の観点から、画像形成装置本体の寿命が到来しても、再生可能な構成部品についてはこれをリサイクルすることが行われている。

なお、従来より、ユニット及びその他の構成部品がリサイクル可能かどうかを容易に確認するために、構成部品の動作回数、動作時間、リサイクル使用回数等を不揮発性メモリに記憶して表示手段で表示する電子制御機器（特許文献１を参照）や、不揮発性メモリにモータの実効累積回転数を記録し、累積値と寿命値を比較することでモータの残存寿命判定を行う方法（特許文献２を参照）が公知となっている。
特開平１０−２４００８１号公報特開２００３−１４３８８６号公報

確かに、動作回数や動作時間を簡易に計測することができ、かつ、その計測結果を直接的に寿命の判断基準とすることが可能なユニット（例えばモータユニット）については、上記の従来技術を適用することで、当該ユニットがリサイクル可能かどうかを容易に確認することが可能である。

しかしながら、画像形成装置の露光手段として用いられるレーザスキャナユニットの寿命判定については、ＰＷＭ［Pulse Width Modulation］変調された点消灯制御信号のパルス幅を正確に計測することが難しいため、累積点灯時間（点灯回数×１パルス時間）に基づく従来の寿命判定方法を採用するのは不適当であった。また、レーザスキャナユニットの消耗度は、点灯時間（露光時間）以外に、発光強度と使用環境温度にも依存するため、累積点灯時間だけでは寿命判定が正確に行えないという課題もあった。

なお、レーザスキャナユニットは、どのような印刷が行われても画像形成装置本体より長寿命となるように部品選定が行われているため、印字率が低い状態で使用された画像形成装置では、本体寿命の到来後も未だ十分にレーザスキャナユニットの寿命が残されている場合が多い。にも拘わらず、従来のレーザスキャナユニットは、その寿命判定が正確に行えないという理由から、ほとんどリユースされていなかった。

本発明は、上記の問題点に鑑み、正確な寿命判定が可能な露光装置及びこれを用いた画像形成装置、並びに露光装置の寿命を正確に判定することが可能な寿命判定装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る露光装置は、発光素子と、該発光素子の駆動電流を制御するドライバ部と、前記駆動電流を検出する駆動電流検出部と、前記発光素子の初期駆動電流値及びその測定時の周囲温度に関するデータを保持する情報保持手段と、を有して成る構成としている。

なお、上記構成から成る露光装置において、前記情報保持手段は、前記露光装置の寿命判定基準値や前記駆動電流値の温度補正データを保持する構成にするとよい。

また、本発明に係る画像形成装置は、上記構成から成る露光装置と；周囲温度を検出する温度検出部と；前記露光装置の情報保持手段から得られる前記発光素子の初期駆動電流値及びその測定時の周囲温度、前記露光装置の駆動電流検出部から得られる前記発光素子の駆動電流値、前記温度検出部から得られる周囲温度、並びに、前記発光素子の寿命判定基準値及び駆動電流の温度補正データに基づいて、前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出を行う演算部と；を有して成る構成としている。

なお、上記構成から成る画像形成装置において、前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率が前記寿命判定基準値に到達しているか否かに基づいて、前記露光装置の寿命判定を行う構成にするとよい。

また、上記構成から成る画像形成装置において、前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率を求め、さらに、前記寿命判定基準値に対する前記電流変化率の割合を演算することで、前記露光装置の残存寿命算出を行う構成にするとよい。

また、上記構成から成る画像形成装置は、前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出の結果を出力する手段を有して成る構成にするとよい。

また、本発明に係る寿命判定装置は、上記構成から成る露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出を行う寿命判定装置であって、周囲温度を検出する温度検出部と；前記露光装置の情報保持手段から得られる前記発光素子の初期駆動電流値及びその測定時の周囲温度、前記露光装置の駆動電流検出部から得られる前記発光素子の駆動電流値、前記温度検出部から得られる周囲温度、並びに、前記発光素子の寿命判定基準値及び駆動電流の温度補正データに基づいて、前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出を行う演算部と；を有して成る構成としている。

なお、上記構成から成る寿命判定装置において、前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率が前記寿命判定基準値に到達しているか否かに基づいて、前記露光装置の寿命判定を行う構成にするとよい。

また、上記構成から成る寿命判定装置において、前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率を求め、さらに、前記寿命判定基準値に対する前記電流変化率の割合を演算することで、前記露光装置の残存寿命算出を行う構成にするとよい。

また、上記構成から成る寿命判定装置において、前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出の結果を出力する手段を有して成る構成にするとよい。

本発明に係る露光装置及びこれを用いた画像形成装置、並びに寿命判定装置であれば、露光装置の正確な寿命判定及び／または残存寿命算出ができるようになるので、本体（画像形成装置）の寿命到達時における露光装置の再利用率を向上させ、資源の節約とごみの削減を実現することが可能となる。

図１は本発明に係る画像形成装置の一実施形態を示すブロック図である。本図に示すように、本実施形態の画像形成装置１００は、画像形成部の露光手段として用いられるレーザスキャナユニット２００（以下、ＬＳＵ２００と呼ぶ）と、装置全体の動作制御（給紙制御、搬送制御、画像形成制御、画像定着制御など）に加えてＬＳＵ２００の寿命判定を行うエンジン制御回路３００と、画像形成装置１００の周囲温度を検出する温度検出部４００と、を有して成る。

ＬＳＵ２００は、発光素子であるレーザダイオード２０１（以下、ＬＤ２０１と呼ぶ）と、該ＬＤ２０１の駆動電流ＩＬＤを制御するドライバＩＣ［Integrated Circuit］２０２と、駆動電流ＩＬＤに応じた電圧信号ＶＬＤを生成する駆動電流検出部２０３と、ＬＤ２０１の初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ（ＬＤ２０１が未劣化の状態、すなわち未プリント時の駆動電流値）及びその測定時の温度Ｔｉｎｉｔ（以下、初期温度Ｔｉｎｉｔと呼ぶ）に関するデータを保持する不揮発性メモリ２０４（ＥＥＰＲＯＭ［Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory］等）と、を有して成る。なお、ＬＤ２０１の駆動電流ＩＬＤは、スイッチング電流ＩＳＷとバイアス電流ＩＢの合算電流であるため、駆動電流検出部２０３は、両電流ＩＳＷ、ＩＢを各々抵抗ＲＳＷ、ＲＢで電圧変換して得られる電圧ＶＳＷ、ＶＢを加算増幅することで上記の電圧信号ＶＬＤを生成し、エンジン制御回路３００に送出する。

ここで、ＬＳＵ２００に関する初期データの取得処理、及び不揮発性メモリ２０４に対する当該初期データの書込処理については、例えば、ユニット組立て時（工場出荷時）におけるレーザパワー調整に併せて行えばよい。このように、レーザパワー調整時の駆動電流値を初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔとして取得するとともに、そのときの周囲温度を初期温度Ｔｉｎｉｔとして取得し、両値に相当するデータを所定の書き込み手順に従って不揮発性メモリ３０４に書き込むようにすれば、ＬＤ２０１が全く劣化していない状態での初期データを取得することが可能となる。

また、不揮発性メモリ２０４には、ＬＳＵ２００の寿命判定に用いる寿命判定基準値や駆動電流の温度補正データも所定フォーマット（図５を参照）で予め書き込んでおけばよい。このようなデータを不揮発性メモリ２０４に書き込んでおくことにより、後述するＬＳＵ２００の寿命判定処理を容易かつ迅速に行うことが可能となる。なお、上記した寿命判定基準値とは、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔに対する駆動電流値Ｉの電流変化率が当該値に到達した時点で寿命と判定される基準値（例えば、５０［％］）である。また、駆動電流の温度補正データとは、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔや寿命判定時の駆動電流値Ｉを基準温度Ｔｓ（例えば２５［℃］）での測定値として換算するための補正値である。このような補正値が必要となる理由は、レーザダイオード個々によって発振に要するしきい値電流Ｉｔｈが異なり、かつ、当該しきい値電流Ｉｔｈに温度依存性が存在するためである（図２、図３を参照）。

エンジン制御回路３００は、ＬＳＵ２００の寿命判定を行う中央演算処理装置３０１（以下、ＣＰＵ［Central Processing Unit］３０１と呼ぶ）と、ＬＳＵ２００の点消灯制御、並びにＡＰＣ［Automatic Power Control］制御を行うＡＳＩＣ３０２［Application Specific Integrated Circuit］と、を有して成る。なお、上記のＡＰＣ制御とは、温度補償が施されているレーザパワーモニタ用フォトダイオード（ＬＤ２０１に内蔵）の電流変化量を検出し、ＬＤ２０１の駆動電流ＩＬＤを所定のレーザパワーとなるように補正する制御をいう。このような制御を行うことにより、光出力−順電流特性が負の温度特性を有するＬＤ２０１について、その自己発熱や周囲温度の変化に応じたしきい値電流Ｉｔｈや駆動電流ＩＬＤの変動が生じた場合であっても、光出力Ｐｏの変動を抑制することが可能となる（図２、図３を参照）。

温度検出部４００は、サーミスタ４０１を有して成り、画像形成装置１００の周囲温度Ｔｃに応じた電圧信号ＶＴａを生成してエンジン制御回路３００に送出する。

続いて、上記構成から成る画像形成装置１００におけるＬＳＵ２００の寿命判定処理について詳細な説明を行う。本実施形態の画像形成装置１００は、ＬＤ２０１の駆動電流ＩＬＤがその駆動時間（＝点灯時間）に対してほぼリニアに変化すること（図４を参照）に鑑み、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔに対する駆動電流値Ｉの電流変化率が寿命判定基準値に到達した時点で、ＬＳＵ２００を寿命と判定する構成とされている。

ＬＳＵ２００の寿命判定処理に際し、画像形成装置１００の自己診断（各ユニットのエラーチェック）ルーチンでは、まず、エンジン制御回路３００のＡＳＩＣ３０２によってＬＳＵ２００のドライバＩＣ２０２が制御され、ＬＤ２０１の発光制御が行われる。

ＬＤ２０１が点灯されると、駆動電流検出部２０３からは、当該測定時の駆動電流値Ｉに相当する電圧信号ＶＬＤが出力される。ＣＰＵ３０１に入力された電圧信号ＶＬＤは、アナログ／ディジタル変換器３０１ａ（以下、ＡＤＣ［Analog/Digital Converter］３０１ａと呼ぶ）によってディジタル変換された後、不図示の内部記憶手段（ＲＡＭ）に一旦保持される。一方、温度検出部４００からは、当該測定時の周囲温度Ｔに相当する電圧信号ＶＴａが出力される。ＣＰＵ３０１に入力された電圧信号ＶＴａは、上記と同様、ＡＤＣ３０１ａによってディジタル変換された後、内部記憶手段に一旦保持される。

その後、駆動電流値Ｉは、周囲温度Ｔと基準温度Ｔｓとの差分値と、当該差分値に対応して不揮発性メモリ２０４から読み出された温度補正データη_Ts-Tに基づいて、下記の（１）式により、基準温度Ｔｓでの測定値Ｉ＿Ｔｓに換算される。例えば、基準温度Ｔｓ＝２５［℃］に対して、寿命判定時の周囲温度Ｔ＝２３［℃］であれば、不揮発性メモリ２０４からは、（２３−２５＋オフセット値（図５ではオフセット値「０２Ｄ」））のアドレスに格納された補正値データが読み出されることになる。

さらに、不揮発性メモリ２０４からは、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔと初期温度Ｔｉｎｉｔが読み出され、当該初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔは、初期温度Ｔｉｎｉｔと基準温度Ｔｓとの差分値と、当該差分値に対応して不揮発性メモリ２０４から読み出された温度補正データη_Ts-Tに基づいて、下記（２）式により、基準温度Ｔｓでの測定値Ｉｉｎｉｔ＿Ｔｓに換算される。

その後、不揮発性メモリ２０４からは、寿命判定基準値（図５では５０［％］）が読み出され、下記（３）式に基づいて、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ＿Ｔｓに対する駆動電流値Ｉ＿Ｔｓの電流変化率が寿命判定基準値に到達しているか否かの判定が行われる。

上記（３）式が真の場合、ＬＳＵ２００は寿命と判定される。なお、当該判定結果は、サービスステータス情報（ワーニングデータ）とされ、用紙への印刷処理や不揮発性メモリ２０４への格納処理、或いは表示部（不図示）への表示処理等が行われる。このような構成であれば、ＬＳＵ２００が寿命に到達しており、もはやリサイクル不能であることをユーザ等に報知することが可能となる。

一方、上記（３）式が偽の場合には、ＬＳＵ２００は未だ寿命でないと判定され、下記（４）式に基づいて、残存寿命の算定が行われる。なお、得られた残存寿命は、サービスステータス情報（ライフデータ）として、用紙への印刷処理や不揮発性メモリ２０４への格納処理、或いは表示部（不図示）への表示処理等が行われる。このような構成とすることにより、ＬＳＵ２００が未だ寿命に到達しておらず、リサイクル可能であることをユーザ等に報知することが可能となる。

上記した通り、本実施形態のＬＳＵ２００は、ＬＤ２０１の駆動電流ＩＬＤを検出する駆動電流検出部２０３と、ＬＤ２０１の初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ及び初期温度Ｔｉｎｉｔに関するデータを保持する不揮発性メモリ２０４を備えており、ＬＳＵ２００が搭載された画像形成装置１００は、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔに対する駆動電流値Ｉの電流変化率が寿命判定基準値に到達した時点でＬＳＵ２００を寿命と判定する構成とされている。このような構成とすることにより、ＬＳＵ２００の正確な寿命判定ができるようになるので、画像形成装置１００の寿命到達時における露光装置の再利用率を向上させ、資源の節約とごみの削減を実現することが可能となる。

なお、上記の実施形態では、本発明に係るＬＳＵ２００を具備する画像形成装置１００を例示して説明を行ったが、本発明の構成並びに適用対象はこれに限定されるものではなく、その他の用途に用いられる露光装置に本発明を適用してもよいし、ＬＳＵ２００の寿命判定装置を画像形成装置１００とは別に設けても構わない。

また、上記の実施形態では、ＬＳＵ２００に関する初期データの保持手段として不揮発性メモリ２０４を用いた場合を例に挙げて説明を行ったが、本発明の構成はこれに限定されるものではなく、上記の初期データをバーコードラベルに記録してＬＳＵ２００の表面に貼付する構成としても構わない。このような構成とすることにより、不揮発性メモリ２０４の設置スペースを削減してＬＳＵ２００の小型化を図ることが可能となる。また、専用のメモリ読み出し冶具を要することなく、汎用的なバーコードリーダを用いて初期データを読み出すことができるので、ＬＳＵ２００の寿命判定に際して必要なデータを容易に準備することが可能となる。なお、初期データの他に、ＬＳＵ２００の寿命判定に用いる寿命判定基準値や駆動電流の温度補正データを予め記録しておく場合など、バーコードラベルに対する記録データ容量が大きい場合には、１次元バーコードラベルではなく、２次元バーコードラベルを採用するとよい。

また、上記の実施形態では、ＬＳＵ２００に関する初期データの取得処理、及び不揮発性メモリ２０４に対する当該初期データの書込処理をユニット組み立て時（工場出荷時）におけるレーザパワー調整時に行う構成を例に挙げて説明を行ったが、本発明の構成はこれに限定されるものではなく、ＬＳＵ２００のレーザパワー調整直後、或いは画像形成装置１００の初回印字動作前における自己診断時（各ユニットのエラーチェック時）に行ってもよい。この場合の手順は、以下の通りとなる。

まず、エンジン制御回路３００のＣＰＵ３０１では、不揮発性メモリ２０４から初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ及び初期温度Ｔｉｎｉｔの読み出しが試みられる。ここで、読み出された初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ及び初期温度Ｔｉｎｉｔがゼロでなく、読み出されたデータのチェックサムと、不揮発性メモリ２０４に書き込まれているチェックサムが一致している場合には、ＬＳＵ２００に関する初期データの取得処理が終了していると判断され、ＬＳＵ２００のエラーチェックが正常終了される。なお、このときの印字枚数が１枚以上である場合には、引き続き上記の寿命判定及び残存寿命算出が行われれる。

一方、読み出された初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ及び初期温度Ｔｉｎｉｔがゼロである場合は、ＬＳＵ２００に関する初期データの取得処理が終了していないと判断され、エンジン制御回路３００のＡＳＩＣ３０２によって、ＬＳＵ２００のドライバＩＣ２０２が制御され、ＬＤ２０１の発光制御が行われる。

ＬＤ２０１が点灯されると、駆動電流検出部２０３からは、初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔに相当する電圧信号ＶＬＤが出力される。ＣＰＵ３０１に入力された電圧信号ＶＬＤは、ＡＤＣ３０１ａによってディジタル変換された後、図示しない内部記憶手段（ＲＡＭ）に一旦保持される。一方、温度検出部４００からは、初期温度Ｔｉｎｉｔに相当する電圧信号ＶＴａが出力される。ＣＰＵ３０１に入力された電圧信号ＶＴａは、上記と同様、ＡＤＣ３０１ａによってディジタル変換された後、不図示の内部記憶手段に一旦保持される。

その後、ＣＰＵ３０１の内部記憶手段に保持された初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔと初期温度Ｔｉｎｉｔに関するデータが不揮発性メモリ２０４に書き込まれ、これと同時にチェックサムデータも書き換えられる。最後に、データの書き込みが正常に完了したか否かを判定すべく、ＣＰＵ３０１では、不揮発性メモリ２０４から初期駆動電流値Ｉｉｎｉｔ及び初期温度Ｔｉｎｉｔの読み出しが試みられる。ここで、読み出されたデータのチェックサムと、不揮発性メモリ２０４に書き込まれているチェックサムが一致している場合には、不揮発性メモリ２０４に対する初期データの書込処理が終了したと判断され、ＬＳＵ２００のエラーチェックが正常終了される。

本発明は、画像形成装置の寿命到達時におけるレーザスキャナユニットの再利用率向上を図り、資源の節約とごみの削減を実現するための技術として非常に有用である。

は、本発明に係る画像形成装置の一実施形態を示すブロック図である。は、しきい値電流Ｉｔｈの温度依存性を示す図である。は、ＬＤ２０１の光出力−順電流特性の温度特性を示す図である。は、ＬＤ２０１の駆動時間と駆動電流との相関関係を示す図である。は、不揮発性メモリ２０４のデータ構造例を示すメモリマップである。

符号の説明

１００画像形成装置
２００レーザスキャナユニット（ＬＳＵ）
２０１レーザダイオード（ＬＤ）
２０２ドライバＩＣ
２０３駆動電流検出部
２０４不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）
３００エンジン制御回路
３０１中央演算処理装置（ＣＰＵ）
３０１ａアナログ／ディジタル変換器（ＡＤＣ）
３０２ＡＳＩＣ
４００温度検知部
４０１サーミスタ

Claims

発光素子と、該発光素子の駆動電流を制御するドライバ部と、前記駆動電流を検出する駆動電流検出部と、前記発光素子の初期駆動電流値及びその測定時の周囲温度に関するデータを保持する情報保持手段と、を有して成ることを特徴とする露光装置。
前記情報保持手段は、前記露光装置の寿命判定基準値や前記駆動電流値の温度補正データを保持することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
請求項１または請求項２に記載の露光装置と；周囲温度を検出する温度検出部と；前記露光装置の情報保持手段から得られる前記発光素子の初期駆動電流値及びその測定時の周囲温度、前記露光装置の駆動電流検出部から得られる前記発光素子の駆動電流値、前記温度検出部から得られる周囲温度、並びに、前記発光素子の寿命判定基準値及び駆動電流の温度補正データに基づいて、前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出を行う演算部と；を有して成ることを特徴とする画像形成装置。
前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率が前記寿命判定基準値に到達しているか否かに基づいて、前記露光装置の寿命判定を行うことを特徴とする請求項３に記載の画像形成装置。
前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率を求め、さらに、前記寿命判定基準値に対する前記電流変化率の割合を演算することで、前記露光装置の残存寿命算出を行うことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の画像形成装置。
前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出の結果を出力する手段を有して成ることを特徴とする請求項３〜請求項５のいずれかに記載の画像形成装置。
請求項１または請求項２に記載の露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出を行う寿命判定装置であって、
周囲温度を検出する温度検出部と；前記露光装置の情報保持手段から得られる前記発光素子の初期駆動電流値及びその測定時の周囲温度、前記露光装置の駆動電流検出部から得られる前記発光素子の駆動電流値、前記温度検出部から得られる周囲温度、並びに、前記発光素子の寿命判定基準値及び駆動電流の温度補正データに基づいて、前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出を行う演算部と；を有して成ることを特徴とする寿命判定装置。
前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率が前記寿命判定基準値に到達しているか否かに基づいて、前記露光装置の寿命判定を行うことを特徴とする請求項７に記載の寿命判定装置。
前記演算部は、前記初期駆動電流値及び前記駆動電流値を基準温度での測定値に換算した後、前記初期駆動電流値に対する前記駆動電流値の電流変化率を求め、さらに、前記寿命判定基準値に対する前記電流変化率の割合を演算することで、前記露光装置の残存寿命算出を行うことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の寿命判定装置。
前記露光装置の寿命判定及び／または残存寿命算出の結果を出力する手段を有して成ることを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれかに記載の寿命判定装置。