JP2005141103A - 光スイッチ - Google Patents

Abstract

【課題】 弾性表面波を発生するアクチュエータを用いて高速動作が可能で、且つ無電力で位置保持が可能な光スイッチを提供する。
【解決手段】 １本の入力側光ファイバ６２と、少なくとも２本の出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄと、入力側光ファイバの先端部を移動させて入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替えるアクチュエータ３０とを有する光スイッチにおいて、アクチュエータは、弾性表面波を発生する圧電基板台３２と、圧電基板台の表面に互いに対向させて配置されると共に、弾性表面波を発生させる高周波電圧がオン・オフ制御可能に印加される一対の櫛形電極３４、３６と、入力側光ファイバの先端部を保持すると共に、一対の櫛形電極間に弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体３８Ａ〜３８Ｄと、移動体を圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段４０とよりなる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、弾性表面波を発生するアクチュエータを用いた光スイッチに関するものである。

インターネット、光通信の需要の増大に伴い、光ファイバで信号を伝送する場合の伝送路切り替え手段としての光スイッチが近年非常に重要視されている。この光ファイバで伝送される信号の従来のスイッチング方法は、一旦光信号を電気信号に変換し、この電気信号をさらに光信号に再変換して伝送する方法が採られている。これに対し、光スイッチは、電気信号に変換することなく光信号のままスイッチングすることで、スイッチ部分の簡略化が可能となる利点を有している。この種の光スイッチの構造としては、音響光学素子などの電圧印加による屈折率の変化を利用した光路切り替え方法が主流であったが、この方法では素子部分を通るときに光の損失が大きくなることが問題であった。そこで、近年、ＭＥＭＳ（マイクロ−エレクトロ−メカニカル−システム）技術を用いた光スイッチが開発されている。これは、機械的に光ファイバやミラーを駆動させてスイッチングを行う方法であるが、ＭＥＭＳ技術を用いることによってスイッチ全体が小型となり、さらに動作速度も向上するので、光スイッチとしての仕様を満たすものになりつつある。また、直接的に、またはミラーの反射を介して間接的にスイッチをするので、光の損失が非常に少なくなり、音響光学素子を用いた方法より性能が向上する。

ここで近年開発されている、ＭＥＭＳ技術を用いた従来の光スイッチの一例を示す。図８は特許文献１、２等に開示されている従来の光スイッチの一例を示す構成図、図９は特許文献３等に開示されている従来の光スイッチの他の一例を示す構成図、図１０は特許文献４等に開示されている従来の光スイッチの更に他の一例を示す構成図である。
図８に示す光スイッチは、入力側の光ファイバ２、４の先端を移動させて２つの出力側の光ファイバ６、８に切り替える、１×２光スイッチの例である。この例では、駆動手段に電磁駆動手段１０を用いている。光路切り替え時にコイルに電流を印加して駆動させ、駆動後は磁力を利用してラッチさせることで、切り替え後に無電力で保持するようにしている。

図９に示す光スイッチは、２×２光スイッチの例である。この例では、光ファイバ取り付け溝１２Ａ〜１２Ｄ、ミラー１４、櫛形ドライブ１６を有するアクチュエータ１８を一括でシリコンに深く加工して形成した構造となっている。アクチュエータは櫛形電極の静電駆動方式である。上記各溝１２Ａ〜１２Ｄに光ファイバ２０Ａ〜２０Ｄの先端部を十字状に挿入し、この先端部間に上記ミラー１４を出没させるようになっている。
図１０に示す光スイッチは、Ｎ×Ｎスイッチ（Ｎ＝８）の例である。この光スイッチは、パッケージ２２内に、入力側光ファイバ２４Ａ〜２４Ｄと出力側光ファイバ２６Ａ〜２６Ｈの先端部を挿入し、それらの間にマトリクス状にミラー２８を配置した構造となっている。レーザ光は、入力側光ファイバ２４Ａ〜２４Ｄに対して４５度に配置したミラー２８で反射して、出力側光ファイバ２６Ａ〜２６Ｄに導かれる。各ミラー２８は静電駆動であり、切り替える部分のミラーが駆動する。

特開２０００−３３８４３１号公報 特開平８−２２０４５６号公報 特表２００３−５０６７５５号公報 特開２００１−２９６４８６号公報

ところで、上記したような従来の光スイッチにあっては、このような問題点があった。例えば図８に示す光スイッチの場合には、電磁駆動方式を用いるため、電磁石の部分が大きくなり、光スイッチ全体の大きさをコンパクト化するのが困難である。また、電磁駆動手段１０による磁気ラッチ機能があるため光ファイバの位置保持には無電力で済むが、電磁石の磁極で位置を保持するため、２箇所でのラッチ機能しか設けることができない。そのため、１×２光スイッチまでしか作製できないという問題がある。

図９に示す光スイッチは、２×２光スイッチであることから、図８に示す光スイッチよりも高機能な光スイッチであり、１個のミラー１４で２組の光ファイバ２０Ａ〜２０Ｄの入力／出力方向を切り替えることが可能であるが、駆動に静電方式を用いるため、駆動電圧を低下させるためには櫛場電極とし、かつ電極面積を大きくする必要があるので小型化が困難である。また、静電駆動で動作できる範囲は数十μｍ程度と狭いため、入力、出力光ファイバの先端でレーザ光を絞り、ミラーで反射／通過させなければならないので技術的にも高い精度が要求される。さらに、静電駆動ではラッチ機能がないので、電圧を印加し続けるか、或いはラッチさせるためには別途機構を設ける必要がある。

図１０に示す光スイッチは、Ｎ組の光ファイバの入力／出力方向の切り替えが可能であるが、各反射点でミラー２８が必要なため、Ｎの２乗個のミラーが必要である。そのため、入出力ポート数が増えるほど作製が困難になり、歩留まりが低下してしまう。また、図９に示す光スイッチと同様に、ミラー２８を動作させた後は電圧を印加し続ける必要があるので消費電力も増加する。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、弾性表面波を発生するアクチュエータを用いて高速動作が可能で、且つ無電力で位置保持が可能な光スイッチを提供することにある。

請求項１に係る発明は、少なくとも１本の入力側光ファイバと、少なくとも２本の出力側光ファイバと、前記入力側光ファイバの先端部を移動させて前記出力側光ファイバの内のいずれか１本の先端部に向き合わせるように動作させることによって前記入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替えるアクチュエータとを有する光スイッチにおいて、前記アクチュエータは、弾性表面波を発生することができる圧電基板台と、前記圧電基板台の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置されると共に、前記弾性表面波を発生させる高周波電圧がオン・オフ制御可能に印加される一対の櫛形電極と、前記入力側光ファイバの先端部を保持すると共に、前記一対の櫛形電極間に前記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体と、前記移動体を前記圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段と、よりなることを特徴とする光スイッチである。

請求項２に係る発明は、２本の入力側光ファイバと、前記２本の入力側光ファイバの先端部に所定の間隔を隔ててその先端部が対向するように配置された２本の出力側光ファイバと、前記各光ファイバの先端部間に移動可能に配置されて前記入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替える反射部材と、前記反射部材を移動させるアクチュエータと、を有する光スイッチにおいて、前記アクチュエータは、弾性表面波を発生することができる圧電基板台と、前記圧電基板台の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置されると共に、前記弾性表面波を発生させる高周波電圧がオン・オフ制御可能に印加される一対の櫛形電極と、前記反射部材を保持すると共に、前記一対の櫛形電極間に前記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体と、前記移動体を前記圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段と、よりなることを特徴とする光スイッチである。

請求項３に係る発明は、互いに平行に配置されたＭ（正の整数）本の入力側光ファイバと、前記入力側光ファイバの延長方向とは異なる方向に互いに平行に配置されたＮ（正の整数、Ｎ＝Ｍの場合もあり）本の出力側光ファイバと、前記入力側光ファイバの延長方向と前記出力側光ファイバの延長方向との交差点側に移動可能に配置されて前記入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替える１以上の反射部材と、前記反射部材を移動させるアクチュエータと、を有する光スイッチにおいて、前記アクチュエータは、弾性表面波を発生することができる圧電基板台と、前記圧電基板台の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置されると共に、前記弾性表面波を発生させる高周波電圧をオン・オフ制御可能に印加するために設けられた、前記反射部材と同数の対の櫛形電極と、前記反射部材を保持すると共に、前記各一対の櫛形電極間に前記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体と、前記移動体を前記圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段とよりなることを特徴とする光スイッチである。

本発明の光スイッチによれば、アクチュエータとして弾性表面波を発生する圧電基板台上に磁力で予圧が支えられた移動体を移動可能に設けて、この移動体を弾性表面波で一軸方向に移動させることにより、スイッチング動作を行うようにしたので、小型で且つ高速動作が可能で、しかもスイッチングの位置を保持するのに無電力でこれを行うことができる。
また、ミラー等の反射部材を用いる場合には、この数量を大幅に削減することができ、更なる小型化ができる。

以下に本発明に係る光スイッチの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
図１は光スイッチで用いる駆動手段となるアクチュエータを示す斜視図、図２は図１に示すアクチュエータの断面図、図３は本発明の光スイッチの第１実施例を示す斜視図、図４は第１実施例を示す平面図である。

＜アクチュエータ＞
まず、光スイッチを説明するにあたり、各実施例において共通して用いられる駆動手段であるアクチュエータについて図１及び図２を参照して説明する。
図１及び図２に示すように、このアクチュエータ３０は、弾性表面波を発生することができる圧電基板台３２と、この圧電基板台３２の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置された一対の櫛形電極３４、３６と、この一対の櫛形電極３４、３６間に配置されて上記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体３８と、この移動体３８を上記圧電基板台３２側の所定の磁力で吸着させて予圧を与える磁力吸着手段４０とにより主に構成されている。

具体的には、上記圧電基板台３２は、例えば長方形状に形成された板状のベース板４２と、この上に形成された板状の圧電基板４４とよりなる。上記ベース板４２は、上記磁力吸着手段４０との間で磁力を発生させて吸着させるために例えば磁性体により形成される。また、上記圧電基板４４は、高周波電圧によって弾性表面波を発生する材料、例えばニオブ酸リチウム等により形成されている。また上記一対の櫛形電極３４、３６は例えばアルミニウムや銅等を蒸着法により堆積させることにより形成されている。上記各櫛形電極３４、３６には、それぞれ開閉スイッチ４６、４８を介してレイリー波が発生する共振周波数、例えば５０ＭＨｚの高周波電源５０、５２に接続されており、必要に応じて各櫛形電極３４、３６に高周波電圧を選択的に印加して弾性表面波を発生し得るようになっている。

また磁力吸着手段４０は、例えば永久磁石よりなり、磁性体よりなる上記ベース板４２との間で所定の磁力で吸着されて予圧が発生し、このように移動体３８はこの予圧が付与された状態で上記弾性表面波によって水平方向へ移動するようになっている。この場合、上記移動体３８の全体を永久磁石、すなわち磁力吸着手段４０として構成してもよいし、また、磁力吸着手段４０とベース板４２の内の少なくともいずれか一方が永久磁石であればよく、例えばベース板４２を永久磁石で形成し、磁力吸着手段４０を磁性体で形成してもよい。

ここで、図２に示すように例えば右側の開閉スイッチ４６をＯＮ状態にして高周波電源５０からの高周波電圧を櫛形電極３４に印加すると、高周波電圧が圧電基板４４上で右側から左側（矢印Ｘ２方向）に向かう弾性表面波の一種である一方向のレイリー波ＬＷに変換されて圧電基板４４を伝播して行き、予圧の付与されている移動体３８がレイリー波ＬＷの進行方向に対向する方向（矢印Ｘ１方向）に動かされる。すなわち、移動体３８は櫛形電極３４に接近してくる。この際、左側のスイッチ４８をＯＦＦ状態にしておき、他方の櫛形電極３６には高周波電圧を印加しない。

より具体的には、レイリー波ＬＷにより、圧電基板４４の表面粒子は楕円軌跡の回転運動を行い、レイリー波ＬＷの頭の部分で接した移動体３８を摩擦駆動により矢印Ｘ１方向に移動させる。この移動体３８を反対方向（矢印Ｘ２方向）に移動させるためには、左側の開閉スイッチ４８をＯＮ状態、右側の開閉スイッチ４６をＯＦＦ状態にすればよい。また、移動体３８にはある程度の圧力を上から加えなければ十分な摩擦力が作用せずに圧電基板４４上で上下方向に微小振動するだけであるので、本発明では、移動体３８に磁力吸着手段４０を設け、圧電基板４４の裏側に設けたベース板４２よりなる磁性体との間に発生する磁力の吸引力を利用して与圧を与える構造となっている。この構造によれば、アクチュエータ部分を簡素化できる共に、後述するように移動体３８の上に光ファイバやミラー（反射部材）などを設けることが可能になる。このような構成原理のアクチュエータ３０が、以下の各実施例で用いられることになる。

＜第１実施例＞
次に、本発明の第１実施例について説明する。
図３及び図４に示すように、この第１実施例の光スイッチ６０は、１本の入力側光ファイバ６２の先端部を上記アクチュエータ３０で駆動させ、２以上の複数の、図示例では４本の出力側光ファイバ６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ、６４Ｄのいずれかに切り替える方式である。ここではアクチュエータ３０の移動体３８に入力側光ファイバ６２の先端部を固定している。出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄは、それらの先端部が入力側光ファイバ６２の先端部に向き合うように互いに平行に並べて配置されている。アクチュエータ３０の一対の櫛形電極３４、３６は、各光ファイバに対して直交する方向に配置されている。これによれば、入力側光ファイバ６２の先端部が固定された移動体３８がいずれか一方の櫛形電極への高周波電圧の印加で移動し、切り替えるべき出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄの内のいずれか１つの先端部の位置に合う時に電圧を止め、移動体３８を停止させることでスイッチングを行う。この移動体３８と入力側光ファイバ６２の先端部は、圧電基板４４裏側の磁性体よりなるベース板４２との間の吸引力で保持されるので、スイッチング終了後は無電力で状態を保持することが可能である。また、両側の櫛形電極３４、３６へ印加する高周波電圧の調整により、様々な位置で移動体３８を移動・保持できるので、４方向切り替えだけでなく、複数方向切り替えの１×Ｎ（正の整数）光スイッチとして機能させることができる。

＜第２実施例＞
次に、本発明の第２実施例について説明する。
図５は本発明の光スイッチの第２実施例を示す斜視図、図６は第２実施例を示す平面図である。
図５及び図６に示すように、この第２実施例の光スイッチ６６は、２本の入力側光ファイバ６２Ａ、６２Ｂから２本の出力側光ファイバ６４Ａ、６４Ｂへ、その間に挟んだ反射部材としてのミラー６８の動作により、光信号であるレーザ光をミラー６８で反射、或いは通過させることで切り替えるようにした２×２光スイッチである。ここでは４本の光ファイバ６２Ａ、６２Ｂ及び６４Ａ、６４Ｂは、その先端部が入力側と出力側とで互いに対向するように所定の間隔を隔ててＸ字状に配置され、その交差点に垂直面に反射面を持つミラー６８が、アクチュエータ３０の移動体３８に固定されている。図示例では一方の入力側光ファイバ６２Ａと一方の出力側光ファイバ６４Ｂとが直線状になるように配置され、また他方の入力側光ファイバ６２Ｂと他方の出力側光ファイバ６４Ａとが直線状になるように配置されている。アクチュエータ３０の一対の櫛形電極３４、３６は、ミラー６８が交差点部分に出入りすることができるような向きに配置される。

このような構成において、ミラー６８が各光ファイバ６２Ａ、６２Ｂ、６４Ａ、６４Ｂの交差点に位置するときは（図６（Ａ）参照）、ミラー６８の両面で入力側光ファイバ６２Ａ、６２Ｂからの光信号であるレーザ光は反射され、それぞれ反射方向の出力側光ファイバ６４Ａ、６４Ｂに導かれる。これに対して、ミラー６８が交差点から出たときは（図６（Ｂ）参照）、入力側光ファイバ６２Ａ、６２Ｂからのレーザ光は直進して、それぞれ前者と反対方向の出力側光ファイバ６４Ｂ、６４Ａに導かれる。このミラー６８は、前述したようにアクチュエータ３０の櫛形電極３４、３６への電圧印加で移動体３８と共に移動し、ミラー６８が交差点に対して出入することで、スイッチングを行う。ミラー６８が取り付けられた移動体３８は、圧電基板４４の裏側の磁性体よりなるベース板４２との間の吸引力で保持されるので、スイッチング終了後は無電力で状態を保持することが可能であり、静電駆動のようなミラー位置保持のための電圧印加を不要にできる。

＜第３実施例＞
次に本発明の第３実施例について説明する。
図７は本発明の光スイッチの第３実施例を示す斜視図である。図７に示すように、この第３実施例の光スイッチ７０は、Ｍ（正の整数）本の入力側光ファイバからＮ（正の整数：Ｎ＝Ｍの場合もあり）本の出力側光ファイバへ、反射部材であるミラーの動作により、光信号のレーザ光をミラーで反射位置を変えることで切り替えるようにした、Ｍ×Ｎ光スイッチである。ここでは、説明簡略のためにＭ＝５、Ｎ＝４である５×４光スイッチの例で説明する。
ここでは５本の入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅと４本の出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄとが設けられる。またアクチュエータ３０は、上記”Ｍ”と”Ｎ”の数の内の少ない方の数に相当する数、ここでは４対の櫛形電極３４Ａ〜３４Ｄ、３６Ａ〜３６Ｄを有しており、これに対応して４個の移動体３８Ａ〜３８Ｄ及び４個の反射部材としてのミラー６８Ａ〜６８Ｄを有している。

具体的には、上記５本の入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅは、互いに平行に並べて配置され、また、４本の出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄは、入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅの延長方向とは異なる方向、、ここでは入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅに対して直交する方向に、互いに平行に並べて配置されている。アクチュエータ７０の４対の櫛形電極３４Ａ〜３４Ｄ及び３６Ａ〜３６Ｄは、ここでは出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄの延長方向に平行に配置されている。
従って、各櫛形電極３４Ａ〜３４Ｄ及び３６Ａ〜３６Ｄに対応して、高周波電源５０Ａ〜５０Ｄ及び５２Ａ〜５２Ｄと開閉スイッチ４６Ａ〜４６Ｄ及び４８Ａ〜４８Ｄも設けられている。上記各櫛形電極３４Ａ〜３４Ｄ及び３６Ａ〜３６Ｄ間に設けられる移動体３８Ａ〜３８Ｄは、それぞれ４本の出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄの延長方向に沿って移動できるようになっており、各移動体３８Ａ〜３８Ｄには、入力側・出力側光ファイバに対して垂直に起立され、且つ４５度の向きになるように設定されたミラー３８Ａ〜３８Ｄが取り付けられている。

尚、図示例の場合には、出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄの数に対して、入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅの数が１本多いので、常にいずれか１本の入力側光ファイバが選択的に休止状態となる。図示例の瞬間では、入力側光ファイバ６２Ａの休止状態となっている。このような構成により、各ミラー６８Ａ〜６８Ｄを適宜移動させることにより、５本の入射側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅからの光信号を、４本の出力側光ファイバ６４Ａ〜６４Ｄのいずれにも選択的に切り替えて伝送することができる。例えば図示例では、入力側光ファイバ６２Ｂの光信号を出力側光ファイバ６４Ａへ、入力側光ファイバ６２Ｃの光信号を出力側光ファイバ６４Ｄへ、入力側光ファイバ６２Ｄの光信号を出力側光ファイバ６４Ｃへ、入力側光ファイバ６２Ｅの光信号を出力側光ファイバ６４Ｂへ、それぞれ伝送するようにスイッチングが行われている。このように、上記各ミラー６８Ａ〜６８Ｄの移動位置の組み合わせで、種々の切替を行うことができる。

また上述のように、ミラー６８Ａ〜６８Ｄの数は、入出力側光ファイバの内、少なくとも少ない方の数だけ設ければよいので、ミラーの数を非常に少なくすることができる。また、ミラー６８Ａ〜６８Ｄが取り付けられた移動体３８Ａ〜３８Ｄは、圧電基板４４の裏側の磁性体よりなるベース板４２との間の吸引力で保持されるので、スイッチング終了後は無電力で状態を保持することが可能であり、静電駆動のようなミラー位置保持のための電圧印加を不要にできる。
またここでは入出力側光ファイバの配列方向のなす角度は、ここでは９０度に設定されているが、これに限定されず、その場合には、各ミラーの設定角度は、入力側光ファイバからの光信号が出力側光ファイバに入射するように設定されるのは勿論である。

また各ミラーを入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅの延長方向に沿って移動できるような配置で各櫛形電極を設けるようにしてもよい。この場合には、入力側光ファイバ６２Ａ〜６２Ｅと同数のミラー及び櫛形電極対を設ける。また、入力側光ファイバと出力側光ファイバとを同数設けるようにしてもよいのは勿論である。
このように、本発明では、従来の光スイッチに比べ、動作保持のための電力が不要で、様々な種類のスイッチを提供することができる。また、Ｍ×Ｎ光スイッチにおいても、ミラーの数を少なくすることができ、製造歩留まりの高い光スイッチを提供することができる。

光スイッチで用いる駆動手段となるアクチュエータを示す斜視図である。 図１に示すアクチュエータの断面図である。 本発明の光スイッチの第１実施例を示す斜視図である。 第１実施例を示す平面図である。 本発明の光スイッチの第２実施例を示す斜視図である。 第２実施例を示す平面図である。 本発明の光スイッチの第３実施例を示す斜視図である。 従来の光スイッチの一例を示す構成図である。 従来の光スイッチの他の一例を示す構成図である。 従来の光スイッチの更に他の一例を示す構成図である。

符号の説明

３０…アクチュエータ、３２…圧電基板台、３４，３４Ａ〜３４Ｄ，３６，３６Ａ〜３６Ｄ…櫛形電極、３８，３８Ａ〜３８Ｄ…移動体、４０…磁力吸着手段、４２…ベース板、４４…圧電基板、５０，５０Ａ〜５０Ｄ…，５２，５２Ａ〜５２Ｄ…高周波電源、６０，６６，７０…光スイッチ、６２，６２Ａ〜６２Ｅ…入力側光ファイバ、６４，６４Ａ〜６４Ｄ…出力側光ファイバ、６８，６８Ａ〜６８Ｄ…ミラー（反射部材）。

Claims (3)

1. 少なくとも１本の入力側光ファイバと、
   少なくとも２本の出力側光ファイバと、
   前記入力側光ファイバの先端部を移動させて前記出力側光ファイバの内のいずれか１本の先端部に向き合わせるように動作させることによって前記入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替えるアクチュエータとを有する光スイッチにおいて、
   前記アクチュエータは、
   弾性表面波を発生することができる圧電基板台と、
   前記圧電基板台の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置されると共に、前記弾性表面波を発生させる高周波電圧がオン・オフ制御可能に印加される一対の櫛形電極と、
   前記入力側光ファイバの先端部を保持すると共に、前記一対の櫛形電極間に前記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体と、
   前記移動体を前記圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段と、
   よりなることを特徴とする光スイッチ。
2. ２本の入力側光ファイバと、
   前記２本の入力側光ファイバの先端部に所定の間隔を隔ててその先端部が対向するように配置された２本の出力側光ファイバと、
   前記各光ファイバの先端部間に移動可能に配置されて前記入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替える反射部材と、
   前記反射部材を移動させるアクチュエータと、
   を有する光スイッチにおいて、
   前記アクチュエータは、
   弾性表面波を発生することができる圧電基板台と、
   前記圧電基板台の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置されると共に、前記弾性表面波を発生させる高周波電圧がオン・オフ制御可能に印加される一対の櫛形電極と、
   前記反射部材を保持すると共に、前記一対の櫛形電極間に前記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体と、
   前記移動体を前記圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段と、
   よりなることを特徴とする光スイッチ。
3. 互いに平行に配置されたＭ（正の整数）本の入力側光ファイバと、
   前記入力側光ファイバの延長方向とは異なる方向に互いに平行に配置されたＮ（正の整数、Ｎ＝Ｍの場合もあり）本の出力側光ファイバと、
   前記入力側光ファイバの延長方向と前記出力側光ファイバの延長方向との交差点側に移動可能に配置されて前記入力側光ファイバを伝播してきた光信号の出力方向を切り替える１以上の反射部材と、
   前記反射部材を移動させるアクチュエータと、
   を有する光スイッチにおいて、
   前記アクチュエータは、
   弾性表面波を発生することができる圧電基板台と、
   前記圧電基板台の表面に互いに対向させて所定の距離を隔てて配置されると共に、前記弾性表面波を発生させる高周波電圧をオン・オフ制御可能に印加するために設けられた、前記反射部材と同数の対の櫛形電極と、
   前記反射部材を保持すると共に、前記各一対の櫛形電極間に前記弾性表面波によって移動可能に設けられた移動体と、
   前記移動体を前記圧電基板台側へ所定の磁力で吸着させる磁力吸着手段と、
   よりなることを特徴とする光スイッチ。
   
   

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