JP2005135600A - 有機エレクトロルミネッセンス発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 透明電極3と、この透明電極3に対向して配置された対向電極4と、中間導電層1と、該透明電極3と対向電極4との間に該中間導電層1を介して配置された複数の有機発光層2a,2bとを含む有機エレクトロルミネッセンス発光素子において、
該中間導電層1が、少なくともマトリックス成分である半導体および添加物を含み、該マトリックス成分と添加物との組成比が膜厚方向で変化していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
【選択図】 図1
Description
本発明の有機EL発光素子は、透明電極と、この透明電極に対向して配置された対向電極と、中間導電層と、該透明電極と対向電極との間に該中間導電層を介して配置された複数の有機発光層とを含む有機エレクトロルミネッセンス発光素子において、該中間導電層が、少なくともマトリックス成分である半導体および添加物を含み、該マトリックス成分である半導体と添加物との組成比が膜厚方向で変化していることを特徴とする。
陽極/有機EL層/中間導電層/有機EL層/中間導電層/・・・/有機EL層/陰極
のように構成されていてもよい。
陽極/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/中間導電層/陰極 (II)
(1)例えば、RuOx、MoOx、VOx、MoO3、VO2、NiOx、TiOxなどの無機酸化物、または透明導電性酸化物(好ましくは、例えば、In、Su、Zn、Gaよりなる群より選択された元素の一種以上の酸化物;
(2)Si1−xNx、a−C(アモルファス性カーボン膜)などの半導体;
(3)無機半導体:不純物添加物として、無機化合物の基本骨格、組成に対し、その基本骨格の結合性を乱し電荷伝導機構に影響を及ぼす不純物として元素を混入させたもの(例えば、ZnO:Pなど)などが挙げられる。
NPD/フラーレン(C60)
トリフェニルアミン/F4−TCNQ
1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボキシリック・ジアンハイドライド(NTCDA)/ピロニンB(pyronin B)
NTCDA/ビス(エチレンジチオ)−テトラチアフルバレン
MePTCDI/フラーレン(C60)
NTCDA/ピロニンB
フラーレン(C60)/ローダミンB(rhodamine B)
PTCDA/ローダミンB
MePTCDI/ローダミンB
MoO3/Li
NPD/Li
P2O5を混合したZnO/ZnO
NPD、Alq/Li
NPD、Alq/MoO3、Li
NPD/フラーレン
Alq、NPD/ZnTe:I
有機EL発光素子の作成方法には特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。一般に、透明電極付きガラス基板を真空蒸着装置に固定し、正孔注入層、正孔輸送層、有機発光層(有機EL層)、電子輸送層などを形成するための材料、中間導電層を構成するマトリックス成分となる半導体、添加物成分、陰極用材料を、順次成膜し、積層することによって有機EL発光素子が得られる。
(実施例1)
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、MTDATA(4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン)とNPD(N,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン)とDPVBi(4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル)、PAVBi(下記化1で示される化合物)、Alq(8−ヒドロキシキノリンのAl錯体)をそれぞれ入れた。また、金属Li及びMoO3の蒸着源を用意した。また、陰極用として、LiF及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。その後、金属Li(イオン化ポテンシャル2.3eV)とMoO3(イオン化ポテンシャル5.7eV)をそれぞれ図2のグラフに示す成膜速度で同時蒸着し、MoO3とLiの組成比が膜厚方向で変化するように、膜厚2nmまで成膜した。このMoO3:Li層は中間導電層として機能すると同時に発光層への良好な電子注入を行う。
実施例1の中間導電層を構成する金属LiとMoO3をそれぞれ図3のグラフに示す成膜速度で動じ蒸着した以外は、実施例1と同様に各層を成膜し、有機EL発光素子を作製した。
実施例1の中間導電層を構成するMoO3の代わりに、NPD(イオン化ポテンシャル5.5eV)を用い、図4のグラフに示す成膜速度で、金属LiとNPDを動じ蒸着し、NPDとLiの組成比が膜厚方向で変化するように成膜した以外は、実施例1と同様に各層を成膜し、有機EL発光素子を作製した。
実施例1の中間導電層を構成する金属LiとNPDをそれぞれ図5のグラフに示す成膜速度で動じ蒸着した以外は、実施例2と同様に各層を成膜し、有機EL発光素子を作製した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、スパッタ装置内にP2O5を混合したZnOターゲットとノンドープZnOターゲットを蒸着源として用意した。また、陰極用として、Li及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。
実施例3におけるスパッタ蒸着装置での成膜を、P2O5を混合したZnOのみで、成膜速度0.1nm/sで成膜し、ZnO:P膜(膜厚10nm)を形成した以外は、実施例3と同様に成膜し、有機EL発光素子を作製した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、陰極用として、Li及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、MoO3を蒸着源を用意した。また、陰極用として、Li及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、MoO3を蒸着源を用意した。また、陰極用として、Li及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、MoO3を蒸着源を用意した。また、陰極用として、Li及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、フラーレン及びNPDの蒸着源を中間導電層用として用意した。また、陰極用として、LiF及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。その後、フラーレン(C60)(イオン化ポテンシャル4.6eV)とNPDを図11のグラフに示す成膜速度で、NPDとフラーレンの組成比が膜厚方向で変化するように、膜厚10nm成膜した。
25mm×75mm×1.1mm厚のITO透明電極付きガラス基板(ジオマティック社製)をイソプロピルアルコール中にて超音波洗浄を5分行い、さらに紫外線とオゾンを併用した洗浄を30分行った。この透明支持基板を真空蒸着装置に固定し、3つの抵抗加熱ボートには、4,4',4''−トリス{N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ}トリフェニルアミン(MTDATA)とN,N'−ジ−(1−ナフチル)−N,N'−ジフェニル−4,4'−ベンジジン(NPD)と4,4’−ビス(2,2’−ジフェニルビニル)ビフェニル(DPVBi)、PAVBi、8−ヒドロキシキノリンのAl錯体(Alq)をそれぞれ入れた。また、電子ビーム蒸着用ZnTe:Iターゲット(イオン化ポテンシャル4.2eV)を蒸着源として用意した。また、陰極用として、Li及び金属Alを用意した。この真空蒸着装置を1×10−4Paまで排気した。次に、MTDATA入りのボートを加熱し、膜厚120nmの正孔注入層を製膜した。次に、NPD入りのボートを加熱し、膜厚20nmの正孔輸送層を製膜した。次に、DPVBi及びPAVBi入りボートを加熱し、膜厚40nm(膜厚比40:2)の発光層を製膜し、さらに、電子輸送層として、Alqを20nm積層した。
実施例9において、中間導電層の組成を図13のグラフに示すように膜厚方向で変化させた以外は、実施例9と同様にして有機EL発光素子を作製した。
陽極/中間導電層/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/陰極 (I)
陽極/正孔輸送層/有機発光層/電子輸送層/中間導電層/陰極 (II)
2a,2b 有機EL層
3 陽極
4 陰極
Claims (8)
- 透明電極と、この透明電極に対向して配置された対向電極と、中間導電層と、該透明電極と対向電極との間に該中間導電層を介して配置された複数の有機発光層とを含む有機エレクトロルミネッセンス発光素子において、
該中間導電層が、少なくともマトリックス成分である半導体および添加物を含み、該マトリックス成分と添加物との組成比が膜厚方向で変化していることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス発光素子。 - 前記添加物が、金属、無機化合物、無機半導体および有機半導体からなる群から選択される1種以上であることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
- 前記マトリックス成分である半導体と添加物との組成比の膜厚方向での変化が、連続的であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
- 前記マトリックス成分である半導体と添加物との組成比の膜厚方向での変化が、前記有機発光層との一方の界面から他方の界面に向かって増加または減少していることを特徴とする請求項3に記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
- 前記添加物のイオン化ポテンシャルが、前記マトリックス成分である半導体のイオン化ポテンシャルよりも小さいことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
- 前記有機発光層と接する前記中間導電層の一方の界面が正孔注入性を示し、他方の界面が電子注入性を示すことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
- 前記中間導電層が、両性電荷注入輸送性組成膜であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
- 前記中間導電層が、少なくとも、有機物からなる正孔輸送性化合物と電子輸送性化合物とを含有する膜であり、該正孔輸送性化合物と電子輸送性化合物との組成比が膜厚方向で連続的に変化しており、かつ、前記中間導電層の一方の界面において、該正孔輸送性化合物または電子輸送性化合物のいずれか一方の化合物の濃度が50質量%以上であり、他方の界面において、他方の化合物の濃度が50質量%以上であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の有機エレクトロルミネッセンス発光素子。
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