JP2005126280A - オゾン発生装置及びオゾン発生方法 - Google Patents
オゾン発生装置及びオゾン発生方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】原料の酸素に対して窒素添加を間欠的に行うことにより、添加窒素の総量を減少させる。生成オゾン濃度を制御対象とし、フィードバック制御で、添加窒素の濃度を変化させることにより又は添加窒素を間欠的に供給することにより、オゾン発生を制御する制御方法及びその方法を用いた放電式のオゾン発生装置を提供する。更に、生成オゾン濃度を制御対象とし、フィードバック制御で、放電出力を制御し、オゾンを安定的に発生させる方法及びその方法を用いた放電式のオゾン発生装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
12 マスフローコントローラ
13 合流点
14 放電部
16 オゾンモニタ
18 オリフィス
20 ストップバルブ
21 ストップバルブ
22 処理槽
23 オゾン分解器
24 マスフローコントローラ
25 制御部
25a 回線
25b 回線
25c 回線
25d 回線
30 ピーク
32 窒素低添加時のオゾン濃度
34 窒素高添加時のオゾン濃度
36 窒素微少添加時のオゾン濃度
38 オゾン濃度不安定領域
40 オゾン濃度安定領域
42 窒素濃度
44 オゾン濃度
46 放電出力
48 オゾン濃度
50 窒素濃度
52 オゾン濃度
54 窒素濃度
56 放電出力
58 オゾン濃度
Claims (15)
- 放電式オゾン発生器に高純度酸素を供給してオゾンを発生させるオゾン発生装置において、
前記オゾン発生器に窒素を供給する可変窒素供給手段と、
前記オゾン発生器で発生したオゾン量を測定する測定手段と、
該測定手段で測定したオゾン量に応じて前記可変窒素供給手段を制御するオゾン量制御手段と、を備え、
該オゾン量制御手段は、測定したオゾン量が所定の値になると、前記可変窒素供給手段が所定量の窒素供給を行うように制御することを特徴とするオゾン発生装置。 - 前記可変窒素供給手段は、窒素の間欠供給を行うことを特徴とする請求項1に記載のオゾン発生装置。
- 前記可変窒素供給手段は、窒素供給を所定時間又は前記測定手段により測定されるオゾン量が第2の所定の値になるまで継続した後、該窒素供給を停止し、測定されるオゾン量に応じて該窒素供給が再び開始されるまで該窒素供給を行わないことを特徴とする請求項1又は2に記載のオゾン発生装置。
- 更に、放電出力制御手段を備え、
前記オゾン量制御手段は、前記測定手段で測定されるオゾン量に応じて前記放電出力制御手段に放電出力を変動させる信号を送信することを特徴とする請求項1から3いずれか記載のオゾン発生装置。 - 前記オゾン量制御手段は、前記可変窒素供給手段によって前記窒素供給が行われると、前記放電出力制御手段に放電出力を変動させる信号を送信することを特徴とする請求項4に記載のオゾン発生装置。
- 更に、発生したオゾン含有気体を振り分ける発生気体振り分け手段を備え、
該振り分け手段は、前記測定手段によって測定されたオゾン量及び/又は前記可変窒素供給手段によって行われる前記窒素供給に応じて、発生したオゾン含有気体を窒素高含有気体と窒素低含有気体とに振り分けることを特徴とする請求項1から5いずれか記載のオゾン発生装置。 - 前記高純度酸素は、99.995%以上の高純度酸素であることを特徴とする請求項1から6いずれか記載のオゾン発生装置。
- 前記高純度酸素は、不純物である窒素ガスが20ppm以下の高純度酸素であることを特徴とする請求項1から6いずれか記載のオゾン発生装置。
- 前記高純度酸素は、93%以上の高純度酸素であることを特徴とする請求項8に記載のオゾン発生装置。
- 放電式オゾン発生器に高純度酸素を供給してオゾンを発生させるオゾン発生方法において、
前記オゾン発生器で発生したオゾン量を測定する段階と、
該段階で測定したオゾン量が所定の値になったときに、所定の量の窒素供給を行う段階と、を含むことを特徴とするオゾン発生方法。 - 前記所定の量の窒素供給を行う段階以外では、窒素供給を行わないことを特徴とする請求項10に記載のオゾン発生方法。
- 前記所定の量の窒素供給を行う段階は、所定時間及び/又は測定オゾン量が第2の所定の値になるまで、継続させられることを特徴とする請求項10又は11に記載のオゾン発生方法。
- 前記オゾン発生器において、測定したオゾン量に応じて放電出力を変動させる段階を更に含むことを特徴とする請求項10から12いずれか記載のオゾン発生方法。
- 前記所定の量の窒素供給を行う段階において、同時に放電出力を変動させることを特徴とする請求項13に記載のオゾン発生方法。
- 更に、前記所定の量の窒素供給を行う段階に応じて、発生したオゾン含有気体を窒素高含有気体と窒素低含有気体とに振り分ける段階を含むことを特徴とする請求項10から14いずれか記載のオゾン発生方法。
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JP2009096692A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 間欠式不活性ガス注入によるオゾン発生方法および装置 |
JP2009096691A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 間欠式水分添加によるオゾン発生方法および装置 |
JP2013188655A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | オゾンを用いた有機物分解システム |
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WO2022130506A1 (ja) * | 2020-12-15 | 2022-06-23 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 |
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Cited By (6)
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---|---|---|---|---|
JP2009096692A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 間欠式不活性ガス注入によるオゾン発生方法および装置 |
JP2009096691A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 間欠式水分添加によるオゾン発生方法および装置 |
JP2013188655A (ja) * | 2012-03-13 | 2013-09-26 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | オゾンを用いた有機物分解システム |
EP2891625A4 (en) * | 2012-08-30 | 2016-04-20 | Toshiba Mitsubishi Elec Inc | OZONE PRODUCTION SYSTEM |
WO2022130506A1 (ja) * | 2020-12-15 | 2022-06-23 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置及びオゾン供給方法 |
CN116457072A (zh) * | 2020-12-15 | 2023-07-18 | 三菱电机株式会社 | 臭氧供给装置及臭氧供给方法 |
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