JP2005106819A - 温度調節されたばねてんぷ共振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結晶軸zに対して角θを形成するように石英単結晶から予めカットした薄辺のフォトリソグラフィおよびエッチング加工によりゼンマイの高さhのひげゼンマイを製作することによって、ひげゼンマイの熱的振舞いをてんぷの熱的振舞いに適応させ、それによって温度変化による速度変化を減少させる。
【選択図】図2
Description
C=Ehe3/12L (I)
ばねてんぷの振動数は、式IIにより式Iに関係づけられる。
f=(1/2π)(√(C/I)) (II)
ただし、Iはてんぷの慣性モーメントを表し、式IIIに対応する。
I=mr2 (III)
ただし、mは質量、rは回転半径を表し、明らかにてんぷの熱膨張率αに依存する。
結晶軸xyzの石英棒から薄辺をカットし、その厚さをゼンマイの所望の高さhまで薄くする工程と、
ひげゼンマイの所望形状に輪郭を決めたマスクをフォトリソグラフィにより薄辺の表面に形成する工程と、
生成された輪郭の外側に位置する石英を湿式法もしくは乾式法エッチングによって除去し、ひげゼンマイを解放する工程と、から成る製造方法に関する。
表1
熱膨張係数α 角度θ
曲線d 5.10−6K−1 −14.6゜
曲線e 10.10−6K−1 −7゜
曲線f 15.10−6K−1 +7゜
曲線gは、基準とした電子時計用音叉の曲線に相当する。
Claims (12)
- 弾性定数Cのひげゼンマイと、慣性モーメントIのてんぷとを含む機械式時計ムーブメント用のばねてんぷ共振器において、ひげゼンマイが単体石英単結晶から製作の高さhとするゼンマイで形成されることを特徴とするばねてんぷ共振器。
- 石英が、軸xを電気軸とし軸yを機械軸とする結晶軸xyz沿いに結晶化していることを特徴とする請求項1に記載のばねてんぷ共振器。
- ゼンマイの高さh沿いの方向z’が、軸xを中心に回転後、石英の結晶化軸zに対して角度θを形成することを特徴とする請求項2に記載のばねてんぷ共振器。
- 角度θの値を、+25°と−25°の間、好ましくは+10度と−15度の間とすることを特徴とする請求項3に記載のばねてんぷ共振器。
- 角度θの極限値により、前記ひげゼンマイの弾性定数をてんぷの熱膨張率に調和させることを特徴とする請求項4に記載のばねてんぷ共振器。
- ひげゼンマイの弾性定数Cとてんぷの慣性モーメントIを、両者の熱的特徴に関して、角度θの値を適切に選択することにより整合させることを特徴とする請求項3に記載のばねてんぷ共振器。
- 中央湾曲部をリングもしくはコレットを介しててんぷに固定したひげゼンマイを含むばねてんぷ共振器の製造方法において、ひげゼンマイの高さhが、
軸xを電気軸とし軸yを機械軸とする結晶軸xyzの石英棒から軸x、y、zを有する薄辺をカットし、必要によりゼンマイの高さhまで薄くする工程と、
ひげゼンマイの所望形状に輪郭を決めたマスクをフォトリソグラフィにより薄辺の表面に形成する工程と、
生成された輪郭の外側に位置する石英を湿式法もしくは乾式法エッチングによって除去し、ひげゼンマイを解放する工程と、を実行することによって得られることを特徴とする方法。 - ひげゼンマイを形成する薄辺が、石英の結晶軸xyzにより決められ面に関して軸x中心の回転により角度θを形成する面xy’z’沿いに石英からカットして形成され、前記角度θを+25度と−25度の間、好ましくは+10度と−15度の間で可変とすることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- ひげゼンマイの輪郭の外側に位置する石英を除去するエッチングを湿式法、好ましくはHF/NH4F溶液によるエッチングにより行うことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- ひげゼンマイの輪郭の外側に位置する石英を除去するエッチングを反応式イオン・エッチング等の乾式法により行うことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- フォトリソグラフィとエッチング工程により、ひげゼンマイの外部および中央固定リングまたはコレットへの取付部形成をひげゼンマイとゼンマイの厚さやそのピッチ等、他の製作パラメータの選択と同時に可能とすることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 得られたひげゼンマイの弾性定数をカット角度θの極限値をてんぷの熱膨張率に調和させることを特徴とする請求項8に記載の方法。
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