JP2005098263A - ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】 ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とが着脱自在で、シール性が高く、小型で、長期間にわたって性能が維持できるポンプを提供する。
【解決手段】 ポンプ１０は、ダイアフラム１５０により、容積が変更可能なポンプ室１１９と、ポンプ室１１９へ動作流体を流入させる入口流路１１１と、ポンプ室１１９から動作流体を流出させる出口流路１１８と、を備えたポンプ室体１０１と、入、ダイアフラム１５０を駆動するアクチュエータ３０１と、アクチュエータ３０１を支持する筐体２０１と、を備えたアクチュエータユニット２００と、から構成され、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００と、が着脱可能に装着されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ダイアフラムにより、ポンプ室内の容積を変更して流体の移動を行うポンプに関する。

従来、ダイアフラムにより、ポンプ室内の容積を変更して流体の移動を行うポンプとしては、ポンプ吸い込み・吐出用ユニットと、吸い込み側逆止弁と吐出側逆止弁を有するポンプ弁座ユニットと、ポンプアクチュエータユニットから構成され、ポンプ吸い込み・吐出用ユニットとポンプ弁座ユニット及びポンプ弁座ユニットとポンプアクチュエータユニットとの間にシール材としてのＯリングを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、ポンプ室を備えるハウジングと、流体入口部と、流体出口部と、ダイアフラムと、ダイアフラムに固定されたアクチュエータから構成された構造や、円形圧力ボックスが上方部分と下方部分とに分離されており、ダイアフラムが円形圧力ボックスの上方部分と下方部分の間に接合されているポンプも知られている（例えば、特許文献２参照）。

特開平１０−２２０３５７号公報（第３頁、図１、図２） 特表平８−５０６８７４号公報（第１０頁、１１頁、図４〜図６）

このような特許文献１では、基本構造としては、ポンプ吸い込み・吐出用ユニットと、ポンプ弁座ユニットと、ポンプアクチュエータユニットの三体構造であり、構造が複雑になる他、流体のシール構造としては、Ｏリングを少なくとも３個使用している。このことにより、部品点数が増加する、また、Ｏリングは、長期間使用するうちにシール性が劣化することが考えられるので、定期的に交換しなければならないという煩わしさがある。さらに、流体の種類により耐薬品性を考慮し、Ｏリングの材質を変える必要性が生ずる。

また、ポンプ弁座ユニットは、合成樹脂で成形されており、流体の吸い込み部と吐出部の仕切り部はポンプ室の上方に浮いている構造であるため、Ｏリングの圧接力を高め、シール効果を維持するためには、厚みを大きくしなければないため、小型化は困難であると考えられる。
さらには、このような構造では、吸い込み口と吐出口の方向、位置が限定されるという問題もある。

特許文献２では、流体入口部と流体出口部が、それぞれハウジングに接合され一体化されているので、接合する際、小型ポンプの場合、部品が小さいため扱いにくく、接合部のシール性を確保することが困難であることが考えられる。
また、他の実施例においては、ダイアフラムが、円形圧力ボックスの上方部分と下方部分の間で接合されているため、シール性の維持が困難である。
さらに、このような構造では、ポンプ室内の圧力に耐えるためには、円形圧力ボックスの肉厚を厚くしたり、ダイアフラムとの接合部の面積を大きくしなければならないため、小型化には不向きであるというような課題がある。

また、このようなポンプでは、流体の種類を変えて使用できることが好ましいが、小型ポンプの場合、内部まで洗浄することが困難である。特許文献２では、ポンプ室とアクチュエータが分離できない構造となっているため、流体の種類によっては、其の都度、ポンプ全体を交換して使用しなければならないという課題もある。

本発明の目的は、ポンプ室ユニットとアクチュエータユニットとが着脱自在で、シール性が高く、小型で、長期間にわたって性能が維持できるポンプが提供できるポンプを提供することである。

本発明のポンプは、ダイアフラムにより、容積が変更可能なポンプ室と、該ポンプ室へ動作流体を流入させる入口流路と、前記ポンプ室から動作流体を流出させる出口流路と、が設けられたポンプ室体と、を備え、
前記ダイアフラムを駆動するアクチュエータと、該アクチュエータを支持する筐体と、を備えたアクチュエータユニットと、から構成され、
前記ポンプ室体と前記アクチュエータユニットと、が着脱可能に装着されていることを特徴とする。
ここで、アクチュエータとしては、圧電素子を採用することができる。
また、動作流体としては、水、生理食塩水や、シリコンオイル等の液体を採用することができる。

この発明によれば、動作流体が流動されるポンプ室体と、アクチュエータユニットとが着脱可能な構造とされるため、ポンプ室体を分離してポンプ室の内部の洗浄をすることができ、動作流体の種類を変えて継続して使用することができる。
また、ポンプ室体とアクチュエータユニットが分離できるので、アクチュエータユニットは其のままに、ポンプ室体のみ取り替えれば動作流体の種類を変えても、簡単に切換えができるという効果がある。

従って、このような構造によれば、ポンプ室体を動作流体の種類に合わせて用意しておけば、アクチュエータユニットは交換せずに使用できるので、低コスト化をはかることができる。また、ポンプ室ユニットとアクチュエータユニットとがユニット化されているので、組み立て性がよく、使用現場で簡単に組み立てることができる。

さらに、入口流路と出口流路とポンプ室から構成されるポンプ室体は、一体で形成されているため、シール性がよく、シール性を確保するための、例えばＯリング等を使用しないので、耐久性がよく、長期間にわたってポンプの性能を維持することができる。

本発明のポンプは、前記ダイアフラムの一方の面が、前記ポンプ室の周縁に密着固定され、他方の面が前記アクチュエータの端部に密接されていることが好ましい。
本発明では、ダイアフラムが、ポンプ室体に密着固定され、アクチュエータを含むアクチュエータユニットがポンプ室体と分離することができるので、ポンプ室体のみ取り替えれば動作流体の種類を変えても、簡単に切換えができるという効果がある。また、ポンプ室体を分離してポンプ室、入口流路や出口流路の内部の洗浄をすることができ、動作流体の種類を変えて継続して使用することができる。
また、ポンプ室体の流路が、アクチュエータユニットと分離されているため、塵埃がポンプ室に入りにくいという効果もある。

本発明のポンプは、前記ダイアフラムの一方の面が、前記ポンプ室の周縁に密接され、他方の面が前記アクチュエータの端部に固着されていることが好ましい。
この発明では、ポンプ室体をアクチュエータユニットから分離した際に、ダイアフラムがアクチュエータ側に固着されているので、ポンプ室が開放され、内部の洗浄がより容易にできる。また、アクチュエータが収縮するダイアフラムの引き動作にダイアフラムが追従できるという効果もある。

本発明では、前記ダイアフラムの一方の面が、前記ポンプ室の周縁に密着固着される第１のダイアフラムと、前記第１のダイアフラムの他方の面が密接し、他方の面が前記アクチュエータに固着されている第２のダイアフラムと、から構成されていることが好ましい。

この発明によれば、前述したようなダイアフラムがポンプ室体に固着されている構造では、ダイアフラムとアクチュエータとは、密接関係にはあるが固定はされてない。このような構造では、例えば、特に、アクチュエータが収縮をした際に、アクチュエータとダイアフラムにわずかに隙間ができ、ダイアフラムが同期して振動しにくくなることが考えられる。この際、アクチュエータユニットに第２のダイアフラムが固着され、第２のダイアフラムは、第１のダイアフラムに密着されているため、第２のダイアフラムの振動によって第１のダイアフラムもアクチュエータの振動に追従して振動する。このことにより、ポンプ室体とアクチュエータユニットが分離可能な構造であっても、ポンプとしての機能をより確実に果たすことができるという効果がある。

また、第２のダイアフラムは、動作流体とは接触することがないので、耐薬品性を考慮する必要はなく、アクチュエータの振動と共振し易く、構造的に高強度の材料であれば制約条件が少なく、材料選択の自由度を広げることができる。

また、本発明では、前記ポンプ室体から前記筐体方向に延出された筒部と、前記筐体から延出された筒部と、が螺合固定されていることが好ましい。
ここで、螺合固定の構造としては、例えば、ポンプ室体の筒部と、アクチュエータユニットの筐体の筒部に雄螺子または雌螺子を設けて相互に螺合固定する構造や、別に固定螺子を用意し、其の固定螺子でポンプ室体とアクチュエータユニットとを螺合固定する構造が採用できる。

この発明によれば、ポンプ室体の筒部とアクチュエータユニットの筒部との間で直接螺合固定されるため、構造が簡素で、螺合のためのスペースも小さくできるので小型で、かつ、確実にポンプ室体とアクチュエータユニットを装着固定することができる。
また、別に固定螺子で固定する構造においても、例えば、ポンプ室体の筒部と、アクチュエータユニットの外周部に鍔状の突起部とを固定螺子で螺合することで、容易にアクチュエータユニットとポンプ室体とを一体に固定することができる。

また、本発明では、前記筐体の底部と前記ダイアフラムとの間に、該ダイアフラムを押圧する押圧部材が備えられていることが望ましい。
ここで、押圧部材としては、金属製のスリーブや、ばね等の弾性体を採用することができる。
この発明によれば、ダイアフラムは、ポンプ室の周縁に、例えば、溶接等の固定手段で密着固定されるが、ポンプ室内は、動作流体が満たされアクチュエータが振動する際には高圧状態になるため、ダイアフラムの固定強度が充分確保できないことが考えられる。そこで、ダイアフラムと筐体の底部との間に押圧部材を備えることで、固定状態を補強することができる。

さらに、アクチュエータとダイアフラムは密着固定されるが、製造上、アクチュエータの長さの寸法がばらつくことが考えられる。この際、押圧部材が弾性体であれば、この寸法のばらつきを押圧部材が吸収するとともに、ダイアフラムを押圧固定することができる。

本発明では、前記押圧部材の一方の端面と前記ダイアフラムとの間、または前記押圧部材の他方の端面と前記筐体の底部との間、または両方にスペーサーが備えられていることが望ましい。

このような構造では、押圧部材が、例えば、金属製のスリーブのような筒状部材であれば、前述したように、アクチュエータの寸法がばらついた際に、スペーサーで其のばらつきを吸収することができる。スペーサーが弾性体で形成されていればなおよい。

本発明では、前記筐体の筒部端面と前記ダイアフラムとの間にスペーサーが備えられていることが望ましい。
このような発明では、前述の押圧部材を用いない場合に、例えば、アクチュエータユニットをポンプ室体の筒部の内側に捩じ込み固定する際には、ダイアフラムは、アクチュエータの端面が固着されている筐体の筒部端面によって固定補強されるが、スペーサーが備えられることによって、アクチュエータの長さや、筐体の筒部長さの製造上のばらつきを吸収し、確実な固定補強ができる。スペーサーが弾性体で形成されていればなお好ましい。

また、本発明では、前記押圧部材の一方の端面と前記ダイアフラムまたは前記押圧部材の他方の端面と前記筐体の底部との間、または両方にスペーサーが備えられていることが望ましい。

この発明によれば、押圧部材が、例えば、金属製のスリーブのような筒状部材の場合、押圧部材の両端面のどちらかにスペーサーが備えられている。このことによって、アクチュエータの長さのばらつきをスペーサーで吸収し、ダイアフラムの固定補強をより強固に行うことができる。
また、押圧部材の端面の両方にスペーサーを備えておけば、なお効果を高めることができる。さらに、アクチュエータユニットをポンプ室体に捩じ込み固定する際に、押圧部材が回転され、ダイアフラムを傷つけることを防止できるというような効果もある。

本発明のポンプは、前記ポンプ室ユニットの筒部と前記筐体の筒部、またはどちらか一方に前記アクチュエータの電極と導通するリード線が挿通される貫通孔が設けられていることが好ましい。

本発明では、アクチュエータが圧電素子である場合、圧電素子を伸縮振動させるために積層された駆動電極が設けられている。この駆動電極に、例えば、外部制御回路から交流電圧を印加するリード線が備えられるが、このリード線がポンプ外部に挿通される貫通孔が、ポンプ室体またはアクチュエータユニットの筒部に設けられることによって、外部制御回路との接続を可能にすることができる。この際、貫通孔は、１箇所、または２箇所設けられる。
２箇所設けられた場合には、ポンプの外部制御回路に対してのレイアウトの選択肢が増えるという効果もある。

また、本発明では、前記筐体の底部に、前記アクチュエータの電極に導通するリード線が挿通される貫通孔が設けられていることが好ましい。
このような構造では、リード線が挿通される貫通孔が、アクチュエータが固着される筐体の底部に設けられるので、筐体にのみ貫通孔を設けておけば、シンプルな構成を実現できる。この際、貫通孔は、１個でも２個でもよい。

本発明では、前記ポンプ室体が、金属粉体成形によって成形されていることが好ましい。
このようなポンプ室体は、ポンプ室と、管状の入口流路と出口流路と、アクチュエータユニットとの接合部（筒部）とを備えているため複雑な凹凸が構成されている。其のため、金属粉体成形（一般に、ＭＩＭ：Ｍｅｔａｌ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｍｏｌｄと呼ばれる）で、一体で成形されるので、複雑な形状でも容易に形成することができる。
また、このことにより、入口流路、出口流路等に接合部がないため、動作流体の漏液を防止できる。
金属粉体成形のほかに、精密鋳造などで成形することができるが、材質として、耐薬品性に優れたステンレス鋼やチタン合金等を採用する際には、製造手段としては、金属粉体成形がより好ましい。

本発明のポンプは、前記ポンプ室体と前記アクチュエータユニットとが一次固定され、かつ、本体装置に取り付けられることによって二次固定されていることが好ましい。
ここで、本体装置としては、プロジェクタ等の電子機器の冷却装置や、ポンプ単独で支持台などに固定して使用する際の支持台等を含む。また、一次固定とは、仮固定のことで、分離可能な固定のことを意味し、二次固定とは、ポンプの機能が充分果たせる程度の本固定を意味する。

このような発明では、ポンプ室体とアクチュエータユニットとは仮固定された後、本体装置に固定する際に、ポンプ室体とアクチュエータユニットとを同時に本固定することができるので、本体装置にポンプを固定するための固定部や固定部材を別に設ける必要がなく、簡単な構造でポンプを本体装置に取り付けることができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図１２は本発明の実施形態のポンプが示されている。

図1は、実施例１のポンプの縦断面図が示されている。図１において、ポンプ１０は、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とを備えている。
ポンプ室ユニット１００は、動作流体が流入される入口流路１１１と、流出される出口流路１１７，１１８とを備えるポンプ室体１０１と、ダイアフラム１５０と、動作流体の脈流を防止する脈流吸収手段としての弾性膜１５１とから構成されている。

ポンプ室体１０１は、平面視外形は略円筒形であり、側面一方方向に入口流路１１１が穿設されたパイプ状の入口接続管１１０が突出して形成され、入口流路１１１は、弾性壁室１１２に流通している。入口流路の先端部は、図示しないチューブ等の外部配管に接続され、動作流体が供給される。入口接続管１１０の略直線上の反対側には、出口流路１１７，１１８が穿設されたパイプ状の出口接続管１１６が突出して形成されている。出口流路１１７の内側端部は、ポンプ室１１９に流通しており、他端は、動作流体の吐出口となっていおり、図示しない外部配管に接続される。
出口流路１１８は、長手方向途中からポンプ室１１９に接続されるまでの範囲は、出口部よりも内径が小さい出口流路１１７が形成されている。

入口流路１１１が流通されている弾性壁室１１２は、ポンプ室体１０１の略中央に円筒状の凹みとして形成され、図中、上方の開口部上面１２１に弾性膜１５１が密閉固定され、ポンプ室１１９側の開口部１１３は、弾性壁室１１２の内径よりも開口部直径が小さく設定されている。この開口部１１３のポンプ室１１９側の周縁部には、流体抵抗要素としての逆止弁１３０が固着され、入口流路１１１から出口流路１１７に流通されるように開放され、その逆は密閉される。
なお、小型で、５ｋＨｚ程度の一般のポンプより高周波駆動される本実施例のようなポンプでは、弾性膜１５１、弾性壁室１１２が備えられることが好ましいが、必ずしもなくてもよい。

入口流路１１１からポンプ室１１９側の開口部１１３に連続する壁の角部は、動作流体の流体抵抗を減ずるために斜面１１４，１１５が形成されている。
ポンプ室体１０１の開口部１１３を挟んで弾性壁室１１２の反対側に薄く形成された凹みが形成され、ダイアフラム１５０で密閉された空間がポンプ室１１９である。

ポンプ室体１０１は、金属粉体成形（Ｍｅｔａｌ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｍｏｌｄ）で形成されている。金属粉体成形のほかに、精密鋳造などで成形することができるが、耐薬品性、防錆、構造的強度を配慮した材質として、ステンレス鋼やチタン合金等を採用する際には、製造手段としては、金属粉体成形がより好ましい。ダイアフラム１５０は、ステンレス鋼等の円盤状の薄板で、厚みは２０μｍ程度とされ、外周部がポンプ室１１９の周縁部に接着、溶接、ロー付け等の固着手段で密着固着されている。

弾性膜１５１の上面には、弾性膜保護部材としての上板１４０が載置されたうえ、その外周部を固定螺子１５５でポンプ室体１０１に弾性膜１５１と共に螺合固定される。固定螺子１５５は、本図面では、１本だけ記載されているが、３本または４本の固定螺子を周方向等間隔で備られる。
弾性膜１５１は、動作流体が脈動した際に、断面方向に撓んで脈動を吸収するが、上板１４０の弾性膜１５１と接する面側には、弾性膜１５１が撓んでも接触しない範囲の凹みが設けられ、平面方向中央部には、上板１４０と弾性膜１５１で密閉された空気を開放するための孔１０３が設けられている。

なお、本実施例（図１参照）では、出口接続管１１６は、入口接続管１１０に対して、略直線上の反対側に設けられているが、平面方向どの位置にも自在に設けることができる。

ポンプ室体１０１は、弾性壁室１１２とは反対側に、突出された筒部１２２が形成され、其の端面には、アクチュエータユニット２００を固定するための雌螺子が設けられている。筒部１２２の内側のポンプ室１１９の開口部は、ポンプ室１１９のアクチュエータユニット２００側を密閉するダイアフラム１５０が密着固定されている。ポンプ室１１９のダイアフラム１５０と接触する壁の角部は、滑らかに丸められている。
この筒部１２２の内側にアクチュエータユニット２００の筐体２０１が挿着される。

筐体２０１は、一方が閉塞され，他方が開口された筒状をしており、筒部２０２と、筒部外周から外形方向に突出された鍔部２０３とが形成されている。筒部２０２がポンプ室体の筒部１２２の内側に圧入されているが、筒部２０２と筒部１２２との嵌合関係は、ポンプ１０の組み立て工程中においては、脱落せず、分解は可能な程度のしまり嵌めの関係に設定され、ここでは、この固定を一次固定と称す。
筒部２０２の端部はダイアフラム１５０を押圧しているが、筒部２０２の内径は、上台４０１に接触しない大きさとされ、ダイアフラム１５０と接触する角部は滑らかに形成されている。ダイアフラム１５０と接触する内径は、ポンプ室体１０１がダイアフラム１５０と接触する部分の内径と略同じである。

一次固定後、鍔部２０３に設けられた固定螺子２０５の挿通孔とポンプ室体の筒部１２２に設けられた雌螺子との間で、固定螺子２０５によって、筐体２０１（アクチュエータユニット２００）とポンプ室ユニット１００とが、しっかり固定される。ここでは、この固定を二次固定と称し、ポンプ１０が使用できる充分な強度で一体化される。
筐体２０１の筒部２０２の内側には、アクチュエータ３０１が備えられている。

アクチュエータ３０１は、長手方向に伸縮振動する圧電素子でであり、一方の端面には、上台４０１が固着され、他方の端部は、筐体２０１の底部２０９に固着されている。
上台４０１は、アルミニウム合金製等の比重の小さい材料で形成された円盤であり、アクチュエータ３０１の固着面との反対側の面が、ダイアフラム１５０に密接されている。アクチュエータ３０１は、外部制御回路（図示せず）から交流電圧が印加されることで、伸縮振動を行い、伸びたときにダイアフラム１５０を押して撓ませてポンプ室１１９の容積を減じ、収縮したときには、元の状態に引き戻し、ポンプ室１１９の容積を増加させる。
上台４０１のダイアフラム１５０と接触する外周部は、ダイアフラム１５０を撓ませた際に、ダイアフラム１５０に応力集中しないように滑らかな丸みを形成している。
なお、上台４０１は、アクチュエータの端部面積、形状を適切な設定を行えば、省略することができる。

前述したポンプの構造では、ポンプ室体１０１とダイアフラム１５０は密着固定され、ダイアフラム１５０とアクチュエータ３０１（上台４０１）は密接されていたが、ポンプ室体１０１とダイアフラム１５０とが密接され、ダイアフラム１５０とアクチュエータ３０１（上台４０１）とが密着固定される構造もできる。この際、ダイアフラム１５０は、アクチュエータ３０１と共に筐体２０１の筒部端部にも固着してもよい。

筐体２０１の筒部２０２の側面には、内側から外側に貫通孔２０４が設けられている。この貫通孔２０４には、図示しないが、アクチュエータ３０１に交流電圧を印加するためのリード線が挿通される。この貫通孔２０４は、図１では２箇所設けられているが、リード線が挿通できれば１箇所だけでもよく、外部制御回路との位置関係から任意に選択された位置、数に設定することができる。

また、貫通孔２０４は、筒部２０２の側面に設けることができる他、筐体２０１の底部２０９に設けることができる。この貫通孔２０４は、図中、二点鎖線で示されるように、アクチュエータ３０１と筒部２０２の内壁との間に１個または２個設けられ、図示しないリード線が挿通される。これらの貫通孔２０４は、筒部２０２の側面と筐体２０１の底部２０９に設けられた貫通孔２０４と組み合わせて設けることもできる。

次に、実施例１に係る逆止弁１３０について説明する。
図２は、本実施例１の逆止弁１３０の平面形状を示す。図２において、逆止弁１３０は、ステンレス鋼等の耐食性、高弾性材料製の薄板円盤である。中央部に馬蹄形のスリットによって、周縁部１３１と弁体部１３３と弾性部１３２とが形成されている。
周縁部１３１は、ポンプ室体１０１の開口部１１３のポンプ室１１９側の周縁部に固着され、弁体部１３３がアクチュエータ３０１の振動に略同期して弾性部１３２を基部として振動され、開口部１１３（図１、図２参照）の開閉が行われる。
この逆止弁１３０は、周縁部１３１が固着強度を得るために厚くされ、弾性部１３２と弁体部１３３は、アクチュエータ３０１の振動に追従し易くするためと、開口部１１３の接触面に追従し易くするために薄く形成されていることが好ましい。

続いて、本発明のポンプ１０の駆動動作について説明する。
図３は、ポンプ室１１９内の圧力とダイアフラム１５０の変位の関係を示すグラフである。図１も参照して説明する。まず、アクチュエータ３０１に交流電圧が供給されることによってダイアフラム１５０が振動して、ポンプ室１１９の容積が連続して変化する。

この際、ポンプ１０の負荷圧力を１．５気圧としてポンプを運転して、動作流体の吐出流量が多い状態の時のダイアフラム１５０の変位（μｍ）、ポンプ室１１９内圧力（気圧）の波形を図３に示す。ダイアフラム１５０の変位波形において、波形の傾きが正の領域は、アクチュエータ３０１が伸びてポンプ室１１９内の容積が減少している過程である。一方、波形の傾きが負の領域は、アクチュエータ３０１が収縮してポンプ室１１９内の容積が増大していく過程である。

ポンプ室１１９内圧力は、ポンプ室１１９の容積減少過程が始まると圧力上昇が始まる。そして、後述する理由によって、この容積減少過程が終了する前に、圧力は最大値を迎え減少し始める。さらに、ポンプ室１１９の容積減少過程が始まると、引き続き圧力は減少し続け、この容積減少過程の途中でポンプ室１１９内に真空状態が発生し、圧力０気圧の一定値となる。

このときの入口流路１１１と出口流路１１８（１１７）における流量の波形の関係のグラフを図４に示す。ポンプ１１９を運転した時に順方向（負方向）へ流れる流量をグラフ上で正方向としている。

出口流路１１８（１１７）の流量は、ポンプ室１１９内圧力が上昇し負荷圧力を上回ると増加し始める。そして、ポンプ室１１９内の動作流体が出口流路１１７から流出し始め、流出量がダイアフラム１５０の変位によるポンプ室１１９の容積減少量を上回るポイントでポンプ室１１９内の圧力は減少し始める。ポンプ室１１９内圧力が減少し、負荷圧力よりも低下すると出口流路１１８（１１７）の流量は減少し始める。これらの流量変化率は、ポンプ室１１９内圧力と負荷圧力との圧力差を出口流路１１８（１１７）のイナータンス値で除した値ほぼ等しい。

一方、入口流路１１１では、ポンプ室１１９内圧力が大気圧よりも減少すると、その圧力差によって逆止弁１３０が開き流量が増加し始める。また、ポンプ室１１９内圧力が上昇し大気圧よりも増加すると減少し始める。これらの流量変化率は逆止弁１３０が開放されている期間は、前述したことと同様に、ポンプ室１１９内圧力と入り口流路手前の圧力との圧力差を入口流路１１１のイナータンス値で除した値と等しい。そして、逆止弁１３０の逆止効果によって逆流が防止されている。

従って、前述した実施例１では、動作流体が流動されるポンプ室ユニット１００（ポンプ室体１０１）と、アクチュエータユニット２００とが着脱可能な構造とされるため、ポンプ室ユニット１００を分離して内部の洗浄をすることができ、動作流体の種類を変えて継続して使用することができる。
また、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００が分離できるので、アクチュエータユニット２００は其のままに、ポンプ室ユニット１００のみ取り替えれば動作流体の種類を変えても、すぐにポンプの使用が開始できるという効果がある。

従って、このような構造によれば、ポンプ室ユニット１００のみを動作流体の種類に合わせて複数用意しておけば、アクチュエータユニット２００は交換せずに使用できるので、低コスト化をはかることができる。
また、ポンプ室体１０１にダイアフラム１５０が密着固定される構造では、ポンプ室１１９が密閉されているので、ポンプ室体内に塵埃が侵入しにくいという効果があり、組み立て性もよく、使用現場で簡単に組み立てることができる。
また、ダイアフラム１５０をアクチュエータ３０１側に密着固定した場合の構造では、ポンプ室１１９のダイアフラム側も開放されるので、ポンプ室体１０１の内部の洗浄がより容易にできるという効果の他、アクチュエータ３０１が収縮するダイアフラム１５０の引き動作の際に、確実にダイアフラム１５０が追従できるという効果もある。

筐体２０１の筒部２０２または底部２０９には、リード線が挿通される貫通孔２０４が形成されているので、筐体２０１の内部にあるアクチュエータ３０１と外部制御回路との接続を可能にすることができる。筐体２０１の底部２０９に設けられる場合は、筐体２０１にのみ貫通孔２０４を設けておけばよいので、シンプルな構成野ポンプを実現できる。

さらに、入口流路１１１と出口流路１１８（１１７）とポンプ室１１９から構成されるポンプ室室体１０１は、金属粉体成形によって一体で形成されているため、入口接続管１１０、出口接続管１１６など凹凸が多いにもかかわらず容易に成形することができ、また、接合面が少ないのでシール性がよく、シール性を確保するための、例えばＯリング等を使用しないので、耐久性がよく、長期間にわたってポンプの性能を維持することができる。

図５は、実施例２のポンプ１０の部分断面図を示す。実施例２は、実施例１が、ダイアフラム１５０を１枚使用されていたことに対し、ダイアフラムを２枚使用したものであり、他の構成及びポンプ１０の動作は実施例１と同じであるため、共通部分の説明は省略する。
図５において、ダイアフラム１５０（第１のダイアフラム）は、実施例１において説明したように、ポンプ室１１９周縁に固着されている。実施例２で新たに設けられた第２のダイアフラム１６０は、ほぼ第１のダイアフラム１５０と同じ形状、同じ材質で形成され、アクチュエータ３０１に固着された上台４０１の端面に固着されている。

この第２のダイアフラム１６０は、第１のダイアフラム１５０の表面に密着されている。第２のダイアフラム１６０は、アクチュエータ３０１に固着されているので、アクチュエータ３０１の伸縮振動に追従して振動される。第２のダイアフラムが振動する際、ポンプ室１１９の容積を減少する方向に移動する時には、第１のダイアフラム１５０を押圧し、ポンプ室１１９の容積を減少させる。

また、アクチュエータ３０１が収縮してポンプ室１１９の容積を増大させる方向に移動する際には、第１のダイアフラム１５０と第２のダイアフラム１６０が密着されているため、第１のダイアフラム１５０が、第２のダイアフラム１６０の移動に追従して移動する。
この際、第１のダイアフラム１５０と第２のダイアフラム１６０との間にわずかな間隙ができた場合には、この間隙はポンプ室１１９内の圧力に対して負圧になるため、第１のダイアフラム１５０が、第２のダイアフラム１６０に接触するまで移動し、其の結果、ダイアフラム１５０，１６０は同じようにアクチュエータ３０１の振動に追従して振動して、動作流体を吐出させる。

さらに、第１のダイアフラムと第２のダイアフラムの少なくとも一方の、双方が接する面に、剥離容易な粘着剤等を塗布することにより、第１のダイアフラム１５０は第２のダイアフラム１６０に完全に追従する。
なお、第２のダイアフラム１６０は、上台４０１と共に、筐体２０１の筒部２０２の端部に固着してもよく、筐体２０１の筒部２０２の端部で第１のダイアフラム１５０とともに押圧されている。

従って、前述した実施例１では、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とは、分離可能な構造になっている。このことから、ダイアフラム１５０とアクチュエータ３０１（上板４０１）とは、密着関係にはあるが固定はされないので、このような構造では、例えば、アクチュエータ３０１が伸縮振動をした際に、ダイアフラム１５０が同期しないことが考えられる。

前述した実施例２では、アクチュエータユニット２００に第２のダイアフラム１６０が備えられ、第２のダイアフラム１６０はアクチュエータ３０１の振動に追従して振動する。第１のダイアフラム１５０と第２のダイアフラム１６０とは密着されているため、第２のダイアフラム１６０の振動によって第１のダイアフラム１５０もアクチュエータ３０１の振動に追従して振動する。このことにより、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００が分離可能な構造であっても、ポンプとしての機能をより確実に果たすことができるという効果がある。

また、第２のダイアフラム１６０は、動作流体とは接触することがないので、耐薬品性を考慮する必要はなく、アクチュエータ３０１の振動に共振し易い、構造的に高強度の材料であれば制約条件が少なく、材料選択の自由度を広げることができる。

図６は、実施例３のポンプ１０のポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００の固定構造が示されている。固定構造以外は、実施例１と同じであるため共通部分の説明は省略する。
図６は、本実施例３のポンプ１０の断面図を示す。図６において、ポンプ室体１０１は、アクチュエータユニット２００に向かって筒部１２２が延出され、この筒部１２２の壁面内部には、雌螺子が設けられている。また、筒部１２２の内側から外側に貫通する貫通孔１２０が穿設され、この貫通孔１２０と筒部１２２の端部との途中には、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００との固定を補強するための止め螺子用の雌螺子が設けられている。

筐体２０１のポンプ室１１９に向かって延出された筒部２０２の外周には、ポンプ室体１０１の筒部１２２の雌螺子に対応した雄螺子が設けられている。また、組み立てられたときに、前述のポンプ室体１０１の筒部１２２の貫通孔１２０と同じ位置に、貫通孔２０４が穿設されている。貫通孔１２０，２０４には、図示しないリード線が挿通される。
アクチュエータユニット２００は、ポンプ室体１０１の筒部１２２内に捩じ込まれて固定される。この際、筐体２０１の筒部２０２の端部２０７とダイアフラム１５０との間に、リング状のスペーサー２２０が装着されており、端部２０７によってダイアフラム１５０の周縁部を押圧している。
また、筐体２０１の外周には、筐体２０１をポンプ室ユニット１００に捩じ込みやすくするためにローレット２０８が形成されている。

スペーサー２２０は、弾性部材であり、金属製のばね座金や、合成樹脂製のリングが採用される。スペーサー２２０の外径は、筒部１２２の内径より小さく、内径は上台４０１に接触しない大きさに設定されており、ダイアフラム１５０と接触する角部は滑らか形成されている。また、ダイアフラム１５０との接触範囲は、ポンプ室体１０１がダイアフラム１５０と接触する範囲と略同じである。このスペーサー２２０は、ダイアフラム１５０の固定補強をすると共に、筐体２０１をポンプ室体１０１に螺合固定した際に、アクチュエータ３０１の長さ、上台４０１の厚み、筒部２０２の深さ等の製造上の寸法のばらつきを吸収するために設けられている。
ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００を螺合固定した後、さらに、側面方向から、すり割止め螺子２０６によって、補強固定される。

従って、実施例３では、ポンプ室ユニット１０１の筒部１２２とアクチュエータユニット２００の筒部２０２との間で直接螺合固定されるため、構造が簡素で、螺合のためのスペースも小さくできるので小型で、かつ、確実にポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００を装着固定することができる。
また、実施例１のように、別に固定螺子２０５で固定する構造においても、例えば、ポンプ室ユニット１００の筒部１２２と、アクチュエータユニット２００の筒部２０２の外周部に設けられた鍔部２０３とを固定螺子で螺合することで、アクチュエータユニット２００とポンプ室ユニット１００との固定を補強することができる。この場合、すり割止め螺子２０６は不要である。

また、アクチュエータユニット２００をポンプ室ユニット１００に捩じ込み固定する際には、ダイアフラム１５０は、筐体２０１の筒部端面２０７によって固定補強されるが、スペーサー２２０が備えられることによって、アクチュエータ３０１の長さや、筐体の筒部２０２長さ、上台４０１の厚みなどの製造上のばらつきを吸収し、ダイアフラム１５０を確実に固定ができ、ポンプ１０の性能を確保することができ、また、長期間にわたって維持することができる。

図７は、本発明の実施例４のポンプ１０が示されている。
図７は、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００の固定構造の他の実施例を示す断面図であり、実施例１、実施例３とは、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００の固定構造のみが異なるため、他の共通部分の説明は省略する。図７において、ポンプ室体１０１の筒部１２２の外周には、雄螺子が形成され、また、筒部１２２には、内側から外側に図示しないリード線が挿通される貫通孔１２０が穿設されている。

アクチュエータユニット２００の筐体２０１には、ポンプ室ユニット１００に向けて筒部２０２が形成され、筒部２０２は、筒部１２２の外側を覆うような大きさであり、その内側には、雌螺子が形成されている。アクチュエータユニット２００をポンプ室ユニット１００に捩じ込んでポンプ１０が一体化、固定される。
筒部２０２には、ポンプ室体１０１の筒部１１９に設けられた貫通孔１２０と同じ位置に図示しないリード線が挿通される貫通孔２０４が穿設されている。
これら筐体２０１の底部２０９とダイアフラム１５０との間に押圧部材としてのスリーブ２３０が挟み込まれている。

スリーブ２３０は、金属製の円筒形部材であり、筒部外径は、ポンプ室体１０１の筒部１２２の内径に遊嵌関係とされ、内径は上台４０１に接触しない大きさに設定され、ほぼポンプ室１１９の空間直径と同じである。長さは、筐体２０１をポンプ室ユニット１０１に組み込んだ際に筐体の底部２０９によってダイアフラム１５０の周縁を押圧できる大きさである。また、スリーブ２３０のダイアフラム１１９との接触部は、角部が滑らかに丸められており、ダイアフラム１５０が振動されたときに接触している角部で応力集中がおきないような形状に形成されている。
また、スリーブ２３０の側面には、貫通孔１２０，２０４と同じ位置にリード線挿通用の貫通孔２３１が設けられている。なお、リード線を挿通する貫通孔は、筐体２０１の底部２０９のアクチュエータ３０１と後述するスリーブ２３０との空間に設けることもできる。この場合、筒部１２２，２０２の貫通孔１２０，２０４は省略できる。

従って、実施例４では、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００との一体化は、ポンプ室体１０１の筒部１２２の外側にアクチュエータユニット２００の筐体２０１を被せるようにして螺合固定されるため、前述の実施例１〜実施例３と同様にポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００は、着脱自在であり、このことによる効果も同様に得ることができる。

また、ダイアフラム１５０は、スリーブ２３０によってしっかり押圧されているため、ポンプ室１１９内圧力が高圧になっても剥離されることはなく、さらには、スリーブ２３０のダイアフラム１５０との接触している部分の内径が、ポンプ室体１０１がダイアフラム１５０と接触している内径と略同じであるので、ダイアフラム１５０の振動がスリーブ２３０を備えても、スリーブ２３０が無い場合と変わらず安定した振動が得られ、動作流体を安定して吐出することができる。
スリーブ２３０のダイアフラム１５０と接触する角部は、滑らかに丸められているため、ダイアフラム１５０に応力集中がおきにくいので、長期間にわたって安定した振動を持続できるという効果もある。

図８は、本発明の実施例５のポンプを示す。
図８は、実施例５の断面図であり、実施例５は、前述の実施例４の構造と比べてスペーサー２２０を備えた点が異なり、他の構造は同じであるため説明は省略する。図８において、スリーブ２３０と筐体２０１の底部２０９との間にリング状のスペーサー２２０が備えられている。スペーサー２２０は、合成樹脂製のリングや、金属のばね座金等であり、ダイアフラム１５０は、スリーブ２３０とスペーサー２２０を介して押圧されている。
スペーサー２２０の内径は、スリーブ２３０の内径より小さく、外径は、スリーブ２３０の外径より大きく設定されている。

スペーサー２２０は、図示しないが、スリーブ２３０とダイアフラム１５０との間に備えてもよく、また、ダイアフラム１５０とスリーブ２３０の間、及びスリーブ２３０と筐体２０１の底部２０９との間の両方に備えてもよい。
スリーブ２３０とダイアフラム１５０の間にスペーサー２２０を備える場合は、スペーサー２２０の内径は、押圧された際にポンプ室１１９の空間内径と略同じに、また外径は、ポンプ室体１０１の筒部１２２より小さくなるように設定されている。この際、スペーサー２２０は、ダイアフラム１５０との接触面を均一に押圧するために合成樹脂等の弾性がある材料で、平面が平行に形成されていることが好ましい。

従って、実施例５では、スペーサー２２０を備えることによって、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００を組み立てる際に、スリーブ２３０の長さ、上台４０１、アクチュエータ３０１が製造上ばらついても、スペーサー２２０で吸収し、ダイアフラム１５０をより確実に押圧できる。このことにより、前述の実施例４と同様な効果を得ることができるのである。

図９は、本発明の実施例６のスペーサーとしての弾性部材２４０の拡大図が示されている。
図９は、実施例４で用いられたスリーブ２３０の替わりに弾性部材を備えた正面図で、他の構造は実施例５と同じため説明を省略する。図９（ａ）において、弾性部材２４０は、断面が矩形のコイルばねであり、外径及び内径は、それぞれ前述の実施例５のスリーブ２３０の外径、内径と同じに設定される。長さは、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００が組み立てられた際に、ダイアフラム１５０と底部２０９との距離よりも大きい。弾性部材２４０は、ダイアフラム１５０と筐体２０１の底部２０９の間に装着され、ポンプ室ユニット１００にアクチュエータユニット２００を固定する際に撓められて、ダイアフラム１５０を押圧固定する。ここで、弾性部材２４０は、断面が円形のコイルばねも採用することができるが、共に、ダイアフラム１５０及び底部２０９との接触部は、それぞれダイアフラム１５０、底部２０９の面に平行とされる。

図９（ｂ）は、弾性部材の他の例を示す断面図である。図９（ｂ）において、弾性部材２５０は、外輪２５１と内輪２５２を備えた輪ばねである。弾性部材２５０は、外径及び内径が、それぞれ前述の実施例５のスリーブ２３０の外径、内径と同じに設定される。長さは、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００が組み立てられた際に、ダイアフラム１５０と底部２０９との間の距離よりも大きい。弾性部材２５０は、ダイアフラム１５０と筐体２０１の底部２０９の間に装着され、ポンプ室ユニット１００にアクチュエータユニット２００を固定する際に撓められて、ダイアフラム１５０を押圧固定する。

なお、弾性部材２４０，２５０はダイアフラムに接触するため、筐体２０１をポンプ室体１０１に捩じ込む際に、弾性部材２４０，２５０が回転させられ、ダイアフラム１５０を傷つけることが考えられるが、ダイアフラム１５０の押し圧力が所定の値に一定になるように管理されることが好ましい。図８に示すように、ポンプ室体１０１と筐体２０１の端部とは、隙間が設けられているが、この隙間は、弾性部材２４０，２５０がある一定の撓みになる時点で接触し、それ以上筐体２０１が回転しないように設定されている。

従って、実施例６では、実施例５で説明した（図８参照）ような、スリーブ２３０とスペーサー２２０を併用しなくても、ダイアフラム１５０を確実に押圧することができる。また、弾性部材２４０または２５０を採用することで、スリーブ２３０の長さ、上台４０１、アクチュエータ３０１が製造上ばらついても、これらのばらつきが多少大きくなっても充分吸収できるという効果もある。
また、スリーブとスペーサーを組み合わせ使用しなくても１部品でよいので構造が簡単でより安定した押圧力が得られる。

図１０は、実施例７のポンプ１０が示されている。
実施例７は、実施例１に示されたポンプ１０が、プロジェクタ等の電子機器や、ポンプ単独で支持台などに固定して使用する際の支持台等を含む本体装置５０１にとりつけられた状態を示す。図７において、ポンプ１０は、実施例１において説明したように、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とが、筒部２０２と筒部１２２との間で一次固定された状態で、本体装置５０１に形成されたポンプ取り付け部５０２に本体装置５０１側から固定螺子２０５によって螺合固定されている。

このことによって、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００との二次固定と同時に本体装置５０１へのポンプ１０の取り付け（二次固定）が行われる。本体装置５０１のポンプ取り付け部５０２の内径は、筒部２０２の筒部外径よりわずかに大きく設定されており、径方向の位置が規制できる遊嵌関係とされ、ポンプ１０は、本体装置５０１に対して正確な位置で固定される。

従って、実施例７では、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とは一次固定された後、本体装置５０１に固定する際に、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とを同時に二次固定することができるので、本体装置５０１にポンプ１０を固定するための固定部や固定部材を別に設ける必要がなく、簡単な構造でポンプを本体装置に取り付けることができる。

また、固定螺子２０５を緩めてポンプ１０を本体装置から取り外すことによって、実施例１で説明したように、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００との分離が可能になることによる効果を得ることができる。
このような構造では、実施例１で示した構造のように、ポンプ１０を直接手で持って操作することも、実施例７のように本体装置５０１に取りつけた状態で操作することもできる。

図１１は、実施例８のポンプ１０が示されている。
図１１は、実施例７のポンプ１０の本体装置５０１への取り付け構造の変形例であり、図１１（ａ）は、その部分正面図が示され、図１１（ｂ）は、平面図が示されている。
図１１（ａ）において、ポンプ室体１０１と上板１４０には、固定螺子２０５が螺合される範囲の切り欠き１４１が設けられている（図１１（ｂ）参照）。また、アクチュエータユニット２００の筐体２０１に設けられた鍔部２０３に対向して鍔部１０２が形成されている。ポンプ１０は、実施例１で説明された構造と技術思想を同じであり、本体装置５０１への取り付け構造のみが異なるため説明は省略するが、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００は、一次固定されている。

図１１（ｂ）において、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とは、一次固定された後、本体装置５０１に固定螺子２０５によって螺合固定される。固定螺子２０５は、切り欠き部１４１で、鍔部１０２，２０３の固定螺子挿通孔を挿通して本体装置５０１に螺合される。つまり、実施例７と比較して、実施例８は、ポンプ１０が、本体装置に対してポンプ側から螺合固定されている点が異なる。

従って、実施例８は、ポンプ１０が本体装置５０１に螺合固定されている点は同じであるが、ポンプ１０側から固定螺子２０５で固定される構造であるため、本体装置５０１には、固定螺子２０５に対応した位置に雌螺子だけを備えていればよく、ポンプ１０を取り付けるための場所の選択が自在であり、スペースも小さくてよいという効果がある。また、実施例７の効果も同様に得られることはいうまでもない。

図１２は、実施例９のポンプ１０が示されている。
図１２は、実施例３（図６、参照）で示したポンプ１０の構造を基本にして、本体装置５０１への取り付け構造を示した部分断面図である。図１２において、ポンプ室体１０１の筒部１２２の端部に外周に突出した鍔部１０２が形成されている。また、筐体２０１にも同様に鍔部２０３が形成され、鍔部１０２、２０３それぞれ同じ位置、同じサイズの固定螺子２０５を挿通する挿通孔が設けられている。

ポンプユニット１００とアクチュエータユニット２００とが螺合固定（一次固定）された後、本体装置５０１に固定螺子２０５によって螺合固定（二次固定）されて、ポンプ１０が本体装置に取り付けられる。この際、図１２では、固定螺子２０５は、２本使用されているように図示されているが、３本または４本使用することが好ましいが、特に限定されるものではない。

従って、実施例９では、実施例７、実施例８と同様に、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００との仮固定（一次固定）をした後に、本体装置５０１に本固定（二次固定）されているので、実施例７、実施例８と同様な効果が得られる。
また、本実施例では、本体装置５０１は、ポンプ１０を取り付けるための固定螺子２０５を螺合するための螺子孔のみを備えておくことで、ポンプ１０を本体装置５０１に取り付けることができ、本体装置５０１を含めて簡素な構造を提供することができる。

なお、本発明は、前述の実施例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述の実施例では、入口接続管１１０と出口接続管１１６とは、ほぼ直線上の反対側に設けられていたが、ポンプ室１１９、逆止弁１３０、弾性壁室１１２のレイアウトは変えることなく、上板１４０、弾性膜１５１の周縁部形状を変えることで、出口接続管１１６は、入口接続管１１０に対して図中（図１参照）直角方向上方に配置することができる。
さらに、入口接続管１１０と出口接続管１１６とを、図中上方に平行に備えることもでき、そのレイアウトは、ポンプ１０の使用形態にあわせて任意に選択することができる。

従って、前述の実施例１〜実施例９では、ポンプ室ユニット１００とアクチュエータユニット２００とが着脱自在で、シール性が高く、小型で、長期間にわたって性能が維持できるポンプが提供できる。

本発明のポンプ１０は、プロジェクタ等の電子機器の冷却装置、ウォータージェットメス、流体アクチュエータ、マイクロ液圧プレスのピストンの動力源等に利用することができる。

本発明の実施例１に係るポンプを示す断面図。 本発明の実施例１に係る逆止弁を示す平面図。 本発明の実施例１に係るポンプ室内の圧力とダイアフラムの変位の関係を示すグラフ。 本発明の実施例１に係る入口流路と出口流路における流量の波形の関係を示すグラフ。 本発明の実施例２に係るポンプを示す部分断面図。 本発明の実施例３に係るポンプを示す断面図。 本発明の実施例４に係るポンプを示す断面図。 本発明の実施例５に係るポンプを示す断面図。 本発明の実施例６に係る弾性部材の側面図及び断面図。 本発明の実施例７に係るポンプの固定構造を示す部分断面図。 本発明の実施例８に係るポンプの固定構造を示す部分断面図及び平面図。 本発明の実施例９に係るポンプの固定構造を示す部分断面図。

符号の説明

１０…ポンプ
１００…ポンプ室ユニット
１０１…ポンプ室体
１１１…入口流路
１１７，１１８…出口流路
１１９…ポンプ室
１５０…ダイアフラム
１５１…弾性膜
２００…アクチュエータユニット
２０１…筐体
３０１…アクチュエータ

Claims (12)

1. ダイアフラムにより、容積が変更可能なポンプ室と、
   該ポンプ室へ動作流体を流入させる入口流路と、
   前記ポンプ室から動作流体を流出させる出口流路と、を備えたポンプ室体と、
   前記ダイアフラムを駆動するアクチュエータと、該アクチュエータを支持する筐体と、を備えたアクチュエータユニットと、
   から構成され、
   前記ポンプ室体と前記アクチュエータユニットと、が着脱可能に装着されていることを特徴とするポンプ。
2. 請求項１に記載のポンプにおいて
   前記ダイアフラムの一方の面が、前記ポンプ室の周縁に密着固定され、他方の面が前記アクチュエータの端部に密接されていることを特徴とするポンプ。
3. 請求項１または請求項２に記載のポンプにおいて、
   前記ダイアフラムの一方の面が、前記ポンプ室の周縁に密接され、他方の面が前記アクチュエータの端部に固着されていることを特徴とするポンプ。
4. 請求項１または請求項２に記載のポンプにおいて、
   前記ダイアフラムの一方の面が、前記ポンプ室の周縁に密着固着される第１のダイアフラムと、
   前記第１のダイアフラムの他方の面と一方の面が密接し、他方の面が前記アクチュエータの端部に固着されている第２のダイアフラムと、
   から構成されていることを特徴とするポンプ。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のポンプにおいて、
   前記ポンプ室体から前記筐体方向に延出された筒部と、
   前記筐体から延出された筒部と、
   が螺合固定されていることを特徴とするポンプ。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のポンプにおいて、
   前記筐体の底部と前記ダイアフラムとの間に、該ダイアフラムを押圧する押圧部材が備えられていることを特徴とするポンプ。
7. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のポンプにおいて、
   前記筐体の筒部端面と前記ダイアフラムとの間にスペーサーが備えられていることを特徴とするポンプ。
8. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のポンプにおいて、
   前記押圧部材の一方の端面と前記ダイアフラム、または前記押圧部材の他方の端面と前記筐体の底部との間、または両方にスペーサーが備えられていることを特徴とするポンプ。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のポンプにおいて、
   前記ポンプ室ユニットの筒部と前記筐体の筒部、またはどちらか一方に前記アクチュエータの電極と導通するリード線が挿通される貫通孔が設けられていることを特徴とするポンプ。
10. 請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のポンプにおいて、
    前記筐体の底部に、前記アクチュエータの電極に導通するリード線が挿通される貫通孔が設けられていることを特徴とするポンプ。
11. 請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載のポンプにおいて、
    前記ポンプ室体が、金属粉体成形によって成形されていることを特徴とするポンプ。
12. 請求項１ないし請求項１１のいずれかに記載のポンプにおいて、
    前記ポンプ室ユニットと前記アクチュエータユニットとが一次固定され、かつ、本体装置に取り付けられることによって二次固定されていることを特徴とするポンプ。
    

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