JP2005097423A - 水素化脂環式オレフィン重合体の製造方法とその利用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ルテニウムカルベン錯体と脂環式オレフィンモノマーとを含有する酸素濃度1重量%以下の重合性溶液を用いて、不活性ガス存在下で開環メタセシス重合し、得られた重合体を水素添加することを特徴とする、水素化脂環式オレフィン重合体の製造方法により得られる水素化脂環式オレフィン重合体に、架橋剤と溶剤とを配合してなる重合体組成物を用いて、透明樹脂膜を形成する。更に感光剤を配合することによりパターン状の透明樹脂膜を形成することもできる。
【選択図】 なし
Description
また、国際公報第WO03/056391号には、酸性基を有する脂環式オレフィン重合体、酸発生剤、架橋剤及び溶剤を含有する感放射線性重合体組成物であって、重合体として、重量平均分子量と酸性基の割合と分子量分布と重合体の炭素数の関係が特定の式で表される重合体を用いると、解像度や残膜率に優れ、良好なパターン形状の透明樹脂膜が得られることが記載されている。
かかる知見の下、本発明者らは、透明性に優れた樹脂膜を与える感放射線性重合体組成物を得ることを目的として、鋭意検討した結果、脂環式オレフィンモノマーを開環重合する際の、反応液に溶存する酸素濃度が一定の割合以下である場合に得られる重合体を用いると、透明性に優れるばかりでなく、脱ガスの少ない樹脂膜が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明によれば、当該水素化脂環式オレフィン重合体と架橋剤と溶剤とを含有してなる重合体組成物が提供され、また当該重合体組成物を、基板上に塗布し、乾燥して得られる透明樹脂膜が提供される。
更に、本発明によれば、当該透明樹脂膜を有する電子部品が提供される。
脂環式オレフィンモノマーとしては、以下のものが例示される。
用いられる重合溶媒は、重合性モノマーを溶解し、かつ重合反応を阻害しない溶媒であれば特に限定されない。重合溶媒としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素;シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、トリメチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ジエチルシクロヘキサン、デカヒドロナフタレン、ビシクロヘプタン、トリシクロデカン、ヘキサヒドロインデンシクロヘキサン、シクロオクタンなどの脂環族炭化水素;ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素;ニトロメタン、ニトロベンゼン、アセトニトリル、プロピオニトリル、ベンゾニトリルなどの含窒素系炭化水素;ジエチルエ−テル、テトラヒドロフラン、ジオキサンなどのエ−テル類;クロロホルム、ジクロロメタン、1,2−ジクロロエタン、クロロベンゼン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼンなどの含ハロゲン系炭化水素が挙げられる。これらの溶媒の中でも、比誘電率が2〜5、好ましくは2.1〜4.5の範囲に含まれる溶媒、又は2種以上の溶媒を混合して上記比誘電率の範囲に含まれるようにした混合溶媒が好ましい。溶媒の比誘電率は”Organic solvent”第2版、John A. Riddick and Emory E. Toops Jr.,1955に開示されている。
このような重合性溶液を用いて、脂環式オレフィンモノマーを開環重合する方法に格別な制限はなく、一般的な開環重合法と同じでよい。例えば、不活性ガス雰囲気下、酸素濃度が上記範囲に調整された重合性溶液を50〜70℃に加熱し、0.5〜2時間攪拌しながら反応させればよい。重合反応終了後は、溶剤を除去して脂環式オレフィン重合体を単離した後、水素添加反応させても良いが、溶剤を除去することなく、必要に応じて水素添加触媒を添加し、水素添加反応させることもできる。
水素添加反応は、通常、水素添加触媒の存在下に水素を導入し、開環重合体の主鎖中の不飽和二重結合を飽和単結合にする反応である。水素添加反応に用いる水素添加触媒は、オレフィン化合物の水素添加に際して一般的に使用されているものであればよい。
得られた水素化脂環式オレフィン重合体は、架橋剤や、必要に応じて他の成分と共に溶剤に溶解して重合体組成物を得、これを任意の基板に塗布し、乾燥して透明樹脂膜を得る。重合体組成物の固形分濃度は、必要な樹脂膜の厚みを考慮して、任意に設定すればよいが、操作性の観点から、通常5〜40重量%である。
調製された重合体組成物は、0.1〜5μm程度のフィルタ等を用いて異物などを除去した後、使用に供することが好ましい。
基板に透明樹脂膜を形成する方法に格別な制限はなく、例えば基板表面に重合体組成物を塗布、乾燥して基板上に透明樹脂膜を形成する方法などが挙げられる。この透明樹脂膜を加熱すれば、基板上で透明樹脂膜を硬化させることができる。硬化されたパターン状の透明樹脂膜を得る場合、架橋反応をパターン形成後に行うのが良い。
基板表面や支持体に本発明の重合体組成物を塗布する方法としては、例えばスプレー法、ロールコート法、回転塗布法などの各種の方法を採用することができる。次いでこの塗膜を、加熱により乾燥し、透明樹脂膜を得る。これを更に加熱すれば、透明樹脂膜を硬化ことができる。
硬化のための加熱の方法に格別な制限はなく、例えばホットプレート、オーブンなどの加熱装置により行われる。加熱温度に格別な制限はなく、通常150〜300℃、好ましくは200〜250℃である。また、加熱時間に格別な制限はなく、例えばホットプレートを用いる場合、通常5〜60分間であり、オーブンを用いる場合、通常30〜90分間である。
具体的には、基板上に感光剤を含有する重合体組成物を、上述と同様の要領によって塗布、乾燥(プリベーク)して得られた透明樹脂膜に、必要に応じてマスクパターンを介して、活性放射線を照射して、前記樹脂膜中に潜像パターンを形成し、潜像パターンを有する当該樹脂膜と現像液とを接触させることにより重合体パターンを顕在化させて基板上にパターン状の透明樹脂膜が形成される。更に、パターン状の透明樹脂膜を加熱(ポストベーク)すれば、パターン状の透明樹脂膜を硬化させることもできる。
現像時間は、特に制限されないが、通常30〜180秒間である。また現像液と潜像パターンを有する樹脂膜との接触方法は特に制限されず、例えば、パドル法、スプレー法、ディッピング法などによればよい。
現像温度は、特に制限されないが、通常15〜35℃、好ましくは20〜30℃である。
<実施例1>
8−ヒドロキシカルボニルテトラシクロドデセン100部、1−ヘキセン1.3部、1,3−ジメチルイミダゾリジン−2−イリデン(トリシクロヘキシルホスフィン)ベンジリデンルテニウムジクロリド0.05部、及びテトラヒドロフラン400部を、窒素置換したガラス製耐圧反応器に仕込み、50ml/分の流速で1時間窒素流通した。得られた重合性溶液について、23℃での液中酸素濃度計(東興化学研究所製 TOX−90)で測定したところ、酸素濃度は0.8ppmであった。撹拌しつつ70℃にて2時間反応して重合体溶液を得た。2時間の反応中、数回にわたり反応液中の酸素濃度を測定したところ、常に酸素濃度は0.8±0.1ppmであった。
重合体溶液の攪拌機つきオートクレーブに移し、温度150℃にて水素を圧力4MPaで溶存させて5時間反応させ、水素化された重合体(水素化率100%)を含む重合体溶液を得た。該溶液をエチルアルコール中に注いで凝固させ、生成したクラムを乾燥して水素化脂環式オレフィン重合体(1)を得た。
窒素流通の時間を短縮して酸素濃度が7.6ppmの重合性溶液を得、これを用いたこと以外は合成例1と同様にして水素化脂環式オレフィン重合体(2)を得た。尚、2時間の反応中、数回にわたり反応液中の酸素濃度を測定したところ、常に酸素濃度は7.6±1ppmであった。
窒素流通をせず、酸素濃度が126ppmの重合性溶液を得、これを用いたこと以外は合成例1と同様にして水素化脂環式オレフィン重合体(3)を得た。尚、2時間の反応中、数回にわたり反応液中の酸素濃度を測定したところ、常に酸素濃度は126±5ppmであった。
実施例1で得られた水素化脂環式オレフィン重合体(1)100部と、溶剤としてプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート130部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル65部、N−メチル−1−ピロリドン65部、キノンジアジド化合物として1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン(1モル)と1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロリド(1.9モル)との縮合物20部、架橋剤としてEHPE3150(ダイセル化学工業社製;脂環式構造含有のエポキシ重合体)25部、接着助剤としてγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン5部、界面活性剤としてメガファックF172(大日本インキ化学工業社製)0.05部を混合し溶解させた後、孔径0.45μmのミリポアフィルタでろ過して感放射線性重合体組成物を調製した。
この溶液をシリコン基板上、ガラス基板上、及び1μmの段差を有するシリコン酸化膜基板(以下、段差有基板という)上に、それぞれスピンコートした後、90℃にて2分間ポットプレート上でプリベークして、膜厚3.0μmの塗膜を形成し、塗膜が形成された各基板を得た。
重合体として実施例2で得られた水素化脂環式オレフィン重合体(2)用いる以外は、実施例3と同様にして硬化されたパターン状の透明樹脂膜が形成されたシリコン基板、ガラス基板、及び段差有基板を得た。この透明樹脂膜について、解像性と透明性を評価した。
キノンジアジド化合物である1,1,3−トリス(2,5−ジメチル−4−ヒドロキシフェニル)−3−フェニルプロパン(1モル)と1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロリド(1.9モル)を加えない以外は実施例1と同様に行い、シリコン基板、ガラス基板、及び段差有基板に、塗膜を形成した。塗膜が形成された各基板について、パターンニング工程を行わずに、ポストベーク工程を行い、パターンの形成されていない透明樹脂膜を各基板上に形成した。この透明樹脂膜について透明性を評価した。
重合体として実施例2で得られた重合体(2)を用いる以外は実施例5と同様に行いパターンの形成されていない透明樹脂膜を各基板上に形成した。この透明樹脂膜について透明性を評価した。
重合体として比較例1で得られた重合体(3)を用いる以外は実施例5と同様に行いパターンの形成されていない透明樹脂膜を各基板上に形成した。この透明樹脂膜について透明性を評価した。
(1)解像度
得られたガラス基板上に形成されたパターン状薄膜を走査型電子顕微鏡にて観察し、ライン・アンド・スペースが1:1の線幅で形成されている、最小のパターン寸法(W)を見つけ出し、◎:W≦5μm、○:5μm<W≦10μm、△:10μm<W≦15μm、×:W>15μmの基準で評価した。
(2)透明性
得られたガラス基板について、日本分光社製紫外可視近赤外分光光度計(V−570)を用いて400〜800nmの波長での最低光線透過率(t)を測定した。
(3)加熱減量
得られたガラス基板について、セイコーインスツルメンツ製TG−DTA8200を用いて300℃での加熱減量(TG%)を測定した。この値が大きいと、脱ガス量が多くなる。
このような透明樹脂膜は、液晶表示素子、集積回路素子、固体撮像素子等の電子部品や、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ、保護膜、平坦化膜、電気絶縁膜などの電子部品用樹脂膜であって透明性に優れた透明重合体パターン膜を与えることができる。
Claims (11)
- ルテニウムカルベン錯体と脂環式オレフィンモノマーとを含有する酸素濃度100ppm以下の重合性溶液を用いて、不活性ガス雰囲気下で開環メタセシス重合し、得られた重合体を水素添加することを特徴とする、水素化脂環式オレフィン重合体の製造方法。
- 請求項1記載の方法により得られる水素化脂環式オレフィン重合体。
- 酸性基を有することを特徴とする請求項2記載の水素化脂環式オレフィン重合体。
- 脂環式オレフィンモノマーとして、酸性基を有するものを用いて得られたものである請求項3記載の水素化脂環式オレフィン重合体。
- 請求項2〜4のいずれかに記載の水素化脂環式オレフィン重合体と架橋剤と溶剤とを含有してなる重合体組成物。
- さらに感光剤を含有する請求項5記載の重合体組成物。
- 感光剤が、キノンジアジドスルホン酸エステルである請求項6記載の重合体組成物。
- 請求項5〜7のいずれかに記載された重合体組成物を、基板上に塗布し、乾燥してなる透明樹脂膜。
- 請求項5〜7のいずれかに記載された重合体組成物を、基板上に塗布し、乾燥し、次いで加熱硬化してなる透明樹脂膜。
- 透明樹脂膜が、パターン状に形成されたものである請求項8又は9記載の透明樹脂膜。
- 請求項8〜10のいずれかに記載の透明樹脂膜を有する電子部品。
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