JP2005096158A - 透明導電性フィルムの製造方法 - Google Patents
透明導電性フィルムの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005096158A JP2005096158A JP2003330885A JP2003330885A JP2005096158A JP 2005096158 A JP2005096158 A JP 2005096158A JP 2003330885 A JP2003330885 A JP 2003330885A JP 2003330885 A JP2003330885 A JP 2003330885A JP 2005096158 A JP2005096158 A JP 2005096158A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent conductive
- conductive film
- indium
- tin oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Position Input By Displaying (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】耐湿熱性、耐薬品性に優れた透明導電性フィルムの製造方法及びその透明導電性フィルム、更に、それを用いたタッチパネルを提供する。
【解決手段】透明高分子フィルムの片面に酸化珪素薄膜層、インジウム−スズ酸化物薄膜層が順次積層された透明導電性フィルムの製造方法であり、インジウム−スズ酸化物薄膜層がスパッタリング法により成膜され、インジウム−スズ酸化物薄膜成膜中のフィルムを150℃〜200℃の温度に保持し、かつインジウム−スズ酸化物成膜雰囲気中の水分圧が8.0×10-4Pa以下であることを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法及びその透明導電性フィルム、更に、それを用いたタッチパネル。
【解決手段】透明高分子フィルムの片面に酸化珪素薄膜層、インジウム−スズ酸化物薄膜層が順次積層された透明導電性フィルムの製造方法であり、インジウム−スズ酸化物薄膜層がスパッタリング法により成膜され、インジウム−スズ酸化物薄膜成膜中のフィルムを150℃〜200℃の温度に保持し、かつインジウム−スズ酸化物成膜雰囲気中の水分圧が8.0×10-4Pa以下であることを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法及びその透明導電性フィルム、更に、それを用いたタッチパネル。
Description
本発明は、表示体、特にタッチパネル等に用いられ、る透明導電性フィルムの製造方法に関する。
タッチパネルに用いられる透明導電性フィルムは、透明高分子フィルムにスパッタリング法等によりインジウム−スズ酸化物(ITO)薄膜を形成することにより得られるが、耐湿熱信頼性試験におけるITO薄膜の劣化が問題となる。特にカーナビゲーション等車載用途のタッチパネルでは耐湿熱信頼性として温度85℃、相対湿度85%RHの環境下に1000時間放置前後の抵抗値変化率が50%以下であることが求められているが、これを満足する透明導電性フィルムを得ることは困難であった。耐湿熱信頼性試験によるITO薄膜の劣化は、透明高分子フィルムの吸湿寸法変化にITO薄膜が追従することが出来ずにITO薄膜にクラックが入ること、および吸湿による透明高分子フィルムとITO薄膜の密着性の低下が原因であり、またタッチパネルを偏光フィルムの内側に配置するインナータイプのタッチパネルにおいては耐湿熱信頼性試験において偏光フィルムから酸が分解発生し、これによりITO薄膜が溶けてしまうという問題も生じている。この場合、ITO薄膜の耐酸性も要求される。
透明高分子フィルムとITO薄膜の密着性を向上させるために特許文献1に示されたように透明高分子フィルムとITO薄膜の間に樹脂硬化物層を設ける手段があるが、一般に樹脂硬化物も吸湿寸法変化が大きく、密着性を向上させるには不十分である。また、一般に高分子フィルム上に成膜されたITO薄膜は完全に結晶化されておらず、耐湿熱信頼性試験において偏光フィルムから分解発生する酸に対しても容易に溶けてしまうという問題もあった。
特開平10−069352号公報
本発明の目的は、耐湿熱信頼性、耐酸性に非常に優れた透明導電性フィルムの製造方法及びその透明導電性フィルム、更に、それを用いたタッチパネルを提供するものである。
本発明は、
(1)透明高分子フィルムの片面に酸化珪素薄膜層、インジウム−スズ酸化物薄膜層が順次積層された透明導電性フィルムであって、インジウム−スズ酸化物薄膜層がスパッタリング法により成膜され、成膜中のフィルムを150℃〜200℃の温度に保持し、かつ成膜雰囲気中の水分圧が8.0×10-4Pa以下であることを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法、
(2)酸化珪素薄膜がスパッタリング法により形成される(1)項記載の透明導電性フィルムの製造方法、
(3)インジウム−スズ酸化物薄膜の成膜に使用するターゲット中の酸化インジウムと酸化スズの重量比が99:1〜90:10である(1)又は(2)項記載の透明導電性フィルムの製造方法、
(4)(1)〜(3)項のいずれか記載の製造方法を用いて製造された透明導電性フィルム、
(5)(4)項記載の透明導電性フィルムを可動電極側に用いたタッチパネル、
である。
(1)透明高分子フィルムの片面に酸化珪素薄膜層、インジウム−スズ酸化物薄膜層が順次積層された透明導電性フィルムであって、インジウム−スズ酸化物薄膜層がスパッタリング法により成膜され、成膜中のフィルムを150℃〜200℃の温度に保持し、かつ成膜雰囲気中の水分圧が8.0×10-4Pa以下であることを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法、
(2)酸化珪素薄膜がスパッタリング法により形成される(1)項記載の透明導電性フィルムの製造方法、
(3)インジウム−スズ酸化物薄膜の成膜に使用するターゲット中の酸化インジウムと酸化スズの重量比が99:1〜90:10である(1)又は(2)項記載の透明導電性フィルムの製造方法、
(4)(1)〜(3)項のいずれか記載の製造方法を用いて製造された透明導電性フィルム、
(5)(4)項記載の透明導電性フィルムを可動電極側に用いたタッチパネル、
である。
本発明により耐湿熱信頼性に優れたタッチパネル用透明導電性フィルムを提供することが出来、特に耐湿熱信頼性の要求されるカーナビゲーション用タッチパネルに好適である。
本発明に用いられる透明高分子フィルムは特に限定しないが、ITO薄膜の成膜においてフィルムの温度を150℃以上に上げるため、ガラス転移温度が150℃以上のフィルムが望ましい。また、酸化珪素薄膜との密着性を向上させる為に、透明高分子フィルムの上にキャスティング、コーティングあるいは各種印刷手法、積層手法等により、樹脂組成物を積層した構造であっても良い。
酸化珪素薄膜はITO成膜中の透明高分子フィルムからのアウトガスの抑制、ITO膜との密着性の向上、さらには透明高分子フィルムの寸法変化が直接ITO膜に影響を与えないようにするために形成される。これらの性能を満たすために成膜方式としては緻密な膜が形成できるスパッタリング法であることが望ましい。膜厚については特に限定しないが、薄すぎると透明高分子フィルムからのアウトガスの抑制、ITO膜との密着性の向上、さらには透明高分子フィルムの寸法変化が直接ITO膜に影響を与えないようにする効果がなくなり,また厚すぎると耐屈曲性が悪化することから10〜50nmが望ましい。
ITO膜の形成に用いるターゲット材としては酸化インジウムと酸化スズの重量比が99:1〜90:10、より好ましくは99:1〜95:5の焼結体ターゲットを使用することが望ましい。酸化スズの重量比が10wt%を超えるターゲットを用いるとたとえ基板温度を200℃まで上げても非晶質のITO膜となりやすく、酸に対する耐性が弱くなる。
成膜時に透明高分子フィルムを加熱する方法としては、基材を赤外線で加熱する方法、またロール・トゥ・ロール方式では、基材の接触しているロールを加熱することで透明高分子フィルムを加熱する等の方法があるが特に限定はしない。
透明高分子フィルムの加熱温度は、150℃〜200℃、より好ましくは170℃〜190℃の温度領域が良い。150℃未満の温度では微結晶とアモルファスの混在した膜となり、酸に対する耐性が弱くなる。また200℃を超える温度では透明高分子フィルムが熱により変形し、タッチパネルの可動電極として使用できなくなる。
透明高分子フィルムの加熱温度は、150℃〜200℃、より好ましくは170℃〜190℃の温度領域が良い。150℃未満の温度では微結晶とアモルファスの混在した膜となり、酸に対する耐性が弱くなる。また200℃を超える温度では透明高分子フィルムが熱により変形し、タッチパネルの可動電極として使用できなくなる。
また、ITO成膜雰囲気中の水分はITO膜の結晶化を阻害する。水分圧の高い雰囲気下で成膜を行うと、微結晶とアモルファスの混在した膜となり、酸に対する耐性が弱くなる。このため出来るだけ水分圧を小さく抑える必要があり、本発明では8.0×10-4Pa以下、より好ましくは5.0×10-4Pa以下に制御された雰囲気下で成膜を行うと結晶化度の高い膜が得られることが分かった。
<実施例1>
ポリエーテルサルフォンフィルムシート(厚み200μm)を巻出装置、コーター部、加熱乾燥ゾーン、ラミネートロール、高圧水銀灯、巻取装置を有する製造装置を用いて次の加工を行った。まず、樹脂組成物としてエポキシアクリレートプレポリマー(昭和高分子製、VR−60)100重量部、酢酸ブチル300重量部,セロソルブアセテート100重量部,ベンゾインエチルエーテル2重量部を50℃にて撹拌して均一な分散液としたものをコーター部のグラビヤロールコーターを用いて乾燥前膜厚5μmで塗布し、加熱乾燥ゾーン中100℃で5分間加熱して溶媒を除去した。溶媒除去後の樹脂組成物はペースト状の軟化状態であった。続いて80w/cmの高圧水銀灯を照射して樹脂組成物を硬化させ、巻取装置で巻き取ってフィルムシートを連続的に得た。紫外線の照射時間は10秒間であった。
上記のようにして得られたフィルム基材を巻取り式スパッタ装置に投入し、180℃に加熱した状態で、フィルム基材上にDCマグネトロン法によりまず第一の成膜室で酸素:アルゴン=1:1の混合ガスを導入し、1×10-1Paの条件下においてSiターゲットを用いてSiOx膜を成膜し、次いで第二の成膜室で酸素:アルゴン=5:95の混合ガスを導入し、水分圧が3.0×10-4Paの条件下において酸化スズを5wt%含有するITOターゲットを用いてITO層を積層させた透明導電フィルムを得た。測定の結果、SiOxの膜厚は15nmであり、ITO層の膜厚は300Å、表面抵抗は300Ω/□であった。
このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、330Ω/□であった。
ポリエーテルサルフォンフィルムシート(厚み200μm)を巻出装置、コーター部、加熱乾燥ゾーン、ラミネートロール、高圧水銀灯、巻取装置を有する製造装置を用いて次の加工を行った。まず、樹脂組成物としてエポキシアクリレートプレポリマー(昭和高分子製、VR−60)100重量部、酢酸ブチル300重量部,セロソルブアセテート100重量部,ベンゾインエチルエーテル2重量部を50℃にて撹拌して均一な分散液としたものをコーター部のグラビヤロールコーターを用いて乾燥前膜厚5μmで塗布し、加熱乾燥ゾーン中100℃で5分間加熱して溶媒を除去した。溶媒除去後の樹脂組成物はペースト状の軟化状態であった。続いて80w/cmの高圧水銀灯を照射して樹脂組成物を硬化させ、巻取装置で巻き取ってフィルムシートを連続的に得た。紫外線の照射時間は10秒間であった。
上記のようにして得られたフィルム基材を巻取り式スパッタ装置に投入し、180℃に加熱した状態で、フィルム基材上にDCマグネトロン法によりまず第一の成膜室で酸素:アルゴン=1:1の混合ガスを導入し、1×10-1Paの条件下においてSiターゲットを用いてSiOx膜を成膜し、次いで第二の成膜室で酸素:アルゴン=5:95の混合ガスを導入し、水分圧が3.0×10-4Paの条件下において酸化スズを5wt%含有するITOターゲットを用いてITO層を積層させた透明導電フィルムを得た。測定の結果、SiOxの膜厚は15nmであり、ITO層の膜厚は300Å、表面抵抗は300Ω/□であった。
このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、330Ω/□であった。
<比較例1>
SiOx膜を積層させないこと以外は実施例と同様にして透明導電フィルムを得た。測定の結果、表面抵抗は300Ω/□であり、膜厚は300Åであった。このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、1500Ω/□であった。
SiOx膜を積層させないこと以外は実施例と同様にして透明導電フィルムを得た。測定の結果、表面抵抗は300Ω/□であり、膜厚は300Åであった。このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、1500Ω/□であった。
<比較例2>
ITO膜成膜中の水分圧が1.0×10−3Paであること以外は実施例と同様にして透明導電フィルムを得た。測定の結果、SiOxの膜厚は15nmであり、ITO層の膜厚は300Å、表面抵抗は300Ω/□であった。このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、導通がなくなっていた。
ITO膜成膜中の水分圧が1.0×10−3Paであること以外は実施例と同様にして透明導電フィルムを得た。測定の結果、SiOxの膜厚は15nmであり、ITO層の膜厚は300Å、表面抵抗は300Ω/□であった。このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、導通がなくなっていた。
<比較例3>
基板の加熱温度が120℃であること以外は実施例と同様にして透明導電フィルムを得た。測定の結果、SiOxの膜厚は15nmであり、ITO層の膜厚は300Å、表面抵抗は360Ω/□であった。このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、導通がなくなっていた。
基板の加熱温度が120℃であること以外は実施例と同様にして透明導電フィルムを得た。測定の結果、SiOxの膜厚は15nmであり、ITO層の膜厚は300Å、表面抵抗は360Ω/□であった。このフィルムに偏光フィルムを貼り付け85℃,85%RHに保たれた湿熱オーブンに入れ、1000時間経過後の抵抗値を測定したところ、導通がなくなっていた。
以上の実施例及び比較例を、表1にまとめた。
本発明により耐湿熱性、耐薬品性に優れたタッチパネル用透明導電性フィルムを提供することが出来、特に耐湿熱性の要求されるカーナビゲーション用タッチパネルに好適である。
Claims (5)
- 透明高分子フィルムの片面に酸化珪素薄膜層、インジウム−スズ酸化物薄膜層が順次積層された透明導電性フィルムの製造方法であって、インジウム−スズ酸化物薄膜層がスパッタリング法により成膜され、成膜中のフィルムを150℃〜200℃の温度に保持し、かつ成膜雰囲気中の水分圧が8.0×10-4Pa以下であることを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。
- 酸化珪素薄膜がスパッタリング法により形成される請求項1記載の透明導電性フィルムの製造方法。
- インジウム−スズ酸化物薄膜の成膜に使用するターゲット中の酸化インジウムと酸化スズの重量比が99:1〜90:10である請求項1又は2記載の透明導電性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか記載の製造方法を用いて製造された透明導電性フィルム。
- 請求項4記載の透明導電性フィルムを可動電極側に用いたタッチパネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003330885A JP2005096158A (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 透明導電性フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003330885A JP2005096158A (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 透明導電性フィルムの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005096158A true JP2005096158A (ja) | 2005-04-14 |
Family
ID=34459679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003330885A Pending JP2005096158A (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 透明導電性フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005096158A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006344542A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Toppan Printing Co Ltd | 透明導電性の薄膜形成方法及びその薄膜形成装置 |
WO2015159805A1 (ja) * | 2014-04-15 | 2015-10-22 | 旭硝子株式会社 | 積層体、導電性積層体、および電子機器 |
-
2003
- 2003-09-24 JP JP2003330885A patent/JP2005096158A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006344542A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Toppan Printing Co Ltd | 透明導電性の薄膜形成方法及びその薄膜形成装置 |
WO2015159805A1 (ja) * | 2014-04-15 | 2015-10-22 | 旭硝子株式会社 | 積層体、導電性積層体、および電子機器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI671203B (zh) | 血糖値感測器用片條及血糖値感測器裝置 | |
JP6006368B2 (ja) | 透明導電性フィルムの製造方法 | |
WO2012086484A1 (ja) | 透明導電性フィルムおよびその製造方法 | |
KR20150020363A (ko) | 플렉서블 터치 스크린 패널의 제조 방법 | |
JP2011079219A (ja) | ガスバリアフィルムおよびその製造方法 | |
TWI813867B (zh) | 透明導電性膜片 | |
JP6424671B2 (ja) | ガスバリアフィルム積層体とそれを用いた電子部品 | |
WO2019082581A1 (ja) | 透明導電性フィルム | |
JP2005096158A (ja) | 透明導電性フィルムの製造方法 | |
JP4106931B2 (ja) | 透明ガスバリア薄膜被覆フィルム | |
JP2007269957A (ja) | ガスバリア性フィルムとその製造方法、およびそれを用いた画像表示素子 | |
JP2022109930A (ja) | 透明導電性フィルム | |
TW201342400A (zh) | 透明導電性薄膜 | |
JP2019218449A (ja) | 樹脂フィルム、導電性フィルム及び積層フィルムの製造方法 | |
JP2005166427A (ja) | 透明導電性フィルム及びその製造方法 | |
JP5478600B2 (ja) | 機能性膜の形成方法、およびガスバリア膜の形成方法 | |
JP2012061659A (ja) | ガスバリアフィルムの製造方法、該ガスバリアフィルムを有する有機電子デバイス | |
JPH1166969A (ja) | 透明導電フィルム | |
JP2016171038A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
TWI847024B (zh) | 透明導電性薄膜 | |
JP5722473B2 (ja) | 透明導電性フィルム | |
WO2023063128A1 (ja) | 位相差層付偏光板およびそれを用いた画像表示装置 | |
JP2012207265A (ja) | ディスプレイ用フィルム基板の製造方法 | |
JP7017187B1 (ja) | 透明導電性フィルム | |
JP5468499B2 (ja) | 透明導電性薄膜の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060614 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081216 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091027 |