JP2005096076A - ハンドリング用ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハンドリング用ロボットは、複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、少なくとも1ケのアーム基端が、対応するモータユニットのモータ回転子と軸方向に略同一位置となるよう、各モータユニットのモータ回転子にアーム基端を連結し、この各アーム36a〜36dにリンク37a〜37dを介して搬送台8a,8bを連結し、搬送台8a,8bを軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしている。
【選択図】図12
Description
本発明に係る請求項4記載のハンドリング用ロボットは、請求項2または請求項3に記載のハンドリング用ロボットにおいて、前記複数のリング状ボスを駆動する各モータユニットが、隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とする。
本発明に係る請求項5記載のハンドリング用ロボットは、請求項4に記載のハンリング用ロボットにおいて、前記隔壁部材は、上側を閉じた円筒状であることことを特徴とする。
本発明に係る請求項6記載のハンドリング用ロボットは、請求項4または請求項5に記載のハンドリング用ロボットにおいて、位置検出器が前記隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とする。
本発明に係る請求項7記載のハンドリング用ロボットは、請求項1〜請求項6のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、各モータユニットの各モータ回転子を互いに逆方向に回転することにより搬送台が軸直角方向に往復動し、同一方向へ回転することにより搬送台を回転するようにしたことを特徴とする。
本発明に係る請求項8記載のハンドリング用ロボットは、請求項1〜請求項7のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、各モータユニットの各モータ固定子を隔壁部材を介して各モータ回転子に対向する位置に配置したことを特徴とする。
本発明に係る請求項9記載のハンドリング用ロボットは、請求項8に記載のハンドリング用ロボットにおいて、前記隔壁部材に前記モータ固定子が固着していることを特徴とする。
本発明に係る請求項10記載のハンドリング用ロボットは、請求項1〜請求項9のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、前記各モータユニットは、軸方向に隣接していることを特徴とする。
本発明に係る請求項11記載のハンドリング用ロボットは、請求項1〜請求項10のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結する箇所を2個設けたことを特徴とする。
本発明に係る請求項12記載のハンドリング用ロボットは、請求項1〜請求項11のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、トランスファチャンバ底面より上に、2個のダイレクトドライブモータのモータ回転子を配置したことを特徴とする。
本発明に係る請求項13記載のハンドリング用ロボットは、請求項1〜請求項12のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、モータ回転子が真空中に置かれ、モータ固定子が大気中に置かれることを特徴とする。
1…トランスファチャンバ
2a,2b,2c,2d,2e…プロセスチャンバステーション
3…ワーク受け渡しステーション
5…仕切り壁
6…ゲート
7a,7b,36a,36b,36c,36d…アーム
8a,8b…搬送台
9a,9b,37a,37b,37c,37d…リンク
10a,10b…リング状ボス
11a,11b…円板状ボス
12a,12b,33a,33b…マグネットカップリング
13a,13b…回転軸
14a,14b,24a,24b,24a′,24b′,24a″,24b″…モータユニット
15,34…モータ
16,35…減速機
21…フレーム
22…隔壁部材
26…モータ固定子
27…モータ回転子
28…出力部材
30a,30b…支持部材
31a,31b…内側ボス
32a,32b,32b′,32a″,32b″…連結部材
Claims (13)
- 複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、
少なくとも1個のアーム基端が、対応するモータユニットのモータ回転子と軸方向に略同一位置となるよう、各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結し、この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、
上下方向に位置をずらせて同心状に回転自在に設けた複数のリング状ボスを備えたハンドリング用ロボットであって、
少なくとも1つのアームが、前記複数のリング状ボスのうち、上側のリング状ボスの頂面に脚柱を介して突設され、
この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 複数のダイレクトドライブタイプのモータユニットを軸方向に並べ、
上下方向に位置をずらせて同心状に回転自在に設けた複数のリング状ボスを備えたハンドリング用ロボットであって、
前記複数のリング状ボスの側面には、少なくとも1つのアームが突設され、
この各アームにリンクを介して搬送台を連結し、搬送台を軸直角方向に往復動あるいは回転動するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項2または請求項3に記載のハンドリング用ロボットにおいて、
前記複数のリング状ボスを駆動する各モータユニットが、隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項4に記載のハンリング用ロボットにおいて、
前記隔壁部材は、上側を閉じた円筒状であることを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項4または請求項5に記載のハンドリング用ロボットにおいて、
位置検出器が前記隔壁部材の内側に配置されていることを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項1〜請求項6のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
各モータユニットの各モータ回転子を互いに逆方向に回転することにより搬送台が軸直角方向に往復動し、同一方向へ回転することにより搬送台を回転するようにしたことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項1〜請求項7のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
各モータユニットの各モータ固定子を隔壁部材を介して各モータ回転子に対向する位置に配置したことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項8に記載のハンドリング用ロボットにおいて、
前記隔壁部材に前記モータ固定子が固着していることを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項1〜請求項9のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
前記各モータユニットは、軸方向に隣接していることを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項1〜請求項10のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
各モータユニットの各モータ回転子にアーム基端を連結する箇所を2個設けたことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項1〜請求項11のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
トランスファチャンバ底面より上に、2個のダイレクトドライブモータのモータ回転子を配置したことを特徴とするハンドリング用ロボット。 - 請求項1〜請求項12のいずれかに記載のハンドリング用ロボットにおいて、
モータ回転子が真空中に置かれ、モータ固定子が大気中に置かれることを特徴とするハンドリング用ロボット。
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- 2004-12-28 JP JP2004381100A patent/JP4233520B2/ja not_active Expired - Lifetime
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