JP2001347477A - 搬送用ロボット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動部の軸方向長さを短くできて、駆動部の
小形化、及びトランスファチャンバ下部のメンテナンス
性の向上を図る。 【解決手段】 複数のモータと、各モータの出力部材
に、アームと、このアームにリンクを介して連結された
搬送台とからなるロボットリンク機構を結合してなる搬
送用ロボットにおいて、各モータの固定子、回転子、位
置検出器、及び回転子を支承する軸受を、軸方向におい
て略同一位置に設け、この各モータを同心状で、かつ軸
方向に位置をずらせて配置し、１つのモータの回転子に
結合した出力部材を、他のモータの回転子に結合した出
力部材に貫通して各モータの出力部材を同一方向に延出
し、各モータの出力部材に上記ロボットリンク機構のア
ームを固着した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送用ロボットに
関し、さらに詳細にいえば、マルチチャンバタイプの半
導体製造装置や、ＬＣＤ製造装置等のように、プロセス
チャンバにて加工処理されるウエハ等の薄板状のワーク
を、プロセスチャンバへ搬送するようにした製造装置に
おける搬送用ロボットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】マルチチャンバタイプの半導体製造装置
は、図１に示すようになっていて、トランスファチャン
バ１の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセ
スチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ
と、外部に対してワークの受け渡しを行うワーク受け渡
しステーション３とが配設されており、トランスファチ
ャンバ１内は常時真空装置にて真空状態が保たれてい
る。

【０００３】そして上記トランスファチャンバ１は、図
２に示すようになっていて、これの中心部に図３に示す
ような、すなわち特表平８−５０６７７１号公報に記載
のような搬送用ロボットＡ_１が回転可能に備えてある。
トランスファチャンバ１の周壁であって、プロセスチャ
ンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ及びワ
ーク受け渡しステーション３に対向している仕切り壁５
には、各プロセスチャンバステーションへのワークの出
入口となるゲート６が設けてある。このゲート６はトラ
ンスファチャンバ２の内側に各ゲート６に対向して設け
られた図示しない開閉扉にて開閉されるようになってい
る。

【０００４】上記搬送用ロボットＡ_１は、いわゆるフロ
ッグレッグ式の双腕型といわれているもので、その構成
は図３，図４，図５に示すようになっている。

【０００５】搬送用ロボットＡ_１の中心部に同長の２本
のアーム７ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられてい
る。搬送用ロボットＡ_１は、同一形状の２つの搬送台８
ａ，８ｂを有しており、この各搬送台８ａ，８ｂの基部
に、同長の２本のリンク９ａ，９ｂの一端が連結されて
いる。この両リンク９ａ，９ｂの一端は搬送台８ａ，８
ｂに対してフロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機構を介
して連結されており、両リンク９ａ，９ｂは各搬送台８
ａ，８ｂに対して完全に対称方向に回転するようになっ
ている。そして各搬送台８ａ，８ｂに連結した２本のリ
ンクのうちの一方のリンクは一方のアームに、他方のリ
ンクは他方のアームにそれぞれ連結されている。

【０００６】図４（ａ），（ｂ）は、上記フロッグレッ
グ式の搬送台姿勢規制機構を示している。搬送台８ａ，
８ｂに連結される２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図
４（ａ）に示すように、互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃか
らなる歯車構成により結合されており、搬送台８ａ，８
ｂに対するリンク９ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に
同じになるようにしている。これにより、搬送台８ａ，
８ｂは、リンク９ａとリンク９ｂとのなす角度を変えて
も、常にトランスファチャンバ１の半径方向に向けられ
ると共に、この角度を変えることにより半径方向へ動作
させられる。上記リンク９ａ，９ｂの先端部の連結は歯
車に代えて、図４（ｂ）に示すように、リンク９ａ，９
ｂの先端部に設けた同一径のプーリ９ｅ，９ｅにベルト
９ｄをたすき掛けした構成によるものもある。

【０００７】図５は図３で示した従来の搬送用ロボット
Ａ_１のアーム７ａ，７ｂをそれぞれ独立して回転するた
めの従来の機構を示すものである。各アーム７ａ，７ｂ
の基部はそれぞれ回転軸１３ａ，１３ｂに結合され、そ
れぞれの回転軸１３ａ，１３ｂは同心状に配置されてい
る。このそれぞれの回転軸１３ａ，１３ｂは、トランス
ファチャンバ１のフレーム１ａに同心状にして軸方向に
位置をずらせて支持されたダイレクトドライブタイプの
モータ１４ａ，１４ｂの出力部に連結されている。この
とき、一方のモータ１４ａの回転軸１３ａは長くなって
いて、他方のモータ１４ｂを貫通して上方へ延長されて
いる。また、この従来の技術にあっては、真空環境側で
あるトランスファチャンバと、外側の環境との仕切りを
モータ内で行うようになっており、このためモータ１４
ａ，１４ｂを構成する固定子１６と回転子１７との間に
隔壁１８が設けられており、この隔壁１８にて上記両環
境を隔離している。

【０００８】そして、図３に示すように、両アーム７
ａ，７ｂが回転中心に対して直径方向に対称位置にある
ときには、両搬送台８ａ，８ｂに対してリンク９ａ，９
ｂが最も拡開するよう回転された状態となり、従って両
搬送台８ａ，８ｂは回転中心側へ移動されている。

【０００９】この状態で両アーム７ａ，７ｂを同一方向
に回転することにより、両搬送台８ａ，８ｂは半径方向
の位置を維持したまま回転中心に対して回転される。ま
た両アーム７ａ，７ｂを、これらが互いに近付く方向
（互いに逆方向）に回転することにより、両アーム７
ａ，７ｂでなす角度が小さくなる方に位置する搬送台８
ａがリンク９ａ，９ｂに押されて放射方向外側へ突出動
されて、トランスファチャンバ１に対して放射方向外側
に隣接して設けられた上記ステーション２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄ，２ｅ，３の１つのステーションのプロセスチ
ャンバ内に突入する。

【００１０】このとき、他方の搬送台は回転中心側へ移
動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂと
のなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。

【００１１】また、既存技術として上記した特表平８−
５０６７７１号公報に示されるものほかに、特開平１０
−１２８６９２号公報に示されているような機構を有す
るダイレクトドライブタイプの真空用モータを用いた搬
送用ロボットも知られている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の技術に
あっては、２つのモータを軸方向（上下方向）に位置を
ずらせているうえに、各モータ部において回転子を固着
した各回転軸を支承する軸受が回転子の軸方向両側に配
置されていたため、この軸受の配置スペース分だけモー
タ構成部の軸方向長さが長くなり、このモータ構成部が
トランスファチャンバの下部に大きく突出してしまい、
トランスファチャンバ下部のメンテナンススペースが狭
くなるという問題があった。

【００１３】また、上記したように、モータ構成部が軸
方向に長くなることにより、少なくとも、出力部から遠
い方（下側）のモータの出力軸が長くなってしまい、従
ってこのモータの出力軸の剛性が低下し、ねじれ振動に
より位置決め精度が低下するといった問題が生じる恐れ
があった。

【００１４】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、駆動部の軸方向長さを短くできて、この部分のト
ランスファチャンバ下部への突出寸法を減らすことがで
き、駆動部の小形化と、トランスファチャンバ下部のメ
ンテナンス性を向上させることができるようにし、ま
た、駆動部の軸方向長さを短くできることにより、ロボ
ットリンク機構から遠い方のモータの出力軸の長さを短
くでき、このモータの出力軸の剛性を大きくして、この
モータの位置決め精度を向上することができるようにし
た搬送用ロボットを提供することを目的とするものであ
る。

【００１５】また、ロボットリンク機構を真空等の特殊
環境中に位置させた場合でも、少なくとも駆動部に大気
用のモータを用いることができて、このモータの構成材
料に通常の安価な材料を用いることができるようにした
搬送用ロボットを提供することを目的とするものであ
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段及び作用効果】上記目的を
達成するために、第１の発明に係る搬送用ロボットは、
複数のモータと、各モータの出力部材に、アームと、こ
のアームにリンクを介して連結された搬送台とからなる
ロボットリンク機構を結合してなる搬送用ロボットにお
いて、少なくとも１つのモータの固定子、回転子、位置
検出器、及び回転子を支承する軸受を、軸方向において
略同一位置に設け、この各モータを同心状で、かつ軸方
向に位置をずらせて配置し、１つのモータの回転子に結
合した出力部材を、他のモータの回転子に結合した出力
部材に貫通して各モータの出力部材を同一方向に延出
し、各モータの出力部材に上記ロボットリンク機構のア
ームを固着した構成になっている。

【００１７】この発明によれば、駆動部を構成する各モ
ータの軸方向の大きさを小さくすることができ、従って
この駆動部の軸方向長さを短くできて、駆動部の小形化
を図ることができる。また、この部分のトランスファチ
ャンバ下部への突出寸法を減らすことができ、トランス
ファチャンバ下部のメンテナンス性を向上することがで
きる。

【００１８】また、駆動部の軸方向長さを短くできるこ
とにより、出力部材のロボットリンク機構との連結部よ
り遠い方のモータの出力軸の長さを短くでき、このモー
タの出力軸の剛性を大きくでき、モータの位置決め精度
を向上することができる。

【００１９】また、第２の発明に係る搬送用ロボット
は、複数のモータと、各モータの出力部材に、アーム
と、このアームにリンクを介して連結された搬送台とか
らなるロボットリンク機構を結合してなる搬送用ロボッ
トにおいて、少なくとも１つのモータの固定子、回転
子、位置検出器、及び回転子を支承する軸受を、軸方向
において略同一位置に設け、この各モータを同心状で、
かつ軸方向に位置をずらせて配置し、１つのモータの回
転子に結合した出力部材を、他のモータの回転子に結合
した出力部材に貫通して各モータの出力部材を同一方向
に延出し、上記各出力部材を含む各モータ全体を隔壁部
材にて気密状に隔離し、各出力部材の隔壁部材を隔てた
外側に、従動部材を回転自在にして設けると共に、各出
力部材と従動部材とをマグネットカップリングを介して
磁気的に連結し、各従動部材に上記ロボットリンク機構
のアームを固着した構成になっている。

【００２０】この発明によれば、上記した第１の発明に
より奏することができる作用効果のほかに、隔壁部材に
てロボットリンク機構側と駆動部とが気密状に隔離され
ることにより、ロボットリンク機構を例えば真空等の特
殊な雰囲気内に位置させた場合でも、駆動部を大気中に
位置することができ、これにより、少なくともこの駆動
部に大気用のモータを用いることができ、このモータの
構成材料に通常の安価な材料を用いることができる。

【００２１】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図６以下に
基づいて説明する。なお、この実施の形態において、図
１から図５に示した従来の技術のものと同一構成の部材
は同一符号を付して説明する。

【００２２】図６から図８は本発明の第１の実施の形態
を示す。この実施の形態における搬送用ロボットＡ_２は
２つの搬送台８ａ，８ｂを有するもので、この各搬送台
８ａ，８ｂはトランスファチャンバ１の中心部に同心状
で、かつ軸方向（上下方向）にずれて下側から順に配置
される第１・第２のボス部材２０ａ，２０ｂにて軸直角
方向に、及び／あるいは回転方向に作動されるようにな
っている。

【００２３】各ボス部材２０ａ，２０ｂはこれらより下
側に位置されると共に、上下に同心状に積み重ね配置さ
れる第１・第２のモータ２１ａ，２１ｂのそれぞれの出
力軸２２ａ，２２ｂに固着されている。

【００２４】第１のボス部材２０ａを駆動する第１のモ
ータ２１ａは上側に位置し、これの出力軸２２ａは中空
状になっている。第２のボス部材２０ｂを駆動する第２
のモータ２１ｂは下側に位置し、これの出力軸２２ｂは
上記第１のモータの出力軸２２ａ及び第１のボス部材２
０ａを貫通して第２のボス部材２０ｂに固着されてい
る。

【００２５】第１・第２のモータ２１ａ，２１ｂはダイ
レクトタイプのものが用いられており、トランスファチ
ャンバ１のフレーム１に固着されたハウジング２３内に
配置されている。ハウジング２３の下方端には基台２４
が固着されており、この基台２４に第２のモータ２１ｂ
の出力軸２２ｂが第２モータ支持軸受２５ｂを介して支
承されており、第１のモータ２１ａは第２のモータ２１
ｂの出力軸２２ｂに第１モータ支持軸受２５ａを介して
支承されている。

【００２６】第１のモータ２１ａは第１モータ支持軸受
２５ａを介して支承される第１の回転子２６ａと、この
回転子２６ａに半径方向外側に対向すると共にハウジン
グ２３側に固着された固定子２７ａと、回転子２６ａの
回転方向の位置を検出する位置検出器２８ａとからなっ
ている。同様に、第２のモータ２１ｂは出力軸２２ｂに
固着された回転子２６ｂと、この回転子２６ｂに半径方
向外側に対向すると共にハウジング２３側に固着された
固定子２７ｂと、回転子２６ｂの回転方向の位置を検出
する位置検出器２８ｂとからなっている。そして第１の
モータ２１ａの回転子２６ａに第１の出力軸２２ａが固
着されている。

【００２７】上記した第１・第２のモータ支持軸受２５
ａ，２５ｂはそれぞれのモータの回転子２６ａ，２６ｂ
の半径方向内側に位置されており、これにより、各モー
タ２１ａ，２１ｂにおいて、回転子２６ａ，２６ｂと固
定子２７ａ，２７ｂはそれぞれ軸方向に略同一位置に配
置されている。

【００２８】両モータ２１ａ，２１ｂの回転子２６ａ，
２６ｂには固定子２７ａ，２７ｂに対向する部分に永久
磁石Ｍが固着してある。そしてこの永久磁石Ｍを固着す
る回転子２６ａ，２６ｂの構成材料には、透磁率の高い
材料、例えば、鉄を用いる。また固定子２７ａ，２７ｂ
には巻線が用いられている。

【００２９】搬送用ロボットＡ_２の第１のボス部材２０
ａの側面には第１・第２のアーム３０ａ，３０ｂが、ま
た、第２のボス部材２０ｂの側面には第３のアーム３０
ｃが、さらに、この第２のボス部材２０ｂの頂面に脚柱
３０ｅを介して第４のアーム３０ｄがそれぞれ放射方向
に突設されており、第４のアーム３０ｄの先端部下面が
回転支点となっており、他のアームは、それぞれのアー
ムの先端部上面が回転支点となっている。

【００３０】上記各アーム３０ａ〜３０ｄのそれぞれの
回転支点のリング状ボス中心からの半径は同一寸法にな
っている。そして、上記各アーム３０ａ〜３０ｄの回転
支点には実質的に同長の第１・第２・第３・第４のリン
ク３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄの一端部が回転自在
に連結されている。そして第１のアーム３０ａの先端上
面側に設けられた回転支点に連結された第１のリンク３
１ａが、この回転支点部を外側へオーバハング状に上方
へ折り曲げてコ字状になっている。なお、上記第１のア
ーム３０ａの回転支点は必ずしもこれの先端上面側でな
く、第１のアーム３０ａの先端を外側へオーバハング状
に上方へ折り曲げてコ字状とし、回転支点部を第１のア
ームの先端下面側に設け、この第１のアームの先端の下
面側にリンクの先端部を連結するようにしてもよい。

【００３１】第１のリンク３１ａと上記第４のリンク３
１ｄの先端部に、フロッグレッグ式の搬送台姿勢規制機
構を介して第１の搬送台８ａが連結されており、これに
よって第１のロボットリンク機構Ｂ_１が構成されてい
る。このとき、上記第１のリンク３１ａのコ字状の立ち
上がり高さは、搬送台８ａがボス部材より上側に位置
し、かつ後述する第２のロボットリンク機構Ｂ_２の搬送
台８ｂおよび一方のアーム３０ｃとリンク３１ｃがこの
第１のアーム３０ａとリンク３１ａの間をくぐり抜けて
移動できるようにしてある。また第２・第３のリンク３
１ｂ，３１ｃの先端部にフロッグレッグ式の搬送台姿勢
規制機構を介して第２の搬送台８ｂが連結されており、
これによって第２のロボットリンク機構Ｂ_２が構成され
ている。そしてこの両ロボットリンク機構Ｂ_１，Ｂ_２を
位相をずらせてリング状ボスに取り付けることにより、
搬送台８ａ，８ｂは回転方向に、α（例えば６０゜）だ
けずれていて回転方向に重複しないようになっており、
かつワーク搭載面は上下方向に同一位置となっている。

【００３２】上記両ロボットリンク機構Ｂ_１，Ｂ_２の搬
送台８ａ，８ｂの回転方向への位置のずれ量は、少なく
とも、両搬送台８ａ，８ｂが回転方向に重複しないよう
にし、好ましくは、各搬送台８ａ，８ｂ上にワークを載
置したときに、この両ワークが互いに干渉しない範囲に
わたってずれることができる。

【００３３】搬送用ロボットＡ_２は、各搬送台８ａ，８
ｂが旋回中心から見て半径方向へ同一距離に位置するよ
うな姿勢を待機状態としている（図７）。そしてこの待
機状態のときでは、両搬送台８ａ，８ｂは上記したよう
にαだけ回転方向に位置がずれており、この状態から、
各ボス部材２０ａ，２０ｂの互いに逆方向への回転によ
り各搬送台８ａ，８ｂがボス部材２０ａ，２０ｂの半径
方向に出没動作され（図８）、また上記待機状態で各ボ
ス部材２０ａ，２０ｂの互いに同方向への回転により搬
送用ロボットＡ_２が回転動作されるようになっている。

【００３４】図９は本発明の第２の実施の形態による搬
送用ロボットＡ_３を示している。この実施の形態は図６
で示した第１の実施の形態の搬送用ロボットＡ_２と駆動
部の構造は同一であり、第１・第２の出力部材２０ａ，
２０ｂにて１つの搬送台８ａを出没動作するようにして
ある。

【００３５】この第２の実施の形態における搬送用ロボ
ットＡ_３は図１０に示すようになっていて、第１・第２
のボス部材２０ａ，２０ｂのそれぞれに１つずつのアー
ム３０ａ，３０ｂを設け、この各アーム３０ａ，３０ｂ
の先端に連結したリンク３１ａ，３１ｂの先端に１つの
搬送台８ａを連結した構成になっている。

【００３６】この実施の形態では、両ボス部材２０ａ，
２０ｂを互いに逆方向に回転することにより、搬送台８
ａが軸直角方向に出没動作し、両ボス部材２０ａ，２０
ｂを同一方向へ回転することにより搬送台８ａがボス部
材２０ａ，２０ｂの軸心のまわりを回動される。

【００３７】図１１は本発明の第３の実施の形態におけ
る搬送用ロボットＡ_４を示している。この実施の形態の
搬送用ロボットＡ_４の駆動部の第１・第２のモータ２１
ａ，２１ｂの構成は図６に示した第１の実施の形態のも
のと同一である。

【００３８】そしてこの第３の実施の形態における搬送
用ロボットＡ_４にあっては、第１・第２の各モータ２１
ａ，２１ｂのボス部材２０ａ′，２０ｂ′は、帽状に形
成され、かつ基端をハウジング２３に固着した隔壁部材
３５にて気密状にカバーされている。そしてこの各ボス
部材２０ａ′，２０ｂ′の隔壁部材３５より外側に、内
周面が各ボス部材２０ａ′，２０ｂ′の外周面に隔壁部
材３５を介して対向させたリング状の第１・第２の従動
部材３６ａ，３６ｂがそれぞれ回転自在に支承されてい
る。そして第１のボス部材２０ａ′と第１の従動部材３
６ａは隔壁部材３５を介して対向する第１のマグネット
カップリング３７ａにて回転方向に磁気的に結合されて
いる。また第２のボス部材２０ｂ′と第２の従動部材３
６ｂは隔壁部材３５を介して方向する第２のマグネット
カップリング３７ｂにて回転方向に磁気的に結合されて
いる。なお、下側に位置する第１の従動部材３６ａは隔
壁部材３５の基部に軸受３８ａを介して、また上側に位
置する第２の従動部材３６ｂは下側の第１の従動部材３
６ａに軸受３８ｂを介してそれぞれ支承されている。

【００３９】そして上記第１の従動部材３６ａには第１
のアーム３０ａが、また第２の従動部材３６ｂには第２
のアーム３０ｂがそれぞれ結合されていて、第１・第２
の従動部材３６ａ，３６ｂには上記第２の実施の形態の
場合と同様のロボットリンク機構が備えられている。

【００４０】この実施の形態ではボス部材２０ａ′，２
０ｂ′を含む駆動部と、従動部材３６ａ，３６ｂを含む
ロボットリンク機構とが隔壁部材３５にて気密状に隔離
されている。従って、例えばロボットリンク機構を真空
にしたトランスファチャンバ１内に配置した場合におい
て、駆動部を大気側に配置することができる。これによ
り、各モータ２１ａ，２１ｂを含む駆動部を構成する各
部材を大気中にて用いられる通常の材質の材料にて構成
できる。

【００４１】なお、図９、図１１で示した第２・第３の
実施の形態では、図１０に示したロボット機構のほか
に、図３で示した従来の搬送用ロボットにも適用するこ
とができる。

【００４２】さらに、上記各実施例においては、搬送台
８ａ，８ｂが軸直角方向への出没動と、軸のまわり方向
への回転動の両動作を行う例を示したが、搬送用ロボッ
トの使用条件によっては搬送台８ａ，８ｂは、軸直角方
向への出没動あるいは軸のまわり方向への回転動のいず
れか一方だけ行う場合もある。

【００４３】上記した本発明の第１・第２の各実施の形
態にあっては、モータの出力軸にボス部材を固着し、こ
のボス部材にロボットリンク機構の各アームを固着した
例を示したが、この各アームは出力軸に直接固着しても
よい。要は各モータの出力軸及びこれに固着したボス部
等を含む出力部材にロボットリンク機構のアームを固着
する。

【００４４】図１２は本発明の第４の実施の形態におけ
る搬送用ロボットＡ_５を示している。この実施の形態の
駆動部は図６に示した第１の実施の形態のものと同一で
ある。そしてこの駆動部の第１・第２の出力軸２２
ａ′，２２ｂ′にスカラー型の作動リンク機構４０が結
合されている。

【００４５】すなわち、第１の出力軸２２ａ′の先端に
は第１のアーム４１の一端が固着されており、また第２
の出力軸２２ｂ′の先端には第１のプーリ４２が固着さ
れている。そして第１のアーム４１の先端付近に第２の
プーリ４３が回転自在に支持されており、第１・第２の
プーリ４２，４３にベルト４４が巻き掛けてある。第２
のプーリ４３には第２のアーム４５が固着されている。

【００４６】このスカラー型の作動リンク機構４０は、
第１の出力軸２２ａ′が回転することにより第１のアー
ム４１が回動し、第２の出力軸２２ｂ′が回転すること
によりプーリ４２，４３及びベルト４４を介して、第２
のアーム４５が第１のアーム４１に対して回動されるよ
うになっており、これにより第２のアーム４５の先端に
備えた搬送台等の作業機構を作動するようになってい
る。

【００４７】第１・第２・第４の実施例において、ロボ
ットを真空等の特殊環境で使用する場合は、ハウジング
２３および基台２４で特殊環境と大気が隔離される。そ
して、特殊環境が例えば真空である場合、真空中でのモ
ータ部材からの放出ガスが問題となる場合がある。この
ような問題の対策として、例えばモータや位置検出器に
巻線等が用いられている場合は、これら巻線等を特殊環
境から分離する部材（図示しない）を用いて大気側に隔
離する手段もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。

【図２】トランスファチャンバを概略的に示す斜視図で
ある。

【図３】搬送用ロボットの一例を示す平面図である。

【図４】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説
明図である。

【図５】従来の搬送用ロボットのアーム回転機構を示す
断面図である。

【図６】本発明の第１の実施の形態を示す断面図であ
る。

【図７】本発明の第１の実施の形態を示す平面図であ
る。

【図８】本発明の第１の実施の出没動作状態を示す斜視
図である。

【図９】本発明の第２の実施の形態を示す断面図であ
る。

【図１０】本発明の第２の実施の形態を示す斜視図であ
る。

【図１１】本発明の第３の実施の形態を示す断面図であ
る。

【図１２】本発明の第４の実施の形態を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

Ａ_１，Ａ_２，Ａ_３，Ａ_４，Ａ_５，…搬送用ロボット、Ｂ
_１，Ｂ_２…ロボットリンク機構、１ａ…フレーム、１…
トランスファチャンバ、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ
…プロセスチャンバステーション、３…ワーク受け渡し
ステーション、５…仕切り壁、６…ゲート、７ａ，７
ｂ，３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄ，４１，４５…ア
ーム、８ａ，８ｂ…搬送台、９ａ，９ｂ，３１ａ，３１
ｂ，３１ｃ，３１ｄ…リンク、９ｃ…歯車、９ｄ…ベル
ト、１３ａ，１３ｂ…回転軸、１４ａ，１４ｂ，２１
ａ，２１ｂ…モータ、１８…隔壁、２０ａ，２０ｂ，２
０ａ′，２０ｂ′…ボス部材、１７，２６ａ，２６ｂ…
回転子、２２ａ，２２ｂ，２２ａ′，２２ｂ′…出力
軸、２３…ハウジング、２４…基台、２５ａ，２５ｂ…
モータ支持軸受、１６，２７ａ，２７ｂ…固定子、２８
ａ，２８ｂ…位置検出器、３５…隔壁部材、３６ａ，３
６ｂ…従動部材、３７ａ，３７ｂ…マグネットカップリ
ング、３８ａ，３８ｂ…軸受、４０…作動リンク機構、
４２，４３…プーリ、４４…ベルト、Ｍ…永久磁石。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 畠 一尋 神奈川県平塚市万田1200 株式会社小松製 作所研究所内 (72)発明者 鈴木 信二 東京都豊島区北大塚１丁目15番１号 山洋 電気株式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 GA02 GA43 GA47 GA50 LA11 LA13 NA05

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のモータと、 各モータの出力部材に、アームと、このアームにリンク
   を介して連結された搬送台とからなるロボットリンク機
   構を結合してなる搬送用ロボットにおいて、 少なくとも１つのモータの固定子、回転子、位置検出
   器、及び回転子を支承する軸受を、軸方向において略同
   一位置に設け、 この各モータを同心状で、かつ軸方向に位置をずらせて
   配置し、 １つのモータの回転子に結合した出力部材を、他のモー
   タの回転子に結合した出力部材に貫通して各モータの出
   力部材を同一方向に延出し、 各モータの出力部材に上記ロボットリンク機構のアーム
   を固着したことを特徴とする搬送用ロボット。
2. 【請求項２】 複数のモータと、 各モータの出力部材に、アームと、このアームにリンク
   を介して連結された搬送台とからなるロボットリンク機
   構を結合してなる搬送用ロボットにおいて、 少なくとも１つのモータの固定子、回転子、位置検出
   器、及び回転子を支承する軸受を、軸方向において略同
   一位置に設け、 この各モータを同心状で、かつ軸方向に位置をずらせて
   配置し、 １つのモータの回転子に結合した出力部材を、他のモー
   タの回転子に結合した出力部材に貫通して各モータの出
   力部材を同一方向に延出し、 上記各出力部材を含む各モータ全体を隔壁部材にて気密
   状に隔離し、 各出力部材の隔壁部材を隔てた外側に、従動部材を回転
   自在にして設けると共に、各出力部材と従動部材とをマ
   グネットカップリングを介して磁気的に連結し、 各従動部材に上記ロボットリンク機構のアームを固着し
   たことを特徴とする搬送用ロボット。