JP2005091543A - 薄膜配線層 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に形成される薄膜配線層であって、CuまたはAgを主成分とする主導体層と該主導体層を覆う被覆層からなり、該被覆層は、(Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W)から選択される1種または2種以上の添加元素を7〜15原子%含有し、残部が実質的にNiからなる合金層でなる薄膜配線層である。
主導体層としてAgを主成分とする場合は、被覆層は(Ti,Zr,Hf)から選択することが好ましく、主導体層としてCuを主成分とする場合は、被覆層は(Nb、Ta、Mo、W)から選択することが好ましい。
【選択図】 図1
Description
この中で、Cr膜は耐食性、耐熱性に優れ、薬液を用いたウェットエッチングが可能であり、ガラス基板やSiウェハ−等の基板に対する密着性が高く、薄膜材料として特に有益な材料である。そのためCrは、Al、Ag、Cuやこれらに添加元素を加えた合金等の下地層や上覆層等の被覆層として用いることが可能である。しかし、近年では、Cr膜は平面表示素子を製造する際や廃棄、再生する場合に六価Crを含んだ廃液が発生する等の問題があり、地球規模の環境保全のために、使用を削減する必要がある。
MoはCrと同様に高融点材料であるために耐熱性は高く、平面表示装置用のガラス基板やSiウェハ−等との密着性も良好である。さらに、ウェットエッチングが可能という利点も有する。なお、純Moではなく、Mo合金が提案されているのは、Moは腐食されやすい金属であるため、ウェットエッチング時のAl等の主配線層とのエッチング速度差を緩和することと、フッ素系ガス、及び塩素系ガスといったドライエッチングガスに対する耐性を改善するためであり、具体的な添加元素としては、Cr,Ti,Zr,Hf,Nb,Ta等が提案されている。(特許文献1、2、3等参照)
ところで、液晶表示装置等の平面表示装置の製造においては、環境雰囲気、特に湿度に対する耐性も重要な特性となってきている。これは、湿度の影響で膜が変質すること、簡単に言えば酸化により錆びてしまうという現象により、電気的な接点として特性(コンタクト性)の劣化が起こるというものである。
本発明者は、Mo合金の耐湿性を検討したが、Moベースであるため、著しい耐湿性の改善には至らなかった。
すなわち本発明は、基板上に形成される薄膜配線層であって、基板上に形成される薄膜配線層であって、Ag又はCuを主成分とする主導体層と該主導体層を覆う被覆層からなり、該被覆層は、(Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W)から選択される1種または2種以上の添加元素を3〜15原子%含有し、残部が実質的にNiからなる合金層である薄膜配線層である。
以下本発明に適用するNi合金層について説明する。
また、Niは被覆層として、1400℃近辺の融点を持つため、Alを主成分とする主導体層の耐熱性をある程度確保することができる。
本発明において上記添加元素としては、好ましくは、5原子%〜10原子%、より好ましくは7原子%〜10原子%とする。
なお、配線層形成にスパッタリング法を使用する場合には、被覆層と同組成のターゲットが必要となるが、Niは磁性体であり、マグネトロンスパッタリングの効率が悪いという問題がある。本発明の添加元素は磁性を低減する効果もあり、磁性を低減もしくは消失することは、製造効率に対する利点にもなる。磁性を消失するという観点からは、添加元素としては7原子%以上が望ましい。
また、上記添加元素は、Niの抵抗値を上げてしまう元素であるが、本発明のように主導体層を有する構造を採用することは、基本的な導電性については主導体層により確保できるという利点がある。
これらの添加元素は、Agと化合物を生成し易く、主導体層と被覆層との密着性を向上できる。
これらの添加元素は、Cuに固溶しないか、表面化合物形成しやすい元素であり、主導体層と被覆層が過度に拡散してしまうのを防止する効果が高いものである。
また、Mo、Wは、上述した添加元素のうち最も固溶域が広く、薄膜組織を微細にする効果が最も高い。そのため、添加元素として、少なくともNbを1〜7原子%含有し、かつMoおよび/またはWをNbとの合計で3〜10原子%含有することで、Nbのエッチング性を高める効果と、Moおよび/またはWによる膜微細化によるパターン精度向上効果を両立できる。
しかし、本発明のNi合金膜は各種基板との密着性にも優れるため、主配線層の下地膜として使用することができるのである。AgやCuは従来のAlやCr等に比較して、ガラス基板、Siウェハ−との密着性の低い膜である。このため、Ni合金膜を下地膜とすることでAgやCu膜の密着性を改善することで、信頼性の向上を図ることが可能である。
また、比較例として同様にして、Mo−8原子%Nb、Mo−10原子%Wのターゲットを作製して、同様の膜サンプルを得た。
その結果Mo系の比較例は、いずれも紫色の明確な変色が確認されたが、Ni系合金は変色もなく、耐湿性にすぐれることを確認した。
また、表2に示すサンプルにおいては、表1と同様の耐湿性試験を行ったが、純Niを含むすべてのサンプルにおいて、変色等は認められず、良好な耐湿性を有することが確認された。
ここで、抵抗特性は、形成したNi合金膜の膜特性としては導電性に関与する比抵抗値(μΩcm)を、4端子薄膜抵抗率計(三菱油化製、MCP−T400)を用いて測定した。
耐熱性試験としては、各試料をクリーンオーブン中で温度300℃、1時間の大気加熱を行った。
得られた配線層に対して、実施例1、実施例2と同様にして耐熱性、耐湿性の評価を行った。また、密着性の評価方法として、膜表面に2mm間隔で碁盤の目状に切れ目を入れた後、膜表面にメンディングテープ810(スコッチ製)を貼り、斜め45°に引き剥がし、膜の剥がれ状況を確認した。その結果を表3に示す。Ni合金下地膜の厚みは50nm、カバ−膜の膜厚は30nmとした。基板材質は上述のガラス基板、表面に熱酸化を施したSiウェハー、さらに樹脂基板としてポリカーボネイト基板を用いた。結果を表3に示す。
Claims (3)
- 基板上に形成される薄膜配線層であって、Ag又はCuを主成分とする主導体層と該主導体層を覆う被覆層からなり、該被覆層は、(Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W)から選択される1種または2種以上の添加元素を3〜15原子%含有し、残部が実質的にNiからなる合金層であることを特徴とする薄膜配線層。
- 主導体層をAgを主成分とする層とし、被覆層における添加元素を(Ti,Zr,Hf)から選択される1種または2種以上の添加元素とすることを特徴とする請求項1に記載の薄膜配線層。
- 主導体層をCuを主成分とする層とし、被覆層における添加元素を(Nb、Ta、Mo、W)から選択される1種または2種以上の添加元素とすることを特徴とする請求項1に記載の薄膜配線層。
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