JP2005086137A - GaN系発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【課題】 透光性を有さない金属層が光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極を用いたGaN系LEDにおいて、p型ボンディング電極の接着強度を向上させるとともに、発光効率の向上を図り、また、かかるp型オーミック電極がp型GaN系層から剥離し易いという問題の解決を図ること。
【解決手段】 p型ボンディング電極とp型GaN系半導体層がオーミック接合しないようにするとともに、p型ボンディング電極の下にはp型オーミック電極を実質的に形成しないことを特徴とする。
【選択図】 図3
【解決手段】 p型ボンディング電極とp型GaN系半導体層がオーミック接合しないようにするとともに、p型ボンディング電極の下にはp型オーミック電極を実質的に形成しないことを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
本発明は、GaN系発光ダイオードに関する。更に詳しくは、基板上にGaN系半導体層が積層された側を発光観測面とする、GaN系発光ダイオードに関する。
GaN系発光ダイオードは、基板の上に少なくともn型GaN系半導体層と、GaN系半導体からなる発光層と、p型GaN系半導体層とが、順に積層された構造を有する発光ダイオード(LED)であって、発光層に用いられるGaN系半導体の組成を選択することによって、赤色〜紫外に至る短波長光を発光させることが可能である。
GaN系半導体は、式AlaInbGa1−a−bN(0≦a≦1、0≦b≦1、0≦a+b≦1)で決定される3族窒化物からなる化合物半導体であって、例えば、GaN、InGaN、AlGaN、AlInGaN、AlN、InNなど、任意の組成のものが例示される。
以下、「GaN系半導体層」を単に「GaN系層」とも呼ぶ。
以下、「GaN系半導体層」を単に「GaN系層」とも呼ぶ。
GaN系LEDの製造においては、p型GaN系層を形成するために必要な処理の関係から、n型GaN系層、発光層、p型GaN系層の順に積層される。通常はp型GaN系層の抵抗が高いために、p型GaN系層上に設けられるp型オーミック電極からp型GaN系層を介しての発光層への電流注入は、ほとんどp型オーミック電極直下でしか起こらない。従って、発光領域を広くするためにp型GaN系層(p型コンタクト層)の表面が可能な限り覆われるように、p型オーミック電極が設けられる。そのため、透光性電極が開発される以前、透光性を有さない厚膜の金属電極が用いられていたときは、発光層で発生した光を、透明基板の側から取出す方式が採られていた。
その後、半導体からなる透明導電膜や、透光性となる程度の薄膜に形成した金属電極をp型オーミック電極とすることにより、厚いサファイア基板を通さずに、GaN系層を積層した側を発光観測面として光を取り出す方法が考案され、実用化されている(特許文献1)。
その後、半導体からなる透明導電膜や、透光性となる程度の薄膜に形成した金属電極をp型オーミック電極とすることにより、厚いサファイア基板を通さずに、GaN系層を積層した側を発光観測面として光を取り出す方法が考案され、実用化されている(特許文献1)。
しかし、透光性電極には、わずかな厚みの変動によりその光透過率が変動し、また薄膜形成後の熱処理、熱処理時の雰囲気によっても光透過率が変動するために、特性を安定させることが難しいという問題があった。そこで、p型GaN系半導体とオーミック接合する金属からなる、透光性を有さない厚膜のp型オーミック電極を、ネット状、クシ状、ミアンダ状その他、光取り出しが可能なパターンに形成し、p型GaN系層の露出部分を光取り出し用の窓部とする方法が考案されている。(特許文献2、特許文献3)
また、GaN系LEDでは、p型オーミック電極上に、実装の際のワイヤーボンディングの接点とされるp型ボンディング電極が形成される。ワイヤーボンディング時には、ワイヤーを介してボンディング電極に引張り力が加わるために、金属薄膜からなる透光性p型オーミック電極を用いた場合には、このp型ボンディング電極とp型オーミック電極の間の接着が剥がれたり、またはp型オーミック電極がp型GaN系層(p型コンタクト層)から剥がれるという問題があった。そこで、対策として、p型ボンディング電極をCr(クロム)、Al(アルミニウム)、Au(金)など、p型GaN系層との接着性が良好な材料により構成するとともに、p型オーミック電極の一部に電極層を貫通する窓部を設け、この窓部を通してp型ボンディング電極とp型GaN系層を直接接着させる方法が考案されている。(特許文献4)
一方、透光性を有さない厚膜金属層をネット状、クシ状、ミアンダ状その他、光取り出しが可能な窓部を有するパターンに形成してなるp型オーミック電極の場合、図6に示すように、p型オーミック電極をp型GaN系層の表面に形成し、その上にp型ボンディング電極を形成したとき、p型ボンディング電極の一部が、窓部に露出したp型GaN系層に直接接着されることから、p型ボンディング電極の接着強度は比較的良好となり、これまで問題にされることがなかった。しかし、GaN系LEDの生産効率や歩留まりを更に上げるためには、ワイヤーボンディング工程のライン速度を上げても不良の発生が抑制されるよう、p型ボンディング電極の接着強度を更に向上させることが望ましい。
また、p型ボンディング電極の下にp型オーミック電極が存在すると、そのp型オーミック電極からもp型GaN系層に電流が注入され、その下の発光層で発光が生じるが、p型ボンディング電極の直下であることから、この光はほとんど外部には取り出されない。そのため、この光の発生に消費された電力は損失となり、発光効率の低下を招くという問題があった。
更に、透光性を有さない厚膜金属層を用いたp型オーミック電極は、金属膜の剛性が高くなるためにp型GaN系層から剥がれ易いという問題があり、改善が望まれている。
本発明の課題は、透光性を有さない金属層が光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極を用いたGaN系LEDにおいて、p型ボンディング電極の接着強度を向上させるとともに、発光効率の向上を図ることである。また、かかるp型オーミック電極がp型GaN系層から剥離し易いという問題の解決を図ることである。
本発明は以下の特徴を有する。
(1)基板の上に少なくともn型GaN系半導体層と、GaN系半導体からなる発光層と、p型GaN系半導体層とが順に積層されており、そのp型GaN系半導体層側を発光観測面とするGaN系発光ダイオードにおいて、前記p型GaN系半導体層表面には、透光性を有さない金属層からなる光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極と、そのp型オーミック電極と電気的に接続されるp型ボンディング電極が設けられており、そのp型ボンディング電極と前記p型GaN系半導体層とはオーミック接合していないとともに、そのp型ボンディング電極の下には前記p型オーミック電極が実質的に形成されていないことを特徴とするGaN系発光ダイオード。
(2)前記p型オーミック電極が、前記p型GaN系半導体層に接するようにPd層を形成し、その上にAu層を形成してなる積層構造であることを特徴とする(1)記載のGaN系発光ダイオード。
(3)前記p型ボンディング電極が、前記p型GaN系半導体層に接するようにTi層を形成し、その上にAu層を形成してなる積層構造であることを特徴とする(2)記載のGaN系発光ダイオード。
(4)前記p型オーミック電極がネット状パターンに形成されたことを特徴とする(1)記載のGaN系発光ダイオード。
(5)前記p型GaN系半導体層が角部を有し、前記p型ボンディング電極をその角部に面しないように配置したことを特徴とする(1)記載のGaN系発光ダイオード。
(6)前記n型GaN系半導体層の一部が露出され、前記n型GaN系半導体層のその露出された部分に接してAlからなるn型電極が形成されたことを特徴とする(1)ないし(5)記載のGaN系発光ダイオード。
(1)基板の上に少なくともn型GaN系半導体層と、GaN系半導体からなる発光層と、p型GaN系半導体層とが順に積層されており、そのp型GaN系半導体層側を発光観測面とするGaN系発光ダイオードにおいて、前記p型GaN系半導体層表面には、透光性を有さない金属層からなる光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極と、そのp型オーミック電極と電気的に接続されるp型ボンディング電極が設けられており、そのp型ボンディング電極と前記p型GaN系半導体層とはオーミック接合していないとともに、そのp型ボンディング電極の下には前記p型オーミック電極が実質的に形成されていないことを特徴とするGaN系発光ダイオード。
(2)前記p型オーミック電極が、前記p型GaN系半導体層に接するようにPd層を形成し、その上にAu層を形成してなる積層構造であることを特徴とする(1)記載のGaN系発光ダイオード。
(3)前記p型ボンディング電極が、前記p型GaN系半導体層に接するようにTi層を形成し、その上にAu層を形成してなる積層構造であることを特徴とする(2)記載のGaN系発光ダイオード。
(4)前記p型オーミック電極がネット状パターンに形成されたことを特徴とする(1)記載のGaN系発光ダイオード。
(5)前記p型GaN系半導体層が角部を有し、前記p型ボンディング電極をその角部に面しないように配置したことを特徴とする(1)記載のGaN系発光ダイオード。
(6)前記n型GaN系半導体層の一部が露出され、前記n型GaN系半導体層のその露出された部分に接してAlからなるn型電極が形成されたことを特徴とする(1)ないし(5)記載のGaN系発光ダイオード。
本発明では、透光性を有さない金属層からなる、光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極を用いるが、p型オーミック電極と電気的に接続されるp型ボンディング電極の下に、p型オーミック電極を実質的に形成しないために、p型ボンディング電極とp型GaN系層が接する領域の面積が大きくなり、p型ボンディング電極が強固に固定される。また、p型オーミック電極を、Pdを下地層として、その上にAuを積層した多層構造とすることによって、p型GaN系層に対する良好なオーミック接合と接着強度が得られる。更に、p型ボンディング電極を、Tiを下地層として、その上にAuを積層した多層構造とすることによって、p型ボンディング電極とp型GaN系層との接合がオーミックでなくなるため、p型ボンディング電極直下での発光が抑止され、発光効率が向上する。同時に、p型ボンディング電極とp型GaN系層との接着力が良好となる。更に、Auの積層によってハンダとのぬれ性が良くなるため、ワイヤーボンディング時の作業性が向上する。また、p型オーミック電極のパターンとして、p型GaN系層からの剥離が生じ易い形状の部分を設けないことにより、製造工程での取り扱いが容易になり、歩留りや安定性が向上する。また、n型電極として可視〜近紫外領域の光に対する反射率が高く、かつn型GaN系半導体と良好なオーミック接合を形成するAlを用いることにより、発光効率が向上する。
以下に、本発明を具体的に説明する。
図1に示すように、本発明のGaN系発光ダイオードは、基板上に、n型GaN系層と、GaN系発光層と、p型GaN系層とが順に積層された構造を有している。基板としてはサファイア基板、n型GaN系層としてはSiがドープされたAlGaN層、発光層としてはInGaN井戸層とGaN障壁層がそれぞれ複数層積層されてなる多重量子井戸活性層、p型GaN系層としてはMgがドープされたAlGaN層が例示されるが、これに限られるものではなく、発光層は単一量子井戸構造であってもよいし、必要に応じて上記以外のさらなるGaN系層が加えられてもよい。例えば、図1ではp型GaN系層が1つの層として図示されているが、発光層と接する部分とp型オーミック電極と接する部分とが、それぞれ組成の異なるp型GaN系半導体からなるp型クラッド層、p型コンタクト層に分かれた構成であってもよい。
図1に示すように、本発明のGaN系発光ダイオードは、基板上に、n型GaN系層と、GaN系発光層と、p型GaN系層とが順に積層された構造を有している。基板としてはサファイア基板、n型GaN系層としてはSiがドープされたAlGaN層、発光層としてはInGaN井戸層とGaN障壁層がそれぞれ複数層積層されてなる多重量子井戸活性層、p型GaN系層としてはMgがドープされたAlGaN層が例示されるが、これに限られるものではなく、発光層は単一量子井戸構造であってもよいし、必要に応じて上記以外のさらなるGaN系層が加えられてもよい。例えば、図1ではp型GaN系層が1つの層として図示されているが、発光層と接する部分とp型オーミック電極と接する部分とが、それぞれ組成の異なるp型GaN系半導体からなるp型クラッド層、p型コンタクト層に分かれた構成であってもよい。
また、GaN系材料以外の材料からなる構造(後述のSiO2マスクパターンなど)を部分的に含んでいてもよい。
基板は、GaN系半導体結晶がエピタキシャル成長し得る基板であればよく、例えば、サファイア(C面、A面、R面)、SiC(6H、4H、3C)、GaN、AlN、Si、スピネル、ZnO、GaAs、NGOなどが挙げられる。
基板上に高品質なGaN系結晶層を成長させるために必要となる構造は適宜含んでいてよい。例えば、バッファ層(特に、GaN、AlNなどを低温で成長させた、所謂、低温成長バッファ層)の介在、基板面にSiO2マスクパターンや、段差によって区画された凹凸形状を形成し、選択横方向成長や斜めファセットの形成を経由しての成長を行うことによって、GaN系結晶中の転位密度を低下させる構造などが挙げられる。
基板上にGaN系半導体の積層構造を形成する方法としては、MOCVD、HVPE等、従来公知の気相エピタキシャル成長法を用いることができる。
基板は、GaN系半導体結晶がエピタキシャル成長し得る基板であればよく、例えば、サファイア(C面、A面、R面)、SiC(6H、4H、3C)、GaN、AlN、Si、スピネル、ZnO、GaAs、NGOなどが挙げられる。
基板上に高品質なGaN系結晶層を成長させるために必要となる構造は適宜含んでいてよい。例えば、バッファ層(特に、GaN、AlNなどを低温で成長させた、所謂、低温成長バッファ層)の介在、基板面にSiO2マスクパターンや、段差によって区画された凹凸形状を形成し、選択横方向成長や斜めファセットの形成を経由しての成長を行うことによって、GaN系結晶中の転位密度を低下させる構造などが挙げられる。
基板上にGaN系半導体の積層構造を形成する方法としては、MOCVD、HVPE等、従来公知の気相エピタキシャル成長法を用いることができる。
本発明では、p型GaN系層の表面に形成するp型オーミック電極を、透光性を有さない金属層を光取出し可能なパターンに形成したものとする。
かかるp型オーミック電極に用いる金属材料は、In(インジウム)、Ag(銀)、Au(金)、Pt(白金)、Ir(イリジウム)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Ni(ニッケル)等、p型GaN系層との間で良好なオーミック接合を形成することが知られているものであれば特に制限されず、これらの金属の単体あるいは合金を用いることができ、また、一層のみとしても良いし、あるいは積層構造とすることも可能である。
p型オーミック電極層の厚みは、透光性を有さない程度であれば良く、金属材料の種類にもよるが、5nm以上とすれば、薄膜の構造が島状から連続的となり、透光性を有しなくなるともに、十分な導電性が得られる。ただし、厚くし過ぎると、剥れが生じ易い傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるので、100nm以下とすることが好ましい。
p型オーミック電極は、p型GaN系層に対するオーミック性を向上させるために、形成後にアニーリング処理を行ってもよい。
かかるp型オーミック電極に用いる金属材料は、In(インジウム)、Ag(銀)、Au(金)、Pt(白金)、Ir(イリジウム)、Pd(パラジウム)、Rh(ロジウム)、Ni(ニッケル)等、p型GaN系層との間で良好なオーミック接合を形成することが知られているものであれば特に制限されず、これらの金属の単体あるいは合金を用いることができ、また、一層のみとしても良いし、あるいは積層構造とすることも可能である。
p型オーミック電極層の厚みは、透光性を有さない程度であれば良く、金属材料の種類にもよるが、5nm以上とすれば、薄膜の構造が島状から連続的となり、透光性を有しなくなるともに、十分な導電性が得られる。ただし、厚くし過ぎると、剥れが生じ易い傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるので、100nm以下とすることが好ましい。
p型オーミック電極は、p型GaN系層に対するオーミック性を向上させるために、形成後にアニーリング処理を行ってもよい。
p型オーミック電極の材料として最も好ましいのは、p型GaN層と接してPd層を形成し、その上にAuを積層してなる積層体で、p型GaN系層に対する良好なオーミック接合と接着強度、およびp型オーミック電極層自体の十分な導電性が得られる。
p型GaN系層と接するPd膜はオーミック特性が得られる厚みが必要であり、その厚みは5nm〜500nmが望ましい。しかし、厚くし過ぎると剥れが生じ易い傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるので、5nm〜100nmがより望ましい。更に、後述する光取り出し用のパターンの中に、電極または窓部の幅が10μm以内となる部分を形成する場合には、形状精度が重要となることから、5nm〜40nmが最も好ましい。これは、Pd膜にパターン形成する方法として、所望のPd膜パターンが得られるべくパターニングしたレジスト上に、電子ビーム蒸着法でPd膜を形成し、その後リフトオフする方法があるが、膜厚を40nmより大きくすると製膜時間が長くなり、高融点のPdを蒸発させる熱源からの輻射によって、レジストの変形が生じる可能性があるためである。
p型GaN系層と接するPd膜はオーミック特性が得られる厚みが必要であり、その厚みは5nm〜500nmが望ましい。しかし、厚くし過ぎると剥れが生じ易い傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるので、5nm〜100nmがより望ましい。更に、後述する光取り出し用のパターンの中に、電極または窓部の幅が10μm以内となる部分を形成する場合には、形状精度が重要となることから、5nm〜40nmが最も好ましい。これは、Pd膜にパターン形成する方法として、所望のPd膜パターンが得られるべくパターニングしたレジスト上に、電子ビーム蒸着法でPd膜を形成し、その後リフトオフする方法があるが、膜厚を40nmより大きくすると製膜時間が長くなり、高融点のPdを蒸発させる熱源からの輻射によって、レジストの変形が生じる可能性があるためである。
Pd層の上に形成するAu層の厚みには特に制限はないが、厚くしすぎた場合は剥れが生じやすい傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるので、5nm〜300nmが好ましい。また、後述する光取り出し用のパターンの中に、電極の最も狭い部分の幅が10μm以下となる部分を形成する場合には、電極内部の抵抗が高くなりすぎないよう、50nm〜200nmとすることが好ましい。
PdとAuからなる積層体の膜厚は、全体で100nm以上とすれば、透光性を有さない膜となる。
PdとAuからなる積層体の膜厚は、全体で100nm以上とすれば、透光性を有さない膜となる。
p型オーミック電極を光取出し可能なパターンに形成するには、電極部がネット状または分岐状を呈するようにp型GaN系層表面に広がり、電極部と、p型GaN系層が露出した窓部とが組み合わされた状態となるものであればよく、規則的パターン、不規則的パターン、またはこれらが混在するものが挙げられ、窓部のパターンは、直線的、曲線的、ドット状などとなる。図2に示す例は格子状パターンであって、電極部がネット状を呈し、窓部は四角形が規則的に配列したパターンとなっている。このようなパターンでは、窓部の形状が任意の四角形、多角形、円、楕円、異形等であってもよく、窓部の向きや配列パターンは規則的であってもランダムであってもよい。このような、電極部がネット状であるパターンの他、クシ状、樹枝状、放射状等、電極部が分岐して広がるパターンや、渦巻状、ミアンダ状、波状等、またはこれらの組み合わせであってもよい。
p型オーミック電極の電極部と窓部の面積比は、20:80〜80:20の範囲内とすればよい。電極部の面積が大きいほど、電流が注入されて発光する部分の面積が大きくなる一方、窓部の面積が大きいほど、光の取り出しには有利に働く。発光層で発生する光は等方的に広がるため、素子内部で一度も反射を受けずに直接窓部から外部に出射される光もあるが、多くの光は、素子内外の界面(GaN系結晶と空気やモールド樹脂との界面)や、GaN系半導体層と基板の界面、GaN系層上に設けられた電極層等によって、何度も反射を受けた後に素子外に出射される。基板のGaN系層を積層しない側の表面に、金属膜あるいは誘電体多層膜からなる反射層を設けたり、GaN系層を積層する基板の表面に凹凸加工を施し、基板とGaN系層の間の屈折率界面で光散乱が生じる構造を形成すると、光の伝播方向が反転されたり曲げられることで、p型オーミック電極の窓部からの出射が促進され、好ましい。
p型オーミック電極を光取り出し可能なパターンとするにあたり、隣り合う窓部を隔てる電極部の幅は特に制限されないが、この幅を広くする程、電極部の直下で発生した光が素子外部に取り出され難くなる。一方で、窓部に対して電極部の幅を狭くし過ぎると、窓部下方の電流が注入されない領域が広くなるという問題がある。そこで、隣り合う窓部を隔てる電極部の幅は、0.5〜10μmとすることが望ましい。本発明者等の検討結果によれば、方形の窓部が規則的に配列された格子状パターンとしたとき、発光効率が最も高くなるのは、電極部の幅を1〜3μm、窓部の幅を4〜8μmとした時であった。
p型オーミック電極を光取り出し可能なパターンに形成するとき、電極部の幅は10μm以下とすることが好ましいのは前記のとおりであるが、電極パターンに枝分かれが少ないと、ウェットプロセス中の溶媒の侵入や、工程中に素子に加わる物理的な力によって、電極部の剥離が生じやすい。特に、電極をストライプ状パターンとする場合などに、電極幅10μm以下の部分が100μm以上の長さに渡って枝分かれなく延びた部分を設けると、この問題は顕著となる。また、クシ状や放射状パターンでは、電極部が細長く延び、かつ先端の途切れた形状に形成されるが、このような形状も剥離し易い傾向がある。そこで、p型オーミック電極のパターンは、ネット状とすることが好ましく、特に、窓部を一様に分散させることができ、フォトマスクの設計も容易な、格子状パターンが好ましい。
光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極は、p型GaN系層の周縁部に必要となる加工シロの部分を除き、p型GaN層上面の略全面に広がるように形成することが好ましいが、p型ボンディング電極の下にはp型オーミック電極を実質的に形成しないことが望ましい。なぜなら、p型ボンディング電極の下に形成されたp型オーミック電極からも、その下のp型GaN系層への電流注入が行われるが、それによって発生した光の多くは、大きなp型ボンディング電極にさえぎられ、発光観測面側に出射されないために、この光を発生するために消費される電力は損失となるからである。また、p型ボンディング電極下以外の領域に注入される電流が減少することになり、出力も低下する。
従って、p型ボンディング電極とp型GaN系層の間にはさまれたp型オーミック電極の面積ができるだけ小さくなるよう、p型ボンディング電極とp型オーミック電極のオーバーラップは、これら電極間に必要な導通が確保される限りで、最小限とすることが望ましい。具体的には、基板面の上方から見たときに、p型ボンディング電極とp型オーミック電極がオーバーラップする面積(基板面への投影面積)が、p型ボンディング電極の面積の3〜20%となるようにすることが好ましい。本発明において、p型ボンディング電極の下にp型オーミック電極が実質的に形成されていないとは、両電極のオーバーラップがこの範囲であることをいう。また、両電極とも金属材料からなるために、接触面積が比較的小さくても両電極間の導通は良好となるが、上記オーバーラップ面積を300〜4700μm2とすることが、より好ましい。
図3に、円形状のp型ボンディング電極の下に、p型オーミック電極を全く形成しない円形領域(破線で囲まれた領域)を設けた例を示す。
p型ボンディング電極の下にp型オーミック電極を実質的に形成しないことによって、発光効率や出力を向上させ得ることは上記の通りであるが、このような構成とすることによって、更に、p型ボンディング電極の固定を強固にできるという利点がある。
p型オーミック電極を光取出し可能なパターンに形成した場合、本発明のようにp型ボンディング電極とp型オーミック電極のオーバーラップを意図的に制限しなくても、光取出し用の窓部を通して、部分的にではあるが、p型ボンディング電極とp型GaN系層が直接接するために、p型GaN系層上を完全に覆うp型オーミック電極上にp型ボンディング電極を形成する場合と比較して、p型ボンディングの強固な固定が可能であった。これは、後者では、p型GaN系層とp型ボンディング電極の間に、p型GaN系層/p型オーミック電極、p型オーミック電極/p型ボンディング電極、という2つの界面が形成されるのに対し、前者では、窓部において、p型GaN系層/p型ボンディング電極という1つの界面しか形成されないためである。
p型オーミック電極を光取出し可能なパターンに形成した場合、本発明のようにp型ボンディング電極とp型オーミック電極のオーバーラップを意図的に制限しなくても、光取出し用の窓部を通して、部分的にではあるが、p型ボンディング電極とp型GaN系層が直接接するために、p型GaN系層上を完全に覆うp型オーミック電極上にp型ボンディング電極を形成する場合と比較して、p型ボンディングの強固な固定が可能であった。これは、後者では、p型GaN系層とp型ボンディング電極の間に、p型GaN系層/p型オーミック電極、p型オーミック電極/p型ボンディング電極、という2つの界面が形成されるのに対し、前者では、窓部において、p型GaN系層/p型ボンディング電極という1つの界面しか形成されないためである。
本発明では更に、p型ボンディング電極の下に実質的にp型オーミック電極を形成しないことにより、このようなp型GaN系層とp型ボンディング電極の間の界面がp型GaN系層/p型ボンディング電極のみとなる領域が増大するため、より強固にp型ボンディング電極が固定される。
p型ボンディング電極の材料には次のことが要求される。
(1)p型ボンディング電極からp型GaN系層への電流注入が生じないこと(p型GaN系層との間でオーミック特性を示さないこと。)。
(2)p型GaN系層との接着性が良好なこと。
このうち、(1)は、p型ボンディング電極から電流注入が生じると、p型ボンディング電極直下で発光が生じるため、殆どの光はp型ボンディング電極にさえぎられ、発光観測面側から外部に取出すことができず、効率と出力の低下を招くためである。また、(2)は、p型ボンディング電極の固定を強固にするためである。
(1)p型ボンディング電極からp型GaN系層への電流注入が生じないこと(p型GaN系層との間でオーミック特性を示さないこと。)。
(2)p型GaN系層との接着性が良好なこと。
このうち、(1)は、p型ボンディング電極から電流注入が生じると、p型ボンディング電極直下で発光が生じるため、殆どの光はp型ボンディング電極にさえぎられ、発光観測面側から外部に取出すことができず、効率と出力の低下を招くためである。また、(2)は、p型ボンディング電極の固定を強固にするためである。
そこで、本発明のp型ボンディング電極の材料としては、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、Cr(クロム)、Mo(モリブデン)、Al(アルミニウム)、W(タングステン)等の金属を挙げることができる。また、これらの金属を下層とし、その上に、更に、Pd、Ni、Pt、Au、Ag等の、導電性の良い金属またはこれらの合金を積層してもよい。
また、p型ボンディング電極は、p型GaN系層に加え、p型オーミック電極とも良好な密着性を有していることが好ましい。これによって、p型ボンディング電極の固定と、p型ボンディング電極とp型オーミック電極との導通がいっそう促進される。そのためには、p型ボンディング電極をTiで形成するか、または最下層をTiとして、その上にPd、Ni、Pt、Au、Ag等の金属またはこれらの合金を積層した構造とすることが好ましい。
更に、前記した通り、p型オーミック電極はPd/Auの積層構造とすることが好ましいが、このとき、p型ボンディング電極はTiとAuの積層構造とすることが好ましい。このときp型ボンディング電極の良好な密着性が得られる理由は必ずしも明らかではないが、p型オーミック電極とp型ボンディング電極の界面がAu/Ti/Auという構成となることから、TiとAuの良好な密着性によるものではないかと推測される。また、最上層がAuであると、ハンダとのぬれ性が良くなるため、ワイヤーボンディング時の作業性が向上する。
p型ボンディング電極は、正方形、長方形、円、楕円等、任意の平面形状に形成し得るが、ワイヤーボンディングに必要な面積を確保しつつ、光の取出しが可能な限り妨げられないよう、円形とすることが最も好ましい。ワイヤーボンディングには直径50〜100μm程度の円形のスペースがあれば十分なため、pボンディング電極は最小限この円形のスペースを取り囲める程度の面積があればよく、ワイヤーボンディング工程の歩留りも考慮して、例えば、直径70〜150μmの円形、または一片の長さが70〜150μmの方形に形成すればよい。
p型ボンディング電極の厚さは、ワイヤーボンディング時にp型ボンディング電極自体が破壊されないとともに、p型オーミック電極が大きなダメージを受けないよう、50nm以上とすることが好ましく、より好ましくは100〜1000nmである。
p型ボンディング電極の厚さは、ワイヤーボンディング時にp型ボンディング電極自体が破壊されないとともに、p型オーミック電極が大きなダメージを受けないよう、50nm以上とすることが好ましく、より好ましくは100〜1000nmである。
p型ボンディング電極の構造として、最下層をTiとし、その上にPd、Ni、Pt、Au、Ag等の金属またはこれらの合金を積層した構造を採用する場合には、Ti層とp型GaN系層との密着力が得られるよう、Ti層の厚さは5nm〜500nmとすればよい。しかし、厚くし過ぎると剥れが生じ易い傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるので、5nm〜100nmがより好ましい。また、膜厚が大きいと製膜時間が長くなり、高融点のTiを蒸発させる熱源からの輻射によってp型ボンディング電極のパターニングのためのレジストが変形する可能性があるため、5nm〜50nmとすることがより好ましい。
p型ボンディング電極として、Tiを最下層とし、その上にAuを積層する場合、Au層の厚さは特に制限されないが、厚くしすぎると剥れが生じ易い傾向が現れて歩留まりが悪化する恐れがあるため、10nm〜1000nmとすることが好ましい。ワイヤーボンディング時の破壊や、p型オーミック電極へのダメージを防ぐためには厚いほうが望ましいが、工業的には材料費が高くなることも考慮する必要があり、これらのことから50nm〜300nmとすることがより好ましい。
次に、本発明におけるp型ボンディング電極の好ましい配置について説明する。なお、ここでの説明にいうLED素子、p型GaN系層、p型ボンディング電極、p型オーミック電極などの形状や配置は、いずれも基板の上方から見たときの形状や配置である。
p型ボンディング電極の配置に特に制限はないが、実装したときに、p型ボンディング電極に接合される給電ワイヤーが出射光をさえぎる障害物とならないようにするには、p型ボンディング電極は極力、p型GaN系層の周縁部に形成することが好ましい。
また、LEDでは、その配光特性上の要求から、発光領域の形状を回転対称性の高い形状とすることが望ましい。p型ボンディング電極が形成された領域は、p型GaN系層側を発光観測面とするLEDにとって非発光領域となるため、他の非発光領域がある場合、例えばp型GaN系層の一部を除去してn型電極領域を形成した場合、n型電極形成領域とp型ボンディング電極形成領域とを、発光領域の中心部に関して概略点対称となる位置に配置することが好ましい。
また、LEDでは、その配光特性上の要求から、発光領域の形状を回転対称性の高い形状とすることが望ましい。p型ボンディング電極が形成された領域は、p型GaN系層側を発光観測面とするLEDにとって非発光領域となるため、他の非発光領域がある場合、例えばp型GaN系層の一部を除去してn型電極領域を形成した場合、n型電極形成領域とp型ボンディング電極形成領域とを、発光領域の中心部に関して概略点対称となる位置に配置することが好ましい。
更に、p型ボンディング電極の形状が円形または楕円形の場合には、p型ボンディング電極をp型GaN系層の角部に面しないように配置することが好ましい。ここで、p型GaN系層の角部とは、図4(a)に示すように、方形のp型GaN系層の角の部分41をいう。なお、p型GaN系層の一部が、n型電極の形成等のために、図4(b)(c)に示すごとく切り欠き状に除去されている場合には、切り欠き部ができたことによって形成される角部42、43を含むものとする。
p型ボンディング電極が角部に面しないとは、その角部を構成する2辺に相当するp型GaN系層の2つの縁部の少なくとも一方と、p型ボンディング電極の縁との距離が、20μmより大きいことをいう。逆にいえば、上記2辺に相当するp型GaN系層の2つの縁部とp型ボンディング電極の縁との距離が、いずれも20μm以下であるとき、p型ボンディング電極は角部に面している。ここでいう距離とは、図5に示すように、p型GaN系層の縁部とp型ボンディング電極の縁とが最も近接した部分における間隔をいうものとする。
p型ボンディング電極をp型GaN系層の角部に面するように配置した場合、p型ボンディング電極の下に実質的にp型オーミック電極を設けない本発明の構成では、p型オーミック電極の中に、角部を挟むp型GaN系層の2つの縁部とp型ボンディング電極に囲まれた狭い領域でのみp型GaN系層と接着された電極部を設けることになる。しかし、p型オーミック電極にこのような部分があると、ウェットプロセス中の溶媒の侵入や、素子に加わる物理的な力によって剥離し易いため、歩留まりに影響する。この領域にp型オーミック電極を形成しなければ、この問題を避けることができるが、p型ボンディング電極を角部に面しないように設ける場合と比べて発光領域が狭くなり、発光効率や出力が低下する。
n型GaN系層に電流注入を行うためのn型電極の形成には、従来公知の方法を参照することができ、絶縁性基板を用いる場合には、p型GaN系層の側からn型GaN系層の一部が露出するまでエッチングを行い、露出したn型GaN系層の表面にn型電極を形成すればよい。また、基板が導電性を有する場合には、GaN系半導体層を形成しない側の基板面に電極を設けることも可能である。
n型GaN系層の表面にn型電極を形成する場合、その材料はn型GaN系半導体とオーミック接合を形成し得るものであればよく、特に制限されないが、前記の通り、LEDの発光観測面をp型GaN系層側とする場合、発光層で発生した光が外部に出射されるまでに素子内で繰り返し反射されることから、この過程での減衰を小さくするために、n型電極も可視〜近紫外領域の光に対する反射率が高い材料で構成することが好ましい。そのような材料としてはAlが好ましく、Al層のみでn型電極を構成してもよいし、また、n型GaN層に接してAl層を形成し、その上にPt層および/またはAu層を形成した積層構造としてもよい。
n型GaN系層の表面にn型電極を形成する場合、その材料はn型GaN系半導体とオーミック接合を形成し得るものであればよく、特に制限されないが、前記の通り、LEDの発光観測面をp型GaN系層側とする場合、発光層で発生した光が外部に出射されるまでに素子内で繰り返し反射されることから、この過程での減衰を小さくするために、n型電極も可視〜近紫外領域の光に対する反射率が高い材料で構成することが好ましい。そのような材料としてはAlが好ましく、Al層のみでn型電極を構成してもよいし、また、n型GaN層に接してAl層を形成し、その上にPt層および/またはAu層を形成した積層構造としてもよい。
n型電極とするAl層の厚さは、オーミック特性と密着性が得られる厚さであれば特に制限は無いが、5nm〜500nmとすることが好ましい。しかし、あまりに薄いと密着性が出ず、また、ワイヤーボンディング時の強度も低いこと、光の反射率も十分とならないことから、100nm〜500nmとすることがより好ましい。
以下、各実施例に基づいて、本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明は実施例のみに限定されるものではない。
[実施例1]
直径2インチのC面サファイア基板をMOVPE装置に装着し、水素雰囲気下で1100℃まで昇温し、サーマルエッチングを行った。その後、温度を330℃まで下げ、3族原料としてトリメチルガリウム(以下TMGと表記する)およびトリメチルアルミニウムを用い、N原料としてアンモニアを流しながら、厚さ20nmのAlGaN低温形成バッファ層を成長させた。続いて1000℃に昇温し、原料としてTMG、アンモニアを流し、アンドープのGaN結晶層を2μm成長させた後、更にSiH4を流し、Siドープのn型GaNコンタクト層を3μm成長させた。続いて、温度を800℃に低下させた後、Siを5×1017cm−3添加したGaN障壁層(厚さ10nm)と、InGaN井戸層(発光波長380nm、In組成0.03、厚さ3nm)とのペアを6周期積層してなる発光層を作製した。次に成長温度を1000℃にして、厚さ30nmのp型AlGaNクラッド層、厚さ150nmのp型GaNコンタクト層を順に成長した。その後加熱を停止し、TMG、NH3の供給を停止して室温まで自然冷却した。このようにして発光波長380nmの近紫外LED構造が形成されたウエハを得た。
直径2インチのC面サファイア基板をMOVPE装置に装着し、水素雰囲気下で1100℃まで昇温し、サーマルエッチングを行った。その後、温度を330℃まで下げ、3族原料としてトリメチルガリウム(以下TMGと表記する)およびトリメチルアルミニウムを用い、N原料としてアンモニアを流しながら、厚さ20nmのAlGaN低温形成バッファ層を成長させた。続いて1000℃に昇温し、原料としてTMG、アンモニアを流し、アンドープのGaN結晶層を2μm成長させた後、更にSiH4を流し、Siドープのn型GaNコンタクト層を3μm成長させた。続いて、温度を800℃に低下させた後、Siを5×1017cm−3添加したGaN障壁層(厚さ10nm)と、InGaN井戸層(発光波長380nm、In組成0.03、厚さ3nm)とのペアを6周期積層してなる発光層を作製した。次に成長温度を1000℃にして、厚さ30nmのp型AlGaNクラッド層、厚さ150nmのp型GaNコンタクト層を順に成長した。その後加熱を停止し、TMG、NH3の供給を停止して室温まで自然冷却した。このようにして発光波長380nmの近紫外LED構造が形成されたウエハを得た。
このウエハのp型GaNコンタクト層表面に、p型オーミック電極を格子状パターンに形成した。格子状パターンは、一辺6μmの正方形の窓部が、幅2μmの電極部に隔てられ規則的に配列したパターン、即ち、直交する2方向のいずれにおいても、幅2μmの電極部と、p型GaNコンタクト層が露出した幅6μmの窓部が交互に繰り返される構造を持つ直交網目状とした。
p型オーミック電極へのパターン形成用のフォトマスクは、p型ボンディング電極の下にp型オーミック電極が実質的に形成されないように設計した。p型ボンディング電極を直径100μmの円形状とすることから、その下部となる直径80μmの円形領域内に、p型オーミック電極が形成されないようにした。これによって、p型ボンディング電極とp型オーミック電極のオーバーラップが、約1240μm2となるようにした。これは、p型ボンディング電極の面積の約16%に相当する。
p型オーミック電極は、あらかじめp型GaNコンタクト層表面上に上記パターンを描いたレジスト層を形成し、その上に厚さ20nmのPd層、厚さ200nmのAu層を、この順に電子ビーム蒸着により形成した。その後、レジスト層をリフトオフし、所定パターンを形成したp型オーミック電極を得た。
次に、Cl2ガスを用いたリアクティブエッチング法により、p型GaN系層および発光層の一部をエッチング除去し、n層を表出させた。表出したn層に、抵抗加熱により厚さ300nmのAl層を蒸着形成し、n型電極とした。
続いて、p型オーミック電極が形成されていない円形領域を覆うように、p型ボンディング電極を形成した。p型ボンディング電極は、p型GaNコンタクト層側から順に、厚さ30nmのTi層、厚さ300nmのAu層を電子ビーム蒸着により積層して形成した。
続いて、このウエハに500℃−5min間の熱処理を施し、その後、サファイア基板を厚さ90μmとなるまで研磨し、素子分離を行なってLEDを得た。
このLEDは、図1(a)に示すように、p型ボンディング電極がp型GaNコンタクト層の角部に面しない位置に配置され、略正方形の素子面から、非発光領域であるp型ボンディング電極部とn型電極形成部を除いた発光領域の形状が、略H型となるような電極配置を有する。
このLEDは、図1(a)に示すように、p型ボンディング電極がp型GaNコンタクト層の角部に面しない位置に配置され、略正方形の素子面から、非発光領域であるp型ボンディング電極部とn型電極形成部を除いた発光領域の形状が、略H型となるような電極配置を有する。
上記方法により作製したLEDをステム台にダイボンドした後、ワイヤーボンディングにより通電可能な状態とし、素子特性を測ったところ、発光中心波長380nm、出力5mW、順方向電圧3.2Vという素子特性を示した。なお、この素子のワイヤーボンディング性を評価した結果、100素子中ワイヤープル強度が10g以下のものは無かった。
[比較例1]
実施例1において、格子状パターンのp型オーミック電極(Pd/Au)を、p型ボンディング電極の下となる領域にも形成したこと以外は、実施例1と同様にLEDを作製した。
このLEDの素子特性を実施例1と同様に測ったところ、発光中心波長380nm、出力4.5mW、順方向電圧3.15Vという素子特性を示した。なお、この素子のワイヤーボンディング性を評価した結果、100素子中ワイヤープル強度が10g以下のものが2個含まれていた。
実施例1において、格子状パターンのp型オーミック電極(Pd/Au)を、p型ボンディング電極の下となる領域にも形成したこと以外は、実施例1と同様にLEDを作製した。
このLEDの素子特性を実施例1と同様に測ったところ、発光中心波長380nm、出力4.5mW、順方向電圧3.15Vという素子特性を示した。なお、この素子のワイヤーボンディング性を評価した結果、100素子中ワイヤープル強度が10g以下のものが2個含まれていた。
[実施例2]
実施例1において、p型オーミック電極をクシ状パターン(クシの「歯」に相当する電極部を幅10μmのストライプ状とし、窓部と電極部の面積比は実施例1と同じとした。)に形成したこと以外は、実施例1と同様にLEDを作製した。このLEDの素子特性とワイヤーボンディング性は実施例1と略同等であったが、工程中でクシ状パターンのp型オーミック電極の剥離が生じ易く、実施例1と比較して歩留まりが低下した。
[実施例3]
実施例1において、p型ボンディング電極とn型電極を、それぞれ、略正方形の素子面において対角位置となる2つの角部に近接させて配置した以外は、実施例1と同様にLEDを作製した。非発光領域であるp型ボンディング電極部とn型電極形成部の面積は、実施例1と同じとした。円形状のp型ボンディング電極の縁と、p型ボンディング電極が配置された角部を挟む2辺に相当するp型GaNコンタクト層の縁との距離は、いずれも20μmとした。従って、このp型ボンディング電極はp型GaN系層の角部に面して配置されている。
このLEDの素子特性とワイヤーボンディング性は実施例1と略同等であったが、工程中でp型ボンディング電極が形成された角部のp型オーミック電極の剥離が生じ易く、実施例1と比較して歩留まりが低下した。
実施例1において、p型オーミック電極をクシ状パターン(クシの「歯」に相当する電極部を幅10μmのストライプ状とし、窓部と電極部の面積比は実施例1と同じとした。)に形成したこと以外は、実施例1と同様にLEDを作製した。このLEDの素子特性とワイヤーボンディング性は実施例1と略同等であったが、工程中でクシ状パターンのp型オーミック電極の剥離が生じ易く、実施例1と比較して歩留まりが低下した。
[実施例3]
実施例1において、p型ボンディング電極とn型電極を、それぞれ、略正方形の素子面において対角位置となる2つの角部に近接させて配置した以外は、実施例1と同様にLEDを作製した。非発光領域であるp型ボンディング電極部とn型電極形成部の面積は、実施例1と同じとした。円形状のp型ボンディング電極の縁と、p型ボンディング電極が配置された角部を挟む2辺に相当するp型GaNコンタクト層の縁との距離は、いずれも20μmとした。従って、このp型ボンディング電極はp型GaN系層の角部に面して配置されている。
このLEDの素子特性とワイヤーボンディング性は実施例1と略同等であったが、工程中でp型ボンディング電極が形成された角部のp型オーミック電極の剥離が生じ易く、実施例1と比較して歩留まりが低下した。
1 基板
2 n型GaN系層
3 発光層
4 p型GaN系層
5 p型オーミック電極
6 n型電極
7 p型ボンディング電極
41、42、43 p型GaN系層の角部
2 n型GaN系層
3 発光層
4 p型GaN系層
5 p型オーミック電極
6 n型電極
7 p型ボンディング電極
41、42、43 p型GaN系層の角部
Claims (6)
- 基板の上に少なくともn型GaN系半導体層と、GaN系半導体からなる発光層と、p型GaN系半導体層とが順に積層されており、そのp型GaN系半導体層側を発光観測面とするGaN系発光ダイオードにおいて、前記p型GaN系半導体層表面には、透光性を有さない金属層からなる光取出し可能なパターンに形成されたp型オーミック電極と、そのp型オーミック電極と電気的に接続されるp型ボンディング電極が設けられており、そのp型ボンディング電極と前記p型GaN系半導体層とはオーミック接合していないとともに、そのp型ボンディング電極の下には前記p型オーミック電極が実質的に形成されていないことを特徴とするGaN系発光ダイオード。
- 前記p型オーミック電極が、前記p型GaN系半導体層に接するようにPd層を形成し、その上にAu層を形成してなる積層構造であることを特徴とする請求項1記載のGaN系発光ダイオード。
- 前記p型ボンディング電極が、前記p型GaN系半導体層に接するようにTi層を形成し、その上にAu層を形成してなる積層構造であることを特徴とする請求項2記載のGaN系発光ダイオード。
- 前記p型オーミック電極がネット状パターンに形成されたことを特徴とする請求項1記載のGaN系発光ダイオード。
- 前記p型GaN系半導体層が角部を有し、前記p型ボンディング電極をその角部に面しないように配置したことを特徴とする請求項1記載のGaN系発光ダイオード。
- 前記n型GaN系半導体層の一部が露出され、前記n型GaN系半導体層のその露出された部分に接してAlからなるn型電極が形成されたことを特徴とする請求項1ないし5記載のGaN系発光ダイオード。
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