JP4766966B2 - 発光素子 - Google Patents
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11:バッファ層
12:n型窒化ガリウム系化合物半導体層
13:発光層
14:p型窒化ガリウム系化合物半導体層
15,16:電極
17:貫通孔
18:透光性部材
19:反射性部材
Claims (6)
- サファイアからなる基板の上面に、n型窒化ガリウム系化合物半導体層、p型窒化ガリウム系化合物半導体層及び窒化ガリウム系化合物半導体からなる発光層を含んで成る半導体層が形成され、前記n型窒化ガリウム系化合物半導体層に接続されるn型の電極及び前記p型窒化ガリウム系化合物半導体層に接続されるp型の電極が前記半導体層の同一主面方向に形成された、前記発光層で発光した光が前記基板側から取り出されるフリップチップ構造の発光素子において、前記基板は、上下面を貫通して前記半導体層に達する貫通孔が複数形成されており、前記貫通孔の直径D h は、前記半導体層の屈折率をn 1 及び前記貫通孔内の屈折率をn 2 とし、前記発光層から前記基板までの距離をD s としたときに、D h ≧2×D s ×tanθ r (ただし、θ r =arcsin(n 1 /n 2 ))であることを特徴とする発光素子。
- 前記半導体層は、前記基板の上面に接する面のうち前記貫通孔に対向する部位のみが粗面化されていることを特徴とする請求項1記載の発光素子。
- 前記貫通孔は、空気の屈折率と前記窒化ガリウム系化合物半導体の屈折率との間の屈折率を有する透光性部材が充填されていることを特徴とする請求項1または2記載の発光素子。
- 前記貫通孔は、側面に前記発光層で発した光を反射する反射性部材が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の発光素子。
- 前記貫通孔の開口は、前記基板の上下面の面積に占める割合である開口率が、50%以上95%以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の発光素子。
- 前記貫通孔は、前記基板と前記半導体層との界面に向かって径が漸次減少することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか記載の発光素子。
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