JP2005086123A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005086123A JP2005086123A JP2003319211A JP2003319211A JP2005086123A JP 2005086123 A JP2005086123 A JP 2005086123A JP 2003319211 A JP2003319211 A JP 2003319211A JP 2003319211 A JP2003319211 A JP 2003319211A JP 2005086123 A JP2005086123 A JP 2005086123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cup
- chamber
- exhaust pipe
- exhaust
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Abandoned
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】 チャンバ1は、内部に気体を供給するための気体供給機構と、内部の気体を排出するための気体排出機構とに接続される。この気体排出機構は、飛散防止カップ12を通過した気体が排出されるための飛散防止カップ12の排気口122aに接続される飛散防止カップ排気管80と、飛散防止カップ12を通過しない気体が排出されるためのチャンバ1の排気口2に接続されるチャンバ排気管90との二つの排気管を備える。飛散防止カップ排気管80およびチャンバ排気管90は、飛散防止排気管80またはチャンバ排気管90とのいずれか一方を選択的に接続するダンパ100を介して大元排気管200に接続される。
【選択図】 図1
Description
2 排気口
11 スピンチャック
12 飛散防止カップ
60 押圧部材昇降機構
61 押圧部材
62 昇降シリンダ
63 センサ
70 シリンダ
71 ストッパ
80 飛散防止カップ排気管
81 廃液管
90 チャンバ排気管
100 ダンパ
121 上カップ
122 下カップ
200 大元排気管
Claims (1)
- その内部の気体を排出するための排気口が形成されるチャンバと、
前記チャンバ内部に配置され、その内部の気体を排出するための排気口が形成される飛散防止カップと、
排気手段と、
前記チャンバの排気口に接続されるチャンバ排気管と、
前記飛散防止カップの排気口に接続される飛散防止カップ排気管と、
前記チャンバ排気管または前記飛散防止カップ排気管とのいずれか一方と、前記排気手段とを選択的に接続するダンパと、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003319211A JP2005086123A (ja) | 2003-09-11 | 2003-09-11 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003319211A JP2005086123A (ja) | 2003-09-11 | 2003-09-11 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005086123A true JP2005086123A (ja) | 2005-03-31 |
Family
ID=34418214
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003319211A Abandoned JP2005086123A (ja) | 2003-09-11 | 2003-09-11 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005086123A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011204933A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US8201568B2 (en) | 2008-08-06 | 2012-06-19 | Tokyo Electron Limited | Liquid treatment apparatus |
-
2003
- 2003-09-11 JP JP2003319211A patent/JP2005086123A/ja not_active Abandoned
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8201568B2 (en) | 2008-08-06 | 2012-06-19 | Tokyo Electron Limited | Liquid treatment apparatus |
JP2011204933A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4410119B2 (ja) | 洗浄装置、塗布、現像装置及び洗浄方法 | |
JP5231028B2 (ja) | 塗布液供給装置 | |
JP5508709B2 (ja) | 塗布処理装置および基板処理装置 | |
JP2006203130A (ja) | 洗浄装置、洗浄装置への液体の補充方法 | |
JP4900949B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2005086123A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004235216A (ja) | 基板処理装置及び方法 | |
JPH11145099A (ja) | 基板処理装置 | |
JP4256583B2 (ja) | 塗布膜形成装置 | |
JP2002222788A (ja) | 基板洗浄具及び基板洗浄装置 | |
JP2003286597A (ja) | 基板処理装置およびそれを備えたメッキ装置 | |
JP4342343B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2008243935A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2736020B2 (ja) | 自己洗浄機能を有する真空チャック | |
JP2003181364A (ja) | 塗布処理装置 | |
KR20180071079A (ko) | 프라이밍 유닛 및 이를 포함하는 약액 노즐 관리 장치 | |
JP4327537B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3765411B2 (ja) | 現像処理方法及びその装置 | |
JP4411946B2 (ja) | ノズルクリーニング装置および封止装置 | |
JP4796542B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP2005203599A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2008300644A (ja) | 基板の保持装置及び基板の処理方法 | |
JP4183122B2 (ja) | 現像処理方法及び現像処理装置 | |
TW478057B (en) | Processing apparatus | |
KR100840127B1 (ko) | 웨이퍼 백사이드 세정시스템 및 이를 이용한 웨이퍼백사이드 세정방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080401 |
|
A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20080516 |