JP2005086109A - アバランシ・フォトダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 n型電極層を、第1のn型電極層11と第2のn型電極層12とで構成することとし、第2のn型電極層12のn型領域が、なだれ増倍層13の外周に対して充分内側に位置するようにオーバーハングの程度を設定することとした。これにより、なだれ増倍層13の側面側の領域での電束密度は比較的低いものとなりこの領域での電界強度が低下して、光吸収層17とp型電極層18の各側面での電界強度も低減されるとともに、なだれ増倍層13の表面に集中する暗電流を低減させて、安定かつ長寿命の電子注入型APDを実現することが可能となる。
【選択図】 図1
Description
12、23 第2のn型電極層
13 なだれ増倍層
14 電界制御層
14a 中性化領域
15 電界緩衝層
16 バンドギャップ傾斜層
17 光吸収層
18 p型電極層
19、20 金属電極
21 電気力線
22 第2の電極層
22a 第2の電極層のn型部分
51、61 n型電極層
52、66 なだれ増倍層
53、65 電界制御層
54、64 電界緩衝層
55、63 バンドギャップ傾斜層
56、62 光吸収層
57 p型電極層
58、59、68、69 金属電極
66a なだれ増倍領域
67 p型電極領域
Claims (5)
- 基板上に、n型電極層となだれ増倍層と電界制御層と電界緩衝層とバンドギャップ傾斜層と光吸収層とp型電極層とが順次積層された積層構造を有し、
前記n型電極層は、n型の第1の電極層と当該第1の電極層の主面の一部領域に設けられ、かつ、少なくとも一部にn型領域を有する第2の電極層とで構成されるとともに、前記光吸収層と前記第2の電極層のn型領域とは対向して設けられており、
当該第2の電極層のn型領域を画定する外周は、前記なだれ増倍層の下面の外周に対して内側に位置するように設定されていることを特徴とするアバランシ・フォトダイオード。 - 前記バンドギャップ傾斜層を上面とし、かつ、なだれ増倍層を下面とする第1のメサ構造の上に、p型電極層を上面とし、かつ、光吸収層を下面とする第2のメサ構造が、前記第1のメサ構造の上面であるバンドギャップ傾斜層の表面外周部に一定の幅を有するように配置されて設けられていることを特徴とする請求項1に記載のアバランシ・フォトダイオード。
- 前記第2の電極層のn型領域は、当該第2の電極層の外周側の所定領域を除く部分に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のアバランシ・フォトダイオード。
- 前記光吸収層を下面とする第2のメサ構造の外周は、前記第2の電極層のn型領域を画定する外周の外側に位置するように配置されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のアバランシ・フォトダイオード。
- 前記第2の電極層は、上面が下面よりも狭いテーパー形状を有していることを特徴とする請求項4に記載のアバランシ・フォトダイオード。
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