JP2005083779A - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005083779A JP2005083779A JP2003313383A JP2003313383A JP2005083779A JP 2005083779 A JP2005083779 A JP 2005083779A JP 2003313383 A JP2003313383 A JP 2003313383A JP 2003313383 A JP2003313383 A JP 2003313383A JP 2005083779 A JP2005083779 A JP 2005083779A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- angular velocity
- velocity sensor
- circuit board
- piezoelectric substrate
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【課題】回路基板上に搭載する振動体の振動の減衰をできるだけ小さくすることができる回路基板と圧電性基板との接続構造を有する角速度センサを提供する。
【解決手段】回路基板1に形成された複数のパッド10と、該回路基板1上角速度センサ振動体2を実装する。パッド10と、振動体2の圧電性基板5に形成された複数の電極13〜20との間に、それぞれ、正四面体をなす導体ピース5を介在させる。導体ピース5の1つの面をパッド10に対面させ、かつその反対側の1つの頂部を電極13〜20に対面させて介在させる。また、各導体ピース6とパッド10および電極13〜20との間を接合剤23、24によって接続することにより、電気的、機械的に接続する。
【選択図】図5
【解決手段】回路基板1に形成された複数のパッド10と、該回路基板1上角速度センサ振動体2を実装する。パッド10と、振動体2の圧電性基板5に形成された複数の電極13〜20との間に、それぞれ、正四面体をなす導体ピース5を介在させる。導体ピース5の1つの面をパッド10に対面させ、かつその反対側の1つの頂部を電極13〜20に対面させて介在させる。また、各導体ピース6とパッド10および電極13〜20との間を接合剤23、24によって接続することにより、電気的、機械的に接続する。
【選択図】図5
Description
本発明は、回路基板上に振動体を搭載してなる角速度センサに係り、特にその回路基板と振動体との接続構造に関する。
ビデオカメラの手ぶれ防止や自動車のナビゲーション等に使用される角速度センサにおいては、特許文献1に開示されているように、圧電性基板の電極と回路基板のパッドとの接続とを、極細のリード線の両端を前記電極、パッドに半田付けすることにより行なっている。
また、回路基板上に電子部品を搭載し、これらを複数の接続部によって電気的、機械的に接続することにより、全体として所定の機能を発揮させる電子部品を構成する場合、特許文献2に開示されているように、回路基板上に複数のパッドを形成し、電子部品には、前記パッドに対応してそれぞれ電極を設け、それぞれのパッドと電極との間に球状で高剛性の導電球体を配置して半田により接続した構造が採用される場合がある。
前記特許文献1に記載のように、角速度センサの圧電性基板とこれを搭載する回路基板との接続をリード線により行う場合、接続作業に困難を伴い、細心の注意を払う必要がある。この問題点を解決するため、特許文献2に記載のように導体ピースにより回路基板と角速度センサを接続するとすれば、導体ピースとパッドおよび圧電性基板の電極との接続をそれぞれ半田により接続することになる。
しかし、このような剛性の高い導体ピースを介在させた接続構造によれば、角速度センサの振動板や圧電性基板の振動が接続部の剛性によって減衰され、効率が低下するという問題点がある。
本発明は、上記問題点に鑑み、回路基板上に搭載する振動体の振動の減衰をできるだけ小さくすることができる回路基板と圧電性基板との接続構造を有する角速度センサを提供することを目的とする。
(1)本発明の角速度センサは、回路基板に形成された複数のパッドと、該回路基板上に実装される角速度センサ振動体の圧電性基板に形成された複数の電極との間に、それぞれ、正四面体をなす導体ピースを、その1つの面を前記パッドに対面させ、かつその反対側の1つの頂部を前記電極に対面させて介在させ、かつ該各導体ピースと前記パッドおよび電極との間を接合剤によって接続することにより、電気的、機械的に接続したことを特徴とする。
(2)また、本発明の角速度センサは、前記(1)において、前記導体ピースが、正四面体をなす樹脂製またはゴム製ピースの表面に導体膜を形成したものでなることを特徴とする。
(3)また、本発明の角速度センサは、前記(1)または(2)において、前記回路基板上に、前記角速度センサ振動体を覆うカバーを固定し、
前記角速度センサ振動体を振動板と圧電性基板とを接着して構成し、
前記カバーと、前記振動板のノード部との間に、押さえリングを設けたことを特徴とする。
前記角速度センサ振動体を振動板と圧電性基板とを接着して構成し、
前記カバーと、前記振動板のノード部との間に、押さえリングを設けたことを特徴とする。
本発明において、回路基板のパッドと圧電性基板の電極との接続部を構成する導体ピースは、正四面体の頂部で圧電性基板の電極に半田や導電性接着剤からなる接合剤により接続されるため、平面で接合される場合に比較して、振動体の振動が接続部で減衰する度合が減少し、効率が向上する。また、導体ピースは正四面体をなすため、パッドにマウントの際には自動的に頂部が上向きになり、またリフロー炉における半田による接続の場合には、溶融半田の表面張力によって導体ピースの位置が半田を付けたパッド上に自動的に合わせられる。すなわち姿勢、位置の制御が自動的に行われる。
図1は本発明による角速度センサの一実施の形態を断面図、図2はその分解斜視図である。1は回路基板、2は角速度センサ振動体、3は角速度センサ振動体2を覆うカバーである。前記角速度センサ振動体2は、エリンバのような恒弾性金属材料からなる振動板4にPZT等でなる圧電性基板5を貼り合わせたものである。
6は回路基板1上の圧電性基板5との接続部に設けた導体ピース、7はカバー3と角速度センサ振動体2の振動板4のノード部との間に介在させた押さえリングである。該押さえリングは、その一方の端面をカバー3に接着し、他方の面を振動板4のノード部に接着して取付けられる。9は角速度センサ振動体2の駆動信号と検出信号を作成するための回路を構成するための半導体素子、コンデンサ、インダクタあるいは抵抗等からなる電子部品である。
図2において、10は回路基板1に形成された配線パターン11の端部に、後述の圧電性基板5の電極に対応して環状に配置して形成されたパッドである。
導体ピース6は、図3に示すように、正四面体をなす、銅、ニッケル、アルミニウム、銀、もしくはこれらに半田付けを容易とするための錫や半田などのメッキを施したものである。
図2に示すように、前記振動板4の中心にはコリオリ力を発生させるための錘4aが一体に形成される。該振動板4の周囲の凸状に形成された部分4bは自励振動周波数を調整するためのものである。
図2に示すように、前記圧電性基板5の振動板4側の面には参照電極12が設けられる。圧電性基板5は板厚方向に分極されたもので、回路基板1との対向面には、図4に示すように、弧状の駆動電極13、14と、フィードバック電極15、16とがノード部21に沿って形成される。また、これらの電極13〜16の内側に、4個の扇形のX軸回りの角速度検出用の検出電極17、18およびY軸回りの角速度検出用の検出電極19、20が形成される。
図5は前記各部材の接続構造を示す断面図である。前記導体ピース6はその1つの平面がパッド10に対面してパッド10に対して半田や導電性接着剤からなる接合剤23により接続される。また、導体ピース6のパッド10との対向面の反対側の1つの頂部が、電極20について代表して示すように、前記電極13〜20にそれぞれ接合剤24により接続される。また、前記圧電性基板5と振動板4とは接合剤25により固着されている。
なお、電極12と回路基板1上の素子との接続をリード線により行なってもよいが、前記押さえリング7およびカバー3とこれらの接合する接合剤に導通材を用いるか、あるいは導通回路を形成することにより、前記接続を行なうようにしてもよく、このような構成とすれば、リード線による前記接続を皆無とすることができる。
この角速度センサ振動体2を図1のように組立てた状態において、前記参照電極12と駆動電極13、14との間に電圧をかけると、振動板4は上または下に変形する。これに伴い、フィードバック電極15、16には参照電極12に対して正または負の方向に電位が発生し、前記回路基板1上に構成される発振回路(図示せず)に自励発振を持続させるための信号を帰還させる。
ここで、例えばX軸の回り(図4参照)に振動板4が回転すると、振動板4の中心の錘4aに、角速度と振動速度と質量に比例する大きさで、角速度と振動速度と両ベクトルに直交する方向のコリオリ力が作用し、錘4aを基本振動に同期してY方向に動かす。これにより、電極17、18には逆方向の電圧が発生する。この信号を同期検波し、増幅することにより、前記X軸回りの角速度が検出できる。Y軸の回りの振動板4の回転が生じた場合も同様に検出電極19、20からY軸回りの角速度の検出信号が得られる。
前記角速度センサの作動において、回路基板1のパッド10と圧電性基板の電極13〜20との接続部を構成する導体ピース6は、正四面体の頂部で圧電性基板5の電極13〜20に半田や導電性接着剤からなる接合剤24により接続されるため、平面で接合される場合に比較して、振動体2の振動が接続部で減衰する度合が減少し、効率が向上する。
また、導体ピース6は正四面体をなすため、パッド10にマウントの際には自動的に頂部が上向きになり、またリフロー炉における半田による接続の場合には、溶融半田の表面張力によって導体ピース6の位置が半田を付けたパッド10上に自動的に合わせられる。すなわち姿勢、位置の制御が自動的に行われる。
図6は本発明による導体ピースの他の例を示す断面図であり、正四面体をなし、かつ可撓性を有する樹脂製またはゴム性球体31aの周囲に、スパッタリング等の膜形成技術により金属等でなる導体膜31bを一体に形成被覆して導電性を持たせてものである。球体31aを構成する材質としては、シリコン系樹脂あるいはフッ素系樹脂が、弾性率として15N/cm2以下(より好ましくは10N/cm2以下)の値が得られ、かつリフロー等に対応できる耐熱性を有する点において好ましい。また、導体膜31bとしては、半田を接合剤に用いる場合、半田付けが可能な錫、銅、ニッケルもしくは銀あるいはこれらの多層構造のものを用いることができる。
このような弾性を有する材料を導体ピース6の代わりに用いることにより、振動体2の振動の減衰度合がさらに減少し、されなる効率向上が達成できる。
1:回路基板、2:角速度センサ、3:カバー、4:振動板、4a:錘、5:圧電性基板、6:導体ピース、7:押さえリング、9:電子部品、10:パッド、11:配線パターン、12:参照電極、13、14:駆動電極、15、16:フィードバック電極、17、18、19、20:検出電極、21:ノード部、23〜25:接合剤、30:接合剤、31:導体ピース、31a:樹脂またはゴム、31b:導体膜
Claims (3)
- 回路基板に形成された複数のパッドと、該回路基板上に実装される角速度センサ振動体の圧電性基板に形成された複数の電極との間に、それぞれ、正四面体をなす導体ピースを、その1つの面を前記パッドに対面させ、かつその反対側の1つの頂部を前記電極に対面させて介在させ、かつ該各導体ピースと前記パッドおよび電極との間を接合剤によって接続することにより、電気的、機械的に接続したことを特徴とする角速度センサ。
- 請求項1に記載の角速度センサにおいて、
前記導体ピースが、正四面体をなす樹脂製またはゴム製ピースの表面に導体膜を形成したものでなることを特徴とする角速度センサ。 - 請求項1または2に記載の角速度センサにおいて、
前記回路基板上に、前記角速度センサ振動体を覆うカバーを固定し、
前記角速度センサ振動体を振動板と圧電性基板とを接着して構成し、
前記カバーと、前記振動板のノード部との間に、押さえリングを設けたことを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003313383A JP2005083779A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003313383A JP2005083779A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 角速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005083779A true JP2005083779A (ja) | 2005-03-31 |
Family
ID=34414317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003313383A Withdrawn JP2005083779A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005083779A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015180893A (ja) * | 2009-11-12 | 2015-10-15 | サジェム デファンス セキュリテ | ジャイロセンサ |
US10573580B2 (en) * | 2017-03-31 | 2020-02-25 | Intel Corporation | Surface structure method and apparatus associated with compute or electronic component packages |
-
2003
- 2003-09-05 JP JP2003313383A patent/JP2005083779A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015180893A (ja) * | 2009-11-12 | 2015-10-15 | サジェム デファンス セキュリテ | ジャイロセンサ |
US10573580B2 (en) * | 2017-03-31 | 2020-02-25 | Intel Corporation | Surface structure method and apparatus associated with compute or electronic component packages |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108507557B (zh) | 传感器装置 | |
JP4442526B2 (ja) | 圧電振動ジャイロセンサ及び圧電振動ジャイロセンサを備えた電子機器 | |
JP5487672B2 (ja) | 物理量センサ | |
WO2008001908A1 (fr) | Gyro-capteur d'oscillations | |
JP2006300577A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2008014633A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2006194681A (ja) | 角速度センサ装置 | |
JP2010063154A (ja) | 電子部品とその実装構造及び実装方法 | |
JP2005083779A (ja) | 角速度センサ | |
JP2008185369A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法、電子機器、及び回路基板 | |
JP2005085826A (ja) | 基板と実装物との接続構造 | |
JP2008224630A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法及び電子機器 | |
JP5626403B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2008039576A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP5277593B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2005083767A (ja) | 角速度センサ | |
JP2005083766A (ja) | 角速度センサ | |
JP4915483B2 (ja) | 振動ジャイロの製造方法 | |
JP4915482B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP2006010625A (ja) | 圧電振動ジャイロ及びその製造方法 | |
JP4554971B2 (ja) | ジャイロ装置 | |
JP2008205082A (ja) | 電子部品装置 | |
JP2007316091A (ja) | 慣性センサ | |
JP2010199889A (ja) | コンデンサマイクロホン | |
JP2004138390A (ja) | 振動子の支持構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061107 |