JP2005083766A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】リード線による接続をなるべく少なくまたは皆無にすると共に、振動体の振動を抑圧する力を極力小さくして効率を向上させることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】円盤状の振動板4に、励振用電極および検出用電極が形成されている圧電性基板5を貼り付けて角速度センサ振動体2を構成する。回路基板1に形成された複数のパッド10に、それぞれ、突起状の導電体6を固着する。導電体6と、パッド10に対応して圧電性基板5に設けられた複数の電極との間に、異方性導電ゴムリング7を介在させる。異方性導電ゴムリング7の1つの面に導電体6を当接させて食い込ませ、他方の面を圧電性基板5に固着する。回路基板1に振動体2を覆うように固定されるカバー3と1回路基板1との間に、振動体のノード部を押さえるゴムリング等の押圧手段8を設ける。
【選択図】図1
【解決手段】円盤状の振動板4に、励振用電極および検出用電極が形成されている圧電性基板5を貼り付けて角速度センサ振動体2を構成する。回路基板1に形成された複数のパッド10に、それぞれ、突起状の導電体6を固着する。導電体6と、パッド10に対応して圧電性基板5に設けられた複数の電極との間に、異方性導電ゴムリング7を介在させる。異方性導電ゴムリング7の1つの面に導電体6を当接させて食い込ませ、他方の面を圧電性基板5に固着する。回路基板1に振動体2を覆うように固定されるカバー3と1回路基板1との間に、振動体のノード部を押さえるゴムリング等の押圧手段8を設ける。
【選択図】図1
Description
本発明は、回路基板上に圧電振動型振動体を搭載してなる角速度センサに係り、特にセンサの出力を制御する処理回路が一体化されたセンサユニットであって、安価で、小型化、薄型化を必要とする場合に好適な回路基板と振動体との接続構造に関する。
ビデオカメラの手ぶれ防止や自動車のナビゲーション等に使用される角速度センサとして、特許文献1〜3に開示されているように円盤状の振動版および圧電性基板を用いた2軸検出型のものがある。これらの角速度センサにおいては、圧電性基板の電極と回路基板のパッドとの接続とを、極細のリード線の両端を前記電極、パッドに半田付けすることにより行なっている。また、これら従来の角速度センサにおいては、ノード部を支持体に固着する取付け構造が採用される。
前記特許文献に記載のように、角速度センサの圧電性基板とこれを搭載する回路基板との接続をリード線により行う場合、接続作業に困難を伴い、細心の注意を払う必要がある。また、従来は、振動板や圧電性基板を貼り合わせてなる振動体のノード部を支持体に固着した構造をとっているが、ノード部に設ける接続部あるいは接続具は所定の幅が必要であって、振動部も含んだ幅を有するため、振動が接続部の剛性によって減衰され、効率が低下するという問題点がある。
本発明は、上記問題点に鑑み、リード線による接続をなるべく少なくまたは皆無にすると共に、振動体の振動を抑圧する力を極力小さくして効率を向上させることができる角速度センサを提供することを目的とする。
(1)本発明の角速度センサは、円盤状の振動板に、励振用電極および検出用電極が形成された圧電性基板を貼り付けて角速度センサ振動体を構成し、
回路基板に形成された複数のパッドに、それぞれ、突起状の導電体を固着し、
該導電体と、前記パッドに対応して前記圧電性基板に設けられた複数の電極との間に、異方性導電ゴムリングを、その1つの面に前記導電体を当接させて食い込ませ、他方の面を前記圧電性基板に固着して介在させ、
前記回路基板に前記振動体を覆うように固定されるカバーと前記振動板との間に、前記振動体のノード部を押さえる押圧手段を設けたことを特徴とする。
回路基板に形成された複数のパッドに、それぞれ、突起状の導電体を固着し、
該導電体と、前記パッドに対応して前記圧電性基板に設けられた複数の電極との間に、異方性導電ゴムリングを、その1つの面に前記導電体を当接させて食い込ませ、他方の面を前記圧電性基板に固着して介在させ、
前記回路基板に前記振動体を覆うように固定されるカバーと前記振動板との間に、前記振動体のノード部を押さえる押圧手段を設けたことを特徴とする。
(2)また、本発明の角速度センサは、前記(1)に記載の角速度センサにおいて、前記導電体が導電性接着剤からなることを特徴とする。
(3)また、本発明の角速度センサは、前記(1)または(2)に記載の角速度センサにおいて、前記押圧手段がゴムリングからなることを特徴とする。
本発明においては、振動体と回路基板との間に電気的接続手段として異方性導電ゴムリングを用い、パッドに突起状の導電体を固着してその導電体を異方性導電ゴムリングに当接させて食い込ませたので、両者の接続が強固に行なわれる。このため、カバーと振動体との間に設ける押圧手段によって異方性導電ゴムリングを圧縮する力が小さくても、異方性導電ゴムリングと導電体との電気的接続が確実に行える。その結果、振動体を拘束する力が小さくてすみ、効率が向上する。また、少なくとも回路基板に対面する圧電性基板の面の電極と回路基板上のパッドとの接続が、前記該異方性導電ゴムリングと導電体とによりなされるので、この部分のリード線による接続は不用となり、接続作業が容易となる。
図1は本発明による角速度センサの一実施の形態を断面図、図2はその分解斜視図である。1は回路基板、2は角速度センサ振動体、3は前記回路基板1に固定され、前記角速度センサ振動体2を覆うカバーである。前記角速度センサ振動体2は、エリンバのような恒弾性金属材料からなる振動板4にPZT等でなる圧電性基板5を接合剤25により貼り合わせたものである。
図2に示すように、前記振動板4は円盤状をなし、その中心にはコリオリ力を発生させるための錘4aが一体に形成される。該振動板4の周囲の凸状に形成された部分4bは自励振動周波数を調整するためのものである。
図2に示すように、前記圧電性基板5も振動版4よりやや小さい円盤状をなし、その振動板4側の面には参照電極12が設けられる。圧電性基板5は板厚方向に分極されたものである。このような振動版4と圧電性基板5との貼り合せ構造並びにこれらを回路基板1に取付けた構造により、小型化、薄型化、価格が低減が容易である。
図3に示すように、圧電性基板5の回路基板1との対向面には、前記参照用電極12との間で励振用電極を構成する弧状の駆動電極13、14と、フィードバック電極15、16とがノード部21に沿って形成される。また、これらの電極13〜16の内側に、4個の扇形のX軸回りの角速度検出用の検出電極17、18およびY軸回りの角速度検出用の検出電極19、20が形成される。
回路基板1には前記圧電性基板5上のノード部に対応して環状に複数個(本例では8個)のパッド10が配置形成される。これらのパッド10は、回路基板1上で励振、検出回路を構成するの半導体素子、コンデンサ、インダクタ、抵抗などの搭載電子部品9に配線パターン11を介して接続されるものである。
前記パッド10上には、突起状の導電体6が固着されている。該導電体6としては金属を用いてもよいが、硬化型樹脂に導電粉を混入した導電性接着剤によって構成することにより、形成が容易となる。すなわちチキソトロピー性を有する樹脂を用いた導電性接着剤をディスペンサによりパッド10上に突起状に形成した硬化させることにより、容易に形成できる。また、この導電体6は、ワイヤボンディング金属の溶着技術を用いて形成することも可能であるが、導電性接着剤による場合の方が材料費等の面で廉価に形成できる。
7は前記導電体6と前記圧電性基板5の前記電極13〜20との間に介在させた異方性導電ゴムリングである。図4に示すように、該異方性導電ゴムリング7は、前記導電体6を片面に当接させて食い込ませ、導電性接着剤や半田等の接合剤30によって電極13〜20(図4では電極20で代表させて示す。)に点状に接合して取付けられる。該異方性導電ゴムリング7は、硬質ゴム内に軸心方向に多数の導電線7aを、その両端面に露出させて埋設したものである。該異方性導電ゴムリング7としては、図4に示したものと異なり、ゴム内に導電性粒子を混合し、導電体6と前記電極13〜20との間で生じる局部的な圧力によってゴムを圧縮して部分的に導通させるものであってもよい。
8はカバー3と角速度センサ振動体2の振動板4のノード部との間に介在させた押さえリングである。本実施の形態においては、前記押さえリング8は、その一方の端面をカバー3に接着し、他方の面を振動板4のノード部に接着して取付けられるが、他の構造でもよく、カバー3と一体のものであってもよい。また、押さえリング8は剛性を有する金属製や樹脂製のものであってもよいが、製作上の寸法誤差を吸収して異方性導電ゴムリング7の圧縮度合のばらつきを小さくし、かつ圧縮力を小さくするためには、弾性を有するゴムリングとすることが好ましい。
なお、該異方性導電ゴムリング7や押さえリング8は、振動の節となるノード部(振動体2の半径の0.6倍の点)を幅広く保持すると負荷となってしまい、センサの機能を十分発揮できなくなる。理想的には点で挟持できればよいが、現実的にはある幅をとった構造をとらざるを得ない。この場合はできるだけ弱い力で挟持した方が特性への影響を軽減できる。したがって、できるだけ幅が狭く、ソフトな弾性体が望まれる。ゴムリングの加工においては、コストの面で成形品を製作するより、ゴム板をリング状にプレス加工する方が安価である。しかし、ゴムの硬度とリングの幅、高さには加工限度があり、例えばゴムの硬度が20度でリング状に加工できるのは、本例のようにリング外径が4mmの場合、高さと幅とも0.5mm程度が安定加工できる限度である。ゴム硬度を上げれば、0.5mm以下には加工できるが、硬くなった分、押さえ力は高くすることができる。
また、前記電極12と回路基板1上の素子との接続をリード線により行なってもよいが、前記押さえリング8およびカバー3とこれらの接合する接合剤に導通材を用いるか、あるいは導通回路を形成することにより、前記接続を行なうようにしてもよく、このような構成とすれば、リード線による前記接続を皆無とすることができる。
図5はその一例であり、前記押さえリング8Aとして前記該異方性導電ゴムリング7と同様の導電線入りの該異方性導電ゴムリングを用い、カバー3に金属を用いるか、あるいは内面の全面または一部に導電パターンを形成し、押さえリング8Aの両端面を振動版4のノード部とカバー3の双方に接着するかまたは一方を接着、他方を当接するなどにより回路基板1上の配線パターンに接続させ、これにより、参照電極12に接続するためのリード線を不用にしたものである。
この角速度センサ振動体2を図1のように組立てた状態において、前記参照電極12と駆動電極13、14との間に電圧をかけると、振動板4は上または下に変形する。これに伴い、フィードバック電極15、16には参照電極12に対して正または負の方向に電位が発生し、前記回路基板1上に搭載電子部品9により構成される発振回路に自励発振を持続させるための信号を帰還させる。
ここで、例えばX軸の回り(図3参照)に振動板4が回転すると、振動板4の中心の錘4aに、角速度と振動速度と質量に比例する大きさで、角速度と振動速度と両ベクトルに直交する方向のコリオリ力が作用し、錘4aを基本振動に同期してY方向に動かす。これにより、電極17、18には逆方向の電圧が発生する。この信号を同期検波し、増幅することにより、前記X軸回りの角速度が検出できる。Y軸の回りの振動板4の回転が生じた場合も同様に検出電極19、20からY軸回りの角速度の検出信号が得られる。
上述のように、本実施の形態においては、振動体2と回路基板1との間に電気的接続手段として異方性導電ゴムリング7を用いると共に、パッド10に突起状の導電体6を固着してその導電体6を異方性導電ゴムリング7に当接させて食い込ませたので、両者の接続が強固に行なわれる。このため、カバー3と振動体2との間に設ける押圧手段によって異方性導電ゴムリング7を圧縮する力が小さくても、異方性導電ゴムリング7と導電体6との電気的接続が確実に行える。その結果、振動体2を抑圧する力が小さくてすみ、効率が向上する。また、少なくとも回路基板1に対向する圧電性基板5の面の電極13〜20とパッド10との接続が前記該異方性導電ゴムリング7と導電体6とによりなされるので、この部分のリード線による接続は不用となり、接続作業が容易となる。
1:回路基板、2:角速度センサ振動体、3:カバー、4:振動板、4a:錘、5:圧電性基板、6:導電体、7:異方性導電ゴムリング、7a:導電線、8:押さえリング、9:電子部品、10:パッド、11:配線パターン、12:参照電極、13、14:駆動電極、15、16:フィードバック電極、17、18、19、20:検出電極、21:ノード部、25、30:接合剤
Claims (3)
- 円盤状の振動板に、励振用電極および検出用電極が形成された圧電性基板を貼り付けて角速度センサ振動体を構成し、
回路基板における前記圧電性基板のノード部に対応して配置形成された複数のパッドに、それぞれ、突起状の導電体を固着し、
該導電体と、前記パッドに対応して前記圧電性基板に設けられた複数の電極との間に、異方性導電ゴムリングを、その1つの面に前記導電体を当接させて食い込ませ、他方の面を前記圧電性基板に固着して介在させ、
前記回路基板に前記振動体を覆うように固定されるカバーと前記振動板との間に、前記振動体のノード部を押さえる押圧手段を設けたことを特徴とする角速度センサ。 - 請求項1に記載の角速度センサにおいて、
前記導電体が導電性接着剤からなることを特徴とする角速度センサ。 - 請求項1または2に記載の角速度センサにおいて、
前記押圧手段がゴムリングからなることを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003313214A JP2005083766A (ja) | 2003-09-04 | 2003-09-04 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005083766A true JP2005083766A (ja) | 2005-03-31 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9970110B2 (en) | 2013-10-21 | 2018-05-15 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
-
2003
- 2003-09-04 JP JP2003313214A patent/JP2005083766A/ja not_active Withdrawn
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