JP2005082888A - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005082888A JP2005082888A JP2003320217A JP2003320217A JP2005082888A JP 2005082888 A JP2005082888 A JP 2005082888A JP 2003320217 A JP2003320217 A JP 2003320217A JP 2003320217 A JP2003320217 A JP 2003320217A JP 2005082888 A JP2005082888 A JP 2005082888A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- plasma
- film
- remote
- forming apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】 複数種類の原料ガスを交互に供給しながら基板上に薄膜を生成する成膜装置は、基板Wが配置される処理チャンバ2を有する。処理チャンバ2には、原料ガスの少なくとも一種類のガスをプラズマ化して処理チャンバに供給するプラズマ発生装置20が接続される。プラズマ発生装置20のうち、原料ガスが接触する部分である遠隔室21及びバタフライバルブ24を、加熱機構23により加熱する。
【選択図】 図1
Description
4 載置台
6 シャワーヘッド
8 ガス供給管
10 ガス供給通路
12 バタフライバルブ
14 ターボ分子ポンプ
16 ドライポンプ
20 プラズマ発生装置
21 遠隔室
22 通電コイル
23 加熱機構
24 バタフライバルブ
25 チラーユニット
40 ノズル
41 拡散板
Claims (5)
- 複数種類の原料ガスを交互に供給しながら基板上に薄膜を生成する成膜装置であって、
前記基板が配置される反応室と、
該反応室に接続され、前記原料ガスの少なくとも一種類のガスをプラズマ化して前記反応室に供給するプラズマ発生装置と
該プラズマ発生装置のうち、前記原料ガスが接触する部分を加熱する加熱機構と
を有することを特徴とする成膜装置。 - 請求項1記載の成膜装置であって、
前記プラズマ発生装置は高周波プラズマ発生装置であって、プラズマ化される原料ガスが流れる中空円筒状の遠隔室と、該遠隔室の外周に巻回された通電コイルとを含み、
前記加熱機構は加熱媒体を供給し回収するチラーユニットを有し、該加熱媒体を前記通電コイルの内部に供給することにより前記通電コイルと共に前記遠隔室を加熱する
ことを特徴とする成膜装置。 - 請求項2記載の成膜装置であって、
前記遠隔室は窒化ケイ素(SiN)により形成され、前記遠隔室の内面は封孔処理が施されていることを特徴とする成膜装置。 - 請求項3記載の成膜装置であって、
前記成膜処理は、前記遠隔室の内面に生成された窒化ケイ素(SiN)の薄膜であることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1記載の成膜装置であって、
前記反応室と前記プラズマ発生装置との間に、コンダクタンスを変更可能なコンダクタンスバルブを設け、且つ該コンダクタンスバルブを加熱する加熱機構を更に設けたことを特徴とする成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320217A JP2005082888A (ja) | 2003-09-11 | 2003-09-11 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003320217A JP2005082888A (ja) | 2003-09-11 | 2003-09-11 | 成膜装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005082888A true JP2005082888A (ja) | 2005-03-31 |
Family
ID=34418924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003320217A Pending JP2005082888A (ja) | 2003-09-11 | 2003-09-11 | 成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005082888A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006294608A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光素子の製造方法 |
JP2007077502A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-29 | Applied Materials Inc | 基板堆積装置において高周波数チョークを使用するための装置および方法 |
JP2007247014A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ulvac Japan Ltd | プラズマcvd装置および成膜方法 |
KR100775593B1 (ko) | 2006-04-05 | 2007-11-09 | 세메스 주식회사 | 플라즈마 소스 에싱장치 |
JP2009521594A (ja) * | 2005-11-18 | 2009-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ原子層堆積を実行する方法及びシステム |
KR20230020633A (ko) * | 2021-08-04 | 2023-02-13 | 주식회사 알에프피티 | Rf 전력을 이용한 다중 리모트 플라즈마 소스 시스템 |
-
2003
- 2003-09-11 JP JP2003320217A patent/JP2005082888A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006294608A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機電界発光素子の製造方法 |
US8383208B2 (en) | 2005-04-06 | 2013-02-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of fabricating organic light emitting device |
JP2007077502A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-29 | Applied Materials Inc | 基板堆積装置において高周波数チョークを使用するための装置および方法 |
KR101339866B1 (ko) * | 2005-09-06 | 2013-12-10 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 증착 장치에서 고주파수 초크를 이용하기 위한 장치및 방법 |
JP2009521594A (ja) * | 2005-11-18 | 2009-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ原子層堆積を実行する方法及びシステム |
KR101351657B1 (ko) | 2005-11-18 | 2014-02-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 박막 형성 방법, 컴퓨터 판독가능 매체 및 박막 기상 증착 시스템 |
JP2007247014A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ulvac Japan Ltd | プラズマcvd装置および成膜方法 |
KR100775593B1 (ko) | 2006-04-05 | 2007-11-09 | 세메스 주식회사 | 플라즈마 소스 에싱장치 |
KR20230020633A (ko) * | 2021-08-04 | 2023-02-13 | 주식회사 알에프피티 | Rf 전력을 이용한 다중 리모트 플라즈마 소스 시스템 |
KR102681442B1 (ko) * | 2021-08-04 | 2024-07-04 | 주식회사 알에프피티 | Rf 전력을 이용한 다중 리모트 플라즈마 소스 시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10017856B1 (en) | Flowable gapfill using solvents | |
US7763115B2 (en) | Vacuum film-forming apparatus | |
JPH036224B2 (ja) | ||
US5993679A (en) | Method of cleaning metallic films built up within thin film deposition apparatus | |
TW200915400A (en) | Film forming method, and film forming apparatus | |
JP2005029821A (ja) | 成膜方法 | |
JP2010177382A (ja) | 成膜方法及びプラズマ成膜装置 | |
KR100966928B1 (ko) | 성막 장치 및 성막 방법 | |
KR100771725B1 (ko) | 구리막의 성막 방법 | |
JP2005082888A (ja) | 成膜装置 | |
WO2006126440A1 (ja) | 成膜方法およびコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体 | |
JP2004346401A (ja) | 成膜方法 | |
WO2022080153A1 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP4515191B2 (ja) | 成膜方法 | |
US20120040085A1 (en) | METHOD FOR FORMING Cu FILM AND STORAGE MEDIUM | |
TW200818272A (en) | Film forming method and film forming apparatus | |
JP2006120713A (ja) | 成膜方法 | |
JP4361747B2 (ja) | 薄膜の形成方法 | |
JP2004158828A (ja) | 成膜方法 | |
JP2008140880A (ja) | 薄膜の形成方法、成膜装置及び記憶媒体 | |
JP2006022354A (ja) | 成膜方法 | |
JPH05144747A (ja) | Cvd装置及びかかる装置を用いた薄膜形成方法 | |
KR100483719B1 (ko) | TaN 박막형성방법 | |
JP2007016299A (ja) | 薄膜作製装置及び薄膜作製方法 | |
JP2014101564A (ja) | コバルト膜の形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20051215 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080729 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080922 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20090929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100209 |