JP2005080569A - マイクロチップ基板の接合方法及びマイクロチップ - Google Patents
マイクロチップ基板の接合方法及びマイクロチップ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】表面に微細流路を有する基板であるマイクロチップ本体の流路が無い部分に有機溶剤をコートした後、該基板とマイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板であるマイクロチップ蓋基板とを重ね合わせて、融着することを特徴とするマイクロチップの接合方法。
【選択図】 図3
Description
しかし、ガラスのエッチングにはフッ酸などの非常に危険な薬品を用いたり、一枚ごとにパターンを焼いたりするため、大量に生産を行うには非常に高コストである。
本田宣昭、化学工学、第66巻 第2号、p71−74(2002)
(1)表面に微細流路を有する基板であるマイクロチップ本体の流路が無い部分に有機溶剤をコートした後、該基板とマイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板であるマイクロチップ蓋基板とを重ね合わせて、融着することを特徴とするマイクロチップの接合方法、
(2)マイクロチップ本体および/又はマイクロチップ蓋基板がプラスチック材料からなる(1)項記載のマイクロチップの接合方法、
(3)プラスチック材料がポリオレフィン、ポリスチレン、ポリカーボネート、環状ポリオレフィン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリサルフォン、及びポリプロピレンから選ばれる少なくとも1つを含む(2)項記載のマイクロチップの接合方法、
(4)有機溶剤がトルエン、キシレン、ベンゼン、アルキルケトン、酢酸エステル、n−ヘキサン、シクロヘキサン、n−ペンタン、n−ヘプタン、及びアセトンから選ばれる少なくとも1つを含む(1),(2)または(3)項記載のマイクロチップの接合方法、
(5)(1)〜(4)項のいずれか記載のマイクロチップの接合方法より得られるマイクロチップ、
である。
図1は表面に少なくとも一つの微細流路を有するマイクロチップ本体の一実施例である。図2は前記マイクロチップ本体の溝を有する面に対し密着する平坦な面を有するマイクロチップ蓋基板の一実施例である。図3は図1、図2の基板、それぞれを接合する方法の一実施例である。即ちマイクロチップ本体の溝を有する面の溝の無い部分に有機溶剤を塗布し表面を溶解させ、該表面とマイクロチップ蓋基板を重ね合わせ基板界面を融着させる事により接合する。
本発明に使用する有機溶剤は、マイクロチップ本体及び/又はマイクロチップ蓋基板の表面を溶解する性質があれば特に限定しないが、トルエン、キシレン、ベンゼン、アルキルケトン、酢酸エステル、n−ヘキサン、シクロヘキサン、n−ペンタン、n−ヘプタン、又はアセトンを用いることが好ましい。
マイクロチップ本体1として飽和環状ポリオレフィン樹脂を射出成形加工によりスライドガラス形状(寸法:76mm×26mm×1mm)に加工した。その際、片面に図1の様に流路2を設けた。マイクロチップ本体と同様にマイクロチップ蓋基板3を射出成形加工した。
次にマイクロチップ本体の流路を有する面の流路の無い部分4にシクロヘキサンをコートし、その上にマイクロチップ蓋基板を重ね合わせ、基板界面を融着させた後、コートしたシクロヘキサンを自然放置する事により揮発させ両基板を接合させた。
同様の製造条件で3枚マイクロチップ作製し流路に蒸留水を流したところ、いずれも問題なく注入口とは異なる排水口より蒸留水が流出した。
実施例と同じマイクロチップ本体及びマイクロチップ蓋基板を用いて接着剤を用いて接合した。実施例同様、3枚マイクロチップ作製し流路に蒸留水を流したところ、1枚は問題なく流れたが、1枚は接着剤により流路が封鎖され排水口より蒸留水が流出しなかった。別の一枚は排水口より流出は観察されたが蒸留水中に接着剤の混入が観察された。
更に接着剤混入防止の為に接着材の量を減らしたところ混入は防止できたが流路以外のところに蒸留水が流出した。
2.微細流路
3.マイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板(マイクロチップ蓋基板)
4.有機溶剤をコートした部分(斜線部)
Claims (5)
- 表面に微細流路を有する基板であるマイクロチップ本体の流路が無い部分に有機溶剤をコートした後、該基板とマイクロチップ本体と密着する平坦な面を有する蓋となる基板であるマイクロチップ蓋基板とを重ね合わせて、融着することを特徴とするマイクロチップの接合方法。
- マイクロチップ本体および/又はマイクロチップ蓋基板がプラスチック材料からなる請求項1記載のマイクロチップの接合方法。
- プラスチック材料がポリオレフィン、ポリスチレン、ポリカーボネート、環状ポリオレフィン、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリサルフォン、及びポリプロピレンから選ばれる少なくとも1つを含む請求項2記載のマイクロチップの接合方法。
- 有機溶剤がトルエン、キシレン、ベンゼン、アルキルケトン、酢酸エステル、n−ヘキサン、シクロヘキサン、n−ペンタン、n−ヘプタン、及びアセトンから選ばれる少なくとも1つを含む請求項1,2または3記載のマイクロチップの接合方法。
- 請求項1〜4いずれか記載のマイクロチップの接合方法より得られるマイクロチップ。
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