JP2005057996A - ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエータを製作するための方法 - Google Patents
ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエータを製作するための方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005057996A JP2005057996A JP2004220746A JP2004220746A JP2005057996A JP 2005057996 A JP2005057996 A JP 2005057996A JP 2004220746 A JP2004220746 A JP 2004220746A JP 2004220746 A JP2004220746 A JP 2004220746A JP 2005057996 A JP2005057996 A JP 2005057996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezo
- partial
- actuator
- piezo actuator
- actuators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/03—Assembling devices that include piezoelectric or electrostrictive parts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/877—Conductive materials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【解決手段】装置の手段では、個別に製作された、所定の数の部分ピエゾアクチュエータ7,8,9が、当該ピエゾアクチュエータ1の作用方向6に、列を成して接続されているようにした。方法の手段では、第1の製作ステップにおいて、部分ピエゾアクチュエータ7,8,9を製作し、第2の製作ステップにおいて、部分ピエゾアクチュエータ7,8,9を、不活性の領域を介して、機械的に互いに結合し、第3の製作ステップにおいて、外側電極4,5を、ピエゾアクチュエータ1におけるそれぞれの内側電極2,3の接触接続箇所へ被着するようにした。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- ピエゾアクチュエータであって、
−ピエゾ層とその間に配置された内側電極(2,3)とから成る多積層構造体が設けられており、
−内側電極(2,3)と外側電極(4,5)との、側方の相互の接触接続部が設けられている形式のものにおいて、
個別に製作された、所定の数の部分ピエゾアクチュエータ(7,8,9)が、当該ピエゾアクチュエータ(1)の作用方向(6)に、列を成して接続されていることを特徴とする、ピエゾアクチュエータ。 - 部分ピエゾアクチュエータ(7,8,9)がそれぞれ不活性の領域(10,11)を介して、機械的に互いに結合されており、部分ピエゾアクチュエータ(7,8,9)の外側電極(4,5)が、それぞれ同じ極性を備えて、互いに電気的に接続されている、請求項1記載のピエゾアクチュエータ。
- 外側電極がメッシュ電極(4,5)である、請求項1または2記載のピエゾアクチュエータ。
- メッシュ電極(4,5)が、アンバから製作されている、請求項3記載のピエゾアクチュエータ。
- 請求項1から4までのいずれか1項記載のピエゾアクチュエータを製作するための方法において、
−第1の製作ステップにおいて、部分ピエゾアクチュエータ(7,8,9)を製作し、
−第2の製作ステップにおいて、部分ピエゾアクチュエータ(7,8,9)を、不活性の領域を介して、機械的に互いに結合し、
−第3の製作ステップにおいて、外側電極(4,5)を、ピエゾアクチュエータ(1)におけるそれぞれの内側電極(2,3)の接触接続箇所へ被着することを特徴とする、ピエゾアクチュエータを製作するための方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10335023A DE10335023A1 (de) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005057996A true JP2005057996A (ja) | 2005-03-03 |
Family
ID=33521504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004220746A Pending JP2005057996A (ja) | 2003-07-31 | 2004-07-28 | ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエータを製作するための方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1503435B1 (ja) |
JP (1) | JP2005057996A (ja) |
DE (2) | DE10335023A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007042224A1 (de) * | 2007-09-05 | 2009-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren |
DE102007046314A1 (de) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102007046315A1 (de) * | 2007-09-27 | 2009-04-02 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102019201650A1 (de) * | 2019-02-08 | 2020-08-13 | Pi Ceramic Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Stapelaktors und piezoelektrischer Stapelaktor, vorzugsweise hergestellt nach dem Verfahren |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4932119A (en) * | 1989-03-28 | 1990-06-12 | Litton Systems, Inc. | Method of making standard electrodisplacive transducers for deformable mirrors |
JPH03270085A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Brother Ind Ltd | 積層圧電アクチュエータ素子 |
JPH0499563U (ja) * | 1991-01-25 | 1992-08-27 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4438364A (en) * | 1981-07-13 | 1984-03-20 | The Garrett Corporation | Piezoelectric actuator |
DE4201937C2 (de) * | 1991-01-25 | 1997-05-22 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrisches laminiertes Stellglied |
-
2003
- 2003-07-31 DE DE10335023A patent/DE10335023A1/de not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-07-02 DE DE502004008305T patent/DE502004008305D1/de active Active
- 2004-07-02 EP EP04015632A patent/EP1503435B1/de not_active Expired - Fee Related
- 2004-07-28 JP JP2004220746A patent/JP2005057996A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4932119A (en) * | 1989-03-28 | 1990-06-12 | Litton Systems, Inc. | Method of making standard electrodisplacive transducers for deformable mirrors |
JPH03270085A (ja) * | 1990-03-19 | 1991-12-02 | Brother Ind Ltd | 積層圧電アクチュエータ素子 |
JPH0499563U (ja) * | 1991-01-25 | 1992-08-27 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1503435A3 (de) | 2006-04-26 |
DE10335023A1 (de) | 2005-02-17 |
DE502004008305D1 (de) | 2008-12-04 |
EP1503435B1 (de) | 2008-10-22 |
EP1503435A2 (de) | 2005-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5528491B2 (ja) | 圧電セラミック多層アクチュエーター | |
JP4546931B2 (ja) | 目標破損個所を備えた圧電部材及び圧電部材を製造する方法並びに圧電部材の使用 | |
KR100692884B1 (ko) | 열팽창에 적응하는 외부 전극을 갖는 압전 액추에이터 | |
JP5431170B2 (ja) | ピエゾ積層体およびピエゾ積層体の製造方法 | |
JP2009503828A (ja) | 移行領域における電極構造が変更されているモノリシック型ピエゾアクチュエータならびに該ピエゾアクチュエータの使用 | |
JP2001516512A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
US20100244636A1 (en) | Piezoelectric component with outer contacting, having gas-phase deposition, method for manufacturing the component and use of the component | |
CN1218411C (zh) | 具有压电层多层结构的压电件及其制造方法 | |
US7276837B2 (en) | Piezoelectric actuator | |
KR20010072694A (ko) | 개선된 열 방출을 갖는 압전식 액츄에이터 | |
JP2005536067A (ja) | ピエゾアクチュエータ | |
JP2005057996A (ja) | ピエゾアクチュエータおよび該ピエゾアクチュエータを製作するための方法 | |
JP2012504858A (ja) | 外部電極を有する圧電アクチュエータ | |
JP4185486B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP2006527486A (ja) | ピエゾアクチュエータ | |
JP4720068B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP2002319716A (ja) | 圧電セラミック多層アクチュエーターおよびその製造方法 | |
US6998764B2 (en) | Multilayer piezoelectric element | |
JP2005294761A (ja) | 積層型圧電素子 | |
JPH04167580A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
JP3849190B2 (ja) | 圧電トランス | |
KR20050032116A (ko) | 압전 액추에이터 | |
JP5147300B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP4529427B2 (ja) | 積層型圧電素子 | |
JP4905625B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100603 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100903 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100913 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20101004 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20101012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101101 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101210 |