JP2005055368A - 基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 複数の検査用接触子を被検査基板に確実な接触圧を与えて弾接させると共に、検査用接触子同士が接触することを抑制することができる基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置を提供する。
【解決手段】 治具６は、接触子６１の先端部位を突出状態で貫通支持するプレート６２と、接触子６１の基端部位をそれぞれ貫通支持するベースプレート６４と、接触子６１の軸方向中間部をそれぞれ貫通支持するスライドプレート６３と、プレート６２とベースプレート６４とを所定の間隔で互いに平行に支持すると共にプレート６２とベースプレート６４との間の中間位置においてプレート６２と平行にスライドプレート６３を支持する支柱６５と、接触子６１の基端部位とそれぞれ接触すると共に基端部位を衝止する電極パターン７８とを備え、支柱６５は、スライドプレート６３を平行な面上で少なくとも一軸方向にスライド可能に支持するようにした。
【選択図】 図４

Description

本発明は、検査用接触子の先端部を検査対象となる基板に接触させて当該基板を検査するための基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置に関する。尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。

複数の配線パターンが形成された基板について、当該配線パターンの導通や、各配線パターン間の短絡不良の有無を検査する基板検査を行うために、配線パターン毎に移動させる必要のない複数の検査用接触子を基板に形成された複数の配線パターンに同時に押し当てて接触させ、それら複数の検査用接触子に選択的に電気信号を与えて基板検査を行うことにより、検査時間を低減できる基板検査装置が知られている。このような基板検査装置において、複数の検査用接触子を予め同じ方向に撓ませた状態で配線パターンに圧接することによって、各検査用接触子を基板に弾接させると共に、各検査用接触子がばらばらの方向に撓んで検査用接触子同士が接触することを防止するようにした基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００２−９０４１０号公報

ところで、上述のように、複数の検査用接触子を予め同じ方向に撓ませた状態で支持することにより、各検査用接触子を基板に弾接させるようにした場合には、各検査用接触子の先端部の位置が基板への圧接方向に不揃いになっていると、各検査用接触子の基板への接触圧が不揃いになる。そのため、検査用接触子の全てについて、基板に形成された配線パターンとの間で十分な接触圧を得ることができず、十分な接触圧が得られない検査用接触子と配線パターンとの間の接触抵抗が増大する結果、基板検査を正確に行うことが困難になるという不都合があった。

本発明は、このような問題に鑑みて為された発明であり、複数の検査用接触子を被検査基板に確実な接触圧を与えて弾接させると共に、検査用接触子同士が接触することを抑制することができる基板検査用治具及びこれを用いた基板検査装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、被検査基板が圧接されることにより、弾性を有する複数の長尺の検査用接触子を被検査基板に同時に接触させる基板検査用治具であって、前記複数の検査用接触子における一方端部を突出状態で貫通支持する第１のプレートと、前記複数の検査用接触子における他方端部をそれぞれ貫通支持する第２のプレートと、前記複数の検査用接触子の軸方向中間部をそれぞれ貫通支持する中間プレートと、前記第１、第２のプレートを所定の間隔で互いに平行に支持すると共に、前記第１のプレートと第２のプレートとの間の中間位置において前記第１、第２のプレートと平行に前記中間プレートを支持する支持部材と、前記複数の検査用接触子における他方端部とそれぞれ接触すると共に前記他方端部を衝止する複数の電極部とを備え、前記支持部材は、前記中間プレートを、その面方向で少なくとも一軸方向にスライド可能に支持するものであることを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、被検査基板が第１のプレートに圧接されたとき、第１のプレートから突出した検査用接触子の一方端部が第１のプレート方向に押し込まれ、検査用接触子の他方端部が電極部により衝止される結果、検査用接触子に撓みが生じる。一方、検査用接触子は、軸方向中間部がそれぞれ中間プレートにより貫通支持されており、中間プレートは支持部材によって、第１のプレートと平行な面上で少なくとも一軸方向にスライド可能に支持されているので、検査用接触子の撓みに応じて中間プレートが前記一軸方向にスライドされる。そして、中間プレートが前記一軸方向にスライドされる結果、軸方向中間部がそれぞれ中間プレートにより貫通支持されている複数の検査用接触子の撓みの方向が中間プレートのスライド方向にされる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板検査用治具において、前記支持部材は、前記第１、第２のプレート及び、前記中間プレートを所定の間隔で支持すると共に、前記中間プレートを少なくとも前記一軸方向にスライド可能にする間隔支持部材と、第１、第２のプレートの少なくとも一方または間隔支持部材に支持された柱状のスライド規制部材とからなり、前記中間プレートには、前記一軸方向に長尺の開口部が形成され、前記スライド規制部材は、前記開口部に挿通されていることを特徴としている。請求項２に記載の発明によれば、間隔支持部材によって、第１、第２のプレート及び、中間プレートが所定の間隔で支持されると共に、中間プレートが少なくとも前記一軸方向にスライド可能にされる。また、中間プレートに設けられた前記一軸方向に長尺の開口部に、柱状の部材であるスライド規制部材が挿通されることにより、中間プレートが前記一軸方向にスライド可能にされる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の基板検査用治具において、前記第２のプレートにおける前記第１のプレートと対向する側とは反対側の面と対向して配置された第１の信号接続用の基板をさらに備え、前記第１の信号接続用の基板は、前記複数の電極部として形成された複数の第１の電極と、前記複数の第１の電極をそれぞれ外部の装置に接続するための接続部とを備えることを特徴としている。請求項３に記載の発明によれば、第１の信号接続用の基板に形成された複数の第１の電極によって、複数の検査用接触子の他方端部がそれぞれ衝止される。また、第１の信号接続用の基板によって、接続部を介して第１の電極と外部の装置とが接続可能にされる。

請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の基板検査用治具において、前記第２のプレートにおける前記第１のプレートと対向する側とは反対側の面と対向して配置された保護用のプレートと、前記保護用のプレートを介して前記第２のプレートと対向して配置された第２の信号接続用の基板をさらに備え、前記保護用のプレートは、前記第２のプレートと対向する側の表面に、前記複数の電極部として形成された複数の第２の電極を備え、前記第２の電極は、前記保護用のプレートにおける前記第２のプレートと対向する側の表面と、前記保護用のプレートにおける前記第２の信号接続用の基板と対向する側の表面との間で信号を導くものであり、前記第２の信号接続用の基板は、前記複数の第２の電極にそれぞれ接触する複数の第３の電極と、前記複数の第３の電極をそれぞれ外部の装置に接続するための接続部とを備えることを特徴としている。請求項４に記載の発明によれば、保護用のプレートに形成された複数の第２の電極によって、複数の検査用接触子の他方端部がそれぞれ衝止される。また、第２の電極を介して、検査用接触子と、第２の信号接続用の基板が備える第３の電極との間で信号が導かれる。そして、第２の信号接続用の基板によって、接続部を介して第３の電極と外部の装置とが接続可能にされる。

請求項５に記載の発明に係る基板検査装置は、請求項１又は２に記載の基板検査用治具と、前記複数の検査用接触子における他方端部と電気的に接続されて前記複数の検査用接触子に選択的に電気信号を与えて基板検査を行う基板検査部とを備えたことを特徴としている。請求項５に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の基板検査用治具における複数の検査用接触子の他方端部と基板検査部とが電気的に接続される。そして、基板検査部によって、複数の検査用接触子に選択的に電気信号が与えられて基板検査が行われる。

請求項６に記載の発明に係る基板検査装置は、請求項３又は４に記載の基板検査用治具と、前記接続部を介して前記複数の検査用接触子における他方端部と電気的に接続されて前記複数の検査用接触子に選択的に電気信号を与えて基板検査を行う基板検査部とを備えたことを特徴としている。請求項６に記載の発明によれば、請求項３又は４に記載の基板検査用治具において接続部を介して複数の検査用接触子の他方端部と基板検査部とが電気的に接続される。そして、基板検査部によって、複数の検査用接触子に選択的に電気信号が与えられて基板検査が行われる。

このような構成の基板検査装置は、被検査基板が第１のプレートに圧接されると、第１のプレートから突出した検査用接触子の一方端部が第１のプレート方向に押し込まれることにより複数の検査用接触子の撓みの方向が中間プレートのスライド方向にされるので、各検査用接触子の先端部の位置が基板への圧接方向に不揃いになっている場合であっても、複数の検査用接触子を被検査基板に確実な接触圧を与えて弾接させると共に、検査用接触子同士が接触することを抑制することができる。

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る基板検査装置１の一実施形態を示す断面図である。図１に示す基板検査装置１は、検査対象となる基板１００を保持するためのワークホルダ２、検査ユニット３Ｕ，３Ｄ、位置決め機構４、及び検査制御部５を備える。また、検査ユニット３Ｕ，３Ｄはそれぞれ、基板１００に同時に接触させて基板を検査するための複数の接触子６１と、複数の接触子６１を支持する治具６とを備える。

また、検査ユニット３Ｕ，３Ｄは、それぞれ治具６を昇降して基板１００に圧接する昇降機構３１Ｕ，３１Ｄを備える。そして、検査ユニット３Ｕは、基板１００の上面側の配線パターンに接触子６１を圧接して基板検査を行うためのもので、ワークホルダ２の上部に配設されており、昇降機構３１Ｕによって治具６を下降させることにより、基板１００の上面側に接触子６１を圧接する。また、検査ユニット３Ｄは、基板１００の下面側の配線パターンに接触子６１を圧接して基板検査を行うためのもので、ワークホルダ２の下部に配設されており、昇降機構３１Ｄによって治具６を上昇させることにより、基板１００の下面側に接触子６１を圧接する。

位置決め機構４は、例えばＸ−Ｙテーブル等を用いて構成され、ワークホルダ２と検査ユニット３Ｕ，３Ｄとの相対位置を移動させて基板１００を所定の検査位置に位置決めする。検査制御部５は、例えばマイコン等を用いて構成され、検査ユニット３Ｕ，３Ｄ、位置決め機構４等の動作を制御すると共に、各接触子６１と、図略の配線ケーブル等により電気的に接続されている。そして、検査制御部５は、複数の接触子６１に選択的に所定の電気信号を与えたときに流れる電流を検出することにより、基板検査、例えば、基板１００に形成された配線パターンの導通検査や、配線パターン間の短絡の検査を行う。

図２は、図１に示す治具６の詳細を示す図である。図２において、治具６は、検査ユニット３Ｄに取り付けられたときの方向で示めされており、治具６の上部に接触子６１の先端部が突出している。図２に示す治具６は、プレート６２、スライドプレート６３、ベースプレート６４、支柱６５、ガイド棒６６、インターポーザプレート６７、ベース基板６８、治具ベース６９、及びガイドプレート７０を備える。

プレート６２、スライドプレート６３、ベースプレート６４、及び治具ベース６９は、例えば樹脂材料等の絶縁材料からなる板状の部材である。プレート６２には、基板１００に形成されている配線パターンの検査点に対応する位置に、それぞれ貫通開口７１が設けられ、貫通開口７１に挿通された接触子６１を突出状態で貫通支持する。ガイドプレート７０には、略円形状の貫通開口７２が形成されており、貫通開口７２を挿通された接触子６１を、緩やかに拘束してスライドプレート６３へガイドするようにされている。スライドプレート６３には、略円形状の貫通開口７３と長孔形状の貫通開口７４，７５が形成されており、貫通開口７３に挿通された接触子６１を貫通支持すると共に、貫通開口７４にガイド棒６６が挿通され、貫通開口７５に支柱６５が挿通される。スライドプレート６３の詳細については後述する。

ベースプレート６４には、インターポーザプレート６７に形成されている後述の複数の電極７７に対応する位置に、それぞれ貫通開口７６が設けられ、貫通開口７６に挿通された接触子６１を貫通支持する。支柱６５は、円柱状の支柱であり、支柱６５の両端は、プレート６２とベースプレート６４とに固定され、プレート６２とベースプレート６４とを所定の間隔で互いに平行に支持する。また、支柱６５は、プレート６２とベースプレート６４との間の中間位置においてプレート６２等と平行に、スライドプレート６３を支持する。さらに、支柱６５は、プレート６２とベースプレート６４との間においてプレート６２寄りの位置で、プレート６２等と平行にガイドプレート７０を支持する。支柱６５の詳細については後述する。

ガイド棒６６は、円柱状のガイドピンであり、ガイド棒６６の両端は、ガイドプレート７０とベースプレート６４とに固定されると共に、スライドプレート６３の貫通開口７４に挿通されている。なお、ガイド棒６６は、ガイドプレート７０又はベースプレート６４のいずれか一方に固定される構成であってもよく、プレート６２に固定される構成であってもよく、あるいは支柱６５と接続されることによって固定される構成であってもよい。

治具ベース６９は、治具６の土台となる厚板状の部材である。治具ベース６９の上には、ベース基板６８と、インターポーザプレート６７と、ベースプレート６４とが治具ベース６９側からこの順番で積み重ねられている。インターポーザプレート６７は、例えば、リジッド基板やフレキシブル基板等のプリント配線基板、あるいは繊維質で構成されたシート等からなり、プレート６４に設けられた貫通開口７６とそれぞれ対応する位置に、インターポーザプレート６７を貫通するように設けられた複数の電極７７を備える。

なお、電極７７は、インターポーザプレート６７を貫通する例に限られず、例えばインターポーザプレート６７の表裏に設けられた二つの電極パターンが配線パターンによって接続された構成としてもよい。また、インターポーザプレート６７を異方導電性ゴムによって構成し、ベース基板６８の表面に形成された後述の電極パターン７８とインターポーザプレート６７とが接触することにより、インターポーザプレート６７において電極パターン７８との間で導通する部分を電極７７として用いてもよい。

ベース基板６８は、例えばリジッド基板やフレキシブル基板等のプリント配線基板からなり、ベース基板６８におけるインターポーザプレート６７と接する側の表面には、インターポーザプレート６７が備える電極７７とそれぞれ対応する位置に複数の電極パターン７８が設けられ、ベース基板６８とインターポーザプレート６７とが積層されることにより、相対応する電極７７と電極パターン７８とが接触している。

また、ベース基板６８には、各電極パターン７８と図略の配線パターンによってそれぞれ接続された複数の接続端子７９が設けられている。そして、各接続端子７９と検査制御部５との間は配線ケーブル８０によって、接続されている。このように、ベース基板６８を用いて電極７７と配線ケーブル８０とが接続されるので、電極７７からの信号を例えばリード線等を用いて引き出す場合よりも、配線作業の工数を低減させることができる。

接触子６１は、例えばＳＵＳ（ＪＩＳ Ｇ４３０３）等のステンレス鋼からなる弾性を有する長尺のピアノ線等を用いたワイヤープローブである。そして、接触子６１は、貫通開口７１，７２，７３，７６に挿通され、接触子６１の基端部位は電極７７に突き当てられて衝止される。また、接触子６１の先端部位は、プレート６２の表面から突出している。

図３は、スライドプレート６３の詳細を説明する図である。図３に示すスライドプレート６３は、長方形にされており、四隅に貫通開口７５が形成されている。貫通開口７５には、支柱６５が挿通されている。支柱６５は、貫通開口７５の長孔短手方向の幅よりも直径が大きい円柱状の支柱である。そして、同じ長さの四本の支柱６５が、各支柱６５の両端部でプレート６２とベースプレート６４とに固定されている。これにより、プレート６２とベースプレート６４とは、所定の間隔で互いに平行に支持される。

また、支柱６５の中間部位は、貫通開口７５の長孔短手方向の幅よりも直径が小さい円柱状にされており、この直径が小さくされた部分が、スライドプレート６３の四隅の貫通開口７５に挿通されている。これにより、スライドプレート６３は、支柱６５の直径が大きい部分で係止され、プレート６２とベースプレート６４との間の中間位置においてプレート６２等と平行に支持される。また、貫通開口７５は長孔形状にされているので、スライドプレート６３は、貫通開口７５の長手方向にスライド可能にされている。

スライドプレート６３には、スライドプレート６３の両方の長辺近傍に、各四つずつ、合計八つの貫通開口７４が形成されている。そして、各貫通開口７４にガイド棒６６が挿通されている。また、貫通開口７４は、長手方向が貫通開口７５と同じ方向にされた長孔形状にされており、スライドプレート６３は、貫通開口７４の長手方向にスライド可能にされている。また、スライドプレート６３には、略格子状に配列されて複数の貫通開口７３が形成されている。そして、スライドプレート６３は、複数の貫通開口７３にそれぞれ挿通された複数の接触子６１の軸方向中間部を、一体に貫通支持している。

次に、上述のように構成された基板検査装置１の動作について、図１を参照しつつ説明する。まず、ワークホルダ２によって、検査対象となる基板１００が保持される。そして、検査ユニット３Ｄによって昇降機構３１Ｄが上昇され、複数の接触子６１の先端部位が、それぞれ基板１００の下面側に形成された配線パターンの各検査点に接触される。さらに、図略の押圧板によって、基板１００とプレート６２とが圧接され、基板１００の下面側に形成された配線パターンの各検査点と、各接触子６１の先端部位とが圧接される。

図４は、基板１００とプレート６２とが圧接された状態を示す図である。まず、図２に示すように、基板１００とプレート６２とが圧接されていない状態では、接触子６１は撓んでおらず、接触子６１の先端部位がプレート６２の表面から突出した状態になっている。そして、図４に示すように、基板１００とプレート６２とが圧接されると、プレート６２の表面から突出していた接触子６１の先端部位が、基板１００によって押し込まれる。一方、接触子６１の基端部位は、電極７７によって衝止されているので、接触子６１には、基板１００によって押し込まれた長さ分だけ撓みが生じる。そして、接触子６１に撓みが生じると、各接触子６１の軸方向中間部がスライドプレート６３の貫通開口７３によって一体に貫通支持されているため、接触子６１の撓みに応じてスライドプレート６３がスライドされると共に、各接触子６１の撓み方向が同じ方向に揃えられる。

このとき、プレート６２の表面から突出していた各接触子６１の先端部位が、基板１００によって押し込まれるので、各接触子６１の先端部の位置が基板１００への圧接方向に不揃いになっている場合であっても、各接触子６１と基板１００との間に確実な接触圧を与えることができる。

また、貫通開口７４，７５は長孔形状にされているので、スライドプレート６３は、貫通開口７４，７５の長手方向にのみスライド可能になる結果、接触子６１の撓みに応じてスライドプレート６３が貫通開口７４，７５の長手方向にスライドすることとなり、接触子６１の撓み方向が、貫通開口７４，７５の長手方向にされる。そして、各接触子６１の撓み方向が同じ方向に揃えられるので、各接触子６１がばらばらの方向に撓んだ場合のように、隣接する接触子６１同士が接触してしまうことが低減される。また、接触子６１は、弾性を有する長尺のピアノ線等を用いて構成されているので、接触子６１が撓むことにより、基板１００の配線パターンと接触子６１とが弾接状態に保たれ、基板１００の各配線パターンと各接触子６１とを低抵抗で接触させることができる。

なお、ガイド棒６６と貫通開口７４とを用いず支柱６５と貫通開口７６とを用いて、スライドプレート６３を貫通開口７６の長手方向にスライド可能にする構成としてもよいが、ガイド棒６６と貫通開口７４とを複数箇所に設けることにより、接触子６１が撓む力を、さらに効率よくスライドプレート６３をスライドさせる力に変換することができる。

また、インターポーザプレート６７を用いず、基板１００によって押し込まれた接触子６１の基端部位を、ベース基板６８に形成された電極パターン７８によって衝止する構成としてもよいが、インターポーザプレート６７を用いて接触子６１が押し込まれたことによる反力を電極７７によって受け止めると共に、接触子６１の基端部位と電極パターン７８との間の電気的接続を電極７７を介して行うことによって、接触子６１が押し込まれたことによる反力が直接ベース基板６８に加えられることが防止され、ベース基板６８が接触子６１の基端部位によって傷つけられることが低減される。

次に、検査ユニット３Ｕによって、検査ユニット３Ｄの場合と同様にして、基板１００の上面側に形成された配線パターンの各検査点と、各接触子６１の先端部位とが圧接される。そして、検査制御部５から配線ケーブル８０、接続端子７９、電極パターン７８、電極７７、及び接触子６１を介して基板１００の検査対象となる配線パターンの各検査点間に所定の電気信号が与えられる。そして、検査制御部５によって、この電気信号により検査対象の各検査点間に流れる電流が検出されると共に、検出された電流値に基づいて基板検査が行われる。

なお、治具６は、ガイドプレート７０を一つ備える構成を示したが、被検査基板に形成された配線パターンの各検査点の間隔や、接触子６１の直径、弾性、長さ、等に応じて適宜ガイドプレート７０の数を増減してもよい。また、スライドプレート６３を複数備えてもよい。

本発明の一実施形態に係る基板検査装置の構成を説明するための断面図である。 図１に示す治具の詳細を示す図である。 図１に示すスライドプレートの平面図である。 図１に示す治具に被検査基板が圧接された状態を示す図である。

符号の説明

１ 基板検査装置
５ 検査制御部（基板検査部）
６ 治具（基板検査用治具）
３１Ｕ，３１Ｄ 昇降機構
６１ 接触子（検査用接触子）
６２ プレート（第１のプレート）
６３ スライドプレート（中間プレート）
６４ ベースプレート（第２のプレート）
６５ 支柱（間隔支持部材）
６６ ガイド棒（スライド規制部材）
６７ インターポーザプレート（保護用のプレート）
６８ ベース基板（信号接続用の基板）
６９ 治具ベース
７０ ガイドプレート
７１，７２，７３，７５，７６ 貫通開口
７４ 貫通開口（開口部）
７７ 電極（電極部）
７８ 電極パターン（第３の電極）
７９ 接続端子（接続部）
１００ 基板（被検査基板）

Claims (6)

1. 被検査基板が圧接されることにより、弾性を有する複数の長尺の検査用接触子を被検査基板に同時に接触させる基板検査用治具であって、前記複数の検査用接触子における一方端部を突出状態で貫通支持する第１のプレートと、前記複数の検査用接触子における他方端部をそれぞれ貫通支持する第２のプレートと、前記複数の検査用接触子の軸方向中間部をそれぞれ貫通支持する中間プレートと、前記第１、第２のプレートを所定の間隔で互いに平行に支持すると共に、前記第１のプレートと第２のプレートとの間の中間位置において前記第１、第２のプレートと平行に前記中間プレートを支持する支持部材と、前記複数の検査用接触子における他方端部とそれぞれ接触すると共に前記他方端部を衝止する複数の電極部とを備え、前記支持部材は、前記中間プレートを、その面方向で少なくとも一軸方向にスライド可能に支持するものであることを特徴とする基板検査用治具。
2. 前記支持部材は、前記第１、第２のプレート及び、前記中間プレートを所定の間隔で支持すると共に、前記中間プレートを少なくとも前記一軸方向にスライド可能にする間隔支持部材と、第１、第２のプレートの少なくとも一方または間隔支持部材に支持された柱状のスライド規制部材とからなり、前記中間プレートには、前記一軸方向に長尺の開口部が形成され、前記スライド規制部材は、前記開口部に挿通されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具。
3. 前記第２のプレートにおける前記第１のプレートと対向する側とは反対側の面と対向して配置された第１の信号接続用の基板をさらに備え、前記第１の信号接続用の基板は、前記複数の電極部として形成された複数の第１の電極と、前記複数の第１の電極をそれぞれ外部の装置に接続するための接続部とを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査用治具。
4. 前記第２のプレートにおける前記第１のプレートと対向する側とは反対側の面と対向して配置された保護用のプレートと、前記保護用のプレートを介して前記第２のプレートと対向して配置された第２の信号接続用の基板をさらに備え、前記保護用のプレートは、前記第２のプレートと対向する側の表面に、前記複数の電極部として形成された複数の第２の電極を備え、前記第２の電極は、前記保護用のプレートにおける前記第２のプレートと対向する側の表面と、前記保護用のプレートにおける前記第２の信号接続用の基板と対向する側の表面との間で信号を導くものであり、前記第２の信号接続用の基板は、前記複数の第２の電極にそれぞれ接触する複数の第３の電極と、前記複数の第３の電極をそれぞれ外部の装置に接続するための接続部とを備えることを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査用治具。
5. 請求項１又は２に記載の基板検査用治具と、前記複数の検査用接触子における他方端部と電気的に接続されて前記複数の検査用接触子に選択的に電気信号を与えて基板検査を行う基板検査部とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
6. 請求項３又は４に記載の基板検査用治具と、前記接続部を介して前記複数の検査用接触子における他方端部と電気的に接続されて前記複数の検査用接触子に選択的に電気信号を与えて基板検査を行う基板検査部とを備えたことを特徴とする基板検査装置。
   

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