JP2005043777A - 板状基板処理用ラック - Google Patents

Abstract

【課題】 板状基板にレジストを塗布する前の加熱処理及びＩＰＡベーパ槽を通す洗浄工程で、前記マスクブランクスをラックに並べて縦置きするラックに関し、板状基板に傷や汚れをつけず、且つ接触部に不要物を残さず処理できる形状及び材質の板状基板処理用ラックを提供する。
【解決手段】 複数のポリエーテルエーテルケトン樹脂よりなる棒状部材を有し、該棒状部材に形成された傾斜面を少なくとも有する溝部により板状基板を支持する板状基板処理用ラックであって、前記傾斜面の傾斜角度が、板状基板と接する一方が４５度であり、他方が６０度〜７５度で形成された前記溝部を有する板状基板処理用ラック。
【選択図】図１

Description

本発明は、傷や異物等の発生を抑えることが求められる板状基板処理用ラックに関する。

当社実施例では、板状基板、例えばフォトマスク用ブランクス（以下マスクブランクスと記す）の製造工程において、レジストを塗布する前の加熱処理及びＩＰＡベーパ槽を通す洗浄工程で、前記マスクブランクスをラックに並べて縦置きする。該ラックは、Ｖ字溝を形成した金属板にフッ素樹脂を表面塗布したものを使用している。なお、Ｖ字の溝部の傾斜角度は、水平面より６０度に傾斜させ形成されている。（図６参照、及び特許文献１参照）マスクブランクスの板状基板（１０）には、基板の表裏面と基板端面の角部に面取り加工が施され、コーナーカット（１１）が形成されている。

図６は、従来の板状基板処理用ラックを説明する図面で、（ａ）は斜視図で、（ｂ）は側断面図である。

図６（ａ）に示すように、従来の板状基板処理用ラック（１）は、２枚の溝部を有する金属板を備え、板状基板（１０）は、前記２枚の金属板の溝部（３）に縦置きにして並べて載置する。

この場合では、ラック（１）上に縦置きしたマスクブランクスが、金属板の側板のＶ字の溝部（３）に直接に接触するため、レジスト膜面端部が削られる、削れた異物が再付着するという問題が発生する。図６（ｂ）では、マスクブランクスの板状基板（１０）が溝部（３）に載置した状態であり、左右どちらかの傾斜面（４）に接触し支えられた状態で載置され、不安定な場合では、もう一方の傾斜面（４）と接触を繰り返すことがある。

そこで金属板の使用をやめ、樹脂板を使用したものに変更する検討を行った。しかし、樹脂板で同じ形状のラックではマスクブランクスの板状基板が不安定であり、倒れ易いため、溝部の形状変更を行う必要がある。

そこで、図７に示す通称ソロバン玉と呼ばれる、円柱棒状樹脂（３０）にＶ字の溝部（３）を多数形成したものを検討した。図８（ａ）〜（ｃ）は、従来の棒状部材の一例であり、溝部とマスクブランクスの板状基板の載置状態を説明する部分拡大の側断面図である。

図８に示すように、図８（ａ）の場合では、溝底部（５）の幅が広いと、支持点が曖昧になり、傾き易くなる。図８（ｂ）の場合では、溝底部（５）の幅が、マスクブランクスの板状基板の厚さと同程度であり、支持点が固定されるが、（ａ）及び（ｂ）共に溝底部（５）にマスクブランクスの基板端部が接触するため、該溝底部に薬液の貯まりが残る問題がある。更に前記マスクブランクスの基板端部近傍では、加熱ムラが発生し、品質不良となる問題がある。（ｃ）の場合は、薬液の貯まりは解決するが、マスクブランクスの板状基板（１０）が不安定となる問題が発生する。

一方、特許文献２のように、膜面でない側の溝の角度を垂直にすると、マスクブランクスと前記溝部の傾斜面とが広い面積で接触するので汚れや加熱ムラが生じて不都合である。さらに、洗浄液が底部にたまって残ることもある。

この問題の解決策として、一方の傾斜辺のみをもつ薄板を２枚１組で用いて当接させる工夫もなされている。（特許文献３参照）
特開昭５０−３７３５５号公報 特開平５−３２４４号公報 実開平７−７７８９号公報

本発明は、板状基板にレジストを塗布する前の加熱処理及びＩＰＡベーパ槽を通す洗浄工程で、前記マスクブランクスの板状基板（以下板状基板と記す）をラックに並べて縦置きするラックに関し、板状基板に傷や汚れをつけず、且つ接触部に不要物を残さず処理できる形状及び材質の板状基板処理用ラックを提供することを課題とする。

本発明の請求項１に係る発明は、板状基板を載置する板状基板処理用ラックにおいて、複数の棒状部材を有し、該棒状部材に形成された傾斜面を少なくとも有する溝部で板状基板を支持することを特徴とする板状基板処理用ラックである。

次に、本発明の請求項２に係る発明は、前記板状基板が、複数の前記溝部の傾斜面で支持されることを特徴とする請求項１記載の板状基板処理用ラックである。

本発明の請求項３に係る発明は、前記傾斜面の傾斜角度が、板状基板の端面と、表面、又は裏面との角部に形成したコーナーカットの角度と同じ傾斜角で形成されていることを特徴とする請求項２記載の板状基板処理用ラックである。

本発明の請求項４に係る発明は、前記傾斜面の傾斜角度が、板状基板と接する一方が４５度であり、他方が６０度〜７５度で形成されていることを特徴とする請求項２記載の板状基板処理用ラックである。

本発明の請求項５に係る発明は、前記棒状部の部材が、ポリエーテルエーテルケトン樹脂よりなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の板状基板処理用ラックである。

レジストを塗布する前の加熱処理及びＩＰＡベーパ槽を通す洗浄工程で、本発明の板状基板処理用ラックを用いることで、板状基板の膜面端部が削れる、削れた異物が再付着する問題を解消できる。本発明の溝の形状では、傾斜角度及び溝底部の幅を最適化したことにより、溝部に薬液が貯まらずに、加熱ムラも発生しない効果もあり、板状基板が溝部に素速く載置され、より安定するようになった。

本発明の板状基板処理用ラックの実施の形態を図面を用いて詳細に説明する。

図１は、本発明の板状基板処理用ラックを説明する図面であり、（ａ）は、斜視図で、（ｂ）側面図である。図１（ａ）では、左右の側板（２）の所定の位置に、棒状部材１（２１）、棒状部材２（２２）、棒状部材３（２３）の３本の棒状部材（２０）を介して組み立てた板状基板処理用ラック（１０）を示している。前記３本の棒状部材（２１、２２
、２３）は、同一の形状で、同じ位置に溝部が形成された部材である。

図１（ｂ）では、基本となる一実施例の設計図である。前記３本の棒状部材の位置関係を示している。

図２は、本発明の棒状部材を説明する側面図であり、（ａ）は全体図で、（ｂ）は、溝部の部分拡大図である。

図２（ａ）に示すように、各々の棒状部材（２０）の配置の高さは、上から、棒状部材１（２１）、棒状部材３（２３）、棒状部材２（２２）である。板状基板（１０）は、前記棒状部材（２１，２２，２３）の同位置の溝部の中心位置に載置する。前記溝部の形状は同じものである。なお、図面の例では、各溝部に板状基板が７枚載置できる。

図２（ｂ）にしめすように、溝部（３）は、左右に所定の傾斜角度を持つ傾斜面（４）が形成されている。溝部（３）の中心では、所定の幅を持つ溝底部（５）がある。すなわち、本発明の棒状部材（２０）では、外径寸法と、左右の傾斜面（４）の傾斜角度と、溝底部（５）の幅寸法とを最適化して、形状を管理する。

図３は、請求項３に記載の板状基板処理用ラックにおける溝部の形状と板状基板との載置した状態を説明する概念図であり、側断面図である。

棒状部材（２０）では、板状基板（１０）の端面の左右に形成したコーナーカット（１１）と同じ傾斜角度を持つ傾斜面（４）で形成されている。板状基板（１０）が、溝部（３）の左右の傾斜面（４）に沿って、溝部の中心に位置を修正しながら、左右のコーナーカット（１１）が左右の傾斜面（４）と完全に接する位置まで移動した後、該溝部に載置され、安定する。この場合、溝底部（５）の幅を狭くしているため、該溝底部と板状基板の端面の間に間隙ができる。該間隙により薬液も貯まらず、汚れや加熱ムラが発生しない。板状基板は安定した状態で載置され、運搬等の作業性において、従来の金属ラックと同じ感覚で扱えるようにした。ラックの占有面積等もほぼ同等である。また、ラック用台車やハンドラー等の設備もそのまま利用できる。

図４は、請求項４に記載の板状基板処理用ラックにおける溝部の形状と板状基板との載置した状態を説明する概念図であり、側断面図である。

溝部の左側の傾斜面（４）を４５度の傾斜角度とし、板状基板（１０）のレジスト膜面を左側に揃えて載置する。すなわち、前記レジスト膜面が溝部（３）の傾斜面（４）と接触しないようにした。さらに右側の傾斜面（４）を急勾配にして、例えば７０度の場合、板状基板（１０）が、溝部（３）の右の傾斜面（４）に沿って、急激に溝部の中心に位置を修正するため、左右の位置移動が安定し、時間短縮もできる。コーナーカット（１１）が右の傾斜面と点接触となり、比較的に接触面積が縮小される効果があり、素速く移動した後、該溝部（３）に載置され、安定する。

本発明の棒状部材の材質としては、まず、耐熱性があることと、耐薬品性があること、材料からのアウトガスがないこと、材料からの発塵がないこと、強度があること等で種々選択評価した。その結果は下記の表１記す。

その結果、表１に示す４種類の樹脂材料のうち、ポリエーテルエーテルケトン樹脂が総合評価として最良の結果を得た。なお、前記ポリエーテルエーテルケトン樹脂は、表１上では、ピーク（ＰＥＥＫ４５０ＦＣ）と記載した。

更に、各々の樹脂材料を用いて本発明の棒状部材を作製し、実用評価及び作業性テストを行った。

前記実用評価は、社内基準による評価方法により実施した。まず前記４種類の樹脂材料板にＶカットの溝部を切り出した。溝部の傾斜面の角度は両方とも４５度とした。レジスト膜を形成した板状基板を社内作業手順にしたがって載置した。載置の作業は、３０回繰り返し行った。判定は、金属顕微鏡により目視判定し、その判定基準は社内規格を適用した。評価項目は下記３項目である。部材の強度テストは、４種類の樹脂材料板（板厚１．５ｍｍの薄板）に幅１．５ｍｍのＶカットの溝部を切り出した後、その板に所定の荷重をかけることにより破損状態を観察した。次は、板状基板の表面傷の発生を観察評価し、同時に異物付着も評価した。最後に、溝部の表面傷の発生を観察評価した。その結果は下記の表２に記す。

以上の結果、本発明の棒状部材は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を用いて作製することとした。

前記作業性テストでは、本発明の板状基板処理用ラック上に板状基板を載置する動作における作業性テストを行った。（図５参照）
まず、載置する作業手順は、３種類の手順を採用した。図５は、作業性テストの板状基板を載置する手順を説明する概念図である。図５（ａ）では、支持点２及び３（２２、２３）に当接させつつ平行にラック奥方向に押し込む方法である。図５（ｂ）では、支持点１（２１）に当接させつつ支持点２及び３（２２、２３）に向けてラック台（６）上へ押し込む方法である。図５（ｃ）では、支持点３（２３）を中心にして、支持点１及び２（２１、２２）の方向に回転してラック台（６）上へ落とし込む載置方法である。

前記の作業性テストに使用する本発明のラックは、前記図３及び４の２種類を用いて行った。用いる棒状部材は、ポリエーテルエーテルケトン樹脂であり、載置する板状基板は前記実用評価と同様とした。

作業性テストの結果、全ての場合で表面傷が発生せず、異物付着も発見できなかった。又連続３０回の作業工程では、トラブルが無く、生産性でも問題が発生しなかった。

本発明の板状基板処理用ラックを説明する図面で、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は側面図である。 本発明の棒状部材を説明する側面図で、（ａ）は、全体図であり、（ｂ）は部分拡大図である。 本発明の棒状部材の一実施例の溝部と板状基板の載置状態を説明する部分拡大の側断面図である 本発明の棒状部材の一実施例の溝部と板状基板の載置状態を説明する部分拡大の側断面図である 本発明の板状基板処理用ラック上に板状基板を載置する手順を説明する概念図であり、（ａ）は、水平移動で、（ｂ）垂直移動であり、（ｃ）は回転移動による載置である。 従来の板状基板処理用ラックを説明する図面で、（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は側面図である。 従来のソロバン玉の円柱棒状樹脂部材を説明する部分拡大側面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、従来の棒状部材の一実施例の溝部と板状基板の載置状態を説明する部分拡大の側断面図である。

符号の説明

１…板状基板処理用ラック
２…側板
３…溝部
４…傾斜面
５…溝底部
６…台座
１０…板状基板
１１…コーナーカット
２０…棒状部材
２１…棒状部材１
２２…棒状部材２
２１…棒状部材３
３０…従来のソロバン玉の円柱棒状樹脂部材

Claims (5)

1. 板状基板を載置する板状基板処理用ラックにおいて、複数の棒状部材を有し、該棒状部材に形成された傾斜面を少なくとも有する溝部で板状基板を支持することを特徴とする板状基板処理用ラック。
2. 前記板状基板が、複数の前記溝部の傾斜面で支持されることを特徴とする請求項１記載の板状基板処理用ラック。
3. 前記傾斜面の傾斜角度が、板状基板の端面と、表面、又は裏面との角部に形成したコーナーカットの角度と同じ傾斜角で形成されていることを特徴とする請求項２記載の板状基板処理用ラック。
4. 前記傾斜面の傾斜角度が、板状基板と接する一方が４５度であり、他方が６０度〜７５度で形成されていることを特徴とする請求項２記載の板状基板処理用ラック。
5. 前記棒状部の部材が、ポリエーテルエーテルケトン樹脂よりなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の板状基板処理用ラック。