JP2005038873A - 窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法および窒化物系化合物半導体デバイス - Google Patents
窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法および窒化物系化合物半導体デバイス Download PDFInfo
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Abstract
【課題】ウエットエッチングが可能な層をエッチングストップ層として用いることにより、結晶成長段階における構造を高精度に制御することができる窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】基板10の上にn型コンタクト層11、n型クラッド層12、活性層13およびp型第1クラッド層14Aを形成したのち、このp型第1クラッド層14A上にエッチングストップ層19を形成する。エッチングストップ層19は、強酸や、強アルカリなどでウエットエッチングが可能な層である。エッチングストップ層19より上層(p型第1クラッド層14Bおよびp型コンタクト層15)をドライエッチングし、その後エッチングストップ層19をウエットエッチングにより加工してリッジ部16を形成する。p型第1クラッド層14Aがドライエッチングによる影響を受けることなく、その層厚が均一になる。
【選択図】 図1
【解決手段】基板10の上にn型コンタクト層11、n型クラッド層12、活性層13およびp型第1クラッド層14Aを形成したのち、このp型第1クラッド層14A上にエッチングストップ層19を形成する。エッチングストップ層19は、強酸や、強アルカリなどでウエットエッチングが可能な層である。エッチングストップ層19より上層(p型第1クラッド層14Bおよびp型コンタクト層15)をドライエッチングし、その後エッチングストップ層19をウエットエッチングにより加工してリッジ部16を形成する。p型第1クラッド層14Aがドライエッチングによる影響を受けることなく、その層厚が均一になる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザなどの窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法に係り、特に電流狭窄用のリッジ部などのメサ構造を備えた窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法、およびその方法により得られる窒化物系化合物半導体デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
GaN,AlGaN混晶あるいはGaInN混晶に代表される窒化物系化合物半導体材料は、紫外から全可視領域に渡る広波長範囲の発光素子や、高電界・高温における高周波トランジスタ用材料などとして、多種用途があり、例えば既に半導体レーザ(laser diode ;LD)やLED(Light Emitting Diode)は実用化されている。
【0003】
V族材料に、窒素を用いた化合物半導体、GaN(窒化ガリウム)、InN(窒化インジウム)、AlN(窒化アルミニウム)およびこれらのIII族混晶は、一般に、化学的に安定な材料である。そのため、ウエットエッチングによる加工が他の半導体材料に比較して困難な場合が多い。他のウエットエッチングが容易な半導体材料とは、例えばSi(シリコン)、Ge(ゲルマニウム)など元素半導体、GaAs(ガリウム砒素)など砒素系化合物、InP(インジウム燐)などの燐系化合物、ZnSe(セレン化亜鉛),ZnS(硫黄化亜鉛 )などのセレン・硫黄系化合物半導体などがあげられる。これらのウエットエッチングには、例えば、GaAsにはH2 SO4 (硫酸)系、InPにはHCl(塩酸)系など、室温付近で適度なエッチングレートや、均一性・選択比などを得ることができる酸・アルカリが存在するので、パターニングは一般に容易である。
【0004】
一方、GaN等の窒化物系化合物半導体をウエットエッチングしようとしても、室温付近においては適当な酸・アルカリは無い。但し、H3 PO4 (燐酸)やこのH3 PO4 を脱水したP2 O5などやHClを、例えば400℃程度の溶融液や、700℃程度の気相の状態においては、ウエットエッチングが可能である。しかし、これらの場合は、レート、均一性や再現性などのエッチング性の制御が困難である、高温であるためその目的に装置が必要、エッチングマスク材料が得にくい(マスクとの選択比が得られない)、III族材料によるエッチングレートの選択比がとれない、などの理由で、ウエハプロセスによるパターン形成には不向きで、もっぱら、基板(バルクまたは薄膜)成長時の、全面エッチング加工や、結晶品質評価においてのエッチピット形成などに用いるにとどまる。
【0005】
これらの酸以外に、KOH(水酸化カリウム)等の強アルカリも高温化ではウエットエッチングが可能な条件もあるが、パターン形成は困難であることは前述の酸と同様である。また、室温付近でも、KOH等のアルカリで最表面の原子層オーダーのエッチングは可能な条件があるが、この条件は電極コンタクト面への表面処理に用いられることはあっても、段差構造を形成するパターニング方法としては用いることはできない。
【0006】
このような事情から、窒化物系化合物半導体のパターニングプロセスには、例えば、Cl2 (塩素)やBCl3 (三塩化ボロン)など塩素系ガスなどを用いた、RIE(Reactive Ion Etching) 等のドライエッチングにより加工する場合が多い。ドライエッチングのエッチングマスクとしては、SiO2 (酸化珪素)やSiN(窒化珪素)等の無機絶縁材料や、フォトレジスト等の有機材料が用いられる。また、RIE以外にも、エッチング面のダメージなどに問題が無いような構造であれば、その目的によっては、Ar(アルゴン)などのイオンミリングによる物理エッチングも可能である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、塩素系ガスは、窒化物系化合物半導体へのエッチング性を有するが、III族材料によらず、無選択エッチングであるので、パターニングには時間制御の方法が用いられる。そのため、エッチング量あるいは位置の精度がデバイス特性の制御性に関係する場合、例えばリッジ型半導体レーザではリッジ部の高さは、光や電流の閉じ込めに関する設計に直接関係するが、リッジ部を加工する際、エッチング量の均一性・再現性などの制御性はドライエッチング装置の性能に依存してしまう。そのため、従来、以下のような問題を生じていた。
【0008】
第7図は、従来の方法による半導体レーザの模式図である。この半導体レーザでは、基板10の上にGaNからなるn型コンタクト層11、n型クラッド層12を介してAlGaInNからなる活性層13が形成され、この活性層13上にAlGaNからなるp型クラッド層14およびGaNからなるp型コンタクト層15からなるストライプ状のリッジ部16が形成されている。p型コンタクト層15の上にはp側電極17、n型コンタクト層11の上にはn側電極18がそれぞれ形成されている。リッジ部16が電流注入領域、リッジ部16の側面に埋め込まれるn型電流阻止層(図示せず)が電流非注入領域を構成する。
【0009】
この半導体レーザにおいてリッジ部16を形成するには、図8(A)に示したように、p型コンタクト層15まで積層したのち、図8(B)に示したようにこのp型コンタクト層15からp型クラッド層14の途中までドライエッチングの時間制御で加工する。
【0010】
しかしながら、上述のようにドライエッチングの精度は装置の性能に依存するため、結晶成長段階ではデバイス構造を設計できず、エッチングのばらつきや面内分布などによって、素子性能のばらつきを生じるという問題があった。
【0011】
なお、従来、特許文献1においても、窒化物半導体のエッチングとして、ドライエッチングを用いた場合には、素子特性のばらつきを根本的に解決できない一方、窒化物半導体を有効に制御できるウエットエッチング液は開発されていない旨が記載されている。この特許文献1では、そのためAl混晶比の大きな窒化物半導体層を電流狭窄,エッチングストッパとして機能させるようにしている。
【0012】
【特許文献1】
特開2002−9398号公報
【0013】
しかしながら、この特許文献1の手法では、材料がAlGaNであるので、GaNなどとエッチング性が近い場合が多い、すなわち大きなエッチング選択比を得にくいという問題があった。
【0014】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ウエットエッチングが可能な層をエッチングストップ層として用い、結晶成長段階における構造を高精度に制御することができる窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法および窒化物系化合物半導体デバイスを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明による窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法は、特定の窒化物系化合物半導体層を形成したのち、特定の窒化物系化合物半導体層の上に窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層を形成する工程と、エッチングストップ層の上に、ウエットエッチングにより加工が困難な1または複数の窒化物系化合物半導体層からなる被エッチング層を形成する工程と、被エッチング層をドライエッチングにより加工すると共に、ドライエッチングをエッチングストップ層が露出した時点で停止する工程と、エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工する工程とを含むものである。
【0016】
なお、本明細書において、エッチングストップ層として用いる「窒化物系化合物半導体層」とは、燐酸・塩酸・硫酸などの強酸や、強アルカリなどで、ウエットエッチングが可能な層であり、V族元素(As(砒素),N(窒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス))のうちの少なくともN(窒素)を含む混晶層である。N(窒素)は100%ではなく、Nと共に、As(砒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス)のうちの少なくとも1種を含むものであり、具体的には、AlGaInNAsなど、(AlGaIn)NX(XはAs,P,Sb,Biのうちの少なくとも1種)が挙げられる。このエッチングストップ層のエッチング(ウエットエッチング)には、HCl(塩酸),H2 PO4 (燐酸)などの酸、KOH(水酸化カリウム),NaOH(水酸化ナトリウム)などからなるアルカリが用いられる。
【0017】
また、エッチングストップ層以外のその他の層(被エッチング層)を構成する「窒化物系化合物半導体層」とは、V族元素のうちの少なくともN(窒素)を含む層であり、本発明では、少なくともエッチングストップ層の上に接した層は、ウエットエッチングが不可能若しくは困難な層であってドライエッチングが可能な層を対象とする。典型的には、III族元素との混晶層が含まれ、具体的には、例えば、GaN,AlGaN,GaInN,AlGaInN,GaInNAs,GaNAsのうちの1層若しくは複数層からなる。
【0018】
本発明による窒化物系化合物半導体デバイスは、所定の厚さを有する特定の窒化物系化合物半導体層と、特定の窒化物系化合物半導体層の一部領域上に選択的に形成された窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層と、エッチングストップ層の上にドライエッチングによる加工により形成された1または複数の窒化物系化合物半導体層からなる被エッチング層と、被エッチング層の表面に接して形成された一方の電極と、特定の窒化物系化合物半導体層の表面に接して形成された他方の電極とを備えた構成を有している。
【0019】
本発明による窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法では、エッチングストップ層の上層の被エッチング層はドライエッチングにより加工され、そのドライエッチングはエッチングストップ層が露出した時点で停止される。次いで、エッチングストップ層が、ウエットエッチングにより、制御性よく、すなわち下層の特定の窒化物系化合物半導体層の層厚等に影響を与えることなく加工される。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0021】
〔第1の実施の形態〕
図1(A),(B)は本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザ素子の製造工程の要部を表すものである。ここでは、一例として、図2に示したような窒化物系化合物半導体材料を用いたリッジ導波型半導体レーザ素子の製造方法について説明する。なお、従来構造(図9および図10)と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
【0022】
なお、以下の説明において、窒化物系化合物半導体材料は、エッチングストップ層19を除いて、ウエットエッチング性が無い、つまり前述のようにウエットエッチングが困難であり、ドライエッチングにより容易に加工できるものを用いた設計とするものである。図1(A)は結晶の層構造、同図(B)はこの層構造をエッチングストップ層19の位置までエッチングした状態を表したものである。
【0023】
本実施の形態では、まず、図1(A)に示したように、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition :有機金属化学的気相成長)により、サファイア,GaN,SiCなどからなる基板10の上にGaNからなるn型コンタクト層11、A1GaNからなるn型クラッド層12、A1GaInNからなる活性層13、A1GaNからなるp型第1クラッド層14Aを形成したのち、このp型第1クラッド層14A上にエッチングストップ層19を形成する。
【0024】
エッチングストップ層19は、燐酸・塩酸・硫酸などの強酸や、強アルカリなどで、ウエットエッチングが可能な層であり、V族元素(As(砒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス))のうちの少なくともN(窒素)を含む混晶層である。N(窒素)は100%ではなく、Nと共に、As(砒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス)のうちの少なくとも1種を含むものであればよい。その層厚は、好ましくは、0.01〜0.5μmである。本実施の形態では、このエッチングストップ層19は例えば層厚0.2μmのA1GaInNAs層により構成されている。
【0025】
エッチングストップ層19を形成したのち、このエッチングストップ層19の上にA1GaNからなるp型第2クラッド層14Bを形成し、更にこのp型第2クラッド層14Bの上にGaNからなるp型コンタクト層15を形成する。このときのドーパントとしてはn側にはシリコン(Si)やセレン(Se)、p側には亜鉛(Zn),マグネシウム(Mg),ベリリウム(Be)等を用いる。
【0026】
続いて、図1(B)に示したように、上述の積層構造の上面にストライプ状のレジストマスク20を形成し、このレジストマスク20を用いた時間制御のドライエッチングにより、p型コンタクト層15およびp型第2クラッド層14Bを加工する。なお、マスクは、レジストの代わりにSiO2 などの絶縁膜により形成してもよい。エッチングガスは、例えばCl2 ,BCl3 ,SiCl4 などの塩素系ガス、CF4 ,SF6 などのフッ素系ガス、メタン(CH4 )などが挙げられる。特に、窒化物半導体系材料の場合には塩素系ガスが用いられる。ドライエッチングは例えばRIE(Reactive Ion Etching) により行う。
【0027】
このようにドライエッチングの時間制御を行うことによって、エッチングストップ層19の途中までエッチングし、最表面にエッチングストップ層19を露出させる。
【0028】
次いで、半導体層14b,15をマスクとしたウエットエッチングを行い、破線で示したようにエッチングストップ層19を加工する。このウエットエッチングは、エッチングストップ層19とp型第1クラッド層14Aとの境界で停止する。エッチャントとしては、例えばエッチングストップ層19のA1GaInNAsとp型第1クラッド層14AのA1GaNのA1組成の相違で選択性が取れる有機酸系エッチャント、例えばHCl,H3 PO4 などの酸、KOH,NaOHなどのアルカリを用いる。
【0029】
以上の工程により、図2に示したようなリッジ部16が作製される。なお、このリッジ構造のままでレーザとしてもよいが、以下のようにしてもよい。すなわち、続いて、図示しないが、エピタキシャル成長により、例えばA1GaNからなるn型電流阻止層(図示せず)を形成する。その後、リッジ部16の上にp側電極17を形成すると共に、n型コンタクト層11上にn側電極18を形成することにより、リッジ構造を有する半導体レーザを得ることができる。
【0030】
このように、本実施の形態では、p型第1クラッド層14Aの上にウエットエッチングが可能なエッチングストップ層19を設け、このエッチングストップ層19より上層をドライエッチングし、その後エッチングストップ層19をウエットエッチングにより加工するようにしたので、制御性よくリッジ部16を加工でき、その直下のp型第1クラッド層14Aにドライエッチングによるダメージを与えることがなくなる。したがって、p型第1クラッド層14Aの層厚を安定して確保でき、リッジ構造を用いたレーザ素子において、結晶成長段階でも光学的設計(光閉じ込め)や電気的設計(電流閉じ込め)を可能になる。
【0031】
(変形例)
上記実施の形態では、ドライエッチングをエッチングストップ層19に到達するまで行うようにしたが、図3に一点鎖線で示したように、p型第2クラッド層14Bの途中段階で停止し、p型第2クラッド層14Bにダメージ層21を形成するようにしてもよい。これはドライエッチングにより生じたダメージ層21は、結晶欠陥が導入された層であり、ドライエッチング表面から例えば0.1 μm程度の深さまで形成され、後述の第2の実施の形態においても説明するようにウエットエッチングが可能になり、このダメージ層21を利用して、エッチングストップ層19と共にウエットエッチングを行うものである。設計上は、本来、p型第2クラッド層14Bはウエットエッチングができないことを前提としているが、このドライエッチングによるダメージ層21を利用することにより、上記実施の形態と同様にエッチングストップ層19とp型第2クラッド層14Bとの境界でエッチングが停止され、所望のリッジ構造を得ることができる。
【0032】
〔第2の実施の形態〕
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表すものである。本実施の形態では、第1の実施の形態のエッチングストップ層19の代わりにエッチングストップ層19Aを形成するものである。先のエッチングストップ層19ではその形成材料をV族の混晶層とし、これによりウエットエッチング可能な層としたが、本実施の形態においては、エッチングストップ層19Aの構成元素は他の層(例えば、p型第2クラッド層14B)と同じであるが、その結晶欠陥密度を大きくし、その欠陥を利用しウエットエッチングが可能な層としたものである。この場合の結晶欠陥密度は、その他の層が109 cm−2以下であるのに対し、例えば1010cm−2以上であり、この結晶欠陥密度の高い層を形成するためには、結晶成長条件(温度・原料供給条件など)や、混晶比などを変更すればよい。
【0033】
結晶品質が悪く、欠陥密度が高いものは容易に得られる。このときの成長条件の例としては、成長温度の低いもの(例えば700℃以下で成長したAlGaNや600℃以下で成長したGaN)や、他の成長条件(V/III比,流速,原料供給量,成長速度)などが適性でない場合が挙げられる。
【0034】
また、III族V族以外の不純物の添加量を多くすることによっても、同様に結晶欠陥密度を高くし、ウエットエッチングが可能になる。
【0035】
なお、エッチングストップ層19Aの結晶欠陥密度が高いと、それを引き継いでエピタキシャル成長を行う場合、エッチングストップ層19Aの上部の層、すなわち、p型第2クラッド層14Bやp型コンタクト層15も結晶欠陥密度が高くなるが、レーザの信頼性を実質的に支配する活性層13は既に成長しているため、エッチングストップ層19Aの欠陥が活性層13に波及しない条件で成長させれば、屈折率などの光学的特性や伝導性などの電気的特性の設計を損なわず、デバイスの信頼性を損なう虞はない。
【0036】
〔第3の実施の形態〕
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表すものである。上記第1および第2の実施の形態では、エッチングストップ層をリッジ構造の形成に利用したが、本実施の形態では、n側電極18(図6)のための段差構造の形成に利用したものである。
【0037】
すなわち、基板10の上にGaNからなるn型第1コンタクト層11Aを形成したのち、例えば、第1の実施の形態と同様にA1GaInNAsからなるエッチングストップ層19Bを形成する。次いで、このエッチングストップ層19Bの上に、GaNからなるn型第2コンタクト層11Bを形成したのち、このn型第2コンタクト層11B上に、第1の実施の形態と同様にA1GaNからなるn型クラッド層12、A1GaInNからなる活性層13、A1GaNからなるp型クラッド層14、GaNからなるp型コンタクト層15を順次形成する。
【0038】
このように本実施の形態では、n型第1コンタクト層11Aとn型第2コンタクト層11Bとの間にエッチングストップ層19Bを形成したものであり、このエッチングストップ層19Bの上層(n型第2コンタクト層11B)までをドライエッチング、そののちエッチングストップ層19Bをウエットエッチングにより選択的に加工することにより、n型第1コンタクト層11Aのn側電極形成領域における表面を制御性よく規定することができ、図6に示した段差構造を有するレーザ素子を製造することができる。
【0039】
なお、本実施の形態においても、ドライエッチングをエッチングストップ層19Bの上層(n型第2コンタクト層11B)の途中で停止することにより生じた結晶欠陥層(ダメージ層)を利用し、エッチングストップ層19Bと共にn型第2コンタクト層11Bの一部をウエットエッチングを行う手法や、エッチングストップ層19Bの結晶欠陥密度を高めてウエットエッチングを可能とする手法を適用できることは勿論である。
【0040】
〔第4の実施の形態〕
図7(A),(B)は、本発明の第4の実施の形態に係る半導体レーザ素子の製造工程の要部を表すものであり、ここではAl組成の高いAlGaN層をエッチングストップ層兼電流狭窄層に適用したものである。
【0041】
本実施の形態では、まず、図7(A)に示したように、第1の実施の形態と同様に、第1のエピタキシャル成長によりp型第1クラッド層14Aを形成したのち、このp型第1クラッド層14Aの上にエッチングストップ層19Cを形成すると共に、エッチングストップ層19Cをパターニングして活性層13の発光部に対向する位置に電流注入用の開口部22を形成するものである。エッチングストップ層19Cとしては、前述のV族混晶層(第1の実施の形態)あるいは結晶欠陥密度の高い層(第2の実施の形態)を用いることができる。開口部22を形成した後、第2のエピタキシャル成長を行い、p型第2クラッド層14Bおよびp型コンタクト層15をこの順で形成する。次いで、第1の実施の形態と同様の、レジストマスク20を用いた時間制御のドライエッチングにより、p型コンタクト層15およびp型第2クラッド層14Bを加工して図7(B)に示したようなストライプ状のリッジ部16を形成する。
【0042】
このリッジ構造のままでもレーザ構造となるが、そののち、リッジ部16の側面に、例えばSiO2 などの絶縁層やAlGaNなどからなるn型電流阻止層23を形成することにより、電流狭窄構造を作製してもよい。
【0043】
このようにして形成された半導体レーザ素子では、エッチングストップ層19Cが電流阻止層23と共に電流狭窄層としての機能を果たすため、活性層13に対する電流注入効率が向上する。その他の作用効果は第1の実施の形態と同様である。
【0044】
以上、本発明を半導体レーザ素子の製造工程に適用した例について説明したが、本発明は特定の層の表面でドライエッチングを停止させてメサ構造を形成する必要のあるデバイスであれば、その他の種類の電子デバイスでも適用可能である。以下、その例について説明する。
【0045】
〔第5の実施の形態〕
図8(A),(B)は、MIS(Metal Insulator Semiconductor)構造のトランジスタの製造工程に本発明を適用した例を表すものである。本実施の形態では、まず、図8(A)に示したように、例えばサファイア,GaN,SiCなどからなる基板(図示せず)上にn−GaNからなる電子伝導層30を形成したのち、この電子伝導層30上に例えばundoped−GaNからなる絶縁層31を形成し、この絶縁層31上にエッチングストップ層32を形成する。このエッチングストップ層32は、前述と同様に、例えばAlGaInNAsなど、(AlGaIn)NX(XはAs,P,Sb,Biのうちの少なくとも1種)で表される組成を有するものとする。次に、このエッチングストップ層32上に例えばn−GaNからなる電子供給層33を形成する。続いて、リセスエッチング用のレジストマスク34を用いて電子供給層33を破線で示したようにドライエッチングし、エッチングストップ層32に到達した時点で停止する。次に、レジストマスク34を用いてエッチングストップ層32をウエットエッチングにより図8(B)に示したように加工する。その後は、絶縁層31上に例えばPt(白金)からなるゲート35、電子供給層33上にTi(チタン)からなるソース36およびドレイン37を形成する。
なお、上記構造において、絶縁層31をn−AlGaNからなるHEMT構造の電子供給層31とし、電子供給層33をundoped n−GaNからなる絶縁層33としてもよい。
【0046】
このように本実施の形態においても、ウエットエッチング可能なエッチングストップ層32を第1の絶縁層31上に設けるようにしたので、トランジスタの利得設計に直接関係する、ゲート35の直下の第1の絶縁層31の厚さを所望の値に保持することができ、安定した利得特性を得ることができる。
【0047】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その種々変形可能である。例えば、上記実施の形態では、MISFET,HEMTについて説明したが、MESFETなどのFETに適用することも可能である。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法によれば、所望の厚さを要する特定の窒化物系化合物半導体層の上に窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層を形成し、その上に被エッチング層を形成したのち、被エッチング層をドライエッチングにより加工すると共に、そのドライエッチングをエッチングストップ層が露出した時点で停止し、その後、エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工するようにしたので、結晶成長段階で、デバイスのメサ構造を設計することが可能になり、ウエハプロセスのエッチングばらつきの影響を受けず、高い寸法精度をもって本発明の窒化物系半導体デバイスを作製することができる。従って、例えば半導体レーザにおいては、光学的・電気的に高い精度の設計が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図2】第1の実施の形態に係る半導体レーザ全体の模式図である。
【図3】第1の実施の形態の変形例を説明するための断面図である。
【図4】第2の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図5】第3の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図6】第3の実施の形態に係る半導体レーザ全体の模式図である。
【図7】第4の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図8】第5の実施の形態に係るMISトランジスタの製造工程を説明するための断面図である。
【図9】従来の半導体レーザの構成を表す模式図である。
【図10】従来の半導体レーザ素子の要部の製造工程を説明するための断面図である。
【符号の説明】
10…基板、11…n型コンタクト層、12…n型クラッド層、13…活性層、14A…p型第1クラッド層、14B…p型第2クラッド層、15…p型コンタクト層(GaAs)、16…リッジ部、17…p側電極、18…n側電極、19,19A,19B,19C…エッチングストップ層、20…レジストマスク
21…ダメージ層、22…開口部、23…n型電流阻止層
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザなどの窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法に係り、特に電流狭窄用のリッジ部などのメサ構造を備えた窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法、およびその方法により得られる窒化物系化合物半導体デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
GaN,AlGaN混晶あるいはGaInN混晶に代表される窒化物系化合物半導体材料は、紫外から全可視領域に渡る広波長範囲の発光素子や、高電界・高温における高周波トランジスタ用材料などとして、多種用途があり、例えば既に半導体レーザ(laser diode ;LD)やLED(Light Emitting Diode)は実用化されている。
【0003】
V族材料に、窒素を用いた化合物半導体、GaN(窒化ガリウム)、InN(窒化インジウム)、AlN(窒化アルミニウム)およびこれらのIII族混晶は、一般に、化学的に安定な材料である。そのため、ウエットエッチングによる加工が他の半導体材料に比較して困難な場合が多い。他のウエットエッチングが容易な半導体材料とは、例えばSi(シリコン)、Ge(ゲルマニウム)など元素半導体、GaAs(ガリウム砒素)など砒素系化合物、InP(インジウム燐)などの燐系化合物、ZnSe(セレン化亜鉛),ZnS(硫黄化亜鉛 )などのセレン・硫黄系化合物半導体などがあげられる。これらのウエットエッチングには、例えば、GaAsにはH2 SO4 (硫酸)系、InPにはHCl(塩酸)系など、室温付近で適度なエッチングレートや、均一性・選択比などを得ることができる酸・アルカリが存在するので、パターニングは一般に容易である。
【0004】
一方、GaN等の窒化物系化合物半導体をウエットエッチングしようとしても、室温付近においては適当な酸・アルカリは無い。但し、H3 PO4 (燐酸)やこのH3 PO4 を脱水したP2 O5などやHClを、例えば400℃程度の溶融液や、700℃程度の気相の状態においては、ウエットエッチングが可能である。しかし、これらの場合は、レート、均一性や再現性などのエッチング性の制御が困難である、高温であるためその目的に装置が必要、エッチングマスク材料が得にくい(マスクとの選択比が得られない)、III族材料によるエッチングレートの選択比がとれない、などの理由で、ウエハプロセスによるパターン形成には不向きで、もっぱら、基板(バルクまたは薄膜)成長時の、全面エッチング加工や、結晶品質評価においてのエッチピット形成などに用いるにとどまる。
【0005】
これらの酸以外に、KOH(水酸化カリウム)等の強アルカリも高温化ではウエットエッチングが可能な条件もあるが、パターン形成は困難であることは前述の酸と同様である。また、室温付近でも、KOH等のアルカリで最表面の原子層オーダーのエッチングは可能な条件があるが、この条件は電極コンタクト面への表面処理に用いられることはあっても、段差構造を形成するパターニング方法としては用いることはできない。
【0006】
このような事情から、窒化物系化合物半導体のパターニングプロセスには、例えば、Cl2 (塩素)やBCl3 (三塩化ボロン)など塩素系ガスなどを用いた、RIE(Reactive Ion Etching) 等のドライエッチングにより加工する場合が多い。ドライエッチングのエッチングマスクとしては、SiO2 (酸化珪素)やSiN(窒化珪素)等の無機絶縁材料や、フォトレジスト等の有機材料が用いられる。また、RIE以外にも、エッチング面のダメージなどに問題が無いような構造であれば、その目的によっては、Ar(アルゴン)などのイオンミリングによる物理エッチングも可能である。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、塩素系ガスは、窒化物系化合物半導体へのエッチング性を有するが、III族材料によらず、無選択エッチングであるので、パターニングには時間制御の方法が用いられる。そのため、エッチング量あるいは位置の精度がデバイス特性の制御性に関係する場合、例えばリッジ型半導体レーザではリッジ部の高さは、光や電流の閉じ込めに関する設計に直接関係するが、リッジ部を加工する際、エッチング量の均一性・再現性などの制御性はドライエッチング装置の性能に依存してしまう。そのため、従来、以下のような問題を生じていた。
【0008】
第7図は、従来の方法による半導体レーザの模式図である。この半導体レーザでは、基板10の上にGaNからなるn型コンタクト層11、n型クラッド層12を介してAlGaInNからなる活性層13が形成され、この活性層13上にAlGaNからなるp型クラッド層14およびGaNからなるp型コンタクト層15からなるストライプ状のリッジ部16が形成されている。p型コンタクト層15の上にはp側電極17、n型コンタクト層11の上にはn側電極18がそれぞれ形成されている。リッジ部16が電流注入領域、リッジ部16の側面に埋め込まれるn型電流阻止層(図示せず)が電流非注入領域を構成する。
【0009】
この半導体レーザにおいてリッジ部16を形成するには、図8(A)に示したように、p型コンタクト層15まで積層したのち、図8(B)に示したようにこのp型コンタクト層15からp型クラッド層14の途中までドライエッチングの時間制御で加工する。
【0010】
しかしながら、上述のようにドライエッチングの精度は装置の性能に依存するため、結晶成長段階ではデバイス構造を設計できず、エッチングのばらつきや面内分布などによって、素子性能のばらつきを生じるという問題があった。
【0011】
なお、従来、特許文献1においても、窒化物半導体のエッチングとして、ドライエッチングを用いた場合には、素子特性のばらつきを根本的に解決できない一方、窒化物半導体を有効に制御できるウエットエッチング液は開発されていない旨が記載されている。この特許文献1では、そのためAl混晶比の大きな窒化物半導体層を電流狭窄,エッチングストッパとして機能させるようにしている。
【0012】
【特許文献1】
特開2002−9398号公報
【0013】
しかしながら、この特許文献1の手法では、材料がAlGaNであるので、GaNなどとエッチング性が近い場合が多い、すなわち大きなエッチング選択比を得にくいという問題があった。
【0014】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、ウエットエッチングが可能な層をエッチングストップ層として用い、結晶成長段階における構造を高精度に制御することができる窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法および窒化物系化合物半導体デバイスを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
本発明による窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法は、特定の窒化物系化合物半導体層を形成したのち、特定の窒化物系化合物半導体層の上に窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層を形成する工程と、エッチングストップ層の上に、ウエットエッチングにより加工が困難な1または複数の窒化物系化合物半導体層からなる被エッチング層を形成する工程と、被エッチング層をドライエッチングにより加工すると共に、ドライエッチングをエッチングストップ層が露出した時点で停止する工程と、エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工する工程とを含むものである。
【0016】
なお、本明細書において、エッチングストップ層として用いる「窒化物系化合物半導体層」とは、燐酸・塩酸・硫酸などの強酸や、強アルカリなどで、ウエットエッチングが可能な層であり、V族元素(As(砒素),N(窒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス))のうちの少なくともN(窒素)を含む混晶層である。N(窒素)は100%ではなく、Nと共に、As(砒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス)のうちの少なくとも1種を含むものであり、具体的には、AlGaInNAsなど、(AlGaIn)NX(XはAs,P,Sb,Biのうちの少なくとも1種)が挙げられる。このエッチングストップ層のエッチング(ウエットエッチング)には、HCl(塩酸),H2 PO4 (燐酸)などの酸、KOH(水酸化カリウム),NaOH(水酸化ナトリウム)などからなるアルカリが用いられる。
【0017】
また、エッチングストップ層以外のその他の層(被エッチング層)を構成する「窒化物系化合物半導体層」とは、V族元素のうちの少なくともN(窒素)を含む層であり、本発明では、少なくともエッチングストップ層の上に接した層は、ウエットエッチングが不可能若しくは困難な層であってドライエッチングが可能な層を対象とする。典型的には、III族元素との混晶層が含まれ、具体的には、例えば、GaN,AlGaN,GaInN,AlGaInN,GaInNAs,GaNAsのうちの1層若しくは複数層からなる。
【0018】
本発明による窒化物系化合物半導体デバイスは、所定の厚さを有する特定の窒化物系化合物半導体層と、特定の窒化物系化合物半導体層の一部領域上に選択的に形成された窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層と、エッチングストップ層の上にドライエッチングによる加工により形成された1または複数の窒化物系化合物半導体層からなる被エッチング層と、被エッチング層の表面に接して形成された一方の電極と、特定の窒化物系化合物半導体層の表面に接して形成された他方の電極とを備えた構成を有している。
【0019】
本発明による窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法では、エッチングストップ層の上層の被エッチング層はドライエッチングにより加工され、そのドライエッチングはエッチングストップ層が露出した時点で停止される。次いで、エッチングストップ層が、ウエットエッチングにより、制御性よく、すなわち下層の特定の窒化物系化合物半導体層の層厚等に影響を与えることなく加工される。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【0021】
〔第1の実施の形態〕
図1(A),(B)は本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザ素子の製造工程の要部を表すものである。ここでは、一例として、図2に示したような窒化物系化合物半導体材料を用いたリッジ導波型半導体レーザ素子の製造方法について説明する。なお、従来構造(図9および図10)と同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略する。
【0022】
なお、以下の説明において、窒化物系化合物半導体材料は、エッチングストップ層19を除いて、ウエットエッチング性が無い、つまり前述のようにウエットエッチングが困難であり、ドライエッチングにより容易に加工できるものを用いた設計とするものである。図1(A)は結晶の層構造、同図(B)はこの層構造をエッチングストップ層19の位置までエッチングした状態を表したものである。
【0023】
本実施の形態では、まず、図1(A)に示したように、例えばMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition :有機金属化学的気相成長)により、サファイア,GaN,SiCなどからなる基板10の上にGaNからなるn型コンタクト層11、A1GaNからなるn型クラッド層12、A1GaInNからなる活性層13、A1GaNからなるp型第1クラッド層14Aを形成したのち、このp型第1クラッド層14A上にエッチングストップ層19を形成する。
【0024】
エッチングストップ層19は、燐酸・塩酸・硫酸などの強酸や、強アルカリなどで、ウエットエッチングが可能な層であり、V族元素(As(砒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス))のうちの少なくともN(窒素)を含む混晶層である。N(窒素)は100%ではなく、Nと共に、As(砒素),P(燐),Sb(アンチモン),Bi(ビスマス)のうちの少なくとも1種を含むものであればよい。その層厚は、好ましくは、0.01〜0.5μmである。本実施の形態では、このエッチングストップ層19は例えば層厚0.2μmのA1GaInNAs層により構成されている。
【0025】
エッチングストップ層19を形成したのち、このエッチングストップ層19の上にA1GaNからなるp型第2クラッド層14Bを形成し、更にこのp型第2クラッド層14Bの上にGaNからなるp型コンタクト層15を形成する。このときのドーパントとしてはn側にはシリコン(Si)やセレン(Se)、p側には亜鉛(Zn),マグネシウム(Mg),ベリリウム(Be)等を用いる。
【0026】
続いて、図1(B)に示したように、上述の積層構造の上面にストライプ状のレジストマスク20を形成し、このレジストマスク20を用いた時間制御のドライエッチングにより、p型コンタクト層15およびp型第2クラッド層14Bを加工する。なお、マスクは、レジストの代わりにSiO2 などの絶縁膜により形成してもよい。エッチングガスは、例えばCl2 ,BCl3 ,SiCl4 などの塩素系ガス、CF4 ,SF6 などのフッ素系ガス、メタン(CH4 )などが挙げられる。特に、窒化物半導体系材料の場合には塩素系ガスが用いられる。ドライエッチングは例えばRIE(Reactive Ion Etching) により行う。
【0027】
このようにドライエッチングの時間制御を行うことによって、エッチングストップ層19の途中までエッチングし、最表面にエッチングストップ層19を露出させる。
【0028】
次いで、半導体層14b,15をマスクとしたウエットエッチングを行い、破線で示したようにエッチングストップ層19を加工する。このウエットエッチングは、エッチングストップ層19とp型第1クラッド層14Aとの境界で停止する。エッチャントとしては、例えばエッチングストップ層19のA1GaInNAsとp型第1クラッド層14AのA1GaNのA1組成の相違で選択性が取れる有機酸系エッチャント、例えばHCl,H3 PO4 などの酸、KOH,NaOHなどのアルカリを用いる。
【0029】
以上の工程により、図2に示したようなリッジ部16が作製される。なお、このリッジ構造のままでレーザとしてもよいが、以下のようにしてもよい。すなわち、続いて、図示しないが、エピタキシャル成長により、例えばA1GaNからなるn型電流阻止層(図示せず)を形成する。その後、リッジ部16の上にp側電極17を形成すると共に、n型コンタクト層11上にn側電極18を形成することにより、リッジ構造を有する半導体レーザを得ることができる。
【0030】
このように、本実施の形態では、p型第1クラッド層14Aの上にウエットエッチングが可能なエッチングストップ層19を設け、このエッチングストップ層19より上層をドライエッチングし、その後エッチングストップ層19をウエットエッチングにより加工するようにしたので、制御性よくリッジ部16を加工でき、その直下のp型第1クラッド層14Aにドライエッチングによるダメージを与えることがなくなる。したがって、p型第1クラッド層14Aの層厚を安定して確保でき、リッジ構造を用いたレーザ素子において、結晶成長段階でも光学的設計(光閉じ込め)や電気的設計(電流閉じ込め)を可能になる。
【0031】
(変形例)
上記実施の形態では、ドライエッチングをエッチングストップ層19に到達するまで行うようにしたが、図3に一点鎖線で示したように、p型第2クラッド層14Bの途中段階で停止し、p型第2クラッド層14Bにダメージ層21を形成するようにしてもよい。これはドライエッチングにより生じたダメージ層21は、結晶欠陥が導入された層であり、ドライエッチング表面から例えば0.1 μm程度の深さまで形成され、後述の第2の実施の形態においても説明するようにウエットエッチングが可能になり、このダメージ層21を利用して、エッチングストップ層19と共にウエットエッチングを行うものである。設計上は、本来、p型第2クラッド層14Bはウエットエッチングができないことを前提としているが、このドライエッチングによるダメージ層21を利用することにより、上記実施の形態と同様にエッチングストップ層19とp型第2クラッド層14Bとの境界でエッチングが停止され、所望のリッジ構造を得ることができる。
【0032】
〔第2の実施の形態〕
図4は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表すものである。本実施の形態では、第1の実施の形態のエッチングストップ層19の代わりにエッチングストップ層19Aを形成するものである。先のエッチングストップ層19ではその形成材料をV族の混晶層とし、これによりウエットエッチング可能な層としたが、本実施の形態においては、エッチングストップ層19Aの構成元素は他の層(例えば、p型第2クラッド層14B)と同じであるが、その結晶欠陥密度を大きくし、その欠陥を利用しウエットエッチングが可能な層としたものである。この場合の結晶欠陥密度は、その他の層が109 cm−2以下であるのに対し、例えば1010cm−2以上であり、この結晶欠陥密度の高い層を形成するためには、結晶成長条件(温度・原料供給条件など)や、混晶比などを変更すればよい。
【0033】
結晶品質が悪く、欠陥密度が高いものは容易に得られる。このときの成長条件の例としては、成長温度の低いもの(例えば700℃以下で成長したAlGaNや600℃以下で成長したGaN)や、他の成長条件(V/III比,流速,原料供給量,成長速度)などが適性でない場合が挙げられる。
【0034】
また、III族V族以外の不純物の添加量を多くすることによっても、同様に結晶欠陥密度を高くし、ウエットエッチングが可能になる。
【0035】
なお、エッチングストップ層19Aの結晶欠陥密度が高いと、それを引き継いでエピタキシャル成長を行う場合、エッチングストップ層19Aの上部の層、すなわち、p型第2クラッド層14Bやp型コンタクト層15も結晶欠陥密度が高くなるが、レーザの信頼性を実質的に支配する活性層13は既に成長しているため、エッチングストップ層19Aの欠陥が活性層13に波及しない条件で成長させれば、屈折率などの光学的特性や伝導性などの電気的特性の設計を損なわず、デバイスの信頼性を損なう虞はない。
【0036】
〔第3の実施の形態〕
図5は、本発明の第3の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表すものである。上記第1および第2の実施の形態では、エッチングストップ層をリッジ構造の形成に利用したが、本実施の形態では、n側電極18(図6)のための段差構造の形成に利用したものである。
【0037】
すなわち、基板10の上にGaNからなるn型第1コンタクト層11Aを形成したのち、例えば、第1の実施の形態と同様にA1GaInNAsからなるエッチングストップ層19Bを形成する。次いで、このエッチングストップ層19Bの上に、GaNからなるn型第2コンタクト層11Bを形成したのち、このn型第2コンタクト層11B上に、第1の実施の形態と同様にA1GaNからなるn型クラッド層12、A1GaInNからなる活性層13、A1GaNからなるp型クラッド層14、GaNからなるp型コンタクト層15を順次形成する。
【0038】
このように本実施の形態では、n型第1コンタクト層11Aとn型第2コンタクト層11Bとの間にエッチングストップ層19Bを形成したものであり、このエッチングストップ層19Bの上層(n型第2コンタクト層11B)までをドライエッチング、そののちエッチングストップ層19Bをウエットエッチングにより選択的に加工することにより、n型第1コンタクト層11Aのn側電極形成領域における表面を制御性よく規定することができ、図6に示した段差構造を有するレーザ素子を製造することができる。
【0039】
なお、本実施の形態においても、ドライエッチングをエッチングストップ層19Bの上層(n型第2コンタクト層11B)の途中で停止することにより生じた結晶欠陥層(ダメージ層)を利用し、エッチングストップ層19Bと共にn型第2コンタクト層11Bの一部をウエットエッチングを行う手法や、エッチングストップ層19Bの結晶欠陥密度を高めてウエットエッチングを可能とする手法を適用できることは勿論である。
【0040】
〔第4の実施の形態〕
図7(A),(B)は、本発明の第4の実施の形態に係る半導体レーザ素子の製造工程の要部を表すものであり、ここではAl組成の高いAlGaN層をエッチングストップ層兼電流狭窄層に適用したものである。
【0041】
本実施の形態では、まず、図7(A)に示したように、第1の実施の形態と同様に、第1のエピタキシャル成長によりp型第1クラッド層14Aを形成したのち、このp型第1クラッド層14Aの上にエッチングストップ層19Cを形成すると共に、エッチングストップ層19Cをパターニングして活性層13の発光部に対向する位置に電流注入用の開口部22を形成するものである。エッチングストップ層19Cとしては、前述のV族混晶層(第1の実施の形態)あるいは結晶欠陥密度の高い層(第2の実施の形態)を用いることができる。開口部22を形成した後、第2のエピタキシャル成長を行い、p型第2クラッド層14Bおよびp型コンタクト層15をこの順で形成する。次いで、第1の実施の形態と同様の、レジストマスク20を用いた時間制御のドライエッチングにより、p型コンタクト層15およびp型第2クラッド層14Bを加工して図7(B)に示したようなストライプ状のリッジ部16を形成する。
【0042】
このリッジ構造のままでもレーザ構造となるが、そののち、リッジ部16の側面に、例えばSiO2 などの絶縁層やAlGaNなどからなるn型電流阻止層23を形成することにより、電流狭窄構造を作製してもよい。
【0043】
このようにして形成された半導体レーザ素子では、エッチングストップ層19Cが電流阻止層23と共に電流狭窄層としての機能を果たすため、活性層13に対する電流注入効率が向上する。その他の作用効果は第1の実施の形態と同様である。
【0044】
以上、本発明を半導体レーザ素子の製造工程に適用した例について説明したが、本発明は特定の層の表面でドライエッチングを停止させてメサ構造を形成する必要のあるデバイスであれば、その他の種類の電子デバイスでも適用可能である。以下、その例について説明する。
【0045】
〔第5の実施の形態〕
図8(A),(B)は、MIS(Metal Insulator Semiconductor)構造のトランジスタの製造工程に本発明を適用した例を表すものである。本実施の形態では、まず、図8(A)に示したように、例えばサファイア,GaN,SiCなどからなる基板(図示せず)上にn−GaNからなる電子伝導層30を形成したのち、この電子伝導層30上に例えばundoped−GaNからなる絶縁層31を形成し、この絶縁層31上にエッチングストップ層32を形成する。このエッチングストップ層32は、前述と同様に、例えばAlGaInNAsなど、(AlGaIn)NX(XはAs,P,Sb,Biのうちの少なくとも1種)で表される組成を有するものとする。次に、このエッチングストップ層32上に例えばn−GaNからなる電子供給層33を形成する。続いて、リセスエッチング用のレジストマスク34を用いて電子供給層33を破線で示したようにドライエッチングし、エッチングストップ層32に到達した時点で停止する。次に、レジストマスク34を用いてエッチングストップ層32をウエットエッチングにより図8(B)に示したように加工する。その後は、絶縁層31上に例えばPt(白金)からなるゲート35、電子供給層33上にTi(チタン)からなるソース36およびドレイン37を形成する。
なお、上記構造において、絶縁層31をn−AlGaNからなるHEMT構造の電子供給層31とし、電子供給層33をundoped n−GaNからなる絶縁層33としてもよい。
【0046】
このように本実施の形態においても、ウエットエッチング可能なエッチングストップ層32を第1の絶縁層31上に設けるようにしたので、トランジスタの利得設計に直接関係する、ゲート35の直下の第1の絶縁層31の厚さを所望の値に保持することができ、安定した利得特性を得ることができる。
【0047】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その種々変形可能である。例えば、上記実施の形態では、MISFET,HEMTについて説明したが、MESFETなどのFETに適用することも可能である。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法によれば、所望の厚さを要する特定の窒化物系化合物半導体層の上に窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層を形成し、その上に被エッチング層を形成したのち、被エッチング層をドライエッチングにより加工すると共に、そのドライエッチングをエッチングストップ層が露出した時点で停止し、その後、エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工するようにしたので、結晶成長段階で、デバイスのメサ構造を設計することが可能になり、ウエハプロセスのエッチングばらつきの影響を受けず、高い寸法精度をもって本発明の窒化物系半導体デバイスを作製することができる。従って、例えば半導体レーザにおいては、光学的・電気的に高い精度の設計が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図2】第1の実施の形態に係る半導体レーザ全体の模式図である。
【図3】第1の実施の形態の変形例を説明するための断面図である。
【図4】第2の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図5】第3の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図6】第3の実施の形態に係る半導体レーザ全体の模式図である。
【図7】第4の実施の形態に係る半導体レーザの製造工程の要部を表す断面図である。
【図8】第5の実施の形態に係るMISトランジスタの製造工程を説明するための断面図である。
【図9】従来の半導体レーザの構成を表す模式図である。
【図10】従来の半導体レーザ素子の要部の製造工程を説明するための断面図である。
【符号の説明】
10…基板、11…n型コンタクト層、12…n型クラッド層、13…活性層、14A…p型第1クラッド層、14B…p型第2クラッド層、15…p型コンタクト層(GaAs)、16…リッジ部、17…p側電極、18…n側電極、19,19A,19B,19C…エッチングストップ層、20…レジストマスク
21…ダメージ層、22…開口部、23…n型電流阻止層
Claims (9)
- 特定の窒化物系化合物半導体層を形成したのち、前記特定の窒化物系化合物半導体層の上に窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層を形成する工程と、
前記エッチングストップ層の上に1または複数の窒化物系化合物半導体層からなる被エッチング層を形成する工程と、
前記被エッチング層をドライエッチングにより加工すると共に、前記ドライエッチングを前記エッチングストップ層が露出した時点で停止する工程と、
前記エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工する工程と
を含むことを特徴とする窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 前記エッチングストップ層を、窒素(N)と、砒素(As),燐(P),アンチモン(Sb),ビスマス(Bi)のうちの少なくとも1種とからなる混晶層とする
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 前記エッチングストップ層を、前記被エッチング層よりも結晶欠陥密度が高い層とする
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 前記ドライエッチングを前記エッチングストップ層が露出する前に停止して前記エッチングストップ層の上層にドライエッチングによるダメージ層を形成し、次いで、ウエットエッチングにより前記ダメージ層を除去すると共に前記エッチングストップ層を加工する
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 基板上に第1導電型のコンタクト層を形成したのち、前記コンタクト層上に、活性層部と、前記活性層部を挟む一対のクラッド層を形成したのち、前記クラッド層のうちの第2導電型の第1クラッド層上に前記エッチングストップ層を形成する工程と、
前記エッチングストップ層の上に第2導電型の第2クラッド層および第2導電型のコンタクト層を形成したのち、前記第2導電型のコンタクト層および前記第2クラッド層をドライエッチングにより加工してリッジ部を形成すると共に、前記ドライエッチングを前記エッチングストップ層が露出した時点で停止する工程と、
前記エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工し、前記第1クラッド層の表面を露出させる工程と
ことを特徴とする請求項1記載の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 前記エッチングストップ層は、(AlGaIn)NX(XはAs,P,Sb,Biのうちの少なくとも1種)により形成されている
ことを特徴とする請求項5記載の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 基板上に第1導電型のコンタクト層を形成したのち、前記第1導電型のコンタクト層上に前記エッチングストップ層を形成する工程と、
前記エッチングストップ層の上に活性層部、前記活性層部を挟む一対のクラッド層および第2導電型のコンタクト層を形成したのち、前記第2導電型のコンタクト層、前記活性層および一対のクラッド層をドライエッチングにより加工すると共に、前記ドライエッチングを前記エッチングストップ層が露出した時点で停止する工程と、
前記エッチングストップ層をウエットエッチングにより加工し、前記第1導電型のコンタクト層の表面を露出させる工程と、
前記露出した第1導電型のコンタクト層上に第1導電型の電極、前記第2導電型のコンタクト層上に第2導電型の電極をそれぞれ形成する工程と
を含むことを特徴とする窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 前記エッチングストップ層は、(AlGaIn)NX(XはAs,P,Sb,Biのうちの少なくとも1種)により形成されている
ことを特徴とする請求項7記載の窒化物系化合物半導体デバイスの製造方法。 - 所定の厚さを有する特定の窒化物系化合物半導体層と、
前記特定の窒化物系化合物半導体層の一部領域上に選択的に形成された窒化物系化合物半導体層からなるウエットエッチング可能なエッチングストップ層と、
前記エッチングストップ層の上にドライエッチングによる加工により形成された1または複数の窒化物系化合物半導体層からなる被エッチング層と、
前記被エッチング層の表面に接して形成された一方の電極と、
前記特定の窒化物系化合物半導体層の表面に接して形成された他方の電極と
を備えたことを特徴とする窒化物系化合物半導体デバイス。
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JP2007173742A (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 窒化物半導体装置の製造方法 |
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