JP5722082B2 - 窒化物半導体レーザ装置の製造方法 - Google Patents
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- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
(a)基板上に、少なくともn型クラッド層、活性層、窒化物半導体を主体として構成されるp型クラッド層およびp型コンタクト層を成長させる工程と、
(b)前記p型コンタクト層の上部に形成した第1絶縁膜をマスクにして、前記p型コンタクト層および前記p型クラッド層をドライエッチングすることにより、前記p型クラッド層の一部に凸状のリッジ部を形成する工程と、
(c)前記p型コンタクト層の上部に前記第1絶縁膜を残した状態で、前記基板上に第2絶縁膜からなパッシベーション膜を形成する工程と、
(d)前記(c)工程の後、前記リッジ部の上方に開口を設けた第1フォトレジスト膜をマスクにして前記リッジ部の上方の前記パッシベーション膜およびその下部の前記第1絶縁膜をエッチングすることにより、前記パッシベーション膜およびその下部の前記第1絶縁膜に、その底部が前記第1絶縁膜の下部の前記リッジ部に達しない程度の深さを有する第1開口を形成する工程と、
(e)前記第1フォトレジスト膜を除去した後、前記基板上の全面に第2フォトレジスト膜を塗布する工程と、
(f)露光光が前記第2フォトレジスト膜の底面まで到達しないような露光条件下で、少なくとも前記リッジ部とその近傍を覆う領域の前記第2フォトレジスト膜を露光する工程と、
(g)前記(f)工程の後、前記第2フォトレジスト膜を現像することにより、前記リッジ部の上方の前記第2フォトレジスト膜を除去すると共に、前記リッジ部の両側の前記パッシベーション膜上に、その上面の高さが前記リッジ部の上面の高さよりも低くなるような膜厚を有する前記第2フォトレジスト膜を残す工程と、
(h)前記(g)工程の後、前記第2フォトレジスト膜をマスクにしたウェットエッチングにより、前記リッジ部の上方の前記第1絶縁膜およびその上部のパッシベーション膜と、前記第1絶縁膜の側面を覆う前記パッシベーション膜と、前記リッジ部の側面のうち、前記第2フォトレジスト膜の上面よりも上方の部分を覆う前記パッシベーション膜とを除去し、前記p型コンタクト層の上面と側面の一部とを露出させる工程と、
(i)前記第2フォトレジスト膜を除去した後、前記(h)工程で露出させた前記p型コンタクト層の前記上面と前記側面の一部とに接する電極を形成する工程。
11 n型バッファ層
12 n型クラッド層
13 n型ガイド層
14 活性層
15 電子ブロック層
16 p型クラッド層
16A リッジ部
17 p型コンタクト層
18 酸化シリコン膜
19 窒化シリコン膜
20A 開口
21 開口
22 フォトレジスト膜
23 フォトマスク
23A 透過領域
24 p側電極
25 n側電極
26 フォトレジスト膜
Claims (5)
- (a)基板上に、少なくともn型クラッド層、活性層、窒化物半導体を主体として構成されるp型クラッド層およびp型コンタクト層を成長させる工程と、
(b)前記p型コンタクト層の上部に形成した第1絶縁膜をマスクにして、前記p型コンタクト層および前記p型クラッド層をドライエッチングすることにより、前記p型クラッド層の一部に凸状のリッジ部を形成する工程と、
(c)前記p型コンタクト層の上部に前記第1絶縁膜を残した状態で、前記基板上に第2絶縁膜からなるパッシベーション膜を形成する工程と、
(d)前記(c)工程の後、前記リッジ部の上方に開口を設けた第1フォトレジスト膜をマスクにして前記リッジ部の上方の前記パッシベーション膜およびその下部の前記第1絶縁膜をエッチングすることにより、前記パッシベーション膜およびその下部の前記第1絶縁膜に、その底部が前記第1絶縁膜の下部の前記リッジ部に達しない程度の深さを有する第1開口を形成する工程と、
(e)前記第1フォトレジスト膜を除去した後、前記基板上の全面に第2フォトレジスト膜を塗布する工程と、
(f)露光光が前記第2フォトレジスト膜の底面まで到達しないような露光条件下で、少なくとも前記リッジ部とその近傍を覆う領域の前記第2フォトレジスト膜を露光する工程と、
(g)前記(f)工程の後、前記第2フォトレジスト膜を現像することにより、前記リッジ部の上方の前記第2フォトレジスト膜を除去すると共に、前記リッジ部の両側の前記パッシベーション膜上に、その上面の高さが前記リッジ部の上面の高さよりも低くなるような膜厚を有する前記第2フォトレジスト膜を残す工程と、
(h)前記(g)工程の後、前記第2フォトレジスト膜をマスクにしたウェットエッチングにより、前記リッジ部の上方の前記第1絶縁膜およびその上部のパッシベーション膜と、前記第1絶縁膜の側面を覆う前記パッシベーション膜と、前記リッジ部の側面のうち、前記第2フォトレジスト膜の上面よりも上方の部分を覆う前記パッシベーション膜とを除去し、前記p型コンタクト層の上面と側面の一部とを露出させる工程と、
(i)前記第2フォトレジスト膜を除去した後、前記(h)工程で露出させた前記p型コンタクト層の前記上面と前記側面の一部とに接する電極を形成する工程と、を含み、
前記第1絶縁膜は前記リッジ部の高さよりも厚い、
ことを特徴とする窒化物半導体レーザ装置の製造方法。 - 前記(h)工程では、前記第1絶縁膜に形成された前記第1開口を通じて前記第1絶縁膜に薬液を接触させることによって、前記第1絶縁膜をウェットエッチングすることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体レーザ装置の製造方法。
- 前記第1絶縁膜は酸化シリコン膜からなり、前記パッシベーション膜を構成する前記第2絶縁膜は、窒化シリコン膜からなることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体レーザ装置の製造方法。
- 前記(c)工程では、前記第2絶縁膜をスパッタリング法で堆積することにより、前記リッジ部の側面に堆積される前記第2絶縁膜の膜厚を、前記リッジ部の上方に堆積される前記第2絶縁膜の膜厚よりも薄くすることを特徴とする請求項3記載の窒化物半導体レーザ装置の製造方法。
- 前記窒化物半導体レーザ装置は、窒化物レーザダイオードであることを特徴とする請求項1記載の窒化物半導体レーザ装置の製造方法。
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