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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4425167B2 (ja) * 2005-03-22 2010-03-03 富士フイルム株式会社 ガスバリア性フィルム、基材フィルムおよび有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2007308727A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Bridgestone Corp 結晶性薄膜の成膜方法
JP2007308728A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Bridgestone Corp 結晶性薄膜の成膜方法
JP5417698B2 (ja) * 2007-09-21 2014-02-19 凸版印刷株式会社 機能性フィルムの製造方法
KR100855068B1 (ko) 2008-02-28 2008-08-29 주식회사 와이투스틸 수직형 다층막 형성 장치
RU2416675C2 (ru) * 2009-02-26 2011-04-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образованя Московский авиационный институт (государственный технический университет) (МАИ) Способ формирования композитных твердосмазочных покрытий на рабочих поверхностях узлов трения
EP2508339B1 (en) 2009-12-03 2020-09-23 LG Chem, Ltd. Barrier film and an electronic device comprising the same
US8894825B2 (en) 2010-12-17 2014-11-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Sputtering target, method for manufacturing the same, manufacturing semiconductor device
CN102534483A (zh) * 2010-12-25 2012-07-04 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 镀膜件及其制备方法
CN102560350A (zh) * 2010-12-30 2012-07-11 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 被覆件及其制造方法
JP2013014131A (ja) * 2011-06-06 2013-01-24 Sumitomo Bakelite Co Ltd 繊維複合樹脂層含有多層シート製造方法および光学装置
JP6306437B2 (ja) * 2014-05-31 2018-04-04 国立大学法人山梨大学 縦型成膜装置
JP6720964B2 (ja) * 2015-03-18 2020-07-08 コニカミノルタ株式会社 ガスバリア性フィルム
CN105185923A (zh) * 2015-08-25 2015-12-23 张家港康得新光电材料有限公司 水汽阻隔膜及其制作方法、柔性显示器件及其制作方法
JP6737279B2 (ja) 2015-09-16 2020-08-05 コニカミノルタ株式会社 電子デバイス及び電子デバイスの封止方法
JPWO2017090599A1 (ja) * 2015-11-24 2018-10-18 コニカミノルタ株式会社 傾斜組成膜、それを具備しているガスバリアー性フィルム及び電子デバイス
JP2019010732A (ja) * 2015-11-24 2019-01-24 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアー性フィルム及び電子デバイス
JP2019010734A (ja) * 2015-11-24 2019-01-24 コニカミノルタ株式会社 積層型ガスバリアー性フィルム及び電子デバイス
JP2019010735A (ja) * 2015-11-24 2019-01-24 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアー性フィルム及び電子デバイス
JP2019010733A (ja) * 2015-11-24 2019-01-24 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアーフィルム、その製造方法及びそれを用いた電子デバイス
JP2017094585A (ja) * 2015-11-24 2017-06-01 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアーフィルム、ガスバリアーフィルムの製造方法及び電子デバイス
WO2017104332A1 (ja) * 2015-12-17 2017-06-22 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアーフィルム
JPWO2018021021A1 (ja) * 2016-07-28 2019-05-09 コニカミノルタ株式会社 ガスバリア性膜、これを用いたガスバリア性フィルム、およびこれらを用いた電子デバイス、ならびにガスバリア性膜の製造方法
WO2018034179A1 (ja) * 2016-08-18 2018-02-22 コニカミノルタ株式会社 ガスバリアー性膜、その製造方法及びそれを具備した電子デバイス
JP7456178B2 (ja) * 2019-06-18 2024-03-27 Toppanホールディングス株式会社 ガスバリア性積層体およびその製造方法
WO2022141168A1 (zh) * 2020-12-30 2022-07-07 广州奥松电子有限公司 一种用于氧气传感器的金属氮化物膜及其制备方法

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