JP2005031427A

JP2005031427A - 微粒子搬送装置および画像形成装置

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Publication number: JP2005031427A
Application number: JP2003196580A
Authority: JP
Inventors: Tetsuro Sasamoto; 哲朗笹本; Yoichiro Miyaguchi; 耀一郎宮口
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2003-07-14
Filing date: 2003-07-14
Publication date: 2005-02-03

Abstract

【課題】構造が簡素化でき、安価な微粒子搬送装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】搬送基板１３１は、液体中の微粒子としてのトナーを搬送する電界を発生するため、複数の電極１２を有しており、これら電極１２には、駆動回路２から、駆動波形電圧Ｐｖが印加される。印加される駆動波形は３相の異なる波形電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃからなっている。そして、これらの電極１２は、波形電圧Ｖａが印加される電極群１２ａ、波形電圧Ｖｂが印加される電極群１２ｂ、波形電圧Ｖｃが印加される電極群１２ｃにわかれている。これらの互いに異なる電極群は、互いに隣り合うよう配置されて、隣り合う電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間で移相電界（進行波電界）を発生せさ、トナーを搬送させる。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体中に分散された微粒子を搬送する微粒子搬送装置またはこの微粒子搬送装置を備えた画像形成装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１７は、液体中に分散された微粒子を搬送する手段の一例として、湿式現像装置の概略構成を示すものである。図１７において、矢印方向に回転させられる潜像担持体としての感光体ドラム２０４の周りには、現像装置２００の他に電子写真プロセスを実行するための図示しない、帯電装置、露光系、転写装置、分離搬送装置、クリ−ニング装置等が、それぞれ配設されている。
【０００３】
上記現像装置は、駆動手段Ｍ１によって回転駆動する現像ローラ２０１の表面に、貯蔵タンク２０５に貯蔵した液体現像剤を、均一な厚さで薄層状に塗布するための規制ブレード２０３とスクイズローラ２０２を備えている。スクイズローラ２０２もまた、駆動手段Ｍ２によって回転している。そして、現像ローラ２０１と感光体２０４との近接部である現像領域において、スクイズローラ２０２により現像ローラ２０１の表面に塗布された液体現像剤が、上記感光体２０４の表面に接触する。これにより、液体現像剤薄層中のトナーにより、該感光体２０４上の静電潜像がトナー像化される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図１７の現像装置の場合、現像ローラ２０１を駆動する駆動手段Ｍ１やスクイズローラ２０２を回転駆動させる駆動手段Ｍ２、またこれらの駆動を制御する制御手段を設ける必要がある。このため、装置の構造が複雑になり、コストや、軽量化等が困難であった。
【０００５】
本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、構造が簡素化でき、安価な微粒子搬送装置および画像形成装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１の微粒子搬送装置は、液体中に分散された微粒子を搬送させる微粒子搬送装置において、該微粒子搬送装置は、基板を有し、この基板上には、帯電された微粒子が移動する方向と直交する複数の電極が形成されており、該電極は、２つ以上の電極群にわかれており、それぞれの電極群にそれぞれ異なる相の駆動波形電圧を電圧印加手段によって該電極に印加することで、互いに異なる群に属する電極間に電位差を生じさせて、前記帯電した微粒子を搬送することを特徴とするものである。
また、請求項２の微粒子搬送装置は、請求項１の微粒子搬送装置において、前記基板は、フレキシブルに変形可能な材料で形成されていることを特徴とするものである。
また、請求項３の微粒子搬送装置は、請求項１または２の微粒子搬送装置において、前記電極は、デポジション工法によって、前記基板上に形成されることを特徴とするものである。
また、請求項４の微粒子搬送装置は、請求項３の微粒子搬送装置において、前記デポジション工法は、電着法または蒸着法であることを特徴とするものである。
また、請求項５の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３または４の微粒子搬送装置において、前記電極は、薄箔電極を前記基板に形成した後、前記薄箔電極をエッチング処理によってパターン化することで、前記基板上に電極が形成されることを特徴とするものである。
また、請求項８の微粒子搬送装置は、請求項６または７の微粒子搬送装置において、前記表面保護層の比抵抗は、１０＊Ｅ６Ω・ｃｍであることを特徴とするものである。
また、請求項９の微粒子搬送装置は、請求項６、７または８の微粒子搬送装置において、前記表面保護層の最外層は、前記液体に対して化学的に反応しない材料で形成されていることを特徴とするものである。
また、請求項１０の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８または９の微粒子搬送装置において、前記電極群は３つ以上にわかれており、１電極群当たりの電圧印加時間は、前記駆動波形の１周期時間の［（ｎ−１）／ｎ（※ｎは、電極群の数）］未満であることを特徴とするものである。
また、請求項１１の微粒子搬送装置は、請求項１０の微粒子搬送装置において、前記電圧印加時間は、２０μｓｅｃ以上であることを特徴とするものである。
また、請求項１２の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０または１１の微粒子搬送装置において、前記電圧印加手段は、電圧値を変更する電圧値変更手段を有することを特徴とするものである。
また、請求項１３の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１または１２の微粒子搬送装置において、前記電圧印加手段は、前記複数の電極群に印加する電圧の周波数を変更する周波数変更手段を有することを特徴とするものである。
また、請求項１４の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２または１３の微粒子搬送装置において、前記電極群それぞれに電圧を印加したとき、ある電極群の極性と異なる極性となる電極群が少なくともひとつ存在するように、駆動波形を制御することを特徴とするものである。
また、請求項１５の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３または１４の微粒子搬送装置において、前記微粒子が分散された液体の粘性が１ｍＰａ・ｓ以上１０００ｍＰａ・ｓ以下であることを特徴とするものである。
また、請求項１６の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４または１５の微粒子搬送装置において、前記微粒子が分散された液体の抵抗が１０^８Ω・ｃｍであることを特徴とするものである。
また、請求項１７の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５または１６の微粒子搬送装置において、前記微粒子が分散された液体は、シリコーンオイル、ジメチルシリコーン、メチルフェニルシリコーンのいずれかひとつであることを特徴とするものである。
また、請求項１８の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６または１７の微粒子搬送装置において、前記基板を間歇的または連続的に振動させる振動発生手段を備えることを特徴とするものである。
また、請求項１９の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７または１８の微粒子搬送装置において、前記微粒子は、粒径が１．０μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とするものである。
また、請求項２０の微粒子搬送装置は、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９の微粒子搬送装置において、前記電極の厚みが３μｍ以下であることを特徴とするものである。
また、請求項２１の画像形成装置は、液体中にトナーを含有する液体現像剤を収容する現像剤収容部と、該現像剤収容部内の液体現像剤中のトナーを請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９または２０の微粒子搬送装置によって、画像形成装置の潜像担持体上にトナーを供給して該潜像担持体上の潜像を現像する現像装置を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本実施形態の微粒子搬送装置について説明する。なお、微粒子が分散された液体として、液体現像剤を用いた例について説明する。
図１は、本実施形態に係る微粒子搬送装置の概略構成図である。搬送基板１３１は、液体中の微粒子としてのトナーを搬送する電界を発生するため、複数の電極１２を有している。この搬送基板１３３は、ガラス基板、樹脂基板、セラミック基板等の絶縁性材料からなるもの、あるいは、ＳＵＳなどの導電性材料からなる基板にＳｉＯ_２等の絶縁膜を成膜したもの、また、ポリアミドフィルムなどのフレキシブルに変形可能な材料からなるものなどを用いることができる。
また、電極１２は、搬送基板１３３上にＡｌ、Ｎｉ−Ｃｒ等の導電性材料を０．１〜０．２μｍの厚みで成膜し、これを後述するフォトリソ技術などを用いて所要の電極形状にパターン化して形成する。
これら電極１２には、駆動回路２から、駆動波形電圧Ｐｖが印加される。印加される駆動波形はｎ相（ここでは３層とする）の異なる波形電圧Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃからなっている。そして、これらの電極１２は、波形電圧Ｖａが印加される電極１２ａ、波形電圧Ｖｂが印加される電極１２ｂ、波形電圧Ｖｃが印加される電極１２ｃにわかれている。
【０００８】
図２は、搬送基板１３３を示す平面説明図である。電極１２上には、トナー等の微粒子搬送方向と直交する方向に延在する３つの電極１２ａ、電極１２ｂ、電極１２ｃが、搬送方向に所定ピッチで繰り返し並ぶように複数配設されている。
【０００９】
これら電極１２の上には、無機又は有機の絶縁性材料からなる保護層１３が被覆されており、この保護層の表面が液体現像剤中のトナー搬送面になっている。保護層１３のより具体的な材料としては、ＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２、Ｔｉ_２Ｏ_４、ＳｉＯＮ、ＢＮ、ＴｉＮ、Ｔａ_２Ｏ_５などを使用しており、厚さは、０．５〜１μｍである。
【００１０】
かかる構成の搬送基板１３３の電極に対して、駆動回路２から３相の駆動波形を印加すると、互いに異なる群に属し隣り合う電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃ間で移相電界（進行波電界）が発生する。これにより、搬送基板１３３上の帯電済みのトナーが反発力や吸引力を受け搬送方向に進んでいく。例えば、静電搬送基板１３３の複数の電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃに対して図３に示すようにグランドＧ（０Ｖ）と正（＋）電圧との間で変化する３相のパルス状駆動波形（駆動信号）Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃをタイミングをずらして印加する。このとき、図４に示すように、搬送基板１３３上に負（−）帯電性のトナーＴがあり、搬送基板１３３の連続した複数の電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃに▲１▼で示すように「Ｇ」、「Ｇ」、「＋」、「Ｇ」、「Ｇ」が印加されたとする。すると、トナーＴは「＋」の電極１２上に移動する。次に、複数の電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃに▲２▼で示すように「＋」、「Ｇ」、「Ｇ」、「＋」、「Ｇ」が印加されると、トナーＴには図中左側の「Ｇ」の電極１２との間で反発力が作用する。これとともに、図中右側の「＋」の電極１２との間で吸引力も作用する。この結果、トナーＴは「＋」の電極１２上に移動する。更に、複数の電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃに▲３▼で示すように「Ｇ」、「＋」、「Ｇ」、「Ｇ」、「＋」が印加されると、トナーＴには同様に反発力と吸引力が作用して、トナーＴが更に「＋」の電極１２上に泳動する。
【００１１】
このように複数の電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃに電圧の変化する複相の駆動波形を印加することで、搬送基板１３３上には進行波電界が発生し、トナーがホッピングしながらこの進行波電界の進行方向に搬送される。なお、正（＋）帯電性のトナーを用いる場合には、駆動波形の変化パターンを逆にすることで同様の搬送を実現することができる。
【００１２】
次に、トナーの搬送を行うための搬送基板１３３の複数の電極１２ａ、１２ｂ、１２ｃの幅（電極幅）Ｌ及び電極間隔Ｒ、並びに表面保護層１３について説明する。搬送基板１３３における電極幅Ｌと電極間隔Ｒはキャリア液中のトナーの搬送効率に大きく影響する。即ち、電極と電極の間にあるトナーは、ほぼ水平方向の電界により基板表面を隣接する電極まで移動する。これに対して、電極上に乗っているトナーは、少なくとも垂直方向の成分も持った初速が与えられることから、多くは基板面から離れてキャリア液中を泳動する。特に、電極端面付近にあるトナーは、隣接電極を飛び越えてキャリア液中を泳動するため、電極幅Ｌが広い場合には、その電極上に乗っているトナーの数が多くなり、泳動距離の大きいトナーが増えて搬送効率が上がる。但し、電極幅Ｌが広すぎると、電極中央付近の電界強度が低下するためにトナーが電極に付着し、搬送効率が低下することになる。そこで、本発明者らは鋭意研究した結果、低電圧で効率よく粉体を搬送、泳動するための適正な電極幅があることを見出した。
【００１３】
また、電極間隔Ｒは、距離と印加電圧の関係から電極間の電界強度を決定し、間隔Ｒが狭い程電界強度は当然強く、搬送、泳動の初速が得られやすい。しかし、電極から電極へ移動するようなトナーについては、一回の移動距離が短くなり、駆動周波数を高くしないと泳動効率が上がらないことになる。これについても、本発明者らは鋭意研究した結果、低電圧で効率よく粉体を搬送、泳動するための適正な電極間隔があることを見出した。
【００１４】
更に、電極表面を覆う表面保護層の厚さも電極表面の電界強度に影響を与え、特に垂直方向成分の電気力線への影響が大きく、搬送の効率を決定することをも見出した。
【００１５】
そこで、搬送基板の電極幅、電極間隔、表面保護層厚さの関係を適正に設定することによって、電極表面でのトナー吸着問題を解決し、低電圧で効率的な移動を行うことができる。
【００１６】
より詳しく説明すると、まず、電極幅Ｌについては、電極幅Ｌをトナー径の１倍としたときは、最低１個のトナーを乗せて搬送するための幅寸法である。これより狭いとトナーに作用する電界が少なくなり、搬送力、飛翔力が低下して実用上は十分でない。また、電極幅Ｌが広くなるに従って、特に、電極上面中央付近で、電気力線が進行方向（水平方向）に傾斜し、垂直方向の電界の弱い領域が発生し、ホッピングの発生力が小さくなる。電極幅Ｌがあまり広くなると、極端な場合、液体現像剤のキャリア液の粘性力が勝り、トナーの堆積が発生することがある。そして、搬送及び泳動の効率から、電極の上にトナー５０個程度が乗る程度の幅までであれば吸着が発生し難く、１００Ｖ程度の低電圧の駆動波形で効率良く搬送、泳動の動作が可能である。それ以上電極幅Ｌが広いと電界の弱い領域が発生し、この領域においてはキャリア液の粘性力の方が勝ってしまい、トナーの堆積が発生してしまう。例えば、トナーの平均粒径を２μｍとすると、２μｍ〜１００μｍまでの範囲に相当する。
【００１７】
電極間隔Ｒが広くなるほど搬送方向の電界強度は低下するため、トナーの搬送・ホッピングに必要な電界強度を得るためには、電極間隔Ｒは、トナーの平均粒径の１倍以上〜２０倍以下とする。好ましくは２倍以上〜１０倍以下、更により好ましくは２倍以上〜６倍以下である。
また、ホッピングの効率は電極間隔Ｒが広がると低下するが、トナー平均粒径の２０倍までは実用上のホッピング効率が得られる。トナー平均粒径の２０倍を越えるとやはり多くのトナーの吸着力が無視できなくなり、ホッピングが全く発生しないトナーが発生する。このため、この点でも電極間隔Ｒはトナーの平均粒径の２０倍以下とする必要がある。
【００１８】
以上のように、電界強度は、印加電圧の大きさ以外に、電極幅Ｌ、電極間隔Ｒが影響し、電極幅Ｌ、電極間隔Ｒが狭い方が電界強度は高くなる。そして、電極のトナー進行方向における幅をトナーの平均粒径の１倍以上２０倍以下で、且つ、電極のトナー進行方向の間隔を粉体の平均粒径の１倍以上２０倍以下とすることにより、次のようなことを可能にする。即ち、電極上又は電極間にある帯電したトナーが、キャリア液の粘性力にうち勝って、トナーを搬送させるのに十分な静電力を作用させることができる。そして、トナーの滞留が防止されて、低電圧で安定して効率的に搬送をさせることができる。
【００１９】
次に、表面保護層１３について説明する。搬送面に表面保護層を設けることにより、電極の汚れ、微粒子等の付着が無く、表面を搬送に好適な条件で維持することができる。また、高湿度環境での沿面リークの回避でき、比帯電量Ｑ／ｍの変動が無く、粉体の帯電電荷量を安定に維持することができる。表面保護層の厚さを０．１〜８０μｍの範囲で変化させたときの電界強度を計算値で求めた結果を図５に示している。この表面保護層１３の誘電率εは空気より高い値であり、通常ε＝２以上である。同図から分かるように、この表面保護層の膜厚（電極表面からの厚さ）が厚すぎると、表面のトナーに作用する電界強度が低下する。そこで、搬送効率、耐温湿度環境等を考慮すると、搬送動作に対して効率低下を問題にしないで実用可能な表面保護層厚さは、３０％効率が低下する１０μｍ以下、より好ましくは効率低下が数％に押さえられる５μｍ以下である。また、表面保護層の材料としては、比抵抗は１０＊Ｅ６Ωｃｍ以上、誘電率εが２以上の材料を用いることが好ましい。このように、電極表面を覆う表面保護層を設け、この表面保護層の厚さを１０μｍ以下とすることで、特に液体中の微粒子に対して水平方向成分の電界をより強く作用させることができ、搬送効率を上げることができる。
【００２０】
次に、移動させる液体中に分散された微粒子の帯電極性と表面保護層の最外層の材料の関係について説明する。なお、表面保護層の最外層とは、表面保護層が単一層の場合には当該層を、表面保護層が複数層から形成される場合には微粒子が接触する面を形成する層をいう。画像形成装置に用いられる液体現像剤中のトナーを搬送する場合、トナーの８０％以上を占める樹脂材料としては、溶融温度、カラーにおいては透明性等が考慮され、一般的にはスチレン−アクリル系の共重合体、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ラウリルメタククレート樹脂等が用いられる。トナーの帯電特性はこれらの樹脂の影響を受けるが、積極的に帯電量をコントロールする目的で帯電制御剤が加えられる。ブラックトナー（ＢＫ）用の帯電制御剤としては、正帯電の場合は、例えば、ナフテン酸、オクチル酸、ステアリン酸などの金属塩、負帯電の場合は、例えば、アクリルベンゼンスルフォン酸カルシウム、ジオクチルスルフォン酸カルシウム、が使用される。また、カラー液体現像剤のトナーの帯電制御剤としては、正帯電の場合は、例えば、四級アンモニウム塩類、イミダゾール系錯体類、負帯電の場合は、例えば、サリチル酸金属錯体や塩類、有機ホウ素塩類が使用される。
【００２１】
一方、これらのトナーは、搬送基板上を移相電界（進行波電界）によって搬送、またはホッピングする動作によって、表面保護層と接触、剥離を繰り返すため、トナーが摩擦帯電の影響を受けることになる。しかし、その帯電量と極性は材料相互の帯電系列によって決まってくる。この場合、トナーの帯電量を主に帯電制御剤によって決定される飽和帯電量、または多少低下する程度に維持することで、搬送、ホッピング、感光体現像にとっての効率を向上させることができる。そこで、トナーの帯電極性が負の場合は、少なくとも表面保護層の最表面を形成する層の材料として、摩擦帯電系列上でトナーの帯電制御剤として用いられる材料の近傍（搬送、ホッピングの領域が少ない場合）に位置する材料を用いることが好ましい。または、正端側に位置する材料でもよい。例えば、帯電制御剤が、サリチル酸金属錯体の場合はこの近傍に位置するポリアミド系が好ましい。例えば、ポリアミド（ナイロン：商品名）６６、ナイロン（商品名）１１、または、ＳｉＯ_２等を用いる。
【００２２】
また、トナーの帯電極性が正の場合は、少なくとも表面保護層の最表面を形成する層の材料として、摩擦帯電系列上でトナーの帯電制御剤として用いられる材料の近傍（搬送、ホッピングの領域が少ない場合）に位置する材料が好ましい。または、負端側に位置する材料を使用することが好ましい。例えば、帯電制御剤が、四級アンモニウム塩類の場合はこの近傍、またはフッ素等のテフロン（登録商標）系材料を用いるとよい。
【００２３】
さらに、少なくとも表面保護層の最表面を形成する層の材料として、液体現像剤のキャリア液（例えば、アイソパー（商品名）やシリコンなど）に化学的に反応しない材料が好ましい。表面保護層がキャリア液と化学的反応をしてしまうと、絶縁不良やキャリア液中のトナーがスムースに動かない原因となる。例えば、キャリア液がシリコンでＳＰ値が７．４である場合はナイロン（商品名）やウレタンなど、シリコンのＳＰ値に対して２以上離れた材料を用いるとよい。
【００２４】
次に、電極１０２の厚みについて説明する。上述したように電極表面を覆う数μｍ厚さの表面保護層を形成した場合、表面保護層の下に電極がある領域とない領域に対応して、搬送基板表面には凹凸が生じることになる。このとき、電極の厚さを３μｍ以下の薄層に形成することによって、保護膜表面の凹凸を問題にすることなくトナー等、５μｍ程度の液体中に分散された微粒子をスムーズに搬送することができる。このように、電極の厚みを３μｍ以下に形成すれば、搬送基板表面の平坦化処理等を必要しないで、薄層の表面保護層を有する搬送基板を実用化でき、搬送、ホッピングのための電界強度が低下することもなくなり、より効率的な搬送を行うことができる。
【００２５】
次に、微粒子搬送装置の製造方法について説明する。本発明に係る微粒子搬送装置を画像形成装置に用いる場合、搬送用の搬送基板としては、少なくともＡ４縦幅２１ｃｍ、または横幅３０ｃｍ以上の長尺、大面積にファインパタンの実用が必要になってくる。そのためには、ベースとなる基材上に、薄層の電極、薄層の保護膜（表面保護層）を順次積層して形成することが好ましい。
【００２６】
まず、フレキシブルなファインピッチ薄層電極を有するものを基材とする搬送基板の一例を示す。ポリイミドのベースフィルム（厚さ２０〜１００μｍ）を基材として、その上にデポジション工法として蒸着法によって０．１〜３μｍのＣｕ、Ａｌ、Ｎｉ−Ｃｒ等を成膜する。幅３０〜６０ｃｍであれば、ロール・トゥ・ロールの装置で製造可能であり、量産性が非常に高まる。共通バスラインは同時に幅１〜５ｍｍ程度の電極を形成する。蒸着法の具体的手段としては、スパッタ法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、イオンビーム法、等の方法が可能である。例えば、スパッタ法で電極を形成する場合において、ポリイミドとの密着性を向上させるため、Ｃｒ膜を介在させても良いし、前処理として、プラズマ処理やプライマー処理によっても密着性を向上させることができる。また、デポジション工法としては、蒸着法以外に、蒸発法、電着法によっても薄層電極を形成することができる。この場合は、ポリイミドの基材上に、まず、無電解メッキによって電極を形成する。塩化Ｓｎ、塩化Ｐｄ、塩化Ｎｉに順次浸漬して下地電極を形成した後、Ｎｉ電解液中で電解メッキを行ってＮｉ膜１〜３μｍをロール・トゥ・ロールで製造することが可能である。また、蒸発法の具体的手段としては、抵抗過熱法、ＥＢ法などの方法が可能である。
【００２７】
これらの薄膜電極にレジスト塗布、パタンニング、ドライエッチング工法やウェットエッチング工法などのエッチング工法で電極１０２を形成する。この場合、０．１〜３μｍ厚さの薄層電極であれば、フォトリソ、エッチング処理によって５μｍ〜数１０μｍ幅、又は間隔のファインパタン電極を精度良く形成することができる。次いで、表面保護層１０３としてＳｉＯ２、ＴｉＯ２等を厚さ０．５〜２μｍをスパッタ等により形成する。或いは、表面保護層としてＰＩ（ポリイミド）を厚さ２〜５μｍにロールコータ、その他コーティング装置により塗布し、ベークして仕上げる。ＰＩのままで支障を生じるときには、更に最表面にＳｉＯ_２、その他無機膜を０．１〜２μｍの厚みにスパッタ等で形成すればよい。
【００２８】
また、別の例としては、ポリイミドのベースフィルム（厚さ２０〜１００μｍ）を基材として、その上に電極材料として、厚さ１０〜２０μｍのＣｕ、ＳＵＳ等を使用することも可能である。この場合は、逆に金属材の上にポリイミドをロールコータにて２０〜１００μｍ塗布してベークする。その後、金属材をフォトリソ、エッチング処理によって電極１０２の形状にパターン化し、その電極１０２面上に保護層１０３としてポリイミドをコーティングする。また、金属材電極の厚さ１０〜２０μｍに応じた凹凸がある場合は、適正な段差を含む、準平坦化を行う。例えば、粘度５０〜１０，０００ｃｐｓ、より好ましくは１００〜３００ｃｐｓのポリイミド系材料、ポリウレタン系材料をスピンコートして放置することによって、材料の表面張力によって基板の凹凸がスムージングされ、搬送基板最表面が平坦化される。その後、熱処理により安定した保護フィルム膜材となる。
【００２９】
フレキシブル搬送基板の強度を上げた更に他の例としては、基材として厚さ２０〜３０μｍのＳＵＳ、Ａｌ材等を用いて、その表面に絶縁層（電極と基材との間の絶縁）として５μｍ程度の希釈したポリイミド材をロールコータによりコーティングする。そして、このポリイミドを例えば１５０℃−３０分のプリベーク、３５０℃−６０分のポストベークして薄層ポリイミド膜を形成して基材とする。その後、密着性向上のプラズマ処理やプライマー処理を施した後、薄層電極層としてＮｉ−Ｃｒを０．１〜２μｍの厚みに蒸着し、フォトリソ、エッチングによって数１０μｍのファインパタンの電極１０２を形成する。更に、表面にＳｉＯ_２、ＴｉＯ_２等の表面保護層１３を０．５〜１μｍ程度の厚みにスパッタにより形成することで、フレキシブル搬送基板を得ることができる。
【００３０】
次に、駆動波形の１相当たりの電圧印加時間及び電圧印加デューティについて図６、図７、図８を参照して説明する。
電極に印加する電圧の極性と帯電したトナーの移動方向の関係については、例えばキャリア液中のトナーが負帯電で印加電圧が０（Ｇ）〜＋電圧の場合、＋電圧が印加された電極から０Ｖが印加された電極へ向かう電気力線の反対方向へ移動することになる。また、キャリア液中のトナーが正帯電の場合は、電気力線と同じ方向へ移動することになる。ここで、図６は駆動波形Ｖｂが印加される電極１２Ｂ上のキャリア液中のトナーに注目して印加電圧パルスデューティに対するキャリア液中のトナーの振る舞いを説明するものである。
電極１２Ｂの電圧が＋の間に吸着した負帯電トナーＴがあるとき、電極１２Ｂの電圧が０Ｖに切り替わった時点で、＋電圧の電極から電極１２Ｂに向かう電気力線の方向へキャリア液中のトナーＴは泳動を開始する。このとき、印加電圧パルスの＋電圧印加デューティを、各電極に対してｎ相（ｎは３以上の整数）のパルス状電圧（駆動波形）を印加して進行波電界を発生させる場合、１相あたりの電圧印加時間が（繰り返し周期時間×（ｎ−１）／ｎ）未満となる電圧印加デューティとすることによって、搬送の効率を上げることができる。
【００３１】
すなわち、例えば、図７に示すように、Ａ，Ｂ，Ｃの３相の駆動波形を印加し、各相の電圧印加時間ｔａを繰り返し周期時間ｔｆの２／３である約６７％に設定した場合、Ｂ相が０ＶになったときにＡ相が＋電圧、Ｃ相も＋電圧となる。よって、図６に示すように並んでいる電極１２Ａ、電極１２Ｂ、電極１２Ｃを見ると、電極１２Ｂを中心に対象な電界分布となる。そのため、電極１２Ｂ上の進行方向側半分にあるトナーは、搬送、正規の方向に泳動するが、後方半分にトナーは、全く反対方向に泳動を開始することになり、著しく搬送効率が低下する。したがって、３相の駆動波形を用いる場合には、各相の電圧印加時間ｔａを繰り返し周期時間ｔｆの２／３である約６７％未満に設定することで、効率の低下を防止できる。また、４相の駆動波形を用いる場合には、各相の電圧印加時間を繰り返し周期時間の３／４である７５％未満に設定することで、同様に搬送効率の低下を防止できる。
【００３２】
さらに、例えば、図８に示すようにＡ，Ｂ，Ｃの３相の駆動波形を印加し、各相の電圧印加時間ｔａを繰り返し周期時間ｔｆの１／３である約３３％に設定した場合、すなわち、（繰り返し周期時間／ｎ）に設定した場合、電極１２Ｂに注目すると、電極１２Ｂの印加電圧が０Ｖになった時間においては、Ａ相電極の印加電圧は０Ｖ、電極１２Ｃの印加電圧は＋電圧である。また、トナーの進行方向はＡ→Ｃであるから、電極１２Ｂ上のトナーはＡ相電極との間では反発され、Ｃ相電極との間では吸引される方向の電界を受けることになり、搬送の効率が高くなる。すなわち、注目電極に印加する電圧と進行方向上流側隣接電極及び下流側隣接電極に印加する各電圧との間には、上流側隣接電極が反発、下流側隣接電極が吸引という時間を設定することによって、搬送効率を向上することができる。特に、駆動周波数が高い場合は、（繰り返し周期時間／ｎ）以上で（繰り返し周期時間×（ｎ−１）／ｎ）未満の範囲に設定することにより、注目電極上のトナーに対する初期速度が得られやすくなる。また、効率を落とすことなく、搬送の繰り返し周波数を上げられ、特に高速搬送を行うことができる。
【００３３】
次に、本発明に係る微粒子搬送装置の第２実施形態について図９及び図１０を参照して説明する。搬送するトナーにはバラツキがあり、帯電量が大きいもの、小さいもの、また無帯電のものがある。この帯電量が小さいものや無帯電のものは、静電搬送にマッチングせず、搬送され難いことから、これが障害、障壁となり、トナーが搬送されずに滞留することがある。そこで、間歇振動や、連続振動を与えて、トナーの拡散、分散を行うことで、搬送効率が向上する。図９は、搬送基板１３３をキャリア液中のトナーの進行方向に間歇的又は連続的に微小振動させる振動発生手段１５を備えたものである。また、図１０は、搬送基板１３３をキャリア液中のトナーの進行方向に間歇的又は連続的に微小振動させる振動発生手段１５及びトナーの進行方向と交差する方向に間歇的又は連続的に微小振動させる振動発生手段１６を備えたものである。これらの振動発生手段１５、１６としては、ＰＺＴ、機械コイル等を用いることができる。このように搬送基板１３３を振動発生手段１５によって、トナーの進行方向（縦方向）に間歇的または連続的に微小振動させることで、搬送するトナーに進行波電界による力と振動が加わる。また、図１０に示すように、振動発生手段１６によってトナーの進行方向と交差する方向（横方向）の間歇的または連続的な微小振動を加えることで、液体中に分散された微粒子（トナー）の拡散、分散をより確実に行うことができる。
【００３４】
ここで、縦方向の振動、横方向の振動は、振幅がトナーの平均粒径の０．２〜２倍の範囲内とすることが好ましい。振動振幅の大きさは、トナー搬送の速度にも依存するが、トナーの平均粒径の２倍を越えると、粒子搬送と搬送基板の進行波電界が整合せずに搬送効率が低下する。また、振動周波数は駆動周波数の１／５〜３倍の範囲内とすることが好ましい。ここでも振動周波数が駆動周波数の３倍を越えると、微粒子搬送と搬送基板の進行波電界が整合せずに搬送効率が低下する。
【００３５】
図１１は、本実施形態に係る複写機を示す概略構成図である。具体的には、上述の微粒子搬送装置を組み込んだ画像形成装置であり、この微粒子搬送装置は、液体現像剤中のトナーを感光体に搬送して、感光体の静電潜像をトナー像化する現像装置に用いたものである。
図１１に示す複写機本体の上部には、スキャナ装置が設けられている。このスキャナ装置のコンタクトガラス１０２上に原稿が載置された後、図示しないコピースタートスイッチが押されると、原稿の読み取りが開始される。具体的には、原稿照明光源１０３とミラー１０４とを含む走査光学系１０５と、ミラー１０６、１０７を含む走査光学系１０８とが移動して、原稿が光走査される。すると、原稿がレンズ１０９の後方に配設された画像読み取り素子１１０によって画像信号として読み込まれ、読み込まれた画像信号にデジタル画像処理が施される。処理後の信号は、レーザーダイオード（ＬＤ）を駆動して、これからレーザー光を出射させる。このレーザー光は、ポリゴンミラー１１３上での反射によって主走査方向に偏向せしめられながら、ミラー１１４を介して感光体１０１を走査する。この走査に先立ち、ドラム状の感光体１０１は図示しない駆動手段によって図中時計回りに回転駆動されながら、帯電手段１１５によって一様帯電せしめられる。そして、表面にレーザー光が走査されて静電潜像を担持する。この静電潜像は、現像装置１１６によってトナー像に現像される。
【００３６】
感光体１０１の図中下方には、給紙手段１１７が配設されており、カセット内に記録体たる転写紙を複数枚重ねた転写紙束の状態で収容している。コピー動作がスタートすると、転写紙を収容している方の給紙手段１１７Ａの給紙コロ１１８が回転駆動されて、転写紙束の一番上の転写紙を給紙路に送り出す。この給紙路の最下流側には、レジストローラ対が配設されており、給紙手段から送られてくる転写紙をローラ間に挟み込む。レジストローラ対は、挟み込んだ転写紙を感光体１０１上のトナー像に重ね合わせ得るタイミングで、感光体１０１とチャージャユニットとの対向部に向けて送り出す。この対向部においては、チャージャユニットの転写チャージャ１２０によって発せられるコロナ放電により、感光体１０１上のトナー像が転写紙に静電転写される。そして、分離チャージャ１２１によって感光体１０１から分離された転写紙が、搬送ベルト１２２を経由して定着手段１２３内に送られる。定着手段１２３は、加熱ローラと加圧ローラとの当接によって形成している定着ニップに転写紙を挟み込んで、加熱や加圧の作用によってトナー像を転写紙上に定着せしめる。このようにしてトナー像が定着された転写紙は、排紙ローラ対を経て機外のスタック部１２４にスタックされる。
【００３７】
上記チャージャユニットとの対向位置を通過した後の感光体１０１表面に付着している転写残トナーは、クリーニング手段１２５によって除去される。また、感光体１０１表面に残留している電荷は、除電ランプ１２６によって除電される。
【００３８】
次に、本複写機の特徴的な構成である現像装置について図１２および図１３に基づき説明する。
図１２は、上記現像装置１１６の要部構成と、感光体１０１とを示す拡大構成図である。現像装置１１６は、液体中に分散されたトナーを収納する現像タンク１３１を備えている。この現像タンク１３１には、現像タンク内のトナーを攪拌するアジテータ１３２が備えられており、このアジテータ１３２は、駆動手段Ｍからの駆動力によって回転駆動するように設けられている。また、この現像タンク内には、液体中の微粒子であるトナーを感光体１０１へ搬送する前述の微粒子搬送装置が設けられている。この微粒子搬送装置には、円弧状の部分を有する搬送基板１３３が現像タンクに取り付けられており、前記円弧状の部分は、液体現像剤溶液から浮き上がっている。そして、この円弧状の頂点は、感光体１０１に近接している。前記搬送基板の図中左側には帯電ローラ１３４が設けられており、液体中の微粒子であるトナーを帯電させる。また、搬送基板１３３には、複数の電極１２がトナー搬送方向と直交する方向に延在している。電極１２の表面は、上述の微粒子搬送装置同様、保護層が設けられている。表面保護層の厚みや材料等は、前述した微粒子搬送装置と同様なものを使用している。搬送基板１３３は、ポリイミドフィルムなどを基材としてフレキシブル基板としている。このように、フレキシブルな基板とすることで、円弧状の搬送基板を容易に形成することができる。本実施例では、使用環境の適応性から、フレキシブルに変形できる基板としているが、ガラスや樹脂等を基材とした固定基板であってもなんら問題はない。また、電極１２の間隔や厚みなどの各構成要素は、前述した微粒子搬送装置と同様である。
また、上記電極１２には、それぞれ駆動波形を印加する駆動回路１４２と制御回路１４３とが備えられた静電搬送制御部が備えられている。
【００３９】
図１４は、この静電搬送制御部の概略構成を示す説明図である。
この静電搬送制御部は、直流高圧電源部２１と、その直流高圧電源２１で発生する直流電圧を繰り返しパルス状の交流電圧に変換するための交流変換回路部２２を備えている。また、直流高圧電源部２１が出力する直流電圧値は、電圧値制御部２４により制御されている。この電圧値制御部２４は、ＰＷＭ信号発生回路で構成されており、直流高圧電源部２１に出力する交流制御信号のデューティ比を変化させることで、直流高圧電源部２１が出力する直流電圧値を変化させる。すなわち、本実施形態では、直流高圧電源部２１及び電圧値制御部２４によって電圧値変更手段が構成されている。一方、直流高圧電源部２１が出力する直流電圧は、各交流変換回路部２２が備えるトランジスタＴｒのＯＮ／ＯＦＦ動作により繰り返しパルス状の交流電圧に変換される。交流変換回路部２２は、静電搬送用パターン１３ごとに設けられており、交流変換制御部２３からの制御信号により、それぞれ、位相や周波数が制御される。すなわち、本実施形態では、交流変換回路部２２及び交流変換制御部２３によって周波数変更手段が構成されている。このようにして得られたパルス状の交流電圧が、静電搬送用電圧として、各電極１２に印加される。
【００４０】
次に、微粒子搬送装置を用いた現像装置の動作を説明する。現像タンク１３１内の液体中に分散されたトナーを帯電ローラ１３４によって帯電する。帯電されたトナーは、搬送基板１３３表面上をキャリア液と共に移動しながら現像領域に向けて搬送されて、感光体１０１上の静電潜像を現像する。現像に寄与しなかったトナーは、そのままキャリア液とともに搬送基板１３３表面上を移動しながら現像液タンク１３１内に戻される。
【００４１】
搬送基板１３３によって搬送されるトナーの量は、駆動周波数や、駆動波形の駆動電圧によって決まる。図１５は、駆動波形の駆動周波数に対するトナーの搬送量の関係を示した図であり、図１６は、駆動波形の駆動電圧に対するトナーの搬送量の関係を示した図である。図１５からわかるように、駆動周波数上昇にともない球形トナー、不定形トナーともに搬送量が増加しているのがわかる。そして、駆動周波数が約１３ＫＨｚのときにもっともトナー搬送量が多いことがわかる。また、球形トナーの方がに不定形トナーに比べてより多くのトナーが搬送できることがわかる。この図から、駆動周波数を１〜２０ＫＨｚに設定することで、正常にトナーが感光体に搬送される。また、図１６からわかるように、駆動電圧にともない球形トナー、不定形トナーともに搬送量が増加しているのがわかる。また、球形トナーの方がに不定形トナーに比べてより多くのトナーが搬送できることがわかる。この図から、駆動電圧を７０Ｖ以上にすることで、正常にトナーが感光体に搬送される。これにより、駆動周波数や駆動電圧をかえることで、感光体へ供給するトナーの搬送量が可変できる。例えば、印刷速度や画像濃度に応じて、駆動電圧や駆動周波数を可変させて、トナー搬送量を可変することで、高画質の画像を得ることができる。この具体的手段を以下に示す。
【００４２】
図１２に示すように、感光体上のトナーの濃度を検出するトナー濃度センサを設ける。このトナー濃度センサは、発光手段と受光手段とを備えた反射型光学センサである。例えば、画像印刷時の紙間や、イニシャライズ動作中に、感光体等の像担持体表面に濃度検知用トナーパッチ（基準パターン）を作成し、そのパッチの濃度をトナー濃度センサ１４４により検出を行う。このとき、印刷速度や、トナーの種類、環境変化や転写条件などの様々な要因によって、濃度変化が生じた場合、そのトナー濃度センサによる検出結果に基づき、搬送基板１３３の駆動電圧や駆動周波数を変化させてトナーの送り量を変化させる。また、これと同時に帯電バイアス、現像バイアス等を変更して現像ポテンシャルを調節して画像濃度制御を行う。
また、図１２に示すように搬送基板上のキャリア液中のトナーの濃度を検出するトナー濃度センサ１４５を設けて、搬送基板１３３上のトナー濃度をコントロールすることで、より詳細にトナーの搬送量を調節することができる。
【００４３】
次に、本実施形態に使用する液体現像について説明する。液体現像剤の液体は、不揮発性シリコーンオイル、ジメチルシリコーン、メチルシリコーン等を用いることで、画像形成装置を長時間未使用であっても、トナーが搬送基板や現像装置内で固着することがなく、常にスムーズに装置を稼動させることができる。また、この液体は、１〜１０００ｍＰａ・ｓの粘性を有していることが好ましい。このように比較的粘度の低い液体を用いることで、帯電したトナーが液体中を移動しやすいので、大きな電界を形成しなくても、搬送基板の表面上に移動することができる。また、この液体の抵抗値は、１０^８Ω以上であることが好ましい。このように液体の抵抗を高抵抗とすることで、キャリア液を通じて、電極間でリークが発生することがない。
【００４４】
また、上記液体現像剤に用いられるトナーは、粒径が１〜１０μｍのものを用いている。搬送基板の帯電トナーが移動するとき、キャリア液の粘性抵抗の影響を受けにくくなる。これにより、大きな電界を必要とせず、低電圧でのトナーの搬送が可能となる。
【００４５】
本実施形態によれば、液体現像剤中のトナーを微粒子搬送装置によって、現像領域近傍に搬送するので、電気的な制御のみでトナーを現像領域に搬送することができる。よって、微粒子搬送装置を電気的に制御する制御装置のみ設ければよく、従来のような現像ローラやスクイズローラを回転駆動させる駆動装置や、その駆動装置を制御する制御装置などを設ける必要がなくなる。その結果、画像形成装置の構造が簡素化でき、メンテナンスが容易に行えるようになる。また、装置の軽量化や小型化を実現することができる。さらに、装置のコストを抑えることができる。
また、本実施形態によれば、搬送基板のベース材をフレキシブルに変形可能な材料で形成している。このように、搬送基板のベース材をフレキシブルに変形可能とすることで、搬送基板１３３を湾曲させることができ、感光体１０の曲率に合わせて搬送基板１３３湾曲させることで、現像時間を確保することができるようになる。また、ロール・トゥ・ロールの装置で製造可能となり、量産性を高めることができる。また、搬送基板のベース材上に蒸着法や電着法によって薄膜電極を形成し、この薄膜電極にエッチング処理によってファインパタン電極を形成している。蒸着法や電着法を用いることで、ロール・トゥ・ロールの装置で製造可能となり、量産性を高めることができる。また、エッチングによって５μｍ〜数１０μｍのファインパタンの電極を精度良く形成することができる。以上のことより、複雑な工程を経ずとも、ロール・トゥ・ロールの装置で製造と、エッチング処理によって、高精度の搬送基板を形成することができ、低コストで搬送基板を製造することができる。
また、本実施形態によれば、微粒子搬送装置の搬送基板表面に形成した表面保護層の厚みを１０μｍ以下としている。表面保護層の厚みを１０μｍ以上とすると、搬送基板１３３表面のトナーに作用する電界強度が低下して、搬送効率が悪くなってしまう。表面保護層の厚みを１０μｍ以下とすることで、トナーに電界を強く作用させることができ、搬送効率をあげることができる。また、表面保護層の比抵抗を１０＊Ｅ６Ωｃｍ以上で、誘電率εが２以上の材料を用いている。このように、表面保護層を高抵抗にして、誘電率を高くすることで、保護層から隣接する電極方向へ向かう電界が減少するため、表面の垂直方向成分の電界が増加して、表面のトナーに作用する電界強度が増加する。その結果、トナーに電界を強く作用させることができ、搬送効率をあげることができる。
また、本実施形態によれば、表面保護層の最外層の材料をトナーの帯電制御剤として用いられる材料の近傍に位置する帯電系列の材料で構成している。また、トナーの帯電極性が負の場合、表面保護層の最外層の材料は、帯電制御剤の材料より帯電系列が正端側に位置する材料で構成している。同様にトナーの帯電極性が正の場合は、帯電制御剤の材料より帯電系列が負端側に位置する材料で表面保護層の最外層を構成している。トナーが、搬送基板上を移相電界（進行波電界）によって、表面保護層の最外層と接触、剥離を繰り返してトナーが摩擦帯電する。このとき、表面保護層の最外層の材料をトナーの帯電制御剤の帯電系列と近傍に近い材料で構成することで、トナーの摩擦帯電が、帯電表面保護層の最外層の材料による影響を受けにくくなる。これにより、トナーの帯電量を主に帯電制御剤によって決定される飽和帯電量、または多少低下する程度に維持することができ、搬送性、感光体への現像の効率を向上させることができる。また、表面保護層の最外層の材料は、キャリア液に対して化学的に反応しない材料で構成されている。これにより、表面保護層がキャリア液と化学的に反応しなくなり、絶縁不良やキャリア液中のトナーが移相電界によってスムーズに移動しないことがなくなる。
また、本実施形態によれば、３層の駆動波形パターンを印加する場合は、各相の＋電圧又は０Ｖの印加時間ｔａを繰り返し周期ｔｆの２／３である約６７％未満に設定した電圧パターンとしている。また、４層の駆動波形パターンを印加する場合は、各相の＋電圧又は０Ｖの印加時間ｔａを繰り返し周期ｔｆの３／４である約７５％未満に設定した電圧パターンとしている。このように、電極に印加する電圧と、進行方向上流側隣接電極及び下流側隣接電極に印加する各電圧との間に、反発、吸引という時間を設定することができ、よって、搬送効率を向上させることができる。また、電圧印加時間を２０μｓｅｃ以上としている。これにより、電極表面上の反発してホッピングしたトナーが、確実に次の電極に吸引される。これにより、搬送効率が向上する。また、ある相の駆動波形パターンが＋極性の電圧を印加するとき、別の相の駆動波形パターンが−極性の電圧を印加するようにしたので、トナーの反発力、吸引性が向上して、搬送効率を向上させることができる。
また、本実施形態によれば、複数の静電搬送用パターン１３に印加する静電搬送用電圧（交流電圧）の周波数を変更する周波数変更手段としての交流変換回路部２２及び交流変換制御部２３を備えている。これにより、帯電特性の異なるトナーの種類や、プリンタの使用環境（温度や湿度等）などに応じて、静電搬送用電圧の周波数を変更し、上記トナー移動用電界による静電搬送能力を適宜設定することが可能となる。
また、本実施形態によれば、静電搬送制御部２０は、複数の静電搬送用パターン１３に印加する静電搬送用電圧の電圧値を変更する電圧値変更手段としての直流高圧電源部２１及び電圧値制御部２４を備えている。これにより、帯電特性の異なるトナーの種類や、プリンタの使用環境（温度や湿度等）などに応じて、静電搬送用電圧の電圧値を変更し、上記トナー移動用電界による静電搬送能力を適宜設定することが可能となる。
また、本実施形態によれば、液体現像剤のキャリア液の粘性を１〜１０００ｍＰａ・ｓとしている。このように、粘性の低いキャリア液を用いることで、トナーの泳動性が良好となり、低い電界でも、トナーが確実に次の電極に搬送することができる。また、キャリア液の抵抗値を１０^８Ω以上としている。このように、キャリア液の抵抗を高抵抗とすることで、キャリア液を通じて、電極間でリークが発生することがない。この結果、電極にかかる電圧の低下が起こらず、確実に次の電極にトナーを移動することができ、搬送効率が低下することがない。また、キャリア液は、不揮発性のものを使用している。これにより、長時間未使用状態の間に、キャリア液が揮発してしまった結果、トナーが搬送基板上や現像装置内に固着することがない。
また、本実施形態によれば、トナーの粒径を１．０〜１０μｍとしている。これにより、トナーの泳動がキャリア液の粘性に影響を受けにくくなり、低い電界でも、トナーが次の電極に移動することができる。
また、本実施形態によれば、搬送基板１３３から突出する電極の厚さ３μｍを越えないように形成している。これにより、搬送基板上の凹凸によって、トナーの移動が妨げられることが防止でき、スムーズにトナーが移動することができる。
また、第２実施形態によれば、搬送基板１３３をキャリア液中のトナーの進行方向に間歇的又は連続的に微小振動させる振動発生手段１５を備えたものや、前記振動発生手段１５のほかにトナーの進行方向と交差する方向に間歇的又は連続的に微小振動させる振動発生手段１６を備えている。このように搬送基板１３３を振動発生手段１５によって、トナーの進行方向（縦方向）に間歇的または連続的に微小振動させることで、搬送するトナーに進行波電界による力と振動が加わる。また、振動発生手段１６によってトナーの進行方向と交差する方向（横方向）の間歇的または連続的な微小振動を加えることで、液体中に分散された微粒子（トナー）の拡散、分散をより確実に行うことができる。静電搬送にマッチングしない無帯電や帯電量が小さなトナーが搬送されず、滞留することが無くなる。よって、これらのトナーが搬送の邪魔になって、トナーの移動を妨げることがなくなり、搬送効率が向上することができる。
【００４６】
【発明の効果】
請求項１乃至２０の発明によれば、液体中に分散状態にある帯電された微粒子が、基板上に設けた電極間の電位差によって移動するので、電気的な制御のみで微粒子を搬送することができる。これにより、従来の液体中に帯電された微粒子を搬送する一例としての湿式現像装置のように、微粒子を搬送するための現像ローラや、スクイズローラ等を駆動するための駆動装置や、この駆動装置を制御する制御装置などを設ける必要がない。この結果、装置を小型化、軽量化でき、安価に製造することができるという優れた効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る液体中の微粒子を搬送する微粒子搬送装置としての微粒子搬送装置の概略図。
【図２】上記微粒子搬送装置の平面図。
【図３】上記微粒子搬送装置に与える駆動波形の一例を説明する説明図。
【図４】トナーの搬送、ホッピングの説明に供する説明図。
【図５】表面保護層の膜厚と電界強度の関係の一例を説明する説明図。
【図６】電極１２Ｂ上のキャリア液中のトナーの振る舞いを説明する説明図。
【図７】駆動波形の電圧パターンの一例を示す説明図。
【図８】駆動波形の電圧パターンの他の例を示す説明図。
【図９】第２実施形態係る微粒子搬送装置の一例を示す概略図。
【図１０】第２実施形態係る微粒子搬送装置の他の例を示す概略図。
【図１１】本実施形態に係る微粒子搬送装置を備えた複写機を示す概略構成図。
【図１２】同複写機の現像装置の要部構成と、感光体とを示す概略図。
【図１３】同複写機の現像装置を示す拡大概略図。
【図１４】同複写機に設けられる静電搬送制御部の概略構成を示す説明図。
【図１５】トナー搬送量と駆動周波数との関係を示す図。
【図１６】トナー搬送量と電圧依存性との関係を示す図。
【図１７】湿式現像装置の概略構成を示す図。
【符号の説明】
２駆動回路
１１支持部材
１２電極
１３表面保護層
１５、１６振動発生手段
１０１感光体
１１６現像装置
１３１現像液タンク
１３３搬送基板

Claims

液体中に分散された微粒子を搬送させる微粒子搬送装置において、該微粒子搬送装置は、基板を有し、この基板上には、帯電された微粒子が移動する方向と直交する複数の電極が形成されており、該電極は、２つ以上の電極群にわかれており、それぞれの電極群にそれぞれ異なる相の駆動波形電圧を電圧印加手段によって該電極に印加することで、互いに異なる群に属する電極間に電位差を生じさせて、前記帯電した微粒子を搬送することを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１の微粒子搬送装置において、前記基板は、フレキシブルに変形可能な材料で形成されていることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１または２の微粒子搬送装置において、前記電極は、デポジション工法によって、前記基板上に形成されることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項３の微粒子搬送装置において、前記デポジション工法は、電着法または蒸着法であることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３または４の微粒子搬送装置において、前記電極は、薄箔電極を前記基板に形成した後、前記薄箔電極をエッチング処理によってパターン化することで、前記基板上に電極が形成されることを特徴とする微粒子。
請求項１、２、３、４または５の微粒子搬送装置において、前記電極には、スパッタ、コーテイング、またはスプレー塗布によって表面保護層が形成されていることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項６の微粒子搬送装置において、前記表面保護層の厚さが１０μｍ以下であることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項６または７の微粒子搬送装置において、前記表面保護層の比抵抗は、１０＊Ｅ６Ω・ｃｍであることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項６、７または８の微粒子搬送装置において、前記表面保護層の最外層は、前記液体に対して化学的に反応しない材料で形成されていることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８または９の微粒子搬送装置において、前記電極群は３つ以上にわかれており、１電極群当たりの電圧印加時間は、前記駆動波形の１周期時間の［（ｎ−１）／ｎ（※ｎは、電極群の数）］未満であることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１０の微粒子搬送装置において、前記電圧印加時間は、２０μｓｅｃ以上であることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０または１１の微粒子搬送装置において、前記電圧印加手段は、電圧値を変更する電圧値変更手段を有することを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１または１２の微粒子搬送装置において、前記電圧印加手段は、前記複数の電極群に印加する電圧の周波数を変更する周波数変更手段を有することを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２または１３の微粒子搬送装置において、前記電極群それぞれに電圧を印加したとき、ある電極群の極性と異なる極性となる電極群が少なくともひとつ存在するように、駆動波形を制御することを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３または１４の微粒子搬送装置において、前記微粒子が分散された液体の粘性が１ｍＰａ・ｓ以上１０００ｍＰａ・ｓ以下であることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４または１５の微粒子搬送装置において、前記微粒子が分散された液体の抵抗が１０^８Ω・ｃｍであることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５または１６の微粒子搬送装置において、前記微粒子が分散された液体は、シリコーンオイル、ジメチルシリコーン、メチルフェニルシリコーンのいずれかひとつであることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６または１７の微粒子搬送装置において、前記基板を間歇的または連続的に振動させる振動発生手段を備えることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７または１８の微粒子搬送装置において、前記微粒子は、粒径が１．０μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする微粒子搬送装置。
請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９の微粒子搬送装置において、前記電極の厚みが３μｍ以下であることを特徴とする微粒子搬送装置。
液体中にトナーを含有する液体現像剤を収容する現像剤収容部と、該現像剤収容部内の液体現像剤中のトナーを請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９または２０の微粒子搬送装置によって、画像形成装置の潜像担持体上にトナーを供給して該潜像担持体上の潜像を現像する現像装置を備えたことを特徴とする画像形成装置。