JP2005019994A - トレンチ・キャパシタの埋込プレートを形成する方法 - Google Patents
トレンチ・キャパシタの埋込プレートを形成する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005019994A JP2005019994A JP2004183609A JP2004183609A JP2005019994A JP 2005019994 A JP2005019994 A JP 2005019994A JP 2004183609 A JP2004183609 A JP 2004183609A JP 2004183609 A JP2004183609 A JP 2004183609A JP 2005019994 A JP2005019994 A JP 2005019994A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- trench
- dopant source
- substrate
- forming
- dopant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/60—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
- H10B12/01—Manufacture or treatment
- H10B12/02—Manufacture or treatment for one transistor one-capacitor [1T-1C] memory cells
- H10B12/03—Making the capacitor or connections thereto
- H10B12/038—Making the capacitor or connections thereto the capacitor being in a trench in the substrate
- H10B12/0387—Making the trench
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3205—Deposition of non-insulating-, e.g. conductive- or resistive-, layers on insulating layers; After-treatment of these layers
- H01L21/321—After treatment
- H01L21/3215—Doping the layers
Abstract
【解決手段】トレンチにASGなどのドーパント源材料を完全に充填する。次いで、このドーパント源材料に陥凹部を形成し、カラー材料を堆積させ、それによって、トレンチの上側部分にカラーを形成する。このドーパントをドライブイン処理して埋込プレートを形成した後で、ドーパント源材料を除去し、カラー材料を除去することができる。
【選択図】図18
Description
11 パッド酸化膜
12 パッド窒化膜
13 トレンチ
15 ドーパント源材料
16 犠牲材料
17 誘電体カラー材料
18 埋込プレート
110 基板
111 パッド酸化膜
112 パッド窒化膜
113 トレンチ
115 ドーパント源材料
117 酸化物層
118 埋込プレート、拡散プレート
119 カラー
120 酸化物
121 第2の材料
Claims (28)
- トレンチ・キャパシタ内に埋込プレートを形成する方法であって、
側壁を備えた少なくとも1つのトレンチを半導体基板中に形成するステップと、
前記トレンチに、少なくとも1つのドーパントを含むドーパント源材料を部分的に充填して、前記トレンチ上端の下に上面を有するドーパント源を形成するステップと、
前記ドーパント源の上の前記トレンチの前記側壁上に誘電体カラーを形成するステップと、
前記基板を加熱して、前記誘電体カラーで覆われていない前記トレンチ内の前記基板中に前記ドーパントを拡散させ、それによって前記埋込プレートを形成するステップと、
前記トレンチから前記ドーパント源材料を除去するステップとを含む、方法。 - 前記半導体基板がシリコンで形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記トレンチにドーパント源材料を充填して、前記トレンチの前記上端、または前記トレンチの前記上端の上に上面を有するドーパント源を形成するステップと、
前記トレンチの前記上端の下に前記ドーパント源の前記上面に陥凹部(くぼみ)を形成するステップとを含む方法によって前記トレンチを部分的に充填する、請求項1に記載の方法。 - 前記ドーパント源材料がヒ素がドープされたガラスである、請求項1に記載の方法。
- 前記誘電体カラーが窒化物で形成される、請求項1に記載の方法。
- 前記誘電体カラーが低圧化学的気相堆積法によって形成される、請求項5に記載の方法。
- 前記誘電体カラーを形成する前に、前記トレンチの前記側壁上に酸化物の薄い層を形成するステップをさらに含む、請求項5に記載の方法。
- 前記基板を約800℃〜約1200℃の温度で約1分〜約60分間加熱する、請求項1に記載の方法。
- 前記基板を約1050℃の温度に加熱する、請求項8に記載の方法。
- 前記基板を酸素を含む雰囲気内で加熱する、請求項1に記載の方法。
- 前記加熱ステップ中に、前記ドーパント源材料と前記基板の間に酸化物層を成長させる、請求項10に記載の方法。
- 前記酸化物層を除去して、ボトル形状のトレンチを形成するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記ドーパント源材料を除去した後で、前記トレンチ内に複数の半球形結晶粒を堆積させるステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記誘電体カラーを除去するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ドーパント源材料を除去した後で、前記基板の下側部分をエッチングしてボトル形状のトレンチを形成するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- アンモニアを用いて前記基板をエッチングする、請求項15に記載の方法。
- トレンチ・キャパシタ内に埋込プレートを形成する方法であって、
側壁を備えた少なくとも1つのトレンチを半導体基板中に形成するステップと、
前記トレンチに、少なくとも1つのドーパントを含むドーパント源材料を部分的に充填して、前記トレンチ上端の下に上面を有するドーパント源を形成するステップと、
前記ドーパント源上に第2の材料を堆積させ、それによって前記トレンチの残りの部分を充填し、前記ドーパント源の上の前記トレンチの前記側壁を覆うステップと、
前記基板を加熱して、前記第2の材料で覆われていない前記トレンチ内において前記基板中に前記ドーパントを拡散させ、それによって前記埋込プレートを形成するステップと、
前記トレンチから前記第2の材料および前記ドーパント源材料を除去するステップとを含む、方法。 - 前記半導体基板がシリコンで形成される、請求項17に記載の方法。
- 前記トレンチにドーパント源材料を充填して、前記トレンチの前記上端、または前記トレンチの前記上端の上に上面を有するドーパント源を形成するステップと、
前記トレンチの前記上端の下に前記ドーパント源の前記上面に陥凹部を形成するステップとを含む方法によって前記トレンチを部分的に充填する、請求項17に記載の方法。 - 前記ドーパント源材料がヒ素がドープされたガラスである、請求項17に記載の方法。
- 前記第2の材料がドープされていない酸化物である、請求項17に記載の方法。
- 低圧化学的気相堆積法または高密度プラズマ化学的気相堆積法によって前記第2の材料を堆積させる、請求項21に記載の方法。
- 前記基板を約800℃〜約1200℃の温度で約1分〜約60分間加熱する、請求項17に記載の方法。
- 前記基板を約1050℃の温度に加熱する、請求項23に記載の方法。
- 前記基板を酸素を含む雰囲気内で加熱する、請求項17に記載の方法。
- 前記加熱ステップ中に、前記ドーパント源材料と前記基板の間に酸化物層を形成する、請求項23に記載の方法。
- 気相ドーピング、プラズマ・ドーピングおよびプラズマ・イマージョン・イオン注入の少なくとも1つに前記基板を露出するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 複数の半球形結晶粒を堆積させた後で、気相ドーピング、プラズマ・ドーピングおよびプラズマ・イマージョン・イオン注入の少なくとも1つに前記基板を露出するステップをさらに含む、請求項13に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/604,081 US6969648B2 (en) | 2003-06-25 | 2003-06-25 | Method for forming buried plate of trench capacitor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005019994A true JP2005019994A (ja) | 2005-01-20 |
JP4091929B2 JP4091929B2 (ja) | 2008-05-28 |
Family
ID=33564129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004183609A Expired - Fee Related JP4091929B2 (ja) | 2003-06-25 | 2004-06-22 | トレンチ・キャパシタの埋込プレートを形成する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6969648B2 (ja) |
JP (1) | JP4091929B2 (ja) |
KR (1) | KR100537584B1 (ja) |
TW (1) | TWI294667B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009540539A (ja) * | 2006-06-02 | 2009-11-19 | マイクロン テクノロジー, インク. | Siに直角切断を作り出すために適したウェットエッチング、およびその結果得られる構造 |
KR20170086907A (ko) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 한국전자통신연구원 | 반도체 소자의 선택적 도핑 방법 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6967137B2 (en) * | 2003-07-07 | 2005-11-22 | International Business Machines Corporation | Forming collar structures in deep trench capacitors with thermally stable filler material |
US7232718B2 (en) * | 2003-09-17 | 2007-06-19 | Nanya Technology Corp. | Method for forming a deep trench capacitor buried plate |
DE102004029516B3 (de) * | 2004-06-18 | 2005-12-29 | Infineon Technologies Ag | Herstellungsverfahren für eine Schattenmaske in einem Graben einer mikroelektronischen oder mikromechanischen Struktur sowie Verwendung derselben |
KR100696761B1 (ko) * | 2005-07-29 | 2007-03-19 | 주식회사 하이닉스반도체 | 웨이퍼 마크 형성 방법 |
US7619872B2 (en) | 2006-05-31 | 2009-11-17 | Intel Corporation | Embedded electrolytic capacitor |
US7625776B2 (en) * | 2006-06-02 | 2009-12-01 | Micron Technology, Inc. | Methods of fabricating intermediate semiconductor structures by selectively etching pockets of implanted silicon |
US7709341B2 (en) * | 2006-06-02 | 2010-05-04 | Micron Technology, Inc. | Methods of shaping vertical single crystal silicon walls and resulting structures |
US7494891B2 (en) * | 2006-09-21 | 2009-02-24 | International Business Machines Corporation | Trench capacitor with void-free conductor fill |
US7563670B2 (en) * | 2006-11-13 | 2009-07-21 | International Business Machines Corporation | Method for etching single-crystal semiconductor selective to amorphous/polycrystalline semiconductor and structure formed by same |
US7858514B2 (en) * | 2007-06-29 | 2010-12-28 | Qimonda Ag | Integrated circuit, intermediate structure and a method of fabricating a semiconductor structure |
US20090170331A1 (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-02 | International Business Machines Corporation | Method of forming a bottle-shaped trench by ion implantation |
US7888723B2 (en) * | 2008-01-18 | 2011-02-15 | International Business Machines Corporation | Deep trench capacitor in a SOI substrate having a laterally protruding buried strap |
US9484269B2 (en) * | 2010-06-24 | 2016-11-01 | Globalfoundries Inc. | Structure and method to control bottom corner threshold in an SOI device |
US8592883B2 (en) * | 2011-09-15 | 2013-11-26 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor structure and method for making same |
US20130102123A1 (en) * | 2011-10-19 | 2013-04-25 | Nanya Technology Corporation | Method for fabricating single-sided buried strap in a semiconductor device |
TW201440118A (zh) * | 2013-04-11 | 2014-10-16 | Anpec Electronics Corp | 半導體功率元件的製作方法 |
CN113497006A (zh) * | 2020-03-20 | 2021-10-12 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 电容结构及其形成方法 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US629088A (en) * | 1899-01-24 | 1899-07-18 | William Schimper & Co | Ink-well stand. |
US6008103A (en) * | 1998-02-27 | 1999-12-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for forming trench capacitors in an integrated circuit |
US6225158B1 (en) * | 1998-05-28 | 2001-05-01 | International Business Machines Corporation | Trench storage dynamic random access memory cell with vertical transfer device |
US6190988B1 (en) * | 1998-05-28 | 2001-02-20 | International Business Machines Corporation | Method for a controlled bottle trench for a dram storage node |
EP0971414A1 (de) * | 1998-06-15 | 2000-01-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Grabenkondensator mit Isolationskragen und vergrabenen Kontakt und entsprechendes Herstellungsverfahren |
US6177696B1 (en) * | 1998-08-13 | 2001-01-23 | International Business Machines Corporation | Integration scheme enhancing deep trench capacitance in semiconductor integrated circuit devices |
DE19842665C2 (de) * | 1998-09-17 | 2001-10-11 | Infineon Technologies Ag | Herstellungsverfahren für einen Grabenkondensator mit einem Isolationskragen |
US6232171B1 (en) * | 1999-01-11 | 2001-05-15 | Promos Technology, Inc. | Technique of bottle-shaped deep trench formation |
US6426254B2 (en) * | 1999-06-09 | 2002-07-30 | Infineon Technologies Ag | Method for expanding trenches by an anisotropic wet etch |
TW429613B (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-11 | Mosel Vitelic Inc | Dynamic random access memory with trench type capacitor |
US6319788B1 (en) * | 1999-12-14 | 2001-11-20 | Infineon Technologies North America Corp. | Semiconductor structure and manufacturing methods |
US6282115B1 (en) * | 1999-12-22 | 2001-08-28 | International Business Machines Corporation | Multi-level DRAM trench store utilizing two capacitors and two plates |
US6365485B1 (en) * | 2000-04-19 | 2002-04-02 | Promos Tech., Inc, | DRAM technology of buried plate formation of bottle-shaped deep trench |
US6495411B1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-12-17 | Promos Technology Inc. | Technique to improve deep trench capacitance by increasing surface thereof |
US6437401B1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-08-20 | Infineon Technologies Ag | Structure and method for improved isolation in trench storage cells |
JP2003142604A (ja) * | 2001-11-05 | 2003-05-16 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置とその製造方法 |
TWI300948B (ja) * | 2002-09-27 | 2008-09-11 | Nanya Technology Corp |
-
2003
- 2003-06-25 US US10/604,081 patent/US6969648B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-11 KR KR10-2004-0043069A patent/KR100537584B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-06-11 TW TW093116877A patent/TWI294667B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-06-22 JP JP2004183609A patent/JP4091929B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009540539A (ja) * | 2006-06-02 | 2009-11-19 | マイクロン テクノロジー, インク. | Siに直角切断を作り出すために適したウェットエッチング、およびその結果得られる構造 |
KR20170086907A (ko) * | 2016-01-19 | 2017-07-27 | 한국전자통신연구원 | 반도체 소자의 선택적 도핑 방법 |
KR102312040B1 (ko) | 2016-01-19 | 2021-10-14 | 한국전자통신연구원 | 반도체 소자의 선택적 도핑 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI294667B (en) | 2008-03-11 |
KR100537584B1 (ko) | 2005-12-20 |
US20050009268A1 (en) | 2005-01-13 |
TW200518277A (en) | 2005-06-01 |
JP4091929B2 (ja) | 2008-05-28 |
KR20050001324A (ko) | 2005-01-06 |
US6969648B2 (en) | 2005-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4091929B2 (ja) | トレンチ・キャパシタの埋込プレートを形成する方法 | |
US6008104A (en) | Method of fabricating a trench capacitor with a deposited isolation collar | |
US7081384B2 (en) | Method of forming a silicon dioxide layer | |
US6066527A (en) | Buried strap poly etch back (BSPE) process | |
US6200873B1 (en) | Production method for a trench capacitor with an insulation collar | |
US6297088B1 (en) | Method for forming a deep trench capacitor of a dram cell | |
KR100708024B1 (ko) | 수직형 트렌치들을 확장시키기 위한 방법 및 확장된 수직형 깊은 트렌치들을 형성하기 위한 방법 | |
US6319788B1 (en) | Semiconductor structure and manufacturing methods | |
US6509599B1 (en) | Trench capacitor with insulation collar and method for producing the trench capacitor | |
US7812387B2 (en) | Trench capacitor | |
US6828191B1 (en) | Trench capacitor with an insulation collar and method for producing a trench capacitor | |
US6555430B1 (en) | Process flow for capacitance enhancement in a DRAM trench | |
US6806138B1 (en) | Integration scheme for enhancing capacitance of trench capacitors | |
JP3229279B2 (ja) | トレンチ埋込みストラップを形成する方法 | |
KR100523881B1 (ko) | 반도체 메모리 및 반도체 메모리 셀을 제조하는 방법 | |
US7157328B2 (en) | Selective etching to increase trench surface area | |
US6319787B1 (en) | Method for forming a high surface area trench capacitor | |
US6930345B2 (en) | Increase in deep trench capacitance by a central ground electrode | |
US6759291B2 (en) | Self-aligned near surface strap for high density trench DRAMS | |
TW471164B (en) | Deep trench-based storage capacitor and method of fabricating | |
US6242357B1 (en) | Method for forming a deep trench capacitor of a DRAM cell | |
US7026210B2 (en) | Method for forming a bottle-shaped trench | |
JPH0824168B2 (ja) | 半導体メモリ装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071009 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071030 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080229 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |