JP2005019957A - 電子部品装着装置および電子部品装着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品装着装置10では、圧電素子31〜33を有する荷重センサ30が、移動ブロック20のシャフト13と保持ヘッド15aの間に設けられる。荷重センサ30は、移動ブロック20のガイドとして機能するスライダ11およびガイドレール12の摺動部よりも電子部品1に近い位置にあるため、スライダ11とガイドレール12の摺動抵抗の影響を受けることなく、電子部品1の装着の際に電子部品1に加えられる荷重をより精度良く測定することができる。
【選択図】図2
Description
2 基板
2a ACF
10 電子部品装着装置
11 スライダ
12 ガイドレール
13 シャフト
15 保持部
15a 保持ヘッド
20 移動ブロック
21 ナット部
30 荷重センサ
30b,30c 取り付け面
31〜33 圧電素子
40 テーブル
50 モータ
51 送りねじ
60 制御部
62 記憶部
63 装着異常検出部
70 リニアスケール
80 異物
601 荷重プロファイル
603 許容範囲
S11〜S18,S21〜S26,S30 ステップ
Claims (12)
- 電子部品を基板に装着する電子部品装着装置であって、
電子部品の装着方向に駆動される移動ブロックと、
電子部品を保持する剛性の高い一体的なブロックである保持ヘッドと、
前記移動ブロックと前記保持ヘッドとの間に設けられ、前記保持ヘッドを支持する荷重センサと、
前記移動ブロックを前記装着方向に移動可能にガイドするガイド機構と、
前記移動ブロックの前記装着方向への駆動を行う駆動機構と、
を備えることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項1に記載の電子部品装着装置であって、
装着時に電子部品に加えられるべき前記装着方向に略平行な方向の荷重値の時間に対する変化を示す荷重プロファイルを予め記憶する記憶部と、
前記荷重プロファイルに従って前記移動ブロックの駆動を制御する制御部と、
前記荷重センサにより検出される前記装着方向に略平行な方向の垂直荷重の値と前記荷重プロファイルとを比較して、電子部品の装着異常を検出する装着異常検出部と、
をさらに備えることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項2に記載の電子部品装着装置であって、
前記保持ヘッドの前記装着方向に略平行な方向の変位量を検出する変位センサをさらに備え、
前記装着異常検出部が、前記変位センサにより検出された装着開始から終了までの前記保持ヘッドの変位量と、予め前記記憶部に記憶されている基準変位量とを比較して、電子部品の装着異常を検出することを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の電子部品装着装置であって、
前記荷重センサは圧電素子であることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項4に記載の電子部品装着装置であって、
前記荷重センサは、前記装着方向に略平行な方向の垂直荷重および前記装着方向に略垂直でかつ互いに略直交する2方向の水平荷重を受けて電圧を発生する3つの圧電素子を有することを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項5に記載の電子部品装着装置であって、
前記装着異常検出部が、前記荷重センサにより検出される前記2方向の水平荷重の値を座標値とする2次元空間上の位置と、前記記憶部に予め記憶されている前記2次元空間上の許容範囲とを比較して、電子部品の装着異常を検出することを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項4ないし6のいずれかに記載の電子部品装着装置であって、
前記圧電素子は、圧電セラミックスまたは水晶であることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の電子部品装着装置であって、
前記電子部品は半導体のベアチップであることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の電子部品装着装置であって、
前記電子部品は、所定の荷重が加えられた状態で、加熱されることにより熱硬化性樹脂を介して基板に接合されることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の電子部品装着装置であって、
前記電子部品は、所定の荷重が加えられた状態で、超音波を印加されることにより基板に接合されることを特徴とする電子部品装着装置。 - 請求項1ないし10のいずれかに記載の電子部品装着装置であって、
前記荷重センサが、
前記保持ヘッドが取り付けられる取り付け面と、
前記取り付け面に平行であり、前記移動ブロックに取り付けられるもう1つの取り付け面と、
を有することを特徴とする電子部品装着装置。 - 電子部品を基板に装着する電子部品装着方法であって、
基板保持部により基板を保持する工程と、
電子部品の装着方向に駆動される移動ブロックに荷重センサを介して取り付けられた剛性の高い一体的なブロックである保持ヘッドにより電子部品を保持する工程と、
ガイド機構に沿って前記移動ブロックを前記装着方向に駆動して前記電子部品を前記基板に装着する工程と、
前記電子部品を装着する工程と並行して、前記荷重センサにより前記装着方向に略平行な方向の垂直荷重を検出する工程と、
を備えることを特徴とする電子部品装着方法。
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