JP2005012175A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板処理装置は、基板Wをほぼ水平姿勢で保持して回転するスピンチャック1を備える。スピンチャック1の上方には、基板Wの上面に硫酸を供給するためのノズル2と、基板Wの上面に過酸化水素水の液滴の噴流を供給するためのソフトスプレーノズル3と、超音波式距離測定センサ4とが移動可能に設けられている。基板Wの上面への硫酸の液膜LFの形成前に、基板Wの上面までの距離を測定し、基板Wの上面への硫酸の液膜LFの形成後に、基板Wの上面の硫酸の液膜LFの表面までの距離を測定し、硫酸の液膜LFの厚さを算出する。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明の第1の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す概略図である。本実施の形態に係る基板処理装置は、基板上のレジスト膜を剥離する枚葉型のレジスト剥離装置である。
図5は本発明の第2の実施の形態に係る基板処理装置の構成を示す概略図である。本実施の形態に係る基板処理装置は、第1の実施の形態の基板処理装置と同様に、基板上のレジスト膜を剥離する枚葉型のレジスト剥離装置である。
図7は本発明の第3の実施の形態に係る基板処理装置の主要部の構成を示す概略図である。本実施の形態に係る基板処理装置は、第1の実施の形態の基板処理装置と同様に、基板上のレジスト膜を剥離する枚葉型のレジスト剥離装置である。
図9は本発明の第4の実施の形態に係る基板処理装置の主要部の構成を示す概略図である。本実施の形態に係る基板処理装置は、第1の実施の形態の基板処理装置と同様に、基板上のレジスト膜を剥離する枚葉型のレジスト剥離装置である。
上記実施の形態では、本発明に係る基板処理装置をレジスト剥離処理を行う基板処理装置に適用した場合を説明したが、これに限定されず、本発明は、現像液を用いて現像処理を行う現像装置、洗浄液を用いてポリマー除去洗浄を行うポリマー除去洗浄装置、オゾン水や過酸化水素などの酸化性溶液を用いて基板表面の酸化処理を行う装置等の種々の基板処理装置に適用することができる。
2 ノズル
3 ソフトスプレーノズル
4,4A,4B,4C 超音波式距離測定センサ
13 回転駆動機構
21,31,41 旋回軸
22,32,42 アーム
23,33,43 旋回駆動機構
24,34 昇降駆動機構
40a レーザ式距離測定センサ
40b マイクロ波式距離測定センサ
45 支持板
50 制御部
401 レーザ光源
402 CCD
403 受光レンズ
W 基板
LF 液膜
Claims (14)
- 基板に処理液を用いた処理を行う基板処理装置であって、
基板をほぼ水平に保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された基板上に処理液を供給することにより基板の上面に処理液の液膜を形成する処理液供給手段と、
前記基板の上面に形成された処理液の液膜の表面までの距離を測定する距離測定手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記距離測定手段は、超音波式距離測定センサを含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段は、レーザ式距離測定センサを含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段は、マイクロ波式距離測定センサを含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段を前記基板保持手段に保持された基板に対して相対的に移動させる移動手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段は、前記基板の上面の少なくともほぼ中心部における処理液の液膜までの距離を測定するように設けられたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段は、複数の距離測定センサを含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段により測定された液膜の表面までの距離に基づいて前記処理液供給手段による処理液の供給動作を制御する制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記制御手段は、前記処理液供給手段に処理液の供給動作を開始させた後、前記距離測定手段により測定される液膜の表面までの距離が所定値に達した場合に前記処理液供給手段に処理液の供給動作を停止させることを特徴とする請求項8記載の基板処理装置。
- 前記距離測定手段は、複数の位置における液膜の表面までの距離を測定し、
前記制御手段は、前記距離測定手段により測定される複数の位置における液膜の表面までの距離に基づいて前記処理液供給手段による処理液の供給動作を制御することを特徴とする請求項8または9記載の基板処理装置。 - 前記距離測定手段は、前記処理液供給手段による処理液の液膜の形成前に前記基板の上面までの距離を測定し、前記処理液供給手段による処理液の液膜の形成後に前記処理液の液膜の表面までの距離を測定し、
前記距離測定手段により測定された前記基板の上面までの距離と前記距離測定手段により測定された前記処理液の液膜の表面までの距離との差に基づいて前記処理液の液膜の厚さを算出する算出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記処理は、基板上に形成されたレジスト膜を剥離する処理であり、
前記処理液は、レジスト剥離液であることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記レジスト剥離液は硫酸であることを特徴とする請求項12記載の基板処理装置。
- 基板に処理液を用いた処理を行う基板処理方法であって、
基板をほぼ水平に保持する工程と、
前記保持された基板上に処理液を供給することにより基板の上面に処理液の液膜を形成する工程と、
前記基板の上面に形成された処理液の液膜の表面までの距離を測定する工程とを備えたことを特徴とする基板処理方法。
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