JP2004528713A - 光電素子配置及び光電素子配置を製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
本発明は、請求項1の上位概念に記載の光電素子に関する。さらに本発明は、請求項10の上位概念に記載の光電素子を製造する方法に関する。
【0002】
このような種類の光電素子配置は、特開平8−241976号公開公報から公知である。CCDチップとして構成された光電素子がキャリア素子上に配置されている。この光電素子は、ダムによって環状に包囲されている。この光電素子は、ワイヤーボンディングを通じてキャリア素子の導線に接続されていて、電気接触される。2つの透明な封止材から成る封止体が、ダムの内部領域内に配置されている。クラックが、熱誘導的な張力のせいで封止体内に発生しうる。場合によっては、ワイヤーボンディングが破損する。それ故に、第1ステップで透明な第1封止材をダムの内部領域内に注入すること、この第1封止材を熱的に硬化すること、そしてこの場合気泡をこの封止材から除去することが提唱される。引き続き、第2方法ステップで透明な第2封止材がダムの内部領域内に注入され、同様に熱的に硬化され、場合によっては第2封止材中の気泡を排除する。こうして、気泡が両封止材中にもはや含まれていないことを保証することができる。熱膨張率が互いに非常に異なる材料がこのような構成要素の配置で使用される場合、ワイヤーボンディングのクラックが熱的な負荷の下で発生しうる。例えば、一方で使用される透明な封止材つまりエポキシ樹脂(α≒50-70ppm/K)及び他方ではキャリア素子又はワイヤーボンディング用に使用される材料(α≒15-25ppm/K)が、明らかに異なる熱膨張率を呈する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
本発明の課題は、光電素子配置に接触するために設けられているワイヤーボンディングが温度変化でも破損しない光電素子配置及び光電素子配置を製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
第1の課題は、請求項1に記載の特徴を有する光電素子配置によって解決される。
【0005】
本発明の光電素子配置の好適な実施形は、請求項1の従属請求項に記載されている。
【0006】
第2の課題は、請求項10の特徴を有する光電素子配置を製造する方法によって解決される。
【0007】
この方法の好適な実施形は、請求項10の従属請求項に記載されている。
【0008】
本発明では、第1封止材がダムの内部領域内に注入される。この場合、この第1封止材は、好ましくは光電素子の上の縁まで達する。この第1封止材の上には、透明な第2封止材が空間的に仕切った窓領域内に注入される。第1封止材は、好ましくは透明な第2封止材とは異なって選択される。特に第1封止材を選択する場合、この第1封止材が可能な限り小さい熱膨張率を呈することが考慮される。この熱膨張率は、使用されるワイヤーボンディングと使用されるキャリア素子の熱膨張率にほぼ合わせられている。こうして、ワイヤーボンディングの領域内の熱的に誘導される張力及びこのワイヤーボンディングの望まないクラックを回避することができる。
【0009】
硬化された状態で可能な限り起伏の多い表面を有する材料が第1封止材の選択時に選択されることが有益であることが実証されている。したがって、その上に配置された第2封止材の良好な付着が保証される。さらにこの付着は、これらの両封止材間の熱的に引き起こされる剪断移動を生じさせないことを保証する。この剪断移動は、場合によってはワイヤーボンディングを破損しうる。さらに第1封止材を選択する場合、この第1封止材の光学特性を考慮する必要はもはやない。すなわち、この材料は、上述した最適化基準の下でだけ選択できる。
【0010】
第1封止材とダムの材料がほぼ同じ母材から成り、粘性だけが違う場合、特に製造技術的な利点は、本発明の方法の可能な実施形で得られる。何故なら、第1封止材とダムは、同じ作業ステップで取り付けられて硬化され得るからである。
【0011】
以下に、本発明のその他の利点と詳細を図面に基づいた実施形から説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
図1中には、本発明の光電素子配置の第1の実施形の概略的な横断面図である。この場合、素子配置のさらに後で説明する要素が、キャリア素子1上に配置されている。このキャリア素子1は、この例では公知の導体板としてFR4材料から構成されている。その代わりに、しかしながら例えばFR5,酸化アルミニウム,ガラス等のようなその他の材料もキャリア素子1に対して考慮される。
【0013】
図1中では、キャリア素子1上に延在している導体が識別不可能である。これらの導体は、キャリア素子1上に配置された光電素子3と場合によってはその他の素子に電気的に接触するために使用される。この示された実施の形態では、フォト検出器の形態の組込み素子3が、光電素子3として設けられている。この組込み素子3のビーム感知面は、キャリア素子1から離れて指向されている。その代わりに、適切な組込み光源,いわゆる光学ASICやその他の光電素子も、光電素子3としてこの場所で使用できる。
【0014】
それぞれ光電素子3は、ワイヤーボンディング4a,4bによってキャリア素子1内の電気導体に接続されるか又はワイヤーボンディング4a,4bを介して公知の方法で電気的に接触される。ワイヤーボンディング4a,4bに対してはこの例では、金が材料として使用される。さらに、金合金,アルミニウム,アルミニウム合金や銅も、ワイヤーボンディング材料として使用可能である。
【0015】
光電素子3は、この実施の形態ではキャリア1上に付着されている;これとは別に、この接合は、他の金属を混ぜて合金を作ること(Legieren),共融ボンディング(Eutektisches Bonden) ,陽極ボンディング(Anodisiertes Bonden) ,半田付けや溶接によっても製造できる。
【0016】
さらに本発明の光電素子配置は、キャリア素子1上に配置されたダム2を有する。このダム2は、素子3を密閉して包囲するか又は包囲する。このダム2は、いろいろな包囲幾何を有し得る;例えばこのダム2は、素子3を正方形に包囲してもいいし、しかしながらその代わりに長方形のダム,多角形のダムや円形のダムを素子3の周りに延在させてもよい。
【0017】
このダム2は、高さh2を有する。この高さh2は、この例では素子3の高さh1の高さよりも明らかに高く選択されている。これらの高さh1,h2に対する一般的な値は、約h1=450 μm とh2=800 μm である。
【0018】
本発明の素子配置のダム2の重要な機能は、キャリア素子1の必要な面がこのダム2によって限定される点にある。この必要な面は、素子3を封止によってダムの内部領域内に固定するために必要である。本発明によれば、以下でさらに詳しく説明するように、2つの封止材5,6が、この固定のために使用される。これらの両封止材5,6による素子配置のこの固定は、素子3とワイヤーボンディング4a,4bを機械的な影響に対して保護するために使用される。
【0019】
Emerson & Cuming社によって型名Amicon 50300 HT で市販されているような 充填されたエポキシい樹脂の形態をした公知の黒いエポキシ充填材が、適切なダムの材料として設けられ得る。その代わりに、製品名FP 4451 で市販されるDexter Hysol社のエポキシ充填材を使用してもよい。
【0020】
図1から分かるように、ダム2は、この実施の形態ではただ1つのダム層から形成される。しかしながらこれとは別に、ドイツ連邦共和国特許出願第100 24 336.3号明細書中に記されているように、2層のダム構造や3層のダム構造を設けてもよい。さらにこの代わりに、ダム2を射出成形部材として形成することも可能である。
【0021】
水槽状のダムの内部領域内に配置された封止体が2つの異なる封止材から構成される点が、本発明に対して重要である。この封止体は、光電素子3を封入する。この場合、この例では、ダムの内部領域が、光電素子3のほぼ上の縁まで第1封止材5で充填されている。したがってこの第1封止材5は、この例では素子3の高さh1にほぼ相当する高さを有する。基本的には、第1封止材5の高さを例えばより低くしてもよい。しかしながら、ダムの内部領域が特に最大で光電素子3の上の縁まで第1封止材で充填されていて、したがって光電素子3のビームに感知するか又は場合によってはビームを放出する面が第1封止材5によってほとんど覆われていないことを保証しなければならない。
【0022】
第1封止材の熱膨張率αVM1がワイヤーボンディング4a,4b(αBD)とキャリア素子1(αTE)の熱膨張率にほぼ合わせられているように、この第1封止材5は本発明にしたがって選択される。そのため、例えば黒いエポキシ充填材が使用される。このエポキシ充填材は、熱膨張率αVM1≒18-19ppm/Kを呈する。金がワイヤーボンディング4a,4b用の材料として使用される場合、これらのワイヤーボンディング4a,4bの熱膨張率αBD≒15ppm/K に対して非常に良好に適合する。既に上述したワイヤーボンディング4a,4b用の材料の熱膨張率も、αBD≒[15ppm/K-25ppm/K] の範囲内にある。同様に、FR4をキャリア素子1用の材料として使用した場合、このキャリア素子の熱膨張率αTE≒15ppm/K に良好に適合される。適切な第1封止材5は、例えばEmerson & Cuming社又はDexter Hyson社によって製品名Amicon 50500-1又はFP 4450 で市販される。
【0023】
したがって、第1封止材5及びダム2の材料は、この説明した実施形では同一の母材を有し、粘性だけが異なる。後でさらに説明するように、本発明の製造方法の可能な実施形の進行中でも、利点がこの材料の選択から生じる。
【0024】
さらに、第1封止材5の表面が硬化された状態で可能な限り大きい凹凸を有するように、第1封止材5は選択される。これによって、この第1封止材5の上に配置された材料、すなわち第2封止材6との非常に良好な付着が保証され得る。第2封止材6は、商業的に入手可能な透明な封止材である。この封止材は、ダムの内部領域内の光電素子3の上の少なくとも窓領域内に、例えば光電素子のビーム感知領域内等に配置されている。例えばDexter Hysol社によって製品番号Hysol OS 2800 で市販されている製品が、第2封止材6に対して適していると実証されている。その代わりに、製品番号Hysol OS 1600, Hysol OS 1900, Hysol OS 2902, Hysol OS 4000又はHysol OS 4110 で同社によって市販されている封止材もこの場所で使用可能である。
【0025】
図1の例では、第2封止材6が、第1封止材5及び光電素子3の上のダム内部領域を完全に充填する。しかしその代わりに、既に説明したようにより小さい窓領域だけを充填してもよい。封止材5,6を本発明にしたがって配置し選択することによって、一方ではダムの内部領域内の透明な第2封止材6で充填されなければならない総充填容積が明らかに減少され得ることが保証される。上述したように、一方では透明な封止材と他方ではワイヤーボンディング4a,4b又はキャリア素子1との熱膨張率が非常に違うために、ワイヤーボンディング4a,4bの熱的に誘導される剪断に関連する問題が発生する。硬化時の収縮過程に起因する光電素子配置内の張力が低下するので、減少した充填容積は有利に作用する。さらに、第1封止材5の表面が起伏の多い特性であるために、この第1封止材の上にある第2封止材6と良好に係合することが保証されている。そのため、互いに向かい合うこれらの両封止材5,6の熱的に生じる剪断及びワイヤーボンディング4a,4bのクラックが、実際にもはや起こり得ない。
【0026】
光電素子配置の説明した第1の実施形のほかにも、さらに別の実施の形態が本発明の範囲内で明らかに存在する。以下に、第2の実施の形態を図2a−2eに基づいて説明する。本発明の方法の可能な実施形もこれらの図に基づいて説明する。
【0027】
図2a中に示された第1処理ステップでは、まず最初にオプトASICの形態の露出した光電素子13がキャリア素子10又はプリント基板上に配置され、その上に接着される。さらに、この光電素子13は電気的に接触される。このことは、ワイヤーボンディングと対応するワイヤーボンディング14a,14bの配置によって公知の方法で実施できる。
【0028】
次いで、ダム12が、キャリア素子10上に高さh2で取付けられる。このダム12は、上述したように光電素子13を完全に包囲する。対応する処理ステップが、図2b中に具体的に示されている。対応するダムの材料が、この例では概略的に示された配量針50を使用することによっていわゆる配量技術で取付けられる。既に説明したように、これとは別に射出部材として形成されたダム又はフレーム要素をキャリア素子上に設置してもよい。
【0029】
配量技術によるこの取付けの場合、ダム12の所望の高さh2は、配量針50の供給速度,ダムの材料の取付け量等を調整することによって一定に設定することができる。
【0030】
図2c中に示された引続く処理ステップでは、第1封止材15がダムの内部領域内で配量針50によって好ましくは最大で光電素子の上の縁まで注入される。上述したようにこの実施の形態では、ダム12と同一の母材から成る第1封止材15が選択される。そのため、例えば充填された黒いエポキシ樹脂又はエポキシ充填材が使用され得る。次いで、ダム12と第1封止材15の双方が、適切な焼結処理によって硬化される。図2で中に示されている以下の方法ステップでは、最初に説明した実施の形態とは違って、追加のガラス板19が、光電素子13又はオプトASICのビーム感知面上に配置される。このことは、図2d中に示されたように透明な第2封止材で充填する前に実施される;しかしその代わりに、ダムの内部領域の残りを透明な第2封止材で充填した直後にガラス板19を光電素子13の表面に押し付けることも可能である。
【0031】
ガラス板19のこの配置は、不動態化処理しなかった活性面を有する光電素子13の場合にこれらの面を保護又は密閉するために使用される。さらにガラス板19の厚さが十分厚く選択される場合、ワイヤーボンディング14a,14bに対する機械的なさらなる保護が保証され得る。示された実施の形態とは違って、ガラス板の厚さを明らかにより厚くし、第2封止材から僅かに突出させてもよい。
【0032】
図2e中に示された次の方法ステップでは、ダムの残りの内部領域が、配量針70を使用してダムの上の縁まで第2封止材16で最終に充填される。これに対しては上述したように、透明な封止材が使用される。
【0033】
説明した実施形のほかに、その他の実施の形態も本発明の範囲内で明らかに存在する。
【図面の簡単な説明】
【0034】
【図1】本発明の光電素子配置の第1の実施の形態の概略的な断面図である。
【図2a】本発明の光電素子配置の第2の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図2b】本発明の光電素子配置の第2の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図2c】本発明の光電素子配置の第2の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図2d】本発明の光電素子配置の第2の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図2e】本発明の光電素子配置の第2の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【符号の説明】
【0035】
1 キャリア素子
2 ダム
3 光電素子
4a ワイヤーボンディング
4b ワイヤーボンディング
5 第1封止材
6 第2封止材
10 キャリア素子
12 ダム
13 光電素子
14a ワイヤーボンディング
14b ワイヤーボンディング
15 第1封止材
16 第2封止材
19 ガラス板
50 配量針
Claims (16)
- −キャリア素子(1;10)を有し、
−このキャリア素子(1;10)上に配置された光電素子(3;13)を有し、この光電素子(3;13)は、ワイヤーボンディング(4a,4b;14a,14b)を介してこのキャリア素子(1;10)内の導体に接続されていて、
−このキャリア素子(1;10)上の閉鎖的なダム(2;12)を有し、このダム(2;12)は、光電素子(3;13)を有し、
−このダムの領域内に配置された封止体を有し、この封止体は、この光電素子 (3;13)を封止し、かつ2つの封止材(5,6;15,16)を含む光電素子配置において、−ダムの内部領域は、光電素子(3;13)の上の縁まで封止材(5;15)で充填されていて、
−この光電素子(3;13)の上のダムの内部領域は、少なくとも窓領域内で透明な第2封止材(6;16)で充填されていることを特徴とする光電素子配置。 - 第1封止材(5;15)は、ワイヤーボンディング(4a,4b;14a,14b)の熱膨張率(αBD)とキャリア素子(1;10)の熱膨張率(αTE)とにほぼ合わせられている熱膨張率(αVM1)を呈することを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- 第1封止材(5;15)は、熱膨張率αVM1≒18-19ppm/Kを呈することを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- 第1封止材(5;15)の表面が、硬化された状態で大きな凹凸を有することを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- 第1封止材(5;15)は、黒いエポキシ充填材であることを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- 第1封止材(5;15)及びダム(2;12)の材料は、同一の母材から成り、粘性だけが異なることを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- 第2封止材(6;16)は、第1封止材(5;15)及び光電素子配置(3;13)の上のダムの内部領域を完全に充填することを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- 光電素子(3;13)は、フォト素子又はオプトASICとして構成されていて、この光電素子(3;13)のビーム感知面が、キャリア素子(1;10)から離れて指向されていることを特徴とする請求項1に記載の光電素子配置。
- ガラス板(19)が、フォト素子又はオプトASICのビーム感知面上に直に配置されていることを特徴とする請求項8に記載の光電素子配置。
- −まず、光電素子(3;13)がキャリア素子(1;10)上に配置され、
−引き続き、閉鎖的なダム(2;12)が、キャリア素子(1;10)上で光電素子(3;13)の周りに取り付けられ、2つの封止材(5,6;15,16)から成る封止体が、ダムの内部領域内に注入され、この封止体は、光電素子(3;13)を封止する光電素子配置を製造する方法において、
−封止体を注入するため、まず、不透明な第1封止材(5;15)が、最大で光電素子(3;13)の上の縁までダムの領域内に注入され、
−引き続き、この光電素子(3;13)の上のダムの内部領域は、少なくとも窓領域内で透明な第2封止材(6;16)で充填されることを特徴とする方法。 - ワイヤーボンディング(4a,4b;14a,14b)の熱膨張率(αBD)とキャリア素子(1;10)の熱膨張率(αTE)とにほぼ合わせられている熱膨張率(αVM1)を呈する第1封止材(5;15)が選択される請求項10に記載の方法。
- 熱膨張率αVM1≒18-19ppm/Kを呈する第1封止材(5;15)が選択されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 硬化された状態で大きな凹凸の表面を有する第1封止材(5;15)が選択されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 黒いエポキシ充填材が、第1封止材(5;15)として選択されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 第2封止材(6;16)が、第1封止材(5;15)の上のダムの全ての内部領域内に注入されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 光電素子(3;13)は、キャリア素子(1;10)内のプリント配線に導電的に接続されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018008539A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 住友化学株式会社 | 紫外線発光半導体装置およびその製造方法 |
Families Citing this family (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7170188B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-01-30 | Intel Corporation | Package stress management |
US7161345B2 (en) * | 2004-09-09 | 2007-01-09 | Veris Industries, Llc | Power monitoring system that determines phase using a superimposed signal |
US7273767B2 (en) * | 2004-12-31 | 2007-09-25 | Carsem (M) Sdn. Bhd. | Method of manufacturing a cavity package |
US7364945B2 (en) * | 2005-03-31 | 2008-04-29 | Stats Chippac Ltd. | Method of mounting an integrated circuit package in an encapsulant cavity |
US7354800B2 (en) * | 2005-04-29 | 2008-04-08 | Stats Chippac Ltd. | Method of fabricating a stacked integrated circuit package system |
DE102005021991A1 (de) | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optoelektronische Anordnung und Verfahren zu deren Herstellung |
US7663214B2 (en) * | 2005-07-25 | 2010-02-16 | Kingston Technology Corporation | High-capacity memory card and method of making the same |
CN101233619B (zh) * | 2005-07-28 | 2012-02-15 | Nxp股份有限公司 | 微电子部件的封装及其制造方法 |
US7723146B2 (en) * | 2006-01-04 | 2010-05-25 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with image sensor system |
US7456088B2 (en) | 2006-01-04 | 2008-11-25 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system including stacked die |
US7768125B2 (en) | 2006-01-04 | 2010-08-03 | Stats Chippac Ltd. | Multi-chip package system |
US7750482B2 (en) | 2006-02-09 | 2010-07-06 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system including zero fillet resin |
US8704349B2 (en) | 2006-02-14 | 2014-04-22 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with exposed interconnects |
US20080122122A1 (en) * | 2006-11-08 | 2008-05-29 | Weng Fei Wong | Semiconductor package with encapsulant delamination-reducing structure and method of making the package |
CA2609619A1 (en) | 2007-09-10 | 2009-03-10 | Veris Industries, Llc | Status indicator |
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CA2609629A1 (en) * | 2007-09-10 | 2009-03-10 | Veris Industries, Llc | Current switch with automatic calibration |
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US9146264B2 (en) | 2011-02-25 | 2015-09-29 | Veris Industries, Llc | Current meter with on board memory |
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US9250308B2 (en) | 2011-06-03 | 2016-02-02 | Veris Industries, Llc | Simplified energy meter configuration |
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CN102931178A (zh) * | 2012-07-30 | 2013-02-13 | 易美芯光(北京)科技有限公司 | 一种新型led集成光源封装结构 |
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US10242969B2 (en) * | 2013-11-12 | 2019-03-26 | Infineon Technologies Ag | Semiconductor package comprising a transistor chip module and a driver chip module and a method for fabricating the same |
US10408911B2 (en) | 2015-12-28 | 2019-09-10 | Veris Industries, Llc | Network configurable system for a power meter |
US10371730B2 (en) | 2015-12-28 | 2019-08-06 | Veris Industries, Llc | Branch current monitor with client level access |
US10371721B2 (en) | 2015-12-28 | 2019-08-06 | Veris Industries, Llc | Configuration system for a power meter |
US10274572B2 (en) | 2015-12-28 | 2019-04-30 | Veris Industries, Llc | Calibration system for a power meter |
US11215650B2 (en) | 2017-02-28 | 2022-01-04 | Veris Industries, Llc | Phase aligned branch energy meter |
US11193958B2 (en) | 2017-03-03 | 2021-12-07 | Veris Industries, Llc | Non-contact voltage sensor |
US10705126B2 (en) | 2017-05-19 | 2020-07-07 | Veris Industries, Llc | Energy metering with temperature monitoring |
CN111758168A (zh) * | 2018-02-19 | 2020-10-09 | 昕诺飞控股有限公司 | 具有光引擎的经密封的设备 |
CN111176480A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-05-19 | 深圳市鸿合创新信息技术有限责任公司 | 一种触控显示屏及其制备方法、触控装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5834681A (ja) | 1981-08-26 | 1983-03-01 | Hitachi Ltd | 固体撮像装置 |
DE3732075A1 (de) * | 1987-09-23 | 1989-04-06 | Siemens Ag | Hermetisch dichtes glas-metallgehaeuse fuer halbleiterbauelemente und verfahren zu dessen herstellung |
JP3242495B2 (ja) | 1993-07-01 | 2001-12-25 | シャープ株式会社 | 多層膜フィルタ付き受光素子及びその製造方法 |
JP3168859B2 (ja) | 1995-03-06 | 2001-05-21 | 日本ケミコン株式会社 | Ccdモジュールの樹脂封止方法 |
DE19509262C2 (de) | 1995-03-15 | 2001-11-29 | Siemens Ag | Halbleiterbauelement mit Kunststoffumhüllung und Verfahren zu dessen Herstellung |
US5962810A (en) | 1997-09-09 | 1999-10-05 | Amkor Technology, Inc. | Integrated circuit package employing a transparent encapsulant |
DE19755734A1 (de) * | 1997-12-15 | 1999-06-24 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung eines oberflächenmontierbaren optoelektronischen Bauelementes |
DE19803936A1 (de) | 1998-01-30 | 1999-08-05 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Ausdehnungskompensiertes optoelektronisches Halbleiter-Bauelement, insbesondere UV-emittierende Leuchtdiode und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE19947044B9 (de) * | 1999-09-30 | 2007-09-13 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Oberflächenmontierbares optoelektronisches Bauelement mit Reflektor und Verfahren zur Herstellung desselben |
DE10023353A1 (de) * | 2000-05-12 | 2001-11-29 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
DE10024336A1 (de) | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Bauelementanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Bauelementanordnung |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018008539A1 (ja) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | 住友化学株式会社 | 紫外線発光半導体装置およびその製造方法 |
CN109219892A (zh) * | 2016-07-08 | 2019-01-15 | 住友化学株式会社 | 紫外线发光半导体器件及其制造方法 |
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