JP2004525683A - 宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその表面にマークを形成するために取り付け及び準備する方法及びホルダ - Google Patents
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Abstract
Description
[発明の背景]
本発明は、宝石用原石又は工業用ダイヤモンド上にマーク、望ましくはマイクロマーク、を形成すること、及び、手順のために宝石用原石又はダイヤモンドをセットアップすることに関する。本願では「マイクロマーク」という用語は、宝石用原石又は工業用ダイヤモンド上の非常に小さなマークを指すものとする。マークは、ダイヤモンド宝石類小売業者、製造者、又は同業組合の名称やロゴといった認識可能な商業上の銘柄又は商標でありうる。工業用ダイヤモンドにマークを付けることが可能であるが、工業用ダイヤモンドの幾つか(例えば針金製造ダイ)は研磨された面を有する。それでもなお、本発明は宝石類の分野に更に適用可能であり、マークは宝石用原石の研磨されたファセット(小面)のうちの1つ、望ましくはテーブル、に付される。宝石用原石又は工業用ダイヤモンド上に裸眼では目に見えないマークを形成するための様々な提案がなされてきた。従って宝石用原石の場合、マークは宝石類の取り付けで目に見えるファセット上に存在しうる。厳密には、殆どの実行可能な手順は、材料を除去すること(フライス削りと称される)によってマークを形成するという方法で表面の(上ではなく)中にマークを形成する。しかしながら、本願で用いる「表面上」といった表現は、従来の用語で言うようなかかるフライス削りを含むものである。
【0002】
マークの深さは、主に、マークの可視性を、美的な性質を減じることのない、従って特にダイヤモンドの場合は宝石用原石の価値を減じることのない水準まで制限するよう制御され、マークはダイヤモンドの内部透明度を減じることがないようなものであることが望ましい。一般的には、マークは裸眼では目に見えないべきである。最も広い意味では、マークは宝石用原石の美しさ又は美的な外観を減じるものであってはならない。様々な基準があり、通常の要件は、10倍の倍率のルーペを用いて裸眼で見ることにより10倍の倍率としたときに内部欠陥が不可視であることであるが、ダイヤモンドのマーク付けがより一般的になるにつれて、特にマークは厳密には内部欠陥ではないため、マークの幾らかの可視性は許容可能でありうる。例えば、最大で1mm2の面積を占め、25nm又は50nmまでの深さまでエッチングされたマークは、10倍の倍率で一定の照明条件下では可視であっても許容可能であり得る。最大で500nmの深さまでのはるかに深いマークもまた許容可能でありうる。最小の深さは、約20又は約30nmである。しかしながら、宝石用原石上では、マークはどの領域からも著しい光の散乱を生じさせないよう十分に浅いことが望ましい。国際出願第97/03846号には、形成されうるマークの寸法についての記載がある。マークが形成された線は、例えば約20:1乃至約3000:1の深さ:幅の比率を有しうるが、望ましい範囲は50:1乃至1000:1である。
【0003】
マークは、任意の適切な方法で形成されうる。1つの方法は、マイクロリソグラフィーであり、ファセットはレジスト又はフォトレジストでスピンコートされ、レジストを露光させる露光放射線を用い、コーティングされたファセット上にマスクの像を投射すること(通常は、像の大きさをマスクに対してかなり減少させるレンズ系が使用される)、又は、動くビームを用い、コーティングされたファセット上に像が書かれる。次に、選択された部分を除去するために現像され、実際上、ファセット上に接触マスクを与える。現像中、レジストの露出された領域及び露出されていない領域は異なる率で現像され、ポジ型レジストでは、より容易に溶けるのは露出された領域であり、露出された領域中にマスクされていない表面又はファセットを残す。マイクロリソグラフィーについては、トンプソン外著、「マイクロリソグラフィー入門(Introduction to Microlithography)」、第2版、(1994年)に詳細な説明がある。次に、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドは、例えば、米国特許第5,344,526号明細書又は国際出願第98/52773号明細書に記載のようなプラズマエッチングを用いてフライス削りされうる。他の方法は、例えば国際出願第97/03846号明細書に記載のように、マスクを通じて投射されること、又は、表面上に直接書かれることによって、ダイヤモンド又は宝石用原石の表面に直接到達する放射線を用いるものである。
【0004】
本発明は、より特定的には、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその上にマークを形成するために取り付け、準備することに関連する。
【0005】
[本発明の第1及び第2の面の背景]
宝石用原石又は工業用ダイヤモンドにマーク付けする速さを高めることが望ましい。1つの問題は、宝石用原石又はダイヤモンドをセットアップするのに時間がかかることである。像の面積全体が合焦されているよう、表面は露光放射線に対して正確に垂直にセットされるべきであり、最大の傾斜許容範囲は、約0.1°乃至0.2°である。表面は、また、一般的には特定の高さに設定されるべきであるが、例えば最大で±100ミクロンのかなり大きい誤差が許容可能であり、マーク付けされるべき表面が装置の基準面からあまりにも遠くないかぎり、高さの小さい差は、焦点を調整することによって考慮に入れられる。しかしながら、エッチングの速さは、エッチングされるべき表面の高さに対して敏感である。従って、宝石用原石又はダイヤモンドを、その表面を露光放射線に対して垂直に、所定の高さにだいたい近い高さに保持する方法を提供することが望ましい。ダイヤモンドは、レジストでスピンコートされてレジストを固定するために加熱される必要があるため、しっかりと保持せねばならず、例えば105℃、110℃、又は115℃で50乃至70秒間に亘る加熱は、宝石用原石又はダイヤモンドの位置決めを大きく変更すべきではない。
【0006】
国際出願第00/76583号は、金属板中に取り付けられるべきダイヤモンドと略同じ寸法の円筒状の貫通孔を有する金属板の形のホルダを提供することによってこの問題を解決することを提案している。板は、平坦な基準又は接触面上に配置され、ダイヤモンドは、それらのテーブルが接触面と係合するよう孔の中へテーブルを下にして挿入される。各孔の中にプラグが挿入され、ダイヤモンドとプラグの間、並びに、プラグと孔の間に、接着ペーストが塗布され、ペーストが乾燥すると孔にプラグとダイヤモンドを固定する。この解決策は、異なる寸法のボアを有する幅広い範囲のホルダを必要とし、わずかに寸法が異なるダイヤモンドが孔の中に詰まってしまうこと、又は正しく水平にされないこと、又はしっかりと固定されないことといった問題点があり、また、ダイヤモンドが壊れるという問題点もある。
【0007】
一般的には、宝石用原石又はダイヤモンドは、マーク付けに関連する全ての処理に適した方法で保持されるべきである。これに加えて、取り付け方法は、取り付け、取り外し、及び洗浄のためにできるかぎり単純且つ迅速であるべきである。殆どのマーク付け手順では、6つの主な処理と、取り付け手順自体がある。これらを所望の特徴と共に列記する。
【0008】
取り付け:迅速であり、清潔であり、安全であり、信頼性があり、安価であり、単純であるべきである;
洗浄:完全にきれいなテーブルがあるべきである;
スピン:宝石用原石又はダイヤモンドの便利な取り扱い及びしっかりとした保持がされるべきである;
ベーク:これについては以下説明する;
露光:マーク付けされるべき表面は、上述のように水平であるべきである;
現像:便利な取り扱いがあるべきである;
エッチング:マウントは真空に耐え、宝石用原石又はダイヤモンドは0.5mm以内でマウントに対して中央におかれるべきである;
取り外し:取り付けと同様である;
取り付け及び宝石の洗浄:取り付けと同様である。
【0009】
以下のものを使用することが知られている。
【0010】
ホットメルト接着剤:温度は40℃の健康且つ安全な限界よりも上であり、宝石及びホルダのために化学洗浄、酸であることが多い、が必要とされる;
コールド接着剤:これらは、長い硬化時間を有し、通常は除去のための酸エッチングを必要とするl
機械的な爪での保持:これは比較的大きく費用がかかり、時間のかかるセットアップを必要とする。様々な宝石用原石及びダイヤモンドに対してはかなりのばらつきと、低い熱伝達がある。
【0011】
これらの問題は、特にダイヤモンドにマークをエッチングする特別なマイクロリソグラフィーの技術、また一般的な、技術の商業上の開発を阻害してきた。
【0012】
本発明の第1の面は、従来技術の不利な点のうちの少なくとも1つを克服又は改善し、又は宝石用原石或いはダイヤモンドに関して有用な代替案を提供することを目的とする。
【0013】
[本発明の第1の面]
本発明の第1の面は、請求項1、37、又は38に記載の方法、並びに、請求項41記載のホルダを提供する。従属項は、望ましい及び/又は任意の特徴を記載する。従って、一般的に、本発明によれば、宝石用原石又はダイヤモンドは型の中に配置され、マークされるべき表面は接触面と係合し、セット又は保持材料は宝石用原石又はダイヤモンドの周りに塑造され、宝石用原石又はダイヤモンドを保持材料に対して動くことができないよう保持し、接触面と平行又は同一平面上にある位置決め面が画成される。位置決め面は、保持材料上であってもよいが、宝石用原石又はダイヤモンドを容器の中に保ち、位置決め面を容器の上にしても都合がよいことがある。
【0014】
計画された段階は、計画された順序で行われる必要はない。例えば、容器は、手順に応じて、宝石用原石又はダイヤモンドを容器の中に配置した前に又は後に、液体の保持材料で満たされうる。容器が円形であれば、これは1つの側面を有するということができる。
【0015】
方法は、各ファセット又は表面が基準面と同一平面上となり、それにより宝石用原石又は工業用ダイヤモンドが容易に取り扱われ、露光放射線での処理のために素早く単純に位置決めされることを可能とする、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドを固定する方法を提供する。1つの利点は、殆どの宝石用原石の形状及び寸法に対して、ただ1つの寸法の容器が必要とされることである。他の場所でのマーク付けのために送付するため、宝石用原石又はダイヤモンドが個々の作業所で取り付けられることが可能となる。取り付けられたダイヤモンド又はそれらの出所は、容器又は保持材料にマーク付けすること、又は保持材料に着色剤、又は追跡手段、又は隠されたタグ付け物質を組み込むことによって識別されうる。
【0016】
後の洗浄問題を回避するために、保持材料は宝石用原石又はダイヤモンドに接着されるべきではなく、宝石用原石又はダイヤモンドを純粋に機械的な連結、即ち形状によって保つことが望ましい。それでもなお、宝石用原石又はダイヤモンドは保持材料によってしっかりと保持され、マーク付けされるべき表面に対して垂直方向又はかかる表面に平行な方向のいずれかに保持材料に対して移動できない。宝石用原石の場合、ガードルは保持材料によって捕らえられるため、保持材料は実際上は全ての力をガードルへ与える。
【0017】
少なくとも理論上は、レジストがスピン処理によって塗布されれば、ビード又はリムがマークされるべき表面の外側に形成されるよう、保持材料の関連する面積は宝石用原石又はダイヤモンドのファセット又は表面と同一平面上でありうる。しかしながら、切れ目によりビードが形成されれば、マークは表面の縁から遠くに形成されうる。
【0018】
レジストは、マークされるべき表面のみを覆う必要があり、エッチング中、マーク付けされている表面以外の宝石用原石又はダイヤモンドの全ての部分は、保持材料によって保護されえ、他のファセットの意図しないエッチングを防止する。このように、宝石用原石のファセットの場合、ファセットの周りの宝石用原石の全ての部分は、保持材料によって覆われうる。保持材料の上面は、マーク付けされるべき表面と同一平面上でありうる。
【0019】
本発明を用いて、比較的安価で信頼性の高い装置を用いて高品質のマークを付すことができ、研磨された宝石用原石又は工業用ダイヤモンド用の製造方法に本発明の方法が経済的な費用で統合されることが可能となる。
【0020】
一般的に、レジストが使用される場合、保持材料は上述のレジストベーク温度で安定であるべきである。異なる種類の保持材料が使用されうる。
【0021】
第1の望ましい種類の保持材料は、例えばエラストマーである、柔軟であってもよく或いは弾性があってもよい保持材料である。エラストマーは、ゴム状であり弾性がある。この定義に限られないが、エラストマーは、室温では低い応力下でその元の長さの2倍まで引き伸ばされえ、すぐに応力を解放すると、力により略その元の長さに戻る。「弾性がある」という用語は、本願ではこの一般的な意味で用いるものとするが、これに限られるものではない。保持材料がダイヤモンドを十分にしっかりと保持するかぎり、例えばスピンによりレジストを載せている場合、重要な段階において、即ちマークを形成するために露光しているとき、ダイヤモンドは実質的に応力を受けていないため、幾らかの柔軟性が許される。柔軟性又は弾性のある保持材料を使用することの利点は、手順の終わりにおいて、表面にマーク付けされたとき、宝石用原石又はダイヤモンドは、例えば比較的低い力で後ろから押し出すことにより単に飛び出しうることである。このとき、保持材料は(容器の中にあれば)通常は引きちぎられ、廃棄されるかリサイクルされるため、保持材料がその弾性限界を超えて歪んでいてはならないことは重要ではない。容器は洗浄される必要はない。宝石用原石又はダイヤモンドの取り外しの後、宝石用原石又はダイヤモンドはレジストの除去のためにだけ洗浄される必要がある。
【0022】
弾性のある又は柔軟な保持材料の硬さの選択に関して折衷案がとられる。保持材料が硬ければ硬いほど、エッチング及び洗浄中の位置決め及び耐性はより良くなる。しかしながら、保持材料が硬すぎれば、宝石用原石又はダイヤモンドを除去することがより困難となり、マーキーズ形といった幾つかの特別な形状の宝石では、保持材料が硬すぎれば隅が欠けてしまう危険性がある。一般的には、保持材料は、保持材料にいくらかの割れ目があっても保持材料の片が壊れて離れることなく、宝石用原石又はダイヤモンドをマーク付けされるべき表面に対して垂直な方向にホルダから押し出すことが可能であるよう、十分に弾性又は柔軟性がありうる。より望ましくは、保持材料がその弾性限界を超えて歪んでも保持材料に割れ目が生じない。円形のブリリアントカットの宝石には、ショア(デュロメータ)A尺度で最も硬い持材料が使用されえ、ショア硬さは、例えば約60又は70から最大で約100である。丸いブリリアントカットの宝石では、望ましい硬さは約92である。理論上、保持材料は、ポリマーから形成されていても、室温では硬く、宝石を除去するために加熱されうるが、これは望ましくない。保持材料は、透明であってもよい。透明性は、特に「ファンシー」形状の、即ち平面視したときに円形でない宝石用原石の整列を支援する。熱導電率は低いほどよい。適当なプラスチックは熱可塑性物質、又は合成ゴムであり、性質上は熱可塑性物質が望ましい(即ち溶融可能であり、再凝固する)。しかしながら、保持材料は、保持材料が化学反応によって硬化するよう前駆物質を注入することによって形成されうる。また、望ましい方法は熱射出成形を用いるが、冷たいまま注入され化学反応によって硬化する適当なポリマーを見つけることが可能である。
【0023】
第2の種類の保持材料はもろく、保持材料は、宝石用原石又はダイヤモンドを傷つける危険性なしに宝石用原石又はダイヤモンドを取り外すために、マーク付け手順の終わりにおいて容易に壊れうる。保持材料は、もろいポリマー又はその前駆物質として射出成形されてもよく、又は他の方法で挿入されうる。
【0024】
第3の種類の保持材料は、その融点を超えており、通常の冷凍又は凝固によって固化する液体である。保持材料に高い熱導電性を選ぶことにより、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドは短時間で加熱されえ、その温度は正確に制御されうる。宝石用原石又は工業用ダイヤモンドは保持材料と良い熱接触にある。
【0025】
1つのこのような保持材料は、インジウムといった金属、又はその適当な合金である。インジウム以外の金属又は合金が使用されうる。望ましい合金は、単一の融点を有するため共晶合金であり、そのようなものの1つとしてスズ/ビスマス合金がある。インジウムは高い熱導電性を有し、その融点は約156℃であり、即ち容易に溶融しうる。レジストベーク温度は、融点よりも安全に低く、ベークのために過熱された水が使用されうる。インジウムは、低い蒸気圧を有する。これはダイヤモンドを濡らす傾向がある。フラックスが使用されうる。インジウムは、使用されうる温度ではダイヤモンドに対して無視できないほどの損傷を生じさせることはないが、より高い温度では、エッチングの危険性がある。
【0026】
手順の終わりにおいて、第2の種類の凝固された保持材料は、それを除去するために溶融されえ、宝石用原石上に残る全ての跡は拭き取られうる。インジウムは上述のようにダイヤモンドを濡らす傾向があるが、ダイヤモンドの表面にはくっつかない。跡が残っていれば、これらは例えば王水で除去されうる。
【0027】
いずれの種類の保持材料の使用も、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドの表面の洗浄を容易とする。保持材料を溶解することなく、例えば汚染を生じさせることなく、適当な洗浄化学物質が使用されうる。保持材料の表面は、比較的柔軟であり、マーク付けされるべきファセット又は表面の鋭い縁及び隅をマスクし、機械的洗浄中に使用される洗浄のためのふき取りの摩耗を防止又は減少させる。
【0028】
同じ寸法のホルダに、より広い範囲の宝石用原石及び工業用ダイヤモンドの寸法及び形状が取り付けられ得る。適切な配置により、1つのホルダに複数の宝石が取り付けられ得る。
【0029】
容器は、任意の適当な種類でありうる。例えば、容器は接触面に対して配置された開いた上部を有してもよく、又は接触面に対して配置された開いた底部を有してもよく、又はその上部又は下部が接触面に対して配置されたリングの形状であってもよく、必要であれば、他端が他の部材によって閉じられてもよい。最も広い概念では、容器はホルダの一部を成す必要はないが、単に、後に除去される保持材料を所定の位置とするために成形するよう作用しうるか、そこから保持材料及び宝石用原石又はダイヤモンドが除去されるダイを形成しうる。容器がホルダの一部を形成しない場合、保持材料は十分に硬い必要がある。容器又はダイ上の位置決め面は、マークを形成するための更なる手順、例えばレジストの露光のためにホルダを位置決めするために保持材料上に対応する表面を画成し、それにより容器の位置決め面はホルダを更なる手順のために間接的に位置決めする。位置決め面は、容器又はダイの接触面とは反対側の面であり得る。或いは、位置決め面は、保持材料上の対応する表面がマーク付けされるべき宝石用原石又はダイヤモンドの表面と同一平面上であるよう、接触面でありうる。この他の例では、ホルダは、台の下面に位置合わせして、露光段階のために台又はプラテンの下に位置決めされてもよく、プラテンには露光放射線用の穴が設けられる。
【0030】
[本発明の第2の面]
本発明の第2の面によれば、請求項25に記載の方法、並びに、請求項45に記載のホルダが提供される。従属項は、望ましい及び/又は任意の特徴を記載している。
【0031】
[本発明の第3の面の背景]
通常は、上述のレジストは、塗布されたときにベークされねばならない。レジストの露光の必要量は、レジストの性質とそれがベークされた程度に依存するため、ベークの温度及び持続時間は重要である。ベークが誤っていれば、露光は通常は誤っており、例えばベークはレジストが乾燥してしまうほど長くてはいけない。温度及び持続時間については上述している。
【0032】
本発明は、この面では、従来技術の不利な点のうちの少なくとも1つを克服又は改善し、又は有用な代替案を提供することを目的とする。
【0033】
[本発明の第3の面]
本発明の第3の面によれば、請求項31に記載の方法が提供される。従属項は、望ましい及び/又は任意の特徴を記載している。
【0034】
ヒートポンプを用いることにより、加熱の持続時間及び温度の非常に正確な制御と、速い加熱及び冷却が達成される。
【0035】
本発明の一般的な概念は、ホルダ及び保持材料の配置がいかなるものであっても、又は、宝石用原石又はダイヤモンドが単にホルダにくっつけられたものであっても、表面に対向する宝石用原石又はダイヤモンドの一部は、自由である又は露出されるよう、また、一部が加熱又は冷却されることにより宝石用原石又はダイヤモンドを加熱又は冷却するよう、保持材料又は接着剤によって覆われないよう配置されうる。保持材料が使用される場合、この一部は、囲んでいる保持材料から突出することが望ましい。このようにして、宝石用原石又はダイヤモンドは、例えばPeltierヒートポンプを用いて加熱又は冷却されるか、又は過熱された水又はハンダといった蒸気又は熱い液体によって加熱されうる。例えば、マーク付けされるべき表面、又は宝石用原石或いはダイヤモンドの反対側を赤外線で照射することといった他の加熱方法が可能である。宝石用原石又はダイヤモンドが熱導電性の低い保持材料で囲まれるか、空気で囲まれる場合、非常に急速な加熱及び冷却と、非常に正確な温度制御が得られる。本発明のこの面は、リソグラフィー処理の優勢な制御を生じさせうる。
【0036】
[望ましい実施例]
本発明について、例として添付の図面を参照して更に説明する。
【0037】
[図1a乃至図1d−第1のホルダ]
図1aは、加熱されたプラテン又は加熱板2上に配置されたホルダ1を示す。ホルダ1は、加熱により液化した保持材料3を含む。ホルダ1は、底部4と内向きに傾いた側壁5とによって形成され、それによりホルダ1は上側開口を与える。側壁5の上部は平坦であり、基準又は位置決め表面又は平面6を与える。底部4の下側は、基準平面6に対して厳密に平行であり、基準平面6の下の所定の距離にあり、位置決め面として作用する。
【0038】
[第1のホルダへのダイヤモンドの取り付け]
ダイヤモンド7は、真空チャック8(中央ダクト9に真空がかけられる)の中央に配置され、真空によって所定の位置に保持される。チャック8はホルダ1用のカバーを画成し、その平坦な下面10は接触面として作用し、それに対してダイヤモンド7の平坦なテーブル7aが横たわる。下面10は、チャック8が下降されたときに側壁5を囲む下向きの突起11によって囲まれる。
【0039】
保持材料3がインジウムである場合、プラテン2はインジウムの融点156℃を上回る170℃の温度まで加熱されうる。チャック8は、基準面6が表面10と係合又は合わさったときに、ホルダ1の上部と接触するまで下降される(図1b)。側壁5の内向きの傾斜は、融解した保持材料がチャック8の下側まで跳ね上がり、跳ね上がりが内側に向かう傾向を減少させる。ダイヤモンド7を急速に下降させると、保持材料3が凍結することがあり、これにより、ダイヤモンド7を沈めて、次にチャック8で拾い上げるという非常に迅速な手順を用いることが可能となる。或いは、これが生じない手順では、ワイヤ12の形の更なる保持材料が開口又は孔13を通して入れられ、ワイヤ12は(ワイヤがホルダに接触するのであれば)ホルダ1と接触することにより及び既に融解した保持材料3によって加熱されて融解し、ホルダ1が完全に満たされるまで入れられる。更なる他の手順では、ダイヤモンド7のガードルよりも上まで上がるのに十分な保持材料3が使用されるが、保持材料3の表面とドップ8の下側との間に空間が残される。
【0040】
ホルダ1は、例えば加熱板2の設定温度を低下させること、又はホルダ1に冷却液体又はより冷たい固体を与えることによって、保持材料3を(まだ凍結していないのであれば)凍結するよう冷却する。保持材料3は、室温までではなく、その融点よりも下まで冷却されればよいため、必要とされる冷却の度合いはあまり大きくない。
【0041】
チャック8は、ホルダ1とダイヤモンド7を加熱板2から持ち上げ、更なる冷却を可能とするために使用されうる(図1c)。すると、真空は、オフとされてもよい。ホルダ1は、ダイヤモンド7がそのテーブル7aをチャック8の下面10及び位置決め面又は平面6と同一平面上として(図1d参照)、底部4の下側に厳密に平行に、ホルダ1内に据え付けられ、ドップを形成する。ドップ(1)は、チャック8から離されてもよい。チャック8の材料及び保持材料3の材料を適切に選定することにより、ドップ(1)は真空が中断されたときに落下しうる。例えば、保持材料3がインジウム又はビスマス/鉛合金である場合、チャック8はアルミニウム合金で形成されうる。
【0042】
一般的に、ホルダ1及びチャック8はアルミニウム又はアルミニウム合金、真鍮、ステンレス鋼又は機械加工可能なセラミックでありうる。ホルダ1及びチャック8は円形でありうる。
【0043】
ホルダ1が適当な寸法であり、適当な数の真空導管9が設けられているとき、ホルダ1内に複数のダイヤモンド7が取り付けられ得る。
【0044】
[洗浄]
ダイヤモンド7は、例えばアルコールで湿らせたスワブで機械的に洗浄すること、又はダイヤモンド7及びドップ(1)を特許光学レンズ洗浄ティッシュ等を横切るよう引くことによって洗浄されうる。或いは、ドップ(1)は真空チャックに取り付けられ、望ましくはダイヤモンド7のテーブル7aに垂直な軸回りに回転されうる。この場合、溶媒が与えられ、次にスピンドライ、機械的洗浄、及び任意の他の適当な技術が行われうる。
【0045】
[レジストコーティング]
ファセットがマイクロリソグラフィーでエッチングされる場合、ドップ(1)は真空チャック上に取り付けられ、ダイヤモンド7のテーブル7aに垂直な軸回りに回転されうる。ドップ(1)の中に複数のダイヤモンド7が据え付けられた場合、軸は略ドップ(1)の中央線を通るはずである。
【0046】
フォトレジストは、少なくともダイヤモンド7のテーブル7aを覆うよう塗布される。適当なポジ型レジスト材料は、シップレイ社(Shipley Company)によって製造されたMicroposit 1818であり、これはジアゾナフトキノン/ノボラックレジストである。チャックはドップ11及び宝石7と共に、高速で、一般的には4000乃至8000回転毎分(r.p.m.)で、一般的には15乃至30秒間に亘って回転される。結果として、ダイヤモンドテーブル7aの大部分に亘って一般的には1乃至2ミクロンの均一な厚さのレジスト膜が形成される。上面がダイヤモンドテーブル7a、据え付け材料2の表面、及びドップ(1)の側壁5の上部に亘って連続的であれば、ダイアモンドテーブル7a上にはビード又はリムは形成されない。
【0047】
[露光前ベーク]
次に、レジストはベークされる。一般的な条件は、115℃で1分間である。これは、ドップ(1)を、望ましくはそれを密接に接触して保持するよう真空チャックを用いて、加熱板上において行われる。熱は加熱板との接触を通じてドップ(1)に入り、すばやくダイヤモンド7へ伝達される。或いは、加熱効果は、誘導加熱、ドップ(1)中に組み込まれた加熱素子、又は赤外線放射でテーブル7aを照射することといった任意の他の適当な方法で生じさせられる。ドップ(1)の温度は、ドップ(1)の中に取り付けられた、又はドップ(1)と接触する熱電対等によって測定されえ、この測定は温度を調整するために加熱手段を制御しうる。或いは、加熱板の温度は測定及び制御されうる。
【0048】
ベークの後、熱源は中断され、ドップ(1)は急速に冷却される。ここでダイヤモンド7は、レジストの露光のための準備ができている。
【0049】
[光学的な露光]
ドップ(1)は、例えば10倍の縮小(非拡大)でテーブル7a上にマスクを投射することによって、形成されるべきマークに対応するパターンでレジストを露光するための適当なマイクロリソグラフィー装置の水平なプラテン上に配置される。露光像の場所、向き、及び焦点は適切に調整され、テーブル7aは、装置のプラテンに対して厳密に平行に、また、装置のプラテンの上方の厳密に所定の高さに維持される。他の配置では、ドップ(1)は、それを通じてテーブル7aが照射されうる開口が設けられた下向きに面した位置合わせ面に対して上向きに保持されうる。この他の配置では、底部4の下側は、基準面6に対して厳密に平行に及び基準面6の下に所定の距離のところにある必要はない。
【0050】
レジストを露光するために任意の適切な放射線が使用されうる。Microposit1818レジストでは、350乃至450nmの波長範囲の電磁放射線が適している。より短い波長は、より高い分解能のパターニングを可能とする。露光は、例えばGラインが436nmである水銀放電ランプといった単一の波長で、又は、例えばフィルタリングされたタングステン/ハロゲンランプといった波長の帯域でなされうる。
【0051】
[露光後ベーク]
レジストに露光後ベークを受けさせることが所望であり得る。拡散の処理は、レジスト中の定常波又は干渉縞の影響を減少させる。処理は、上述の露光前ベークの場合と同様である。
【0052】
[現像]
レジストの現像は、従来通りでありうる。使用される装置は、上述のレジストスピン装置と同様であり得る。
【0053】
[エッチング]
プラズマエッチング装置は、例えばオックスフォード・プラズマ・テクノロジー(Oxford Plasma Technology)社(英国)又はサウス・ベイ・テクノロジー(South Bay Technology)社(米国)から入手可能である。DC放電エッチングが使用されうるが、ダイヤモンドの帯電の問題を防止するために無線周波数プラズマを用いることが望ましい。ダイヤモンドがエッチング装置の接地電極ではなく駆動電極に取り付けられたリアクティブ・イオン・エッチングが望ましい。1つの例では、ダイヤモンドは例えば100乃至1000ボルトのプラズマに対して負のバイアス電位を生ずる。プラズマからのエネルギーに満ちたイオンでの照射は、炭素のあまり反応性の高くないダイアモンド同素体を例えばグラファイトといったより反応性の高い形へ部分的に変換させうる。グラファイトを酸化させるために、純粋な酸素又は酸素/アルゴン混合物又は空気が供給されうる。望ましいプラズマは、75%のアルゴンと25%の酸素であるが、代わりに、純粋な酸素によるエッチングが用いられてもよく、その場合、表面で終了する酸素を除去するために純粋なアルゴンエッチングが用いられる。
【0054】
[取り外し]
エッチング後、ダイヤモンド7を取り外すために、ドップ(1)は保持材料3が溶解するまで加熱板上に配置される。ダイヤモンド7は浮上し、真空チャック又はピンセットで除去されうる。
【0055】
[図2−第2のホルダ]
図2は、ホルダ21がダイヤモンド7の上に配置されうることを示す。基準又は位置決め表面又は平面6は、下部開口を有するホルダ21の側壁22の下部によって画成される。ホルダ21の上部の上面は、位置決め平面6に対して厳密に平行に、また、位置決め平面6の上の所定の距離にある。ダイヤモンドは、接触面を形成する平坦な上面10を有する板23上に配置され、開口24を通じた吸引によってそこに保持される。ホルダ21は、ワイヤ12の形の保持材料3を供給するための上部開口25を有する。ホルダ21は、完全に満たされる必要はない。十分な保持材料が加えられると、冷却され、吸引は中断され、ダイヤモンド7をホルダの内側に据え付けて、ホルダ21は板23から持ち上げられる。この配置の利点は、接触面10がまず覆われ、このようにして形成される保持材料3の表面は波紋なしに平坦であることである。
【0056】
ホルダ21は、ホルダ1について上述した他の方法のいずれかを用いてマイクロリソグラフィー装置中に配置されうる。
【0057】
[図3−第3のホルダ]
第3のホルダ又はドップ31は、半あり(half dovetail)型のアンダーカット33を有する片側面を形成する円形の環状のドップリング又は容器32を有する。リングは、2つの射出成形用ゲート34を有し、テーブル7a、キューレット7b、及びガードル7cを有するブリリアントカットのダイヤモンド7をしっかりと保持する。保持材料35の上面はテーブル7aと同一平面上にあり、ダイヤモンド7が保持材料35によってしっかりと保持され、テーブル7aに対して垂直な方向又はテーブル7aに対して平行な方向のいずれにも保持材料35に対して移動できないよう、保持材料35はガードル7cの上及び下(テーブル7aに対して垂直方向に見たときに前側と後ろ側)の両方にある。ダイヤモンドキューレット7bは、囲んでいる保持材料35から突出する。
【0058】
図4は、どのようにしてドップ31が形成されるかを示す図である。図4は、本体部41を有する射出成形具を示す。図示の配置では、本体部41は、2つの射出成形又はダイ空洞42、2つのダンプ空洞43、及び本体部41内の適当な導管との真空接続44を有する。各ダイ空洞43は、主ゲート45と接続する1つのゲート34及びダンプ空洞43と接続する他のゲートを有する空洞内のドップリング32を位置決めするための釘等(図示せず)を有する。2つの中央集中ピン46は、本体部41内で垂直に摺動可能であり、螺旋形の圧縮バネ47によって上向きに付勢される。バネ47は、しっかりと軽い圧力であるが塑造後に中央集中ピン46を上向きに押すのに十分な圧力を与えるべきである。左側では中央集中ピン46は塑造位置にされて示されるが、右側では中央集中ピン46は荷重位置、即ち高い位置にあることが示されている。バネ47は、本体部41に螺入されたサムネジ(thumb screw)48によって保たれ、本体部41はキャップネジ(cap screw)50によって所定の位置に保持されるサムネジ逆転防止装置49を担持する。各サムネジの下部48は、各中央集中ピン46中の中央孔46aの中を上向きに通る通気遮断ピン51を担持する。各中央集中ピン46は、十字孔52を有し、インサート54を保持するその上端に円筒状の空洞53を画成する。本体部41の上に、上昇可能な上板55があり、その左側の部分のみが閉じた位置で示されている。
【0059】
塑造の手順は以下の通りである。
【0060】
1.ドップリング32をダイ空洞42中に載せる。
【0061】
2.各ダイヤモンド7のキューレットを、インサート54中の孔66によって形成されるインサート43の上部の凹部の中に位置決めする。単なる例示として、図4は、左側のインサート54上に0.25カラット(0.05グラム)のダイヤモンド7があり、右側のインサート54上に2カラット(0.4グラム)のダイヤモンド7があることを示す。真空は、ダイヤモンド7を所定の位置に保持するために用いられる。ダイヤモンドが例えばブリリアントカットであれば、インサート54中の上部の凹部はダイヤモンド7を中心におき、テーブル7aを上向きに保持する。広い範囲のダイヤモンドの重さに対して、同じ寸法のインサート54が使用されうるが、異なる寸法のインサート54を設けることが可能である。更に、ダイヤモンドが例えばキールを有する「ファンシー」カットであれば、特別な形状のインサートが設けられ得る。以下説明するように、過剰な保持材料は孔56を通ってはならず、許容可能な最大の隙間は約30ミクロンである。
【0062】
3.上板55は下降される。これはダイヤモンド7を下向きに押し、バネ47を圧縮させ、ダイヤモンドテーブル7aが上板55の下面によって与えられる接触面にしっかりと衝合し同じ高さとされるよう、ダイヤモンドテーブル7aを上板55の下面としっかりと係合させる。事実上、ダイヤモンド7は中央に且つ平らに締め付けられる。図4の左側に示すように、中央集中ピン46が押し下げられると、通気遮断ピン51が中央孔に入り、通路の寸法をかなり減少させる。
【0063】
4.サムネジ46は、中央集中ピン46を所定の位置に徐々にロックするよう締め付けられ、射出成形の圧力が中央集中ピン46を下向きに押すことを防止する。
【0064】
5.器具は、射出成形装置の中に置かれ、液体エラストマーの保持材料35は主ゲート45を通り、第1の部分は各ドップリング32を通り、より冷たい最初の吸気及び排気を廃棄するためダンプ空洞43の中へ注入される。通気遮断ピン51の周りの制限された通路は、ダイヤモンド7とインサート54の間を空気が漏れることを可能とするが、保持材料35が真空通路へ漏れることを防止するのに十分には小さい。しかしながら、孔56及び空洞53は、保持材料35で満たされ、これはリベット頭のような形状を有するであろう。ゲート34はドップリング32の側面にあるため、保持材料35がドップリング32の上部を越えて突出する問題はない。一般的に、ダイヤモンド7が所定の位置にロックされている限り保持材料がドップリング32を満たすことは必須ではないが、この配置ではドップリング32は満たされるようにされている。
【0065】
6.器具は、射出成形装置から取り外され、サムネジ48は後退される。
【0066】
7.バネ47が中央集中ピン46を押し上げるとき、上板55が持ち上げられ、ここではドップ31を形成するためドップリング32中に固定されているダイヤモンド7を持ち上げる。
【0067】
8.ドップ31は、中央集中ピン46の上部から持ち上げられて取り外される。保持材料35がダイヤモンド7の後ろへ漏れた場合、インサート54は、保持材料35の「リベット頭」によって捕らえられているドップ31から離れる。「リベット頭」は次に引きちぎられ、保持材料35は、ダイヤモンドキューレット7bがインサート54中の孔56の中に置かれている断面面積が最小の点で切断される。「リベット頭」を引きちぎることにより、キューレット7bが露出する。キューレット7b上に保持材料35の過剰な部分があれば、これらはピンセットで取り除かれうる。
【0068】
9.過剰な保持材料35は、ダンプ空洞43及びランナー等から引き出される。
【0069】
10.インサート54は、中央集中ピン46の中に再び置かれる。
【0070】
サイクル繰り返し時間は、約1分間でありえ(2分ごとに4つのドップ31)、前加熱は必要でない。保持材料35がElastron G 1047であれば、180℃で射出されうる。塑造器具及びドップ31は40℃よりも上の温度には達しないため、健康と安全性について譲歩することはない。ダイヤモンド7は、中央から0.5mmの中でありうる。非常にわずかな保持材料35使用され、従ってその費用は低く、適切であればリサイクルされうる。
【0071】
ドップ31は、テーブル7aを、いずれも位置決め面を成しうるドップ32の上面及び下面(端面)に対して厳密に平行にしてダイヤモンド7を含む。一般的には、保持材料35が僅かに収縮することが予想される。保持材料35はアンダーカット33の下側に係合しており(図3参照)、保持材料35が収縮すると、アンダーカットはダイヤモンド7をほんのわずか引っ張るが、ダイヤモンドテーブル7aは、配置の対称性により、ドップリング32の上部に厳密に平行なままとなる。アンダーカット33は、保持材料35をドップリング32に固定する。
【0072】
保持器具には任意の適当な材料が使用されうる。しかしながら、1つの配置では、本体部41は特殊鋼で形成され、上板55は例えばMacrolonといったポリカーボネートといった透明なプラスチック(内部を見ることを可能とする)から形成され、保持材料35がドップリング32の上縁をクリープを起こすことにより困難性があれば、上板55には、その下面にゴムのライナーが設けられてもよい。インサート54は、例えばDelrinといったアセタール又はポリホルムアルデヒド樹脂から形成され、これは小さい空気の通路を中央として残すのに十分に硬いが、ダイヤモンド7を欠けさせることはない。ドップリング32自体はステンレス鋼又はアルミニウム合金又はアルミニウムから形成されうる。
【0073】
[図5−第4のホルダ]
第4のホルダ又はドップ36は、ドップ31と同様であるがドップリング32を有さず、全体が保持材料35で形成される。ドップ36は、図4の器具の射出成形空洞42の中で塑造され、続いてスプルーで引っ張り出されたものとして示されている。保持材料35は硬質ポリマーであり、ポリマーとインサート54の材料は、保持材料35がインサート54に接着しないよう選定される。このようにして、インサート54は、中央集中ピン35から持ち上げられうるが、孔56の中に通されたポリマーによってのみドップ36中に保たれ、上述のように離されうる。ダイ空洞の上部及び下部は、ドップ36の上面及び下面を形成する位置決め面を画成し、マークを形成するためにダイヤモンドテーブル7aを間接的に位置決めする。従って、ドップ36の上面又は下面のいずれかは位置決め面として作用しうる。
【0074】
[図6]
上述の「露光前ベーク」及び「露光後ベーク」のため、Peltier装置又はヒートポンプ(熱電冷却器)がダイヤモンド7を加熱するため及び冷却するための両方に使用されうる。
【0075】
図6にその一部が示されているPeltier装置は、加熱先端部63を具備したPeltierユニット62を有する標準的なヒートポンプである。先端部63は、液体ハンダ65の小さいブロブを含む空洞64を有するよう形成される。先端部クランプ66は、ハンダ65がダイヤモンド7のキューレット7bを濡らすよう落とされること(図6中はわずかに上げられて示されている)を可能とするドップ31(又は36)を受容するよう形成される。このようにして、ダイヤモンド7は加熱され、レジスト(図示せず)をベークするようテーブル7a上のレジストを加熱する。正しいベーク時間後、Peltierヒートポンプ61は逆にされ、ダイヤモンド7は急速に冷却される。ハンダ65は、約70℃で硬化するが、ダイヤモンド7を濡らさなくともやはり良い熱接触を与える。後に、ドップ31(又は36)は、単に持ち上げられて取り外すことができ、洗浄は必要ない。
【0076】
Peltier装置を使用することによりベークサイクルに亘って非常によい制御が行われる。例えば1分間に亘る110℃のベークと共に、3乃至4秒間の非常に急速な加熱時間と、12乃至15秒間の急速な冷却時間がありうる。保持材料35は、加熱によって損傷を受けないよう選定されうる。保持材料35は断熱材でありうるため、ドップリング32は冷たいままであり、取り扱うことができ、過剰な熱損失を防止することができる。
【0077】
ドップ31又は36は、上述のように「洗浄」から「エッチング」まで処理される。ドップ31の場合の「取り外し」については、ダイヤモンド7は、キューレット7bを押すために適当な非金属の器具を用いることによってドップ31から単に押し出される。保持材料35の残る部分は、ドップリング32から引きちぎられ、ドップリング32はリサイクルされる。ドップ36の場合、保持材料35は、ダイヤモンド7が押し出されるのを可能とするには硬すぎる場合には、切り取られうる。
【0078】
本願では、特に明示しない限り、明細書及び請求の範囲を通じて、「含む」等の後は、排他的又は網羅的な意味ではなく包含的であると理解されるべきであり、即ち、「含むがそれに限られない」と理解されるべきである。
【0079】
本発明は、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドに関して説明されたが、本発明は、電子半導体チップといった任意の適当な加工中製品の表面上にマイクロマークを形成するためにより一般的に適用可能である。
【0080】
明細書を通じた従来技術の説明は、かかる従来技術が周知であることや技術分野における一般常識の一部をなすことを認めるものと理解されるべきではない。
【0081】
本発明について、純粋に例として説明したが、本発明の趣旨の範囲内で、上述の特徴と同等のものまで拡張される変更がなされうる。
【図面の簡単な説明】
【0082】
【図1a】第1のホルダに宝石用原石を据え付ける方法を示す概略的な垂直断面図である。
【図1b】第1のホルダに宝石用原石を据え付ける方法を示す概略的な垂直断面図である。
【図1c】第1のホルダに宝石用原石を据え付ける方法を示す概略的な垂直断面図である。
【図1d】第1のホルダに宝石用原石を据え付ける方法を示す概略的な垂直断面図である。
【図2】第2のホルダに宝石用原石を据え付ける方法を示す概略的な垂直断面図である。
【図3】第3のホルダを示す垂直断面図である。
【図4】第3のホルダに宝石用原石を据え付けるための塑造具を通じた部分的に切截された垂直断面図である。
【図5】第3のホルダを示す垂直断面図である。
【図6】第3のホルダ中のダイヤモンドが加熱又は冷却されることを示す、Peltier装置の一部を通る垂直断面図である。
Claims (48)
- 宝石用原石又はダイヤモンドを容器内に配置し、
前記表面を接触面と係合させ、
少なくともマーク付けされるべき表面が自由なままであり前記宝石用原石又はダイヤモンドが前記容器の側壁に接触せず、マーク付けされるべき表面に対して垂直な方向に見たときに前記宝石用原石又はダイヤモンドの一部の前側又は後ろ側の両方に保持材料があることにより、保持材料が硬化したときに、前記宝石用原石又はダイヤモンドが保持材料によってしっかりと保持されるよう、保持材料を液体として容器の一つ又は複数の側壁と前記宝石用原石又はダイヤモンドとの間に充填することにより前記宝石用原石又はダイヤモンドの周りに保持材料を塑造し、
前記保持材料を硬化させ、
前記容器は、マーク付けされるべき表面と一致する又は平行な位置決め面を画成し、位置決め面は、マークの形成のための更なる手順のためにマーク付けされるべき表面を略所定の平面上にして前記宝石用原石又はダイヤモンドを位置決めするよう直接的又は間接的に使用されうる、
宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその表面上にマークを形成するために取り付ける方法。 - 前記宝石用原石又はダイヤモンドの周りには、前記容器の一つ又は複数の側壁を前記宝石用原石又はダイヤモンドから分離する保持材料の途切れのないリングがある、請求項
1記載の方法。 - 前記容器は前記位置決め面を画成する境界を有する開口を有し、保持材料の塑造前は前記開口の境界は前記接触面と係合し、前記開口の境界は塑造後に前記接触面から外され、マークされた表面が前記位置決め表面と同一平面上となるよう容器内に据え付けられた宝石用原石又は工業用ダイヤモンドを提供する、請求項1記載の方法。
- 前記容器の開口は一番上にあり、前記宝石用原石又は工業用ダイヤモンドは前記容器内へと下降される、請求項3記載の方法。
- 前記容器は、底部と、上向きに内側に傾斜した一つ又は複数の壁によって画成される、請求項4記載の方法。
- 前記接触面は、開口の境界と係合したときに前記開口の境界を囲むよう配置された下向きの突起をその周りに有する、請求項4又は5記載の方法。
- 前記容器は、前記宝石用原石又は工業用ダイヤモンドを前記容器内へ相対的に下降させる前に、保持材料で少なくとも部分的に充填される、請求項4乃至6のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記接触面には、前記接触面が前記開口の境界に係合するときに、保持材料を前記容器へ供給する少なくとも1つの開口がある、請求項4乃至7のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記宝石用原石又は工業用ダイヤモンドを容器の中に配置した後、更なる保持材料が容器に供給される、請求項4乃至8のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記容器は、保持材料が前記接触面と接触するよう液体の保持材料で略満たされる、請求項4乃至9のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記容器は前記位置決め面を画成する底部開口を有し、マークされるべき表面は前記接触面上に配置され、前記容器は、前記宝石用原石又はダイヤモンドを容器の中に配置するよう前記接触面上の前記宝石用原石又はダイヤモンドの上に配置され、液体の保持材料が容器へ供給される、請求項1又は2記載の方法。
- 前記宝石用原石又は工業用ダイヤモンドは吸引によって前記接触面に対して保持される、請求項1乃至11のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記宝石用原石又はダイヤモンドは、前記宝石用原石又はダイヤモンドのマーク付けされるべき表面とは反対の側を受容する凹部を有する部材上に配置され、前記凹部部材は前記宝石用原石又はダイヤモンドの表面を、容器の上部を成す前記接触面に対して保持するよう上昇される、請求項1乃至11のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記容器は、一つ又は複数の側壁を与える環状部材と、前記宝石用原石又はダイヤモンドが前記環状部材によって囲まれて保持材料中に保持されるよう塑造中に与えられ塑造後に除去される少なくとも別個の底部材とを含む、請求項1乃至13のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記保持材料は射出成形によって挿入される、請求項1乃至4、13、及び14のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記容器の一つ又は複数の側壁はアンダーカットである、請求項1乃至15のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記保持材料はインジウムである、請求項1乃至14のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記保持材料はポリマーである、請求項1乃至17のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記保持材料は弾性であるかエラストマーである、請求項1乃至16のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記保持材料は柔軟である、請求項1乃至16のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記宝石用原石又はダイヤモンドの表面上にマークが形成された後、前記宝石用原石又はダイヤモンドは、マーク付けされるべき表面に対して垂直な方向にこれを押し出すことによって前記保持材料から除去される、請求項19又は20記載の方法。
- 前記マーク付けされるべき表面は宝石用原石のテーブルである、請求項1乃至21のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記宝石用原石又はダイヤモンドの前記マーク付けされるべき表面と反対側の部分は、該部分が加熱又は冷却されえそれにより前記宝石用原石又はダイヤモンドを加熱又は冷却するよう、保持材料は覆われない、請求項1乃至22のうちいずれか一項記載の方法。
- 前記部分は囲んでいる保持材料から突出する、請求項24記載の方法。
- 少なくともマーク付けされるべき表面が自由なままであり、マーク付けされるべき表面に対して垂直な方向に見たときに前記宝石用原石又はダイヤモンドの一部の前側又は後ろ側の両方に保持材料があることにより、前記宝石用原石又はダイヤモンドが保持材料によってしっかりと保持されるよう、柔軟な又は弾性の保持材料を宝石用原石又はダイヤモンドの周りに配置する、
宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその表面上にマークを形成するために取り付ける方法。 - 請求項1乃至4、13乃至15、並びに、21乃至24のうちいずれか一項記載の方法と組み合わされる請求項25記載の方法。
- 請求項1乃至26のうちいずれか一項記載のように宝石用原石又はダイヤモンドを準備し、前記宝石用原石又はダイヤモンドの表面が基準露光面と平行及び略同一平面上であるよう宝石用原石又はダイヤモンドを位置決めするよう前記位置決め面を直接的又は間接的に使用する、
宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその表面上にマークを形成する方法。 - マーク付けされるべき表面に表面層を塗布するためのスピン処理を含む、請求項27記載の方法。
- 前記表面層はリソグラフィー用レジストである、請求項28記載の方法。
- 前記リソグラフィー用レジストは塗布された後にベークされる、請求項29記載の方法。
- マーク付けされるべき表面にアクセス可能であり、前記宝石用原石又はダイヤモンドのマーク付けされるべき表面とは反対側の部分がアクセス可能であるよう、宝石用原石又はダイヤモンドをホルダに固定し、
マーク付けされるべき表面にレジストを塗布し、
前記部分をヒートポンプに熱的に結合することによって前記レジストをベークする、
宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその表面上にマークを形成するために取り付ける方法。 - 前記部分は突出し、前記ヒートポンプは受容部を画成するヒータを有し、前記受容部には液体金属が入っており、前記部分は前記宝石用原石又はダイヤモンドを前記ヒートポンプと熱的に結合させるために前記液体金属中に配置される、請求項31記載の方法。
- 前記ヒートポンプは熱電冷却器である、請求項31又は32記載の方法。
- 前記部分は、宝石用原石又はダイヤモンドを冷却するために、前記ヒートポンプによって続いて冷却される、請求項31乃至33のうちいずれか一項記載の方法。
- 請求項1乃至30のうちいずれか一項記載の方法と組み合わされる、請求項31乃至34のうちいずれか一項記載の方法。
- レジストをその一部を露光させるために照射した後、宝石用原石又はダイヤモンドをスピンさせている間に現像液を塗布することにより像が現像される、請求項29乃至35のうちいずれか一項記載の方法。
- 実質的に、図1a乃至図1d又は図2又は図3又は図4又は図5を参照した本願の説明に記載されるように宝石用原石又はダイヤモンドを据え付ける、
宝石用原石又は工業用ダイヤモンドをその表面上にマークを形成するために取り付ける方法。 - 図1a乃至図1d又は図2又は図3又は図4又は図5を参照した本願の説明に記載されるように、宝石用原石又は工業用ダイヤモンドのファセット上にマークを形成する方法。
- 図6を参照した本願の説明に記載されるような、請求項27記載の方法。
- 請求項1乃至26のうちのいずれか一項記載の方法によって取り付けられた宝石用原石又は工業用ダイヤモンド。
- 宝石用原石又はダイヤモンドは、宝石用原石又はダイヤモンドの周りにありマーク付けされるべき表面を自由なままとする保持材料によって保持され、マーク付けされるべき表面に対して垂直な方向に見たときに前記宝石用原石又はダイヤモンドが保持材料によってしっかりと保持されるよう前記宝石用原石又はダイヤモンドの一部の前側又は後ろ側の両方に保持材料があり、ホルダはマーク付けされるべき表面と一致する又は平行である位置決め面を画成し、前記位置決め面は、マーク付けされるべき表面を前記マークの形成のための更なる手順のために所定の平面上に位置決めするのに使用されうる、
宝石用原石又はダイヤモンドをその表面上にマークを形成するために保持するホルダ。 - 前記保持材料は硬いリングの中に含まれ、前記リングの一方又は両方の端面は前記位置決め面を画成する、請求項41記載のホルダ。
- 前記保持材料は、弾性又は柔軟なポリマーである、請求項41又は42記載のホルダ。
- 前記保持材料は射出成形されている、請求項41乃至43のうちいずれか一項記載のホルダ。
- 宝石用原石又はダイヤモンドは、宝石用原石又はダイヤモンドの周りにありマーク付けされるべき表面を自由なままとする弾性又は柔軟な保持材料によって保持され、マーク付けされるべき表面に対して垂直な方向に見たときに前記宝石用原石又はダイヤモンドが保持材料によってしっかりと保持されるよう前記宝石用原石又はダイヤモンドの一部の前側又は後ろ側の両方に保持材料がある、
宝石用原石又はダイヤモンドをその表面上にマークを形成するために保持するホルダ。 - 前記保持材料は射出成形されている、請求項45記載のホルダ。
- 請求項27乃至30及び39のうちいずれか一項記載の方法によって準備された宝石用原石又は工業用ダイヤモンド。
- 請求項27乃至30及び39のうちいずれか一項記載の方法によってその上にマークが形成された宝石用原石又は工業用ダイヤモンド。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010005967A (ja) * | 2008-06-28 | 2010-01-14 | Nissha Printing Co Ltd | 宝石をインサートした樹脂成形品の製造方法 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005039430A1 (de) * | 2005-08-18 | 2007-02-22 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Lasermarkierung nahe der Oberfläche bei innenbearbeiteten transparenten Körpern |
EP1959780A1 (en) * | 2005-12-06 | 2008-08-27 | California Institute of Technology | Enhancing the optical characteristics of a gemstone |
KR100816681B1 (ko) * | 2006-07-18 | 2008-03-27 | 참앤씨(주) | 평판 트리밍을 위한 인스펙션 장치 |
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AT11232U1 (de) * | 2009-03-27 | 2010-07-15 | Swarovski & Co | Schmuckstein mit verspiegelter vorderseite |
WO2010111798A1 (en) | 2009-03-30 | 2010-10-07 | Boegli-Gravures S.A. | Method and device for structuring a solid body surface with a hard coating with a first laser with pulses in the nanosecond field and a second laser with pulses in the pico- or femtosecond field |
AT507883B1 (de) | 2009-05-19 | 2010-09-15 | Swarovski & Co | Spritzgegossener dekorationsartikel |
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RU2505386C2 (ru) * | 2011-09-28 | 2014-01-27 | ООО Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" | Способ лазерной обработки материалов и устройство для его осуществления |
US8928973B2 (en) * | 2011-12-16 | 2015-01-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Microscope apparatus for phase image acquisition |
US10259080B1 (en) | 2013-04-26 | 2019-04-16 | Vactronix Scientific, Llc | Adaptive guide bushing for laser tube cutting systems |
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CN106226994A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-14 | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 | 一种基于离子束刻蚀的打标方法及应用 |
GB2555463A (en) * | 2016-10-31 | 2018-05-02 | De Beers Uk Ltd | Apparatus and method for applying a coating to gemstones |
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Family Cites Families (15)
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---|---|---|---|---|
US3527198A (en) * | 1966-03-26 | 1970-09-08 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method and apparatus for working diamonds by means of laser light beam |
JPS5290372A (en) * | 1976-01-23 | 1977-07-29 | Okuda Kazumi | Patter embossed diamond |
US4478677A (en) * | 1983-12-22 | 1984-10-23 | International Business Machines Corporation | Laser induced dry etching of vias in glass with non-contact masking |
US5410125A (en) * | 1990-10-11 | 1995-04-25 | Harry Winston, S.A. | Methods for producing indicia on diamonds |
JP3104433B2 (ja) | 1992-10-16 | 2000-10-30 | 住友電気工業株式会社 | ダイヤモンドのエッチング方法 |
DE4439714C2 (de) * | 1994-11-09 | 1997-11-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zum Markieren, wie Kennzeichnen und/oder Beschriften, von Produkten in einem Fertigungsablauf unter Verwendung von Laserstrahlung |
US5760367A (en) * | 1995-05-16 | 1998-06-02 | Engraving Technologies, Inc. | Apparatus and method of engraving indicia on gemstones, and gemstones, produced thereby |
GB9514558D0 (en) | 1995-07-17 | 1995-09-13 | Gersan Ets | Marking diamond |
US5932119A (en) * | 1996-01-05 | 1999-08-03 | Lazare Kaplan International, Inc. | Laser marking system |
GB2325439A (en) | 1997-05-23 | 1998-11-25 | Gersan Ets | Marking diamond gemstone by plasma or ion beam etching through a laser ablated resist |
IL124592A (en) * | 1997-05-23 | 2002-07-25 | Gersan Ets | Method of marking a gemstone or diamond |
US6291110B1 (en) * | 1997-06-27 | 2001-09-18 | Pixelligent Technologies Llc | Methods for transferring a two-dimensional programmable exposure pattern for photolithography |
US6016185A (en) | 1997-10-23 | 2000-01-18 | Hugle Lithography | Lens array photolithography |
AU5877100A (en) * | 1999-06-16 | 2001-01-02 | Norsam Technologies | Method apparatus and article of manufacture for a branding diamond branding with a focused ion beam |
CN1264541A (zh) * | 2000-01-27 | 2000-08-30 | 李军 | 7%狼毒乌头碱白僵菌素悬浮剂及其生产方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2004525683A5 (ja) | ||
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