JP2004522304A - プリント回路基板を形成する方法およびこの方法によって形成したプリント回路基板 - Google Patents
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Abstract
PCB(100)の上側,内側,下側セクション(182,180,184)の各セクションが、パターン化された金属層(105と110、115と120、125と130)それぞれを有する基板(140,150,160)を有するように形成される。パターン化された金属層の内の層(110,115,120,125)には、厚い部分(171,173)及び部分(188)と、そして、薄い部分(172,174,187,190,192,193)とがある。その結果生じた、金属層のそれぞれの厚い部分を伴うプリプレグ層(145および155)における薄い層(175および194)が、切り離し用コンデンサを提供すると共に、結果として生じた、例えば、薄い層(196および198)が、信号トレース(191および192)のトレース・インピーダンスに低キャパシタンスをもたらす。
Description
【技術分野】
【0001】
本発明は、電磁干渉を低減するプリント回路基板に関し、更に具体的に言うと、分配したキャパシタンス(静電容量)をその中に包含しているプリント回路基板に関する。
【背景技術】
【0002】
プリント回路基板(PCB)は一般的に、機械的構造物に、集積回路や、レジスタ、コンデンサなど、別個の部分から成る電子構成要素が配備され相互接続されたりするのに使用される。PCB内での相互接続というのは、PCB上やその内部において、パターン化した金属(典型的には、銅)トレースの層により提供される。よりコンパクト化するという要求を満たすためには、多数のパターン化金属トレース層を有する多層PCBが使用される。このようなPCBは、絶縁材とパターン化金属トレースの交互の層を含み、パターン化金属トレース間の相互接続は、縦方向バイアまたはめっきスルーホールによって絶縁材の層を通して行われる。典型的には、4層式PCBにおいて、すなわち、4つのパターン化金属トレース層を有するPCBの場合には、2つの最内部の層が、それぞれ、PCB上のすべての回路に対し、共通のパワー面(電力面)および共通の電気アース面を提供する。
【0003】
多層PCB上の回路の作動は、特に信号が約50メガヘルツ以上の高周波数である場合、パワー面とアース面との間に電圧の変動を生じさせる。このような変動は、しばしば電磁干渉(EMI)またはノイズと呼ばれており、望ましいものではない。多層PCBにおける共通アース面および共通パワー面は、EMIを低減する助けをするキャパシタンス値を有するが、合衆国規制機関によって設定されたEMI基準に合わせるためにEMIを更に低減するには、ほとんどの用途に対して、更により大きなキャパシタンスが必要とされる。
【0004】
EMIを制御する方法の1つは、PCB上の様々な場所において、特に、PCBに搭載された集積回路のパワー入力端子にパワー面およびアース面が連結する場所において個別のコンデンサを挿入することによって、パワー面およびアース面を切り離すことである。しかし、この方法の欠点は、個別のコンデンサが、PCB上の乏しい土地を使い果たし、加えて、高周波数で、個別のコンデンサが、効果的な切り離し作用を提供するのに効率的でなくなる、ということである。
【0005】
EMIを制御する別の比較的新しい方法が、Zycon Corporationに譲渡された米国特許第5,079,069号に開示されていて、この方法では、パワー面およびアース面間に高キャパシタンス値を有するコンデンサ薄層体(ラミネート)を含んだ容量性PCBを提供している。コンデンサ薄層体は、PCB外部に延びていて、信号トレースの有る場所を含んでいる。コンデンサ薄層体の高キャパシタンスはEMIの効果的切り離しをもたらすが、この方法の欠点としては、コンデンサ薄層体の高キャパシタンス値が信号トレースのトレース・インピーダンスを減じてしまうことである。
【0006】
これは、コンデンサ薄層体のキャパシタンスは薄層体の厚さに反比例するのに対し、信号トレース・インピーダンスは薄層体の厚さに正比例するためである。したがって、コンデンサ薄層体の高キャパシタンスは、切り離し作用を向上させているために比較的厚さが薄くなっているが、同時に、コンデンサ薄層体のこの薄さが、信号トレースのインピーダンスを所望のインピーダンス値以下にまで低下させてしまうのである。
【0007】
信号トレース・インピーダンスは、トレースの幅に反比例するので、それ故、コンデンサ薄層体を使用した場合、信号トレース・インピーダンスを所望の値に増大させるという普通の方法では、信号トレースの幅を減らすことになる。したがって、コンデンサ薄層体を使用してPCBにおいて切り離し作用を向上させながら、信号トレースが所望のトレース・インピーダンス値を持てるのを確実にするために、PCB上の信号トレースの幅を減らすという当然の必要性が現在あるのである。その結果として、PCBにコンデンサ薄層体を使用する場合に生じる困難とは、必要とされるかなり幅の狭いトレースを製作すること、なのである。
【特許文献1】米国特許第5,079,069号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は、従来技術について上述した問題を解決するか或いは少なくとも軽減することのできる、プリント回路基板を形成する方法を提供し、また、それによって形成したプリント回路基板を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0009】
したがって、1つの態様において、本発明は、ほぼ均一な誘電率を有する誘電体層であり、第1表面および第2表面を有し、また、第1、第2の表面間に厚い部分および薄い部分を有する誘電体層と、この誘電体層の第1表面上にある第1の導電層と、誘電体層の第2表面上にある複数個の導電性部片を含む第2層とを含み、複数個の導電性部片の内の第1の部片、誘電体層の厚い部分の1つおよび第1の導電層が、第1のコンデンサを形成し、そして、複数個の導電性部片の内の第2の部片、誘電体層の薄い部分の内の1つおよび第1の導電層が、第2のコンデンサを形成する多層基板を提供する。
【0010】
別の態様においては、本発明は、第1の厚さを有する少なくとも第1の部分を有し、第2の厚さを有する少なくとも第2の部分を有し、第2の厚さが、第1の厚さと異なっている少なくとも1つの誘電体層と、間に前記少なくとも第1の部分を有し、第1の値を持つ第1のコンデンサを形成している少なくとも第1対の金属化層と、間に前記少なくとも第2の部分を有し、第1の値と異なる第2の値を持つ第2のコンデンサを形成している少なくとも第2対の金属化層とを含むプリント回路基板を提供する。
【0011】
さらに別の態様において、本発明は、第1表面および第2表面を有し、第2表面が、第1表面と対向している誘電体材料の層と、複数個の導電性部分とを含み、これらの複数個の導電性部分が、少なくとも第1対を含み、前記複数個の導電性部分の第1対の内の一方の導電性部分が、第1表面に接近して誘電体材料の層内に配置されており、前記複数個の導電性部分の第1対の内の前記一方の導電性部分の少なくとも一部が、第2表面に向かって第1表面から延びており、そして、前記複数個の導電性部分の第1対の内の他方の導電性部分が、第2表面に接近して配置されており、前記複数個の導電性部分の第1対の内の前記一方の導電性部分の前記少なくとも一部から第1の距離だけ隔たっており、さらに、前記複数個の導電性部分の内の少なくとも第2対の導電性部分を含み、前記複数個の導電性部分の第2対の内の一方の導電性部分が、第1表面に接近して誘電体材料の層内に配置されており、前記複数個の導電性部分の第2対の内の前記一方の導電性部分の少なくとも一部が、第2表面に向かって方第1表面から延びており、そして、前記導電性部分の第2対の内の他方の導電性部分が、第2表面に接近して配置されており、前記第2対の導電性部分の内の前記一方の導電性部分の前記少なくとも一部から第2の距離だけ隔たっており、第1の距離が、第2の距離より大きい基板を提供する。
【0012】
さらにまた別の態様において、本発明は、a)各々が少なくとも1つの基板層と少なくとも1つのパターン化金属化層からなる複数のセクションを形成する工程であり、パターン化金属化層が、厚い部分および薄い部分を有する工程と、b)複数のセクションを誘電体材料の介在層と共に積み重ねる工程と、c)複数のセクションおよび誘電体材料の介在層からなる積重体を多層基板に形成する工程、とからなる、多層基板を形成する方法を提供する。
【発明が解決する最良の形態】
【0013】
以下、本発明の実施例を、図面を参照しながら充分に説明する。
以下に説明するように、本発明は、PCB内で多様な厚さを有するように誘電体層を提供する。誘電体層の薄いほうの部分は、高キャパシタンスを有する切り離し用コンデンサを形成し、厚いほうの部分は、所望範囲内のトレース・インピーダンス値に対する低キャパシタンスを有するコンデンサを形成する。このことが、PCB内の誘電体層における切り離し作用とトレース・インピーダンスという対立する要件を分離し、各々が他方に依存するのを少なくさせるのである。パワー面およびアース面上の金属化部分はより厚くされ、金属化部分間の誘電体層部分はより薄くされ、切り離しに対してより高いキャパシタンスを産出するようにする。PCB上の信号トレースと整合された、アース面上の金属化部分はもっと薄くされていて、その結果、トレースおよびアース面間の厚いほうの誘電体層部分がより低いキャパシタンスを発生することとなり、トレース幅を、非常に都合よく、トレース・インピーダンスに悪影響を与えることなく、もっと広くすることができるのである。
【実施例】
【0014】
図1において、6層式プリント回路基板(PCB)100は、6層の金属化層105,110,115,120,125,130と、非導電性材料すなわち絶縁材からなる5層の介在層140,145,150,155,160を有する。これらの金属化層105,110,115,120,125,130は、典型的には銅製である。
【0015】
パターン化された銅層105は、PCB100の上方面に設置された構成要素間に銅相互接続またはトレースを提供するもので、しばしば、信号層と呼ばれる。この銅層105の下には、PCBの作成において典型的に使用される電気絶縁材で作られた層140がある。これら材料としては、エポキシ・ガラスFR4、セラミック、ポリイミドなどがある。層140は、銅層105を、次の銅層110から絶縁している。層110は、電源への接続部を有する共通の電力面(パワー面)を提供するパターン化された銅層である。また更に、層110は、信号用のトレースの形態になる相互接続部をも提供できる。たとえば、層110は、パワー(電力)を提供する厚いほうの部分171と、信号トレースとなる薄い方の部分172とを含む。
層145は、Nelco社や、 Dupont社、 Taiyo社、あるいはGore社などからの、2.5〜10.0の誘電率を有する、FR4,セラミック,液体エポキシ,ポリイミドのような、プリプレグ(prepreg)で作られている。
【0016】
次のパターン化された銅層115は、厚い部分173と薄い部分174を有しており、PCB100における共通のアースを形成するので、しばしばアース面と呼ばれる。この層115は、たとえば、信号トレースを提供する薄い部分174を含む。パターン化された銅層の、部分171と、関連部分173と、そして、部分171および173間の層145のプリプレグ部分175とは、パワー面110およびアース面115間に、分配された切り離し用キャパシタンスを都合よく形成する。
【0017】
層150は、電気絶縁材で作られた基板であり、層140の材料と同じような材料でよい。層150は、その上,下にあるパターン化銅層115,120と共に、PCB100の内側セクション180を形成する。同様に、絶縁材の層140、パターン化銅層105、パターン化銅層110が、上方セクション182を形成し、そして、絶縁材の層160、パターン化銅層130、パターン化銅層125が、PCB100の下方セクション184を形成する。
上方,下方のセクション182,184は、構成や機能において類似していることがお分かりであろう。下方セクション184では、層130が外側面であり、層125がパワー面であり、層120がアース面である。
【0018】
内側セクション180に関して、パターン化銅層120の部分186は、厚い部分188および薄い部分189を有するアース面の一部である。厚い部分188、パターン化銅層125の関連部分190、およびプリプレグ層155の部分194は、切り離し用キャパシタンスを形成する。薄い部分189、パターン化銅層125の関連部分191,192、およびプリプレグ層155の部分196,198は、より低いキャパシタンスを形成し、その結果、トレース191,192のトレース・インピーダンスが所望のインピーダンスの範囲内になる。
【0019】
それ故、厚い部分188および部分190間のプリプレグ層155の部分194の比較的薄い厚さにより、厚い部分188と部分190間に結果として生じた高キャパシタンスが、アース面120およびパワー面125間に切り離しをもたらすのを確実に都合よく行なえる。それに加えて、薄い部分189およびトレース191,192間のプリプレグ層155の部分196,198の厚さが比較的厚いことでかなり低いキャパシタンスを発生することで、トレース191および192が、かなり幅広いトレース幅を有して、しかし、トレース・インピーダンスは所望のトレース・インピーダンス範囲内にありながら、構成されることができるようになる。
【0020】
さらに図2を参照すると、PCB100を製作するプロセス200は、205に始まり、同時に実行されているように示された3つのステップ210,215,220で開始するが、順次に行うこともできる。ステップ210,215,220は、それぞれ、PCB100の上方セクション182、内側セクション180、下方セクション184を形成する。ステップ210,215,220でセクション182,180,184を形成するには、基板層140,150,160上それぞれにパターン化銅層105,110,115,120,125,130を形成するプロセスを伴う。
【0021】
内側セクション180では、銅層115,120は、基板層150上に形成され、そして、上方、下方の両セクション182,184では、銅層105,110および125,130は、基板層140および160上に形成される。それに加えて、派炭化銅層105,110,115,120,125,130を形成することは、パターン化された層を形成することは、薄い部分172,174,187,190,191,192,193および部分189、並びに厚い部分171,173および部分188を伴うパターン化銅層110,115,120,125を形成する、ということを含む。個別のセクションを形成する方法は、後で詳述する。
【0022】
次に、さらに図3を参照すると、ステップ225で、3つのセクション182,180,184は、2つのプリプレグ層305および310が交互に配置されて、パターン化銅層間に必要な整合状態が3つのセクション182,180,184上にもたらされて、積層体300の状態に配列される。その後、セクション182,180,184およびプリプレグ層305,310から成る積層体300は、圧力230の下に圧縮されてから、この集成体全体がステップ230で加熱され、PCB100を製造することで、ステップ240でプロセス200を終了する。
【0023】
次にさらに図4を参照すると、セクション182,180,184を形成する包括的方法400は、ステップ405から開始し、ステップ410で基板を提供する。この基板は、2枚の銅層間に挟まれた絶縁性コアを含んだむきだしの基板または薄層体(ラミネート)である。
【0024】
次に、ステップ415で、第1の金属化層が、予定の第1パターンに従って基板上に形成される。基板がむきだしの基板である場合には、フォトリソグラフィを使用してからその後電着を実施する結像プロセスが用いられて、第1の銅層を形成することもできる。あるいは、基板が薄層体(ラミネート)である場合には、フォトリソグラフィ・プロセスに続いてエッチング・プロセスを行って第1の金属化層を形成する。フォトリソグラフィ、電着、およびエッチングの諸プロセスは、当業者にとって周知であるから、ここでは詳しく説明しない。
【0025】
次いで、予定の第2パターンに従って、ステップ420で、第2の金属化層をが、基板と第1の金属化層とを覆って形成される。第1の金属化層が電着プロセスで形成されようがエッチング・プロセスで形成されようが、第2の金属化層は、フォトリソグラフィおよび電着のプロセスによって形成される。そして、このプロセス400はステップ425で終了する。
【0026】
プロセス400では、第1の金属化層は予定の厚さに形成され、そして、第2の金属化層は、第1,第2の予定パターンに従って、第1の金属化層の部分上に形成される。このようにして、結果として形成された金属化層の選択された部分は、別の選択されなかった部分に比較していっそう厚さが厚くなっている。
【0027】
材料供給源から入手できる材料の実質的な制約や、PCB製造設備で普遍的に用いられるプロセスに関しては、セクション182,180,184を製作するための別なプロセスを以下に述べる。
【0028】
さて、図5、図6A〜C,図7A〜C,図8A〜Bを参照すると、内側,上方,そして下方の諸セクション182,180,184を製作するプロセス500は、ステップ505に始まり、2つの未パターン化銅層605と610,105と705,805と130、それぞれの間にはさまれた中間絶縁材層150,140,160を有する薄層体(ラミネート)600,700,800をもたらす。これに続いて、ステップ515でフォトリソグラフィ結像・エッチングが実施され、第1の予定パターンに従って基板上に銅層を形成する。もちろん、銅の第1の予定パターンは、銅層の初期厚さに等しい第1の均一な厚さである。このフォトリソグラフィおよびエッチング・プロセスは、単に、銅層の不必要な部分を除去するものである。
【0029】
薄層体600では、銅層605は、部分614,174,612を残してエッチングされ、銅層610は、部分187と、部分189を伴う部分186とを残すようにエッチングされ、このようにして、エッチングされた薄層体601を製作する。薄層体700では、部分710,172を形成するように銅層705がエッチングされて、このようにして、エッチングされた薄層体701を作成する。そして、薄層体800では、部分190,191,192,193を形成するために銅層805がエッチングされて、下方セクション184を作成する。
【0030】
次いで、第2のフォトリソグラフィ・プロセスによって結像した後、ステップ520で、第2の予定パターンに従って第1の金属化層の内いくつかの部分上に電着プロセスを実施して、厚い部分を構築する。エッチングされた薄層体601は、銅層616,618,620が堆積されて、内側セクション182を形成するようになる。同様に、エッチングされた薄層体701は、銅層715,717が堆積されて、上方セクション182を形成するようになる。初期に述べたように、薄層体800は、エッチングした後、下方セクション184となり、その上に厚い部分を形成する必要はない。
【0031】
図4に戻って簡単に説明すると、プロセス400において、ステップ410でもたらされた基板が、より厚い導電性の部分を形成するのに充分な厚さの金属化層を有していた場合、内側、上,下の各セクション180,182,184を作成するには、別のプロセス900を使用することもできるので、これを以下説明する。
【0032】
図9および図10A〜Cを参照すると、このプロセス900は今、内側セクション180を製作するものとして説明するが、以下の説明に基づいて当業者には明らかなように、このプロセスは、大きな変更を行うことなく、上方,下方セクション182,184を作成するのにも使用することができる。
【0033】
プロセス900は、905に始まり、ステップ910で、中間基板層1005および上,下の銅層1010,1020を有する薄層体1000を提供する。フォトリソグラフィおよびエッチングのプロセスを使用して、銅層1010,1020は、第1の予定パターンに従ってステップ915でエッチングされと、基板1005上に、すべて第1の厚さを有する部分1021,1023,1025,1027,1029が残るようになり、このようにして、エッチングされた基板1001を製作する。
【0034】
次いで、ステップ920で、2回目のフォトリソグラフィおよびエッチングのプロセスがエッチング済みの基板1001に実施されて、部分1023,1027および1029の部分をエッチングし、これが、最初の第1厚さよりも薄い第2の厚さになる部分130,132,133,134を有する基板1002を作成する。ステップ920での第2回目のエッチングをした後、プロセス900はステップ925で終了する。こうして生じたエッチング済みの基板1002は、内側セクション180と同一であることに注意されたい。
【0035】
あるいは、図9および図11A〜Cを参照すると、また別の第1,第2のエッチング・パターン工程を用いる2段階エッチング・プロセス900を用いて、内側セクション180を作成することもでき、当業者であれば理解できるように、これも、大した変更をせずとも、上、下のセクション182,184の形成に適用できる。
【0036】
前述のように、プロセス900は、中間基板層1005、および上,下の銅層1010,1020を有する薄層体1000を提供することから開始する。その後、フォトリソグラフィおよびエッチングのプロセスを使用して、別の第1の予定パターンに従って、部分1121,1122,1123がエッチング作用を受けないように残して、銅層1010,1020がステップ910でエッチングされる。ステップ910でのエッチングでは、第1の厚さより小さい第2の厚さを有する部分1105,1110,1115,1120,1125を残すようにして、銅層1010,1015の部分をを除去する。これで、エッチング済み薄層体1101を制作し、続いて、この薄層体1101がステップ920で、別の第2の予定パターンに従って、2回目のエッチングを施される。2回目のエッチングで、厚い銅部分(すなわち、第1の厚さ)1121,1122,1123と、薄い銅部分(すなわち、第2の厚さ)1131,1132,1133および部分1125とを有するエッチング済みの薄層体1102を産出する。結果として、エッチング済みの薄層体1102は、内側セクション180と同一である。
【0037】
図12および図13A〜Eを次に参照すると、ステップ1205で、PCB100を形成するための別のプロセスが始まり、ステップ1210で、内側、上下のセクション180,182,184を形成する。先に説明したプロセス500,900のいずれかが、内側、上下のセクション180,182,184を形成するのに使用できる。次に、ステップ1215で、それぞれ、1311と1312、および、1321と1322、のように表面が輪郭をつけられて、絶縁層1310と1320とが形成される。これらの絶縁層1310,1320は、成形プロセスで作成される予じめ形成されたプリプレグで作ることができる。このような成形プロセスとしては、当業者には知られているように、射出成形およびトランスファー成形がある。
【0038】
あるいはまた、絶縁層1310,1320は、任意の適切な誘電体材料と、熱や圧力が加えられた状態で絶縁層1310,1320およびセクション180,182,184を1225で一緒に結合するのに使用される適切な接着剤と、で形成することもできる。
【0039】
絶縁層1310および1320は、同じプロセスを使用して形成することができる。一例として絶縁層1310を採用すると、輪郭を付けられた表面1311は、深い輪郭付き部分1313および浅い輪郭付き部分1314を有するように形成され、そして、輪郭を付けられた表面1312は、深い輪郭付き部分1315および浅い輪郭付き部分1316を有するように形成される。輪郭付き部分1313,1314は、パターン化金属化層110上の部分171,172を補完するので、輪郭付き部分1313,1314が、パターン化金属化層110上の部分171,172にびたりと適合ようにようになる。
同様に、輪郭1315,1316は、パターン化金属化層115上の部分173,174を補完する。そして、同じ適合状態が、絶縁材層1320およびパターン化金属化層120,125に対しても当てはまる。
【0040】
絶縁層1310および1320は組み立て前に予め形成されるので、絶縁層1310,1320の様々な部分のところの厚さが予め決定される。絶縁層の厚さがキャパシタンスを決定するので、絶縁層の様々な部分での予じめ決定された厚さということが、完成したPCBの所望の場所でキャパシタンスを都合よく決定することができるようになる。
【0041】
前述のように、本発明は、必要なトレース・インピーダンスを持っていて、もっと簡単に製造できる、より幅広のトレースを有するようになる容量性プリント回路基板を提供するものである。
このことは、電力パワー面およびアース面間に切り離し用コンデンサを形成する厚い部分と、PCBにおいて信号トレースに対し所望のトレース・インピーダンスを提供するより低キャパシタンスを有するコンデンサを形成する薄い部分とを有するPCBの誘電体層によって達成される。
【0042】
したがって、本発明は、プリント回路基板を形成する方法およびそれによって形成したプリント回路基板を提供し、従来技術の上記問題を解決するか、少なくとも低減するものである。
【0043】
本発明の1つの実施例だけを特定して詳しく説明してきたが、当業者であれば、本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更および改良を行うことができることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【0044】
【図1】本発明によるプリント回路基板の断面図を示している。
【図2】図1におけるPCBを製作するプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図3】図2のプロセスによる図1のPCBのセクション配置を示す断面図である。
【図4】図1におけるPCBのセクションを製作する一般的なプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図5】図1におけるPCBのセクションを製作するための或る特定のプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図6A−6C】図5のプロセスによる図1のPCBの内側セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図7A−C】図5のプロセスによる図1のPCBの上方セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図8A−B】図5のプロセスによる図1のPCBの下方セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図9】図1のPCBのセクションを作成するプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図10A−C】図9のプロセスによる図1のPCBの内側セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図11A−C】図9のプロセスによる図1のPCBの内側セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図12】図1のPCBを作成する別のプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図13】は、図12のプロセスによる図1のPCBの形成の仕方の断面図を示している。
【0001】
本発明は、電磁干渉を低減するプリント回路基板に関し、更に具体的に言うと、分配したキャパシタンス(静電容量)をその中に包含しているプリント回路基板に関する。
【背景技術】
【0002】
プリント回路基板(PCB)は一般的に、機械的構造物に、集積回路や、レジスタ、コンデンサなど、別個の部分から成る電子構成要素が配備され相互接続されたりするのに使用される。PCB内での相互接続というのは、PCB上やその内部において、パターン化した金属(典型的には、銅)トレースの層により提供される。よりコンパクト化するという要求を満たすためには、多数のパターン化金属トレース層を有する多層PCBが使用される。このようなPCBは、絶縁材とパターン化金属トレースの交互の層を含み、パターン化金属トレース間の相互接続は、縦方向バイアまたはめっきスルーホールによって絶縁材の層を通して行われる。典型的には、4層式PCBにおいて、すなわち、4つのパターン化金属トレース層を有するPCBの場合には、2つの最内部の層が、それぞれ、PCB上のすべての回路に対し、共通のパワー面(電力面)および共通の電気アース面を提供する。
【0003】
多層PCB上の回路の作動は、特に信号が約50メガヘルツ以上の高周波数である場合、パワー面とアース面との間に電圧の変動を生じさせる。このような変動は、しばしば電磁干渉(EMI)またはノイズと呼ばれており、望ましいものではない。多層PCBにおける共通アース面および共通パワー面は、EMIを低減する助けをするキャパシタンス値を有するが、合衆国規制機関によって設定されたEMI基準に合わせるためにEMIを更に低減するには、ほとんどの用途に対して、更により大きなキャパシタンスが必要とされる。
【0004】
EMIを制御する方法の1つは、PCB上の様々な場所において、特に、PCBに搭載された集積回路のパワー入力端子にパワー面およびアース面が連結する場所において個別のコンデンサを挿入することによって、パワー面およびアース面を切り離すことである。しかし、この方法の欠点は、個別のコンデンサが、PCB上の乏しい土地を使い果たし、加えて、高周波数で、個別のコンデンサが、効果的な切り離し作用を提供するのに効率的でなくなる、ということである。
【0005】
EMIを制御する別の比較的新しい方法が、Zycon Corporationに譲渡された米国特許第5,079,069号に開示されていて、この方法では、パワー面およびアース面間に高キャパシタンス値を有するコンデンサ薄層体(ラミネート)を含んだ容量性PCBを提供している。コンデンサ薄層体は、PCB外部に延びていて、信号トレースの有る場所を含んでいる。コンデンサ薄層体の高キャパシタンスはEMIの効果的切り離しをもたらすが、この方法の欠点としては、コンデンサ薄層体の高キャパシタンス値が信号トレースのトレース・インピーダンスを減じてしまうことである。
【0006】
これは、コンデンサ薄層体のキャパシタンスは薄層体の厚さに反比例するのに対し、信号トレース・インピーダンスは薄層体の厚さに正比例するためである。したがって、コンデンサ薄層体の高キャパシタンスは、切り離し作用を向上させているために比較的厚さが薄くなっているが、同時に、コンデンサ薄層体のこの薄さが、信号トレースのインピーダンスを所望のインピーダンス値以下にまで低下させてしまうのである。
【0007】
信号トレース・インピーダンスは、トレースの幅に反比例するので、それ故、コンデンサ薄層体を使用した場合、信号トレース・インピーダンスを所望の値に増大させるという普通の方法では、信号トレースの幅を減らすことになる。したがって、コンデンサ薄層体を使用してPCBにおいて切り離し作用を向上させながら、信号トレースが所望のトレース・インピーダンス値を持てるのを確実にするために、PCB上の信号トレースの幅を減らすという当然の必要性が現在あるのである。その結果として、PCBにコンデンサ薄層体を使用する場合に生じる困難とは、必要とされるかなり幅の狭いトレースを製作すること、なのである。
【特許文献1】米国特許第5,079,069号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0008】
本発明は、従来技術について上述した問題を解決するか或いは少なくとも軽減することのできる、プリント回路基板を形成する方法を提供し、また、それによって形成したプリント回路基板を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0009】
したがって、1つの態様において、本発明は、ほぼ均一な誘電率を有する誘電体層であり、第1表面および第2表面を有し、また、第1、第2の表面間に厚い部分および薄い部分を有する誘電体層と、この誘電体層の第1表面上にある第1の導電層と、誘電体層の第2表面上にある複数個の導電性部片を含む第2層とを含み、複数個の導電性部片の内の第1の部片、誘電体層の厚い部分の1つおよび第1の導電層が、第1のコンデンサを形成し、そして、複数個の導電性部片の内の第2の部片、誘電体層の薄い部分の内の1つおよび第1の導電層が、第2のコンデンサを形成する多層基板を提供する。
【0010】
別の態様においては、本発明は、第1の厚さを有する少なくとも第1の部分を有し、第2の厚さを有する少なくとも第2の部分を有し、第2の厚さが、第1の厚さと異なっている少なくとも1つの誘電体層と、間に前記少なくとも第1の部分を有し、第1の値を持つ第1のコンデンサを形成している少なくとも第1対の金属化層と、間に前記少なくとも第2の部分を有し、第1の値と異なる第2の値を持つ第2のコンデンサを形成している少なくとも第2対の金属化層とを含むプリント回路基板を提供する。
【0011】
さらに別の態様において、本発明は、第1表面および第2表面を有し、第2表面が、第1表面と対向している誘電体材料の層と、複数個の導電性部分とを含み、これらの複数個の導電性部分が、少なくとも第1対を含み、前記複数個の導電性部分の第1対の内の一方の導電性部分が、第1表面に接近して誘電体材料の層内に配置されており、前記複数個の導電性部分の第1対の内の前記一方の導電性部分の少なくとも一部が、第2表面に向かって第1表面から延びており、そして、前記複数個の導電性部分の第1対の内の他方の導電性部分が、第2表面に接近して配置されており、前記複数個の導電性部分の第1対の内の前記一方の導電性部分の前記少なくとも一部から第1の距離だけ隔たっており、さらに、前記複数個の導電性部分の内の少なくとも第2対の導電性部分を含み、前記複数個の導電性部分の第2対の内の一方の導電性部分が、第1表面に接近して誘電体材料の層内に配置されており、前記複数個の導電性部分の第2対の内の前記一方の導電性部分の少なくとも一部が、第2表面に向かって方第1表面から延びており、そして、前記導電性部分の第2対の内の他方の導電性部分が、第2表面に接近して配置されており、前記第2対の導電性部分の内の前記一方の導電性部分の前記少なくとも一部から第2の距離だけ隔たっており、第1の距離が、第2の距離より大きい基板を提供する。
【0012】
さらにまた別の態様において、本発明は、a)各々が少なくとも1つの基板層と少なくとも1つのパターン化金属化層からなる複数のセクションを形成する工程であり、パターン化金属化層が、厚い部分および薄い部分を有する工程と、b)複数のセクションを誘電体材料の介在層と共に積み重ねる工程と、c)複数のセクションおよび誘電体材料の介在層からなる積重体を多層基板に形成する工程、とからなる、多層基板を形成する方法を提供する。
【発明が解決する最良の形態】
【0013】
以下、本発明の実施例を、図面を参照しながら充分に説明する。
以下に説明するように、本発明は、PCB内で多様な厚さを有するように誘電体層を提供する。誘電体層の薄いほうの部分は、高キャパシタンスを有する切り離し用コンデンサを形成し、厚いほうの部分は、所望範囲内のトレース・インピーダンス値に対する低キャパシタンスを有するコンデンサを形成する。このことが、PCB内の誘電体層における切り離し作用とトレース・インピーダンスという対立する要件を分離し、各々が他方に依存するのを少なくさせるのである。パワー面およびアース面上の金属化部分はより厚くされ、金属化部分間の誘電体層部分はより薄くされ、切り離しに対してより高いキャパシタンスを産出するようにする。PCB上の信号トレースと整合された、アース面上の金属化部分はもっと薄くされていて、その結果、トレースおよびアース面間の厚いほうの誘電体層部分がより低いキャパシタンスを発生することとなり、トレース幅を、非常に都合よく、トレース・インピーダンスに悪影響を与えることなく、もっと広くすることができるのである。
【実施例】
【0014】
図1において、6層式プリント回路基板(PCB)100は、6層の金属化層105,110,115,120,125,130と、非導電性材料すなわち絶縁材からなる5層の介在層140,145,150,155,160を有する。これらの金属化層105,110,115,120,125,130は、典型的には銅製である。
【0015】
パターン化された銅層105は、PCB100の上方面に設置された構成要素間に銅相互接続またはトレースを提供するもので、しばしば、信号層と呼ばれる。この銅層105の下には、PCBの作成において典型的に使用される電気絶縁材で作られた層140がある。これら材料としては、エポキシ・ガラスFR4、セラミック、ポリイミドなどがある。層140は、銅層105を、次の銅層110から絶縁している。層110は、電源への接続部を有する共通の電力面(パワー面)を提供するパターン化された銅層である。また更に、層110は、信号用のトレースの形態になる相互接続部をも提供できる。たとえば、層110は、パワー(電力)を提供する厚いほうの部分171と、信号トレースとなる薄い方の部分172とを含む。
層145は、Nelco社や、 Dupont社、 Taiyo社、あるいはGore社などからの、2.5〜10.0の誘電率を有する、FR4,セラミック,液体エポキシ,ポリイミドのような、プリプレグ(prepreg)で作られている。
【0016】
次のパターン化された銅層115は、厚い部分173と薄い部分174を有しており、PCB100における共通のアースを形成するので、しばしばアース面と呼ばれる。この層115は、たとえば、信号トレースを提供する薄い部分174を含む。パターン化された銅層の、部分171と、関連部分173と、そして、部分171および173間の層145のプリプレグ部分175とは、パワー面110およびアース面115間に、分配された切り離し用キャパシタンスを都合よく形成する。
【0017】
層150は、電気絶縁材で作られた基板であり、層140の材料と同じような材料でよい。層150は、その上,下にあるパターン化銅層115,120と共に、PCB100の内側セクション180を形成する。同様に、絶縁材の層140、パターン化銅層105、パターン化銅層110が、上方セクション182を形成し、そして、絶縁材の層160、パターン化銅層130、パターン化銅層125が、PCB100の下方セクション184を形成する。
上方,下方のセクション182,184は、構成や機能において類似していることがお分かりであろう。下方セクション184では、層130が外側面であり、層125がパワー面であり、層120がアース面である。
【0018】
内側セクション180に関して、パターン化銅層120の部分186は、厚い部分188および薄い部分189を有するアース面の一部である。厚い部分188、パターン化銅層125の関連部分190、およびプリプレグ層155の部分194は、切り離し用キャパシタンスを形成する。薄い部分189、パターン化銅層125の関連部分191,192、およびプリプレグ層155の部分196,198は、より低いキャパシタンスを形成し、その結果、トレース191,192のトレース・インピーダンスが所望のインピーダンスの範囲内になる。
【0019】
それ故、厚い部分188および部分190間のプリプレグ層155の部分194の比較的薄い厚さにより、厚い部分188と部分190間に結果として生じた高キャパシタンスが、アース面120およびパワー面125間に切り離しをもたらすのを確実に都合よく行なえる。それに加えて、薄い部分189およびトレース191,192間のプリプレグ層155の部分196,198の厚さが比較的厚いことでかなり低いキャパシタンスを発生することで、トレース191および192が、かなり幅広いトレース幅を有して、しかし、トレース・インピーダンスは所望のトレース・インピーダンス範囲内にありながら、構成されることができるようになる。
【0020】
さらに図2を参照すると、PCB100を製作するプロセス200は、205に始まり、同時に実行されているように示された3つのステップ210,215,220で開始するが、順次に行うこともできる。ステップ210,215,220は、それぞれ、PCB100の上方セクション182、内側セクション180、下方セクション184を形成する。ステップ210,215,220でセクション182,180,184を形成するには、基板層140,150,160上それぞれにパターン化銅層105,110,115,120,125,130を形成するプロセスを伴う。
【0021】
内側セクション180では、銅層115,120は、基板層150上に形成され、そして、上方、下方の両セクション182,184では、銅層105,110および125,130は、基板層140および160上に形成される。それに加えて、派炭化銅層105,110,115,120,125,130を形成することは、パターン化された層を形成することは、薄い部分172,174,187,190,191,192,193および部分189、並びに厚い部分171,173および部分188を伴うパターン化銅層110,115,120,125を形成する、ということを含む。個別のセクションを形成する方法は、後で詳述する。
【0022】
次に、さらに図3を参照すると、ステップ225で、3つのセクション182,180,184は、2つのプリプレグ層305および310が交互に配置されて、パターン化銅層間に必要な整合状態が3つのセクション182,180,184上にもたらされて、積層体300の状態に配列される。その後、セクション182,180,184およびプリプレグ層305,310から成る積層体300は、圧力230の下に圧縮されてから、この集成体全体がステップ230で加熱され、PCB100を製造することで、ステップ240でプロセス200を終了する。
【0023】
次にさらに図4を参照すると、セクション182,180,184を形成する包括的方法400は、ステップ405から開始し、ステップ410で基板を提供する。この基板は、2枚の銅層間に挟まれた絶縁性コアを含んだむきだしの基板または薄層体(ラミネート)である。
【0024】
次に、ステップ415で、第1の金属化層が、予定の第1パターンに従って基板上に形成される。基板がむきだしの基板である場合には、フォトリソグラフィを使用してからその後電着を実施する結像プロセスが用いられて、第1の銅層を形成することもできる。あるいは、基板が薄層体(ラミネート)である場合には、フォトリソグラフィ・プロセスに続いてエッチング・プロセスを行って第1の金属化層を形成する。フォトリソグラフィ、電着、およびエッチングの諸プロセスは、当業者にとって周知であるから、ここでは詳しく説明しない。
【0025】
次いで、予定の第2パターンに従って、ステップ420で、第2の金属化層をが、基板と第1の金属化層とを覆って形成される。第1の金属化層が電着プロセスで形成されようがエッチング・プロセスで形成されようが、第2の金属化層は、フォトリソグラフィおよび電着のプロセスによって形成される。そして、このプロセス400はステップ425で終了する。
【0026】
プロセス400では、第1の金属化層は予定の厚さに形成され、そして、第2の金属化層は、第1,第2の予定パターンに従って、第1の金属化層の部分上に形成される。このようにして、結果として形成された金属化層の選択された部分は、別の選択されなかった部分に比較していっそう厚さが厚くなっている。
【0027】
材料供給源から入手できる材料の実質的な制約や、PCB製造設備で普遍的に用いられるプロセスに関しては、セクション182,180,184を製作するための別なプロセスを以下に述べる。
【0028】
さて、図5、図6A〜C,図7A〜C,図8A〜Bを参照すると、内側,上方,そして下方の諸セクション182,180,184を製作するプロセス500は、ステップ505に始まり、2つの未パターン化銅層605と610,105と705,805と130、それぞれの間にはさまれた中間絶縁材層150,140,160を有する薄層体(ラミネート)600,700,800をもたらす。これに続いて、ステップ515でフォトリソグラフィ結像・エッチングが実施され、第1の予定パターンに従って基板上に銅層を形成する。もちろん、銅の第1の予定パターンは、銅層の初期厚さに等しい第1の均一な厚さである。このフォトリソグラフィおよびエッチング・プロセスは、単に、銅層の不必要な部分を除去するものである。
【0029】
薄層体600では、銅層605は、部分614,174,612を残してエッチングされ、銅層610は、部分187と、部分189を伴う部分186とを残すようにエッチングされ、このようにして、エッチングされた薄層体601を製作する。薄層体700では、部分710,172を形成するように銅層705がエッチングされて、このようにして、エッチングされた薄層体701を作成する。そして、薄層体800では、部分190,191,192,193を形成するために銅層805がエッチングされて、下方セクション184を作成する。
【0030】
次いで、第2のフォトリソグラフィ・プロセスによって結像した後、ステップ520で、第2の予定パターンに従って第1の金属化層の内いくつかの部分上に電着プロセスを実施して、厚い部分を構築する。エッチングされた薄層体601は、銅層616,618,620が堆積されて、内側セクション182を形成するようになる。同様に、エッチングされた薄層体701は、銅層715,717が堆積されて、上方セクション182を形成するようになる。初期に述べたように、薄層体800は、エッチングした後、下方セクション184となり、その上に厚い部分を形成する必要はない。
【0031】
図4に戻って簡単に説明すると、プロセス400において、ステップ410でもたらされた基板が、より厚い導電性の部分を形成するのに充分な厚さの金属化層を有していた場合、内側、上,下の各セクション180,182,184を作成するには、別のプロセス900を使用することもできるので、これを以下説明する。
【0032】
図9および図10A〜Cを参照すると、このプロセス900は今、内側セクション180を製作するものとして説明するが、以下の説明に基づいて当業者には明らかなように、このプロセスは、大きな変更を行うことなく、上方,下方セクション182,184を作成するのにも使用することができる。
【0033】
プロセス900は、905に始まり、ステップ910で、中間基板層1005および上,下の銅層1010,1020を有する薄層体1000を提供する。フォトリソグラフィおよびエッチングのプロセスを使用して、銅層1010,1020は、第1の予定パターンに従ってステップ915でエッチングされと、基板1005上に、すべて第1の厚さを有する部分1021,1023,1025,1027,1029が残るようになり、このようにして、エッチングされた基板1001を製作する。
【0034】
次いで、ステップ920で、2回目のフォトリソグラフィおよびエッチングのプロセスがエッチング済みの基板1001に実施されて、部分1023,1027および1029の部分をエッチングし、これが、最初の第1厚さよりも薄い第2の厚さになる部分130,132,133,134を有する基板1002を作成する。ステップ920での第2回目のエッチングをした後、プロセス900はステップ925で終了する。こうして生じたエッチング済みの基板1002は、内側セクション180と同一であることに注意されたい。
【0035】
あるいは、図9および図11A〜Cを参照すると、また別の第1,第2のエッチング・パターン工程を用いる2段階エッチング・プロセス900を用いて、内側セクション180を作成することもでき、当業者であれば理解できるように、これも、大した変更をせずとも、上、下のセクション182,184の形成に適用できる。
【0036】
前述のように、プロセス900は、中間基板層1005、および上,下の銅層1010,1020を有する薄層体1000を提供することから開始する。その後、フォトリソグラフィおよびエッチングのプロセスを使用して、別の第1の予定パターンに従って、部分1121,1122,1123がエッチング作用を受けないように残して、銅層1010,1020がステップ910でエッチングされる。ステップ910でのエッチングでは、第1の厚さより小さい第2の厚さを有する部分1105,1110,1115,1120,1125を残すようにして、銅層1010,1015の部分をを除去する。これで、エッチング済み薄層体1101を制作し、続いて、この薄層体1101がステップ920で、別の第2の予定パターンに従って、2回目のエッチングを施される。2回目のエッチングで、厚い銅部分(すなわち、第1の厚さ)1121,1122,1123と、薄い銅部分(すなわち、第2の厚さ)1131,1132,1133および部分1125とを有するエッチング済みの薄層体1102を産出する。結果として、エッチング済みの薄層体1102は、内側セクション180と同一である。
【0037】
図12および図13A〜Eを次に参照すると、ステップ1205で、PCB100を形成するための別のプロセスが始まり、ステップ1210で、内側、上下のセクション180,182,184を形成する。先に説明したプロセス500,900のいずれかが、内側、上下のセクション180,182,184を形成するのに使用できる。次に、ステップ1215で、それぞれ、1311と1312、および、1321と1322、のように表面が輪郭をつけられて、絶縁層1310と1320とが形成される。これらの絶縁層1310,1320は、成形プロセスで作成される予じめ形成されたプリプレグで作ることができる。このような成形プロセスとしては、当業者には知られているように、射出成形およびトランスファー成形がある。
【0038】
あるいはまた、絶縁層1310,1320は、任意の適切な誘電体材料と、熱や圧力が加えられた状態で絶縁層1310,1320およびセクション180,182,184を1225で一緒に結合するのに使用される適切な接着剤と、で形成することもできる。
【0039】
絶縁層1310および1320は、同じプロセスを使用して形成することができる。一例として絶縁層1310を採用すると、輪郭を付けられた表面1311は、深い輪郭付き部分1313および浅い輪郭付き部分1314を有するように形成され、そして、輪郭を付けられた表面1312は、深い輪郭付き部分1315および浅い輪郭付き部分1316を有するように形成される。輪郭付き部分1313,1314は、パターン化金属化層110上の部分171,172を補完するので、輪郭付き部分1313,1314が、パターン化金属化層110上の部分171,172にびたりと適合ようにようになる。
同様に、輪郭1315,1316は、パターン化金属化層115上の部分173,174を補完する。そして、同じ適合状態が、絶縁材層1320およびパターン化金属化層120,125に対しても当てはまる。
【0040】
絶縁層1310および1320は組み立て前に予め形成されるので、絶縁層1310,1320の様々な部分のところの厚さが予め決定される。絶縁層の厚さがキャパシタンスを決定するので、絶縁層の様々な部分での予じめ決定された厚さということが、完成したPCBの所望の場所でキャパシタンスを都合よく決定することができるようになる。
【0041】
前述のように、本発明は、必要なトレース・インピーダンスを持っていて、もっと簡単に製造できる、より幅広のトレースを有するようになる容量性プリント回路基板を提供するものである。
このことは、電力パワー面およびアース面間に切り離し用コンデンサを形成する厚い部分と、PCBにおいて信号トレースに対し所望のトレース・インピーダンスを提供するより低キャパシタンスを有するコンデンサを形成する薄い部分とを有するPCBの誘電体層によって達成される。
【0042】
したがって、本発明は、プリント回路基板を形成する方法およびそれによって形成したプリント回路基板を提供し、従来技術の上記問題を解決するか、少なくとも低減するものである。
【0043】
本発明の1つの実施例だけを特定して詳しく説明してきたが、当業者であれば、本発明の範囲から逸脱することなく種々の変更および改良を行うことができることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【0044】
【図1】本発明によるプリント回路基板の断面図を示している。
【図2】図1におけるPCBを製作するプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図3】図2のプロセスによる図1のPCBのセクション配置を示す断面図である。
【図4】図1におけるPCBのセクションを製作する一般的なプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図5】図1におけるPCBのセクションを製作するための或る特定のプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図6A−6C】図5のプロセスによる図1のPCBの内側セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図7A−C】図5のプロセスによる図1のPCBの上方セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図8A−B】図5のプロセスによる図1のPCBの下方セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図9】図1のPCBのセクションを作成するプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図10A−C】図9のプロセスによる図1のPCBの内側セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図11A−C】図9のプロセスによる図1のPCBの内側セクションの形成の仕方の断面図を示している。
【図12】図1のPCBを作成する別のプロセスを詳細に示すフローチャートを示している。
【図13】は、図12のプロセスによる図1のPCBの形成の仕方の断面図を示している。
Claims (30)
- 実質的に均一な誘電率を有し、第1表面および第2表面を有し、前記第1および第2の表面間に厚い部分と薄い部分とを有するようになる誘電体層と、
前記誘電体層の第1表面上にある第1の導電層と、
前記誘電体層の第2表面上に複数の導電性部片を含む第2層と、
から成り、
前記複数個の導電性部片の内の第1の導電性部片と、前記誘電体層の厚い部分の内の1つと、前記第1の導電層とが、第1のコンデンサを形成し、そして、
前記複数個の導電性部片の内の第2の導電性部片と、前記誘電体層の薄い部分の内の1つと、前記第1の導電層とが、第2のコンデンサを形成する、
ことを特徴とする多層基板。 - 前記第1の導電層は、複数個の導電性部片を含み、
前記第2層の複数個の導電性部片の内の第1の導電性部片と、前記誘電体層の厚い部分の内の1つと、前記第1の導電層の複数個の導電性部片の内の第1の導電性部片とが、第1のコンデンサを形成し、そして、
前記第2層の前記複数の導電性部分の内の第2の導電性部分と、前記誘電体層の厚い部分の内の1つと、前記第1導電性層の前記複数の導電性部片の内の第2の導電性部片とが、第2のコンデンサを形成していることを特徴とする請求項1に記載の多層基板。 - 前記第2層の複数個の導電性部片の内の第1の導電性部片と、前記誘電体層の厚い部分の内の1つと、前記第1の導電層の複数個の導電性部片の内の第1の導電性部片とが、第1導電層および第2層間に延びる第1の共通軸線に沿って実質的に整合していることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 前記第2層の複数個の導電性部片の内の第2の導電性部片と、前記誘電体層の薄い部分の内の1つと、前記第1の導電層の複数個の導電性部片の内の第2の導電性部片とが、第1導電層および第2層間を延びる第2の共通軸線に沿って実質的に整合していることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 前記第1の導電層の複数個の導電性部片の第1および第2の導電性部片が、前記第1の共通平面から実質的に等しくない厚さで伸長していることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 前記第1の導電層の複数個の導電性部片の第1および第2の導電性部片が、第1の共通平面から実質的に等しい厚さで伸長している有することを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 前記第2層の複数個の導電性部片の第1および第2の導電性部片が、共通平面から実質的に等しい厚さで伸長していることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 前記第2層の複数個の導電性部片の第1および第2の導電性部片が、共通平面から実質的に等しくない厚さで伸長していることを特徴とする請求項2に記載の多層基板。
- 第1の厚さを有する少なくとも第1の部分を有し、且つ、第2の厚さを有する少なくとも第2の部分を有する、少なくとも1つの誘電体層であって、前記第2の厚さが前記第1の厚さとは異なっている誘電体層と、
その間に前記少なくとも第1の部分を有し、第1の値を持つ第1のコンデンサを形成している、少なくとも第1の対の金属化層と、
その間に前記少なくとも第2の部分を有し、前記第1の値とは異なる第2の値を持つ第2のコンデンサを形成している、少なくとも第2の対の金属化層と、
を含むことを特徴とするプリント回路基板。 - 少なくとも1つの誘電体層が、コンデンサ値の範囲を提供するように、第1の厚さと第2の厚さを含んだ厚さの範囲を有する輪郭付き誘電体層を含むことを特徴とする請求項9に記載の多層基板。
- 前記各第1および第2の対の金属化層の内の少なくとも1つが、実質的に水平面と整合していることを特徴とする請求項9に記載の多層基板。
- 第1表面および第2表面を有し、且つ、前記第2表面が前記第1表面に対向している誘電体材料の層と、複数個の導電性部分と、からなる基板であって、
前記複数個の導電性部分が、
少なくとも第1対を含み、
前記複数個の導電性部分の第1対の内の一方の導電性部分が、第1表面に近接して誘電体材料の層内に配置されており、前記複数個の導電性部分の第1対の内の前記一方の導電性部分の少なくとも一部が、第2表面に向かって第1表面から伸長しており、そして、
前記複数個の導電性部分の第1対の内の他方の導電性部分が、第2表面に近接して配置されており、前記複数個の導電性部分の第1対の内の前記一方の導電性部分の前記少なくとも一部から第1の距離だけ離隔しており、
さらに、前記複数個の導電性部分の少なくとも第2対の導電性部分を含み、
前記複数個の導電性部分の第2対の内の一方の導電性部分が、第1表面に近接して誘電体材料の層内に配置されており、前記複数個の導電性部分の第2対の内の前記一方の導電性部分の少なくとも一部が、第2表面に向かって第1表面から伸長しており、そして、
前記導電性部分の第2対の内の他方の導電性部分が、第2表面に近接して配置されており、前記第2対の導電性部分の内の前記一方の導電性部分の前記少なくとも一部から第2の距離だけ離隔しており、第1の距離が、第2の距離より大きい、
というように構成されたことを特徴とする基板。 - a) 複数のセクションを形成する工程であり、複数の各セクションが、少なくとも1つの基板層と少なくとも1つのパターン化金属化層とからなり、パターン化した金属化層が、厚い部分および薄い部分を有するようにする工程と、
b) 複数のセクションを誘電体材料の介在層を設けて積み重ねる工程と、
c) 複数のセクションと、誘電体材料の介在層とからなる積重体を、多層基板へと形成する工程と、
から成ることを特徴とする多層基板を形成する方法。 - 前記工程(a)が、
d) 基板を用意する工程と、
e)前記基板の少なくとも一表面上に第1のパターン化金属化層を形成する工程と、
f)前記第1のパターン化金属化層上に第2のパターン化金属化層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 前記工程(e)が、
前記基板の少なくとも一表面に第1のマスクを形成する工程と、
前記マスクされた少なくとも一表面に金属を堆積させる工程と、そして、
前記第1のマスクを剥ぎ取る工程と、
を含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。 - 前記工程(f)が、
前記基板の少なくとも一表面上にある第1のパターン化金属化層上に第2のマスクを形成する工程と、
前記基板の少なくとも一表面上にマスクした第1のパターン化金属化層上に金属を堆積させる工程と、
前記第2のマスクを剥ぎ取る工程と、
を含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。 - 前記工程(a)が、
g) 基板層および金属化層を有する薄層体を用意する工程と、
h) 第1の予定パターンに従って金属化層をエッチングして、エッチング済みの薄層体を作成する工程と、
i) 第2の予定の金属化パターンに従って前記エッチング済み薄層体をエッチングする工程と、
を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 前記工程(h)が、
前記金属化層上に第1のマスクを形成する工程と、
前記マスクした金属化層をエッチング液にさらし、金属化層の露出部を除去する工程と、
前記第1のマスクを剥ぎ取る工程と、
を含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。 - 前記工程(i)が、
前記エッチング済みの薄層体上に第2のマスクを形成する工程と、
前記マスクされたたエッチング済みの薄層体をエッチング液にさらし、金属化層の露出部を除去する工程と、
前記第2のマスクを剥ぎ取る工程と、
を含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。 - 前記工程(a)が、
j) 基板層および金属化層を有する薄層体を用意する工程と、
k) 第1の予定パターンに従って金属化層をエッチングして、エッチング済みの薄層体を作成する工程と、
l) 第2の予定パターンに従って前記エッチング済みの積層体上に金属化層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 前記工程(k)が、
前記第1の予定パターンに従って金属化層上に第1のマスクを形成する工程と、
前記マスクされた金属化層をエッチング液にさらして、金属化層の露出部を除去する工程と、
前記第1のマスクを剥ぎ取る工程と、
を含むことを特徴とする請求項20に記載の方法。 - 前記工程(l)が、
前記第2の予定パターンに従って前記エッチング済みの金属化層上に第2のマスクを形成する工程と、
該エッチング済みの金属化層の露出部上に金属を堆積させる工程と、
前記第2のマスクを剥ぎ取る工程と、
を含むことを特徴とする請求項20に記載の方法。 - 前記工程(b)以前に、誘電体材料の層を用意する工程を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記誘電体の層を用意する工程が、予めカットしたプリプレグ層を用意する工程を含むことを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 前記誘電体材料の層を用意する工程以前に、誘電体材料の層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項23に記載の方法。
- 前記誘電体の層を形成する工程が、誘電体材料の層を成形する工程を含むことを特徴とする請求項25に記載の方法。
- 前記工程(c)が、前記複数のセクションの各セクションにおける前記少なくとも1つのパターン化金属層と前記誘電体材料の介在層とを整合させる工程を含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記工程(c)が更に、前記複数のセクションと前記誘電体材料の介在層との間に接着剤を堆積させる工程を含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記工程(c)が更に、圧力を適用し、前記複数のセクションの各セクションにおける前記少なくとも1つのパターン化金属化層と前記誘電体材料の介在層とを圧縮する工程を含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記工程(c)が更に、熱を適用する工程を含むことを特徴とする請求項29に記載の方法。
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